DE19823358A1 - Verfahren und Vorrichtung zur automatisierten Erfassung und Prüfung von geometrischen und/oder texturellen Merkmalen eines Objekts - Google Patents

Abstract

Verfahren zur automatisierten Erfassung und Prüfung von geometrischen und/oder texturellen Merkmalen eines Objektes (1) in verschiedenen Ansichten (1a, 1b), insbesondere in Seitenansichten und einer Draufsicht, unter Nutzung einer optoelektronischen Bildaufnahmeeinrichtung (2) sowie einer Speicher- und Auswertungseinheit (7) zur Bildverarbeitung und Bildauswertung, wobei durch einen Vergleich mit bezüglich der einzelnen Merkmale vorgegebenen Parametern eine Qualitäts- bzw. Zustandsbeurteilung des Objektes erfolgt und wobei eine Mehrzahl von Teilbildern des Objektes mittels einer gegenüber der Mehrzahl der Teilbilder kleineren Anzahl von Bildaufnahmeeinrichtungen sowie von Mitteln zur Strahlumlenkung im wesentlichen gleichzeitig aufgenommen und mindestens teilweise auf optischem Wege zeitgleich zu einem alle Ansichten zeigenden Gesamtbild zusammengefügt wird, in dem die Grenzen der Teilbilder erkennbar sind, und das Gesamtbild zur Prüfung der einzelnen Merkmale in den Grenzen der Teilbilder separat ausgewertet wird.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.

Die Erfindung liegt auf dem technischen Gebiet der Prüfung verschiedener Ansichten eines Objektes, die beispielsweise im Prozeß der Schaltkreisfertigung und -konfektionierung durchzuführen ist.

Bei der Schaltkreisfertigung und -konfektionierung ist es insbesondere notwendig, die auf der Oberseite von Schalt­ kreisen befindlichen Aufdrucke auf ihr Vorhandensein und auf ihre Qualität (Erkennbarkeit) hin zu prüfen, um Ver­ wechslungen auszuschließen. Außerdem ist es notwendig, die an der Unterseite der Schaltkreise befindlichen An­ schlüsse ("Beinchen") dahingehend zu vermessen, ob sie al­ le innerhalb eines vorgegebenen Toleranzbereiches in einer Ebene liegen, damit sie z. B. in einem nachfolgenden Löt­ prozeß vom Lot gleichzeitig und sicher erfaßt werden kön­ nen. Diese Prüfung bzw. die Erfassung der Abweichung der Enden der Beinchen von einer ebenen Auflagefläche, wird als Koplanaritätsprüfung bezeichnet. Diese Koplanari­ tätsprüfung kann aus der Seitensicht auf die Beinchenrei­ hen an den Seiten des Schaltkreises erfolgen.

Das automatische Lesen von auf Produkten aufgebrachter Klarschrift ist Stand der Technik; vgl. etwa R. Koy- Oberthür: "Übersicht industrieller Anwendungen der Klar­ schrift- und Barcode-Identifikation", Symposium: Aktuelle Entwicklungen und Realisierungen der Bildverarbeitung, 11. u. 12. September 1997, Aachen, Ministerium für Wirtschaft, Mittelstand und Technologie des Landes Nordrhein- Westfalen. Mit dieser Lösung wird das Ziel verfolgt, die einzelnen in der Schrift enthaltenen Symbole zu erkennen, nicht aber ein bewertendes Maß für deren überhaupt gegebe­ ne Lesbarkeit ableiten. Gerade dies ist aber in solchen Fällen notwendig und vernünftig, wenn der Inhalt des Auf­ druckes an sich bekannt ist, aber dessen potentielle Les­ barkeit, z. B. für Haftungs- und Kontrollfälle garantiert sein muß.

Im Vortrag von T. Schroeter: "Einsatz der Bildverarbeitung zur Druckvollständigkeitskontrolle" auf dem gleichen Sym­ posium wird ein Verfahren beschrieben, das die Vollstän­ digkeit eines Aufdruckes feststellt, d. h. diesen auf feh­ lende Zeichen hin kontrolliert. Dieses Verfahren nutzt die sogenannte Histogramminformation aus. Das hier beschriebe­ ne Verfahren schätzt die bedruckte Fläche ab, ohne eine Bewertung für die Lesbarkeit der Kennzeichnung abzuleiten.

Bekannt ist auch, eine Koplanaritätsprüfung von Schalt­ kreisen mit Hilfe optischer Verfahren durchzuführen, mit denen Spaltbreiten vermessen werden können. In der in "Industrielle Bildverarbeitung/Machine Vision", VDMA, Fachgemeinschaft Robotik + Automation, Maschinenbau Verlag GmbH, Frankfurt/M. 1997, von QTec beschriebenen Lösung wird hierbei aus der Untersicht des zu kontrollierenden Schaltkreises ein Bild aufgenommen, das die Sicht auf Schattenwürfe der Beinchenreihen zuläßt. Hierbei ist nach­ teilig, daß die Auswertung nur aus einem direkt von einer einzelnen Seite des zu kontrollierenden Objektes aufgenom­ menen Bild heraus erfolgt und daß somit auch keine Schriftqualitätskontrolle erfolgen kann. Der Ort des Schattens eines zu vermessenden Beinchens auf einer Grund­ fläche wird im übrigen nicht nur durch dessen Abstand von der Grundfläche (auf der sich der Schatten abbildet), son­ dern auch von dem Ort des Beinchens über dieser Grundflä­ che sowie von der konkreten Form des Beinchens beeinflußt, woraus erhebliche Fehler resultieren können. Darüber hin­ aus werden bei dieser Lösung mehrere einzelne Licht quellen benötigt, um ein auswertbares Schattenbild zu erzeugen.

Das Koplanaritätskontrollgerät SMD9000 der Firma Trigon Adcotech verwendet fünf CCD-Kameras zur Aufnahme der aus­ zuwertenden Bilder zur Kontrolle der Koplanarität, eine für jede Seitensicht und eine für die Draufsicht. Nachtei­ lig ist hierbei der sich aus der Anzahl der benötigten Ka­ meras ergebende hohe technische Aufwand sowie das Nicht- An einander gebundensein der einzelnen Sichten.

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Ver­ fahren und eine Vorrichtung zu schaffen, die es gestatten, mit relativ geringem Aufwand struktuelle und/oder textu­ relle Merkmale eines Objektes in mehreren Ansichten, spe­ ziell in der Draufsicht und in Seitensichten, zusammenhän­ gend zu erfassen und zu prüfen.

Die Aufgabe wird hinsichtlich ihres Verfahrensaspekts durch ein Verfahren -mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und hinsichtlich ihres Vorrichtungsaspekts durch eine Vorrich­ tung mit den im Anspruch 7 angegebenen Merkmale gelöst.

Die Erfindung schließt die technische Lehre ein, aus einer einzelnen Sichtposition heraus mittels geeigneter opti­ scher Mittel ein aus Teilbildern verschiedener Ansichten des Objektes konstruiertes Gesamtbild mit für die gleich­ zeitige Struktur- und Texturprüfung hinreichender Auflö­ sung zu gewinnen.

Die Teilbilder werden im wesentlichen gleichzeitig aufge­ nommen und mindestens teilweise auf optischem Wege zeit­ gleich zu einem alle Ansichten zeigenden Gesamtbild zusam­ mengefügt, in dem die Grenzen der Teilbilder erkennbar sind, und dieses wird in den Grenzen der Teilbilder sepa­ rat - d. h. mit unterschiedlichen Auswertungsmitteln bzw. auf unterschiedliche Parameter hin - ausgewertet.

In einer bevorzugten Ausführung werden alle Teilbilder auf optischem Wege zusammengefügt und durch genau eine Bild­ aufnahmeeinrichtung aufgenommen, wobei in dem Gesamtbild die Bereiche der Teilbilder insbesondere unter Einsatz der Speichereinheit und/oder der Auswertungseinheit so posi­ tioniert und gekennzeichnet werden, daß sie für die Aus­ wertung den einzelnen Ansichten zugeordnet werden können.

Die Prüfung des Objekts wird in vielen Anwendungen er­ leichtert, wenn in mindestens einem zusätzlichen Schritt die Szene ohne Objekt und/oder mit einem Referenzobjekt, das hinsichtlich der Merkmale vorbestimmte Parameter auf­ weist, aufgenommen und das entsprechende Gesamtbild zu Vergleichs- und Kalibrierzwecken in der Speichereinrich­ tung abgelegt wird.

In einem speziell für die Koplanaritätsprüfung von Schalt­ kreisen oder ähnlichen Objekten zweckmäßigen Vorgehen wer­ den zunächst in den Bereichen des Gesamtbildes, die Sei­ tenansichten auf das Objekt zeigen, durch Analyse der Grauwertverteilungen Orte ermittelt, in denen (auf Ko­ planarität zu prüfende) Teile des Objekts einer Unterlage sehr nahe kommen. Nachfolgend wird die zwischen Objekt und Unterlage hindurchtretende und in den Bildpunkten als In­ tensitätswert widergespiegelte Lichtmenge erfaßt und un­ ter Nutzung der Intensitätswerte der die Breite eines Spaltes zwischen dem Objekt und der Unterlage charakteri­ sierende lokale Lichtmengenverlauf bestimmt. Schließlich kann der Lichtmengenverlauf nach einem vorbestimmten Algo­ rithmus unter Nutzung von Kalibrierinformation in eine Spaltweite umgerechnet werden. Die Vorschrift für die Um­ rechnung eines Intensitätsverlaufes zwischen Objekt und Auflage erfolgt vorteilhaft auf Basis einer Splineapproxi­ mation, der Bestimmung von Anstiegswerten sowie der Kali­ brierung so, daß ein Flächenanteil unter der Splinekurve den Wert der Spaltweite zwischen Objekt und Auflagefläche bestimmt.

In einem Bereich des Gesamtbildes (der beispielsweise die Draufsicht eines Schaltkreises zeigt) werden zur Erkennung einer Textur und speziell zur Prüfung der Lesbarkeit einer Kennzeichnung bevorzugt mittels Bildverarbeitung unter Einsatz von Faltungsfiltern Gebiete mit starken lokalen Intensitätsunterschieden hervorgehoben, erfaßt und in ih­ ren Abmaßen quantifiziert, das Quantifizierungsergebnis in den erwähnten Gebieten mit gegebenen Werten verglichen und nachfolgend Qualitätsaussagen für die Textur bzw. Kenn­ zeichnung abgeleitet.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfaßt bevorzugt eine einzelne Bildaufnahmeeinrichtung, relativ zu der das Ob­ jekt derart positioniert ist, daß es nur einen Teilbereich ihres Sichtfeldes ausfüllt, wobei in verbleibenden Teilen des Sichtfeldes Strahlumlenkeinrichtungen angeordnet sind, die Seitenansichten des Objektes auf die Bildaufnahemein­ richtung abbilden.

Die Strahlumlenkeinrichtungen sind so positioniert, daß sie jeweils eine bestimmte Ansicht des Objekts abbilden, aber die übrigen Ansichten (speziell die Draufsicht auf das Objekt) nicht beeinflussen.

Die Mittel zur Strahlumlenkung weisen insbesondere Prismen oder Spiegel auf, die fest stehend oder verstellbar sein und in für spezielle Anwendungen wahlweise gekrümmte Ober­ flächen haben können. Außerdem oder alternativ hierzu kön­ nen sie eine Lichtleitereinrichtung (ein oder mehrere Glasfaserbündel) aufweisen.

Mindestens einer der Strahlumlenkungeinrichtungen sind Mittel zur Änderung des Abbildungsmaßstabes mindestens ei­ nes Teilbildes gegenüber mindestens einem anderen Teil­ bild, insbesondere eine Linsenanordnung, zugeordnet.

Die Vorrichtung umfaßt - speziell für Koplanaritätsprüfun­ gen - weiterhin bevorzugt eine Beleuchtungseinrichtung, die insbesondere eine Lichtstreueinrichtung zur Erzeugung eines gleichmäßigen Lichtflusses unter dem Objekt auf­ weist, welche (aus Sicht der Strahlumlenkeinrichtung) hin­ ter) vorstehenden Teilen des Objekts angeordnet ist.

Für diese Prüfungen ist eine ebene Auflagefläche für das Objekt vorgesehen, und die Strahlumlenkmittel sind im we­ sentlichen derart in der Ebene der Auflagefläche angeord­ net, daß eine die Prüfung der Koplanarität von mehreren der Auflagefläche zugewandten Teilen des Objekts erlauben­ de Sicht parallel zur Auflagefläche gegeben ist. Hierbei kann bevorzugt so durchbrochen sein, daß die Freiräume ei­ ne Sicht auf die Unterseite des Objektes zulassen.

Für die Aufnahme einer Draufsicht ist dann bevorzugt eine weitere, speziell für die Beurteilung der Erkennbarkeit einer Oberflächentextur geeignete, Beleuchtungseinrichtung über dem Objekt angeordnet.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich im übrigen aus den Unteransprüchen sowie aus der nachfolgen­ den Beschreibung unter Verweis auf die angefügten Zeich­ nungen. Von der Figuren zeigen:

Fig. 1 eine schematische, vereinfachte Darstellung des Gesamtaufbaus einer Ausführungsform einer erfin­ dungsgemäßen Vorrichtung,

Fig. 2 ein Gesamtbild eines Beispiels für ein zu prü­ fendes Objekt mit aus einer Sichtposition aufge­ nommenen Seitenansichten und Draufsicht,

Fig. 4 ein Ausschnittsdarstellung einer weiteren Aus­ führungsform mit vorteilhaft angeordneten Be­ leuchtungseinrichtungen zur Erzeugung von Drauf­ licht und relativem Durchlicht und

Fig. 5 die Darstellung des Intensitätsprofiles eines Spaltenschnittes zwischen einer Auflage und ei­ nem dieser zugewandten vorstehenden Teil eines Objektes.

Fig. 1 zeigt in einer schematischen Prinzipdarstellung den Gesamtaufbau einer Vorrichtung zum Prüfen von in den Sei­ tensichten und der Draufsicht erkennbaren Merkmalen eines Objektes 1 aus einer einzelnen Sichtposition. Die Vorrich­ tung umfaßt eine CCD-Kamera 2 als Bildaufnahmeeinrichtung mit einem Objektiv 2a, das ein Gesichtsfeld 3 hat, eine Auflagefläche 4, Prismen 5 zur Strahlumlenkung und Linsen 6 zur Strahlformung der umgelenkten Strahlung sowie eine Bildauswertungs- und -speichereinheit 7. Eine Beleuch­ tungseinrichtung ist nicht gezeigt; die Beispiel- Vorrichtung arbeitet demgemäß mit diffusem Umgebungslicht.

Die Kamera 2 nimmt ein Gesamtbild des Objektes 1 auf, das sich aus mehreren Teilbildern verschiedener Ansichten des Objektes zusammensetzt. Das von der Oberseite 1a des Ob­ jekts reflektierte, direkt in das Objektiv 2a gelangende Licht erzeugt ein Teilbild der Draufsicht, und das von den Seitenflächen 1b reflektierte und durch die Prismen 5 in das Kameraobjektiv umgelenkte Licht erzeugt den Seitenan­ sichten entsprechende Teilbilder. Die Linsen 6 bewirken eine Änderung des Abbildungsmaßstabes bzw. der Detail­ liertheit der Aufnahme in den durch sie beeinflußten Tei­ len des Strahlenganges, d. h. in den Teilbildern der Sei­ tenansichten.

Die Kamera 2 leitet das Gesamtbild in Form eines elektri­ schen Signalmusters an die (hier nicht häher erläuterte) Bildauswertungs- und Speichereinrichtung 7 weiter, die beispielsweise durch einen Personalcomputer realisiert sein kann. Die Bildauswertungs- und -speichereinheit 7 be­ stimmt die Abgrenzung der Teilbilder und extrahiert unter Anwendung an sich bekannter, aber auf die zu prüfenden Merkmale in den Teilbildern spezifisch abgestimmter Metho­ den der Bildverarbeitung und Bildauswertung aus den Teil­ bildern relevante Informationen und Parameter und stellt diese für eine vergleichende Auswertung bereit.

Fig. 2 zeigt ein typisches, durch die Kamera 2 in der Vor­ richtung nach Fig. 1 aufgenommenes und in der Bildauswer­ tungs- und -speichereinheit 7 gespeichertes Gesamtbild 11 eines Schaltkreises im Gesichtsfeld 10 der Kamera. Das Ge­ samtbild 10 umfaßt fünft Teilbilder, nämlich das Teilbild 11a der Draufsicht und die Teilbilder 11b bis 11e der Sei­ tenansichten. Ein auf der Oberseite des Schaltkreises be­ findlicher Aufdruck 12 hebt sich in seiner Intensität von der Intensität des Umgebungslichtes deutlich ab. Die Bil­ der des Seitenansichten sind durch Überlagerungsstrukturen 13 geprägt, die Elemente 14 umfassen, welche durch Spalten unterschiedlicher Breite zwischen den Beinchen des Schalt­ kreises 1 und der Auflage 4 verursacht sind. Die Überlage­ rungsstrukturen werden mittels spezieller, weiter oben be­ reits erwähnter Methoden der Bildverarbeitung ausgewertet und für eine Prüfung der Koplanarität der Schaltkreisan­ schlüsse benutzt.

Fig. 3 zeigt ein Detail einer modifizierten Ausführung der Anordnung aus Fig. 1, bei der zusätzlich zu den dort ge­ zeigten Komponenten zwei Beleuchtungseinrichtungen 8a, 8b zur Erzeugung von Drauflicht an der Oberfläche des Objek­ tes 1 und zur Erzeugung von - durch eine Lichtstreuein­ richtung 9 diffus gemacht ein - Durchlicht für die Seitenan­ sichten der Beinchen 1.1 des Schaltkreises 1 vorgesehen sind.

Fig. 4 zeigt eine Splinekurve S für den Intensitätsverlauf in den Pixeln des digitalisierten Teilbildes einer Seiten­ ansicht für einen der Spalte zwischen Beinchen und Aufla­ ge. Die Fläche As unter der Splinekurve S, begrenzt durch die Anstiegspunkte X₀ und X₁, wird im Rahmen einer spezifi­ schen Bildauswertung des Seitenansichts-Teilbildes zur Be­ rechnung der Spaltbreite als Koplanaritätsparameter ge­ nutzt.

Claims (15)

1. Verfahren zur automatisierten Erfassung und Prüfung von geometrischen und/oder texturellen Merkmalen eines Ob­ jektes (1) in verschiedenen Ansichten, insbesondere in Seitenansichten (1b) und einer Draufsicht (1a), unter Nut­ zung einer optoelektronischen Bildaufnahmeeinrichtung (2) sowie einer Speichereinheit und Auswertungseinheit (7) zur Bildverarbeitung und Bildauswertung, wobei durch einen Vergleich mit bezüglich der einzelnen Merkmale vorgegebe­ nen Parametern eine Qualitäts- bzw. Zustandsbeurteilung des Objektes erfolgt dadurch gekennzeichnet, daß

• - eine Mehrzahl von Teilbildern (11a bis 11e) des Objektes mittels einer gegenüber der Mehrzahl der Teilbilder klei­ neren Anzahl von Bildaufnahmeeinrichtungen sowie von Mit­ teln (5) zur Strahlumlenkung im wesentlichen gleichzeitig aufgenommen und mindestens teilweise auf optischem Wege zeitgleich zu einem alle Ansichten zeigenden Gesamtbild (11) zusammengefügt wird, in dem die Grenzen der Teilbil­ der erkennbar sind, und
• - das Gesamtbild zur Prüfung der einzelnen Merkmale in den grenzen der Teilbilder separat ausgewertet wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß alle Teilbilder (11a bis 11e) auf optischem Wege zu­ sammengefügt und durch genau eine Bildaufnahmeeinrichtung (2) aufgenommen werden.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß in dem Gesamtbild (11) die Bereiche der Teilbilder unter Einsatz der Speicher- und Auswertungsein­ heit (7) so positioniert und gekennzeichnet werden, daß sie den einzelnen Ansichten (1a, 1b) zugeordnet werden können.

4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in mindestens einem zusätzli­ chen Schritt die Szene ohne Objekt (1) und/oder mit einem Referenzobjekt, das hinsichtlich der Merkmale vorbestimmte Parameter aufweist, aufgenommen und das entsprechende Ge­ samtbild (11) zu Vergleichs- und Kalibrierzwecken in der Speicher- und Auswertungseinheit (7) abgelegt wird.

5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß

• - in den Bereichen (11b bis 11e) des Gesamtbildes, die Seitenansichten (1b) auf das Objekt (1) zeigen, durch Ana­ lyse der Grauwertverteilungen Orte, an denen das Objekt einer Auflagefläche 54) sehr nahe kommt, ermittelt werden,
• - nachfolgend die zwischen Objekt und Auflagefläche hin­ durchtretende und in den Bildpunkten als Intensitätswert widergespiegelte Lichtmenge erfaßt,
• - unter Nutzung der Intensitätswerte der die Breite eines Spaltes zwischen dem Objekt und der Auflagefläche charak­ terisierende lokale Lichtmengenverlauf bestimmt und
• - der Lichtmengenverlauf nach einem vorbestimmten Algo­ rithmus unter Nutzung von Kalibrierinformation in eine zwischen Objekt und Auflagefläche vorliegende Spaltweite umgerechnet wird.

6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in einem Bereich (11a) des Ge­ samtbildes, der insbesondere eine Draufsicht (1a) zeigt, mittels Bildverarbeitung unter Einsatz von Faltungsfiltern Gebiete mit starken lokalen Intensitätsunterschieden her­ vorgehoben, erfaßt und in ihren Abmaßen quantifiziert wer­ den.

7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in das Gesamtbild (11) eine Darstellung der der oder allen Bildaufnahmeeinrichtung/en (2) abgewandten und insbesondere der Auflagefläche (4) zu­ gewandten Seite des Objektes (1) integriert wird.

8. Vorrichtung zur automatisierten Erfassung und Prü­ fung von geometrischen und/oder texturellen Merkmalen ei­ nes Objektes (1) in verschiedenen Ansichten (1a, 1b), ins­ besondere in Seitenansichten und einer Draufsicht, mit ei­ ner optoelektronischen Bildaufnahmeeinrichtung (2) und ei­ ner Speicher- und Auswertungseinheit (7) zur Bildverarbei­ tung und Bildauswertung, dadurch gekennzeichnet, daß optische Mittel (5) zur Strahlumlenkung vorgesehen sind, mittels derer eine Mehrzahl von Teilbildern (11a bis 11e) des Objektes durch eine gegenüber der Mehrzahl der Teil­ bilder kleinere Anzahl von Bildaufnahmeeinrichtungen im wesentlichen gleichzeitig aufgenommen und mindestens teil­ weise auf optischem Wege zeitgleich zu einem alle Ansich­ ten zeigenden Gesamtbild (11) zusammengefügt wird, in dem die Grenzen der Teilbilder erkennbar sind.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß eine einzelne Bildaufnahmeeinrichtung (2) vorgesehen ist, relativ zu der das Objekt (1) derart positioniert ist, daß es nur einen Teilbereich ihres durch den Blick­ winkel (3) bestimmten Sichtfeldes ausfüllt, und daß in verbleibenden Teilen des Sichtfeldes Strahlumlenkeinrich­ tungen (5) angeordnet sind, die Seitenansichten (1b) des Objektes auf die Bildaufnahmeinrichtung abbilden.

10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Mittel zur Strahlumlenkung Prismen (5) oder Spiegel aufweisen, die insbesondere verstellbar sind und/oder gekrümmte Oberflächen haben.

11. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Mittel zur Strahlumlenkung eine Licht­ leitereinrichtung aufweisen.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 11, da­ durch gekennzeichnet, daß mindestens einem der Mittel zur Strahlumlenkung Mittel (6) zur Änderung des Abbildungsmaß­ stabes mindestens eines Teilbildes gegenüber mindestens einem anderen Teilbild, insbesondere eine Linsenanordnung, zugeordnet sind.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 12, ge­ kennzeichnet durch eine Beleuchtungseinrichtung (8a, 8b, 9), die insbesondere eine Lichtstreueinrichtung (9) zur Erzeugung eines gleichmäßigen Lichtflusses unter dem Ob­ jekt (1) aufweist, welche hinter vorstehenden Teilen (1.1) des Objektes angeordnet ist.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 13, da­ durch gekennzeichnet, daß eine ebene Auflagefläche (4) für das Objekt vorgesehen ist und die Mittel (5) zur Strahlum­ lenkung im wesentlichen derart in der Ebene der Auflage­ fläche angeordnet sind, daß eine die Prüfung der Koplana­ rität von mehreren der Auflagefläche zugewandten Teilen (1.1) des Objekts erlaubende Sicht parallel zur Auflage­ fläche gegeben ist.

15. Vorrichtung nach Anspruch 13 oder 14, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Lichtstreueinrichtung (9) derart un­ terbrochen ist, daß eine Sicht auf die der bzw. allen Bildaufnahmeeinrichtung/en (2) abgewandte Seite des Ob­ jekts (1) ermöglicht wird.