DE102007060008A1

DE102007060008A1 - Bestimmung und Überwachumg von Laserenergie

Info

Publication number: DE102007060008A1
Application number: DE102007060008A
Authority: DE
Inventors: Gerhard Youssefi; Birgit Lutzenberger; Julia Hoff
Original assignee: Technolas GmbH
Current assignee: Technolas Perfect Vision GmbH
Priority date: 2007-12-13
Filing date: 2007-12-13
Publication date: 2009-06-18
Also published as: WO2009074676A2; US8385618B2; EP2231083A2; WO2009074676A3; US20110002514A1

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bestimmung der Energie eines Lasers. Insbesondere betrifft die Erfindung eine anfängliche Bestimmung einer Laserenergie und die Überwachung der Laserenergie vorzugsweise eines Excimer-Lasers zur Verwendung in einem refraktiven Lasersystem zur Behandlung irgendeines Auges. Eine Vorrichtung zur Bestimmung einer Energie eines Excimer-Lasers weist auf: ein Instrument, das einen Bereich aufweist, der mit mehreren Laserimpulsen des Excimer-Lasers unter Verwendung mindestens eines vorgegebenen Mehrfleckablationsmusters ablatiert wird, wobei der Ablationsbereich einen spezifischen Ablationsbereich aufweist, der so groß wie der Ablationsbereich oder kleiner ist, eine Bildaufnahmeeinrichtung zur Aufnahme mindestens eines Bildes, das mindestens den spezifischen Ablationsbereich des Instruments aufweist; eine Analyseeinrichtung zum Analysieren des mindestens einen Bildes, wobei die Größe des spezifischen Ablationsbereichs ein Maß der Energie des Excimer-Lasers bereitstellt.

Description

Gebiet der Erfindung
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bestimmung der Energie eines Lasers. Insbesondere betrifft die Erfindung eine anfängliche Bestimmung einer Laserenergie und die Überwachung der Laserenergie vorzugsweise eines Excimer-Lasers zur Verwendung in einem refraktiven Lasersystem zur Behandlung irgendeines Auges.
Hintergrund der Erfindung
Für die anfängliche Bestimmung einer Laserenergie eines refraktiven Lasersystems wird üblicherweise ein Einwegenergiekalibrierinstrument verwendet. Dieses Kalibrierinstrument besteht aus einer geklebten Folie auf einer farbigen Grundplatte. Ein Lasersystem mit einem Nennfluenzpegel (der in mJ/cm² ausgedrückt wird) wird die Folie mit einer spezifizierten Anzahl von Impulsen durchdringen, die zwei Zielpositionen auf dem Instrument aufweisen. Um ein Lasersystem zu testen, wird die Anzahl der Laserimpulse gezählt, die notwendig ist, um die Folie zu durchdringen, und der Anwender stellt fest, wann die Folie ablatiert ist, d. h. die farbige Grundplatte sichtbar ist.
Es sind Modifikationen solcher Grundplatten, z. B. aus US-B-5 464 960 von Deborah K. Hall als Laserkalibriervorrichtung bekannt. Die Laserkalibriervorrichtung zum Kalibrieren chirurgischer Laser wird durch Übereinanderlagerung von Dünnfilmen mit abwechselnden Farben gebildet. Nach der Ablation durch einen Laserstrahl erscheint die resultierende kugelförmige Aushöhlung als ein Muster ineinander geschachtelter Kreise, deren Konzentrizität und Abstand die Ausrichtung und Intensität des Laserstrahls widerspiegeln. Diese Muster können visuell oder instrumentell analysiert werden, um die richtige Einstellung des Lasers zu bestimmen. Es wird ein Einschicht- oder Mehrschichtdünnfilm verwendet, um nicht nur die ablative Leistung eines Laserstrahls zu bestimmen, sondern auch die Variation der ablativen Leistung über die volle Breite des Strahls zu bestimmen, indem ein Bereich, der durch den Strahl getroffen wird, zwischen aufeinanderfolgenden Laserimpulsen beobachtet wird.
Die festgestellte Anzahl von Schüssen, die notwendig sind, um die Folie zu ablatieren und folglich eine Farbänderung zu bewirken, der durch einen Anwender beobachtet wird, kann abhängig von der subjektiven Wahrnehmung des Benutzers variieren.
US-B-7 211 078 betrifft eine Vorrichtung zur Überwachung der Energie und/oder der Position eines gepulsten und abgetasteten Laserstrahls, wobei der gepulste Laserstrahl intermittierend auf einen Sensor gerichtet wird. Die Messung der Laserenergie und insbesondere die Überwachung der Laserenergie wird erreicht, indem optische Photodioden, pyroelektrische oder thermoelektrische Sensoren verwendet werden. Insbesondere wird die Laserenergie während des Betriebs durch Messung eines abgeteilten Teils des Laserstrahls überwacht. Alternativ kann der gesamte ungeteilte Strahl auf einen Sensor abgelenkt werden.
Ein Aspekt der Erfindung ist es, die Laserenergiemessung und -Überwachung zu verbessern. Insbesondere ist es eine Aufgabe der Erfindung, die Laserenergiemessung und Überwachung über Sensoren zu verbessern. Ein weiterer Aspekt der Erfindung ist es, eine objektivere Messung bereitzustellen, wobei ein Laserkalibrierinstrument verwendet wird, um die Meßgenauigkeit zu verbessern.
Zusammenfassung
Die obigen Aufgaben werden durch die Merkmale der Ansprüche gelöst. Aspekte der Erfindung sind auf die Bestimmung, Kalibrierung und Überwachung eines Laserstrahls in Hinblick auf seine Energie, Energieverteilung, Position und Form gerichtet.
Ein erster Aspekt der Erfindung ist auf eine Vorrichtung und ein entsprechendes Verfahren zur Bestimmung einer Energie eines Excimer-Lasers durch die Verwendung eines Instruments ge richtet. Das Instrument weist einen Bereich auf, der durch einen Excimer-Laser ablatiert wird. Das Ablationsmuster ist mindestens ein Mehrfleckablationsmuster, d. h. die Ablation wird durch mehrere Laserimpulse gebildet, die unterschiedliche Zielpositionen auf dem Instrument aufweisen, wobei die Größe eines Laserimpulses kleiner als das Ablationsmuster ist. Zusätzlich kann das Instrument auch ein Einzel- und/oder Doppelfleckablationsmuster aufweisen. Die mehreren Laserimpulse des Mehrfleckablationsmusters können sich mindestens teilweise miteinander überlappen. Der Ablationsbereich des Mehrfleckablationsmusters weist einen spezifischen Ablationsbereich auf dem Instrument auf, der dieselbe Größe wie der Ablationsbereich oder eine kleinere Größe aufweist. Die Größe des spezifischen Ablationsbereichs auf dem Instrument wird analysiert, und die Energie des Excimer-Lasers wird beruhend auf der Größe des spezifischen Ablationsbereichs bestimmt. Diese Analyse wird unter Verwendung eines Bildes durchgeführt, das mindestens den spezifischen Ablationsbereich aufweist.
Das Instrument weist mindestens zwei Schichten mit unterschiedlichen optischen Eigenschaften, z. B. unterschiedlichen Reflexions-, Transmissions-, Absorptions-, Farb-, Farbsättigungs-, Helligkeitseigenschaften auf. Die beiden Schichten können aus einer Grundplatte gebildet werden, die eine planare Oberseite aufweist, auf der eine Folie angeordnet ist. Ein Laserstrahl ablatiert zuerst die Folie.
Eine Bildaufnahmeneinrichtung zum Erhalten des Bildes/der Bilder, die analysiert werden sollen, kann aus einem einer Kamera, Farbkamera, Videokamera, Farbvideokamera bestehen. Die Analyse zur Bestimmung der Größe des spezifischen Ablationsbereichs kann auf optischen Unterschieden der Schichten des Instruments beruhen. Die Analyse kann auf den optischen Eigenschaften einer spezifischen Schicht des Instruments beruhen.
Die Vorrichtung zur Bestimmung einer Energie eines Excimer-Lasers kann in eine Laserbehandlungsvorrichtung eingebaut sein.
Sie kann in Intervallen, zum Beispiel vor einer Behandlung eines Auges eines Patienten oder einmal am Tag verwendet werden.
Ein weiterer Aspekt der Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Laserenergiekalibrierung und/oder Überwachung, die mindestens eine Detektionseinrichtung zur Detektion eines Laserstrahls aufweist. Ferner weist die Vorrichtung eine Bewertungseinrichtung zur Bewertung der Laserstrahlenergie beruhend auf der Datenausgabe der Detektionseinrichtung auf. Die Detektionseinrichtung kann jede Vorrichtung sein, die geeignet ist, die Laserstrahleigenschaft zu bestimmen. Sie kann mindestens ein optisches Element aufweisen, das während des Normalbetriebs, z. B. während einer chirurgischen Behandlung im Laserstrahlweg angeordnet ist.
Dieses optische Element kann jede Einrichtung sein, die sich im Laserstrahlweg befindet, um den Laserstrahl durchzulassen und/oder zu bilden und/oder zu fokussieren und/oder reflektieren, z. B. eine Linse oder ein Spiegel. Das optische Element weist ein Material auf, das mindestens einen eines photoelektrischen, thermoelektrischen und pyroelektrischen Effekts liefert. Das optische Element sollte geeignet sein, die Laserstrahleigenschaften zu bestimmen. Das optische Element weist ein derartiges Material auf, daß die optischen Eigenschaften des optischen Elements, d. h. Reflexions- und/oder Transmissionseigenschaften, im wesentlichen nicht beeinträchtigt werden. Insbesondere ist das Material in einer solchen Menge und an einem solchen Ort angeordnet, daß die Laserstrahleigenschaften, z. B. die Energie und Form im wesentlichen nicht geändert werden. Das Material kann über elektrische Leiter wie leitende Drähte angeschlossen sein, um zum Beispiel als Reaktion auf einen pyroelektrischen Effekt ein Ausgangssignal an irgendeine Analyseeinrichtung zu liefern.
Das optische Element kann zur kontinuierlichen Überwachung der Laserenergie eines Teils des Laserstrahls oder des gesamten Laserstrahls verwendet werden. Eine fehlerhafte Funktion des Lasersystems entweder in der Position oder der Energie kann da her während der Behandlung eines Auges eines Patienten ermittelt werden.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Veranschaulichende, nicht einschränkende Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden beispielhaft unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben, in denen dieselbe Bezugsziffer verwendet wird, um dieselben oder ähnliche Komponenten in unterschiedlichen Figuren zu bezeichnen. Es zeigen:
1a, 1b schematische Darstellungen exemplarischer Instrumente, die mit unterschiedlicher Laserenergie ablatiert werden;
2 eine schematische Darstellung einer Vorrichtung zur Bestimmung einer Energie eines Excimer-Lasers;
3a, 3b, 3c exemplarische Darstellungen einer Bildverarbeitungseingabe (3a) eines Zwischenschritts (3b) und einer Bildverarbeitungsausgabe (3c);
4a eine schematische Darstellung eines Ablationsinstruments, das zwei Ablationen aufweist;
4b eine schematische Darstellung eines Ablationsinstruments, das eine fehlerhafte Ablation aufweist;
5 ein Diagramm, das die Größe eines Ablationsbereichs eines Einzelschußablationsmusters unter unterschiedlichen Bedingungen darstellt;
6 eine schematische Darstellung einer Vorrichtung zur Laserenergiekalibrierung und/oder Überwachung;
7a eine schematische Darstellung einer Maske, die sich quer zur Achse eines Laserstrahls bewegt;
7b ein Diagramm, das die detektierte Energie während der Bewegung einer Schlitzmaske quer zu einer Achse eines Laserstrahls zeigt;
8a, 8b Darstellungen von Meßzonen eines Weichfleck/Hartfleck-Laserstrahls;
9 ein Diagramm, das die theoretische Energie in Übereinstimmung mit den 8a, 8b für unterschiedliche Fleckformen zeigt;
10a einen Weichfleck-Laserstrahl mit einem Randfehler;
10b ein Diagramm, das die detektierte Energie in Übereinstimmung mit 10a zeigt.
Detaillierte Beschreibung
Der obere Teil der 1a zeigt einen Querschnitt eines Instruments 10 mit einer ersten Schicht 12 und einer zweiten Schicht 14. Die erste Schicht 12 wurde mit einem vorgegebenen Mehrfleckablationsmuster ablatiert, das exemplarisch eine kegelförmige Form aufweist. Im Fall der 1a bildete die angewendete Laserenergie keinen Durchbruch, so daß die zweite Schicht nicht sichtbar ist, wie im unteren Teil der 1a dargestellt, die eine Draufsicht des Instruments 10 zeigt. Die Draufsicht des Instruments 10 zeigt den Ablationsbereich 20, der dem Außenumfang des Mehrfleckablationsmusters entspricht, wie durch die gestrichelten Linien dargestellt.
Es wird angemerkt, daß das vorgegebene Mehrfleckablationsmuster verschiedene Formen wie eine Spitzkerbe, zylindrisch, liegend zylindrisch, eine Linie mit allmählich zunehmender/abnehmender Laserenergie, refraktionsförmig oder jede Kombination davon aufweisen kann. Alle genutzten Ablationsmuster weisen eine vorgegebene Anzahl von Laserimpulsen auf. Folglich variiert unter der Voraussetzung, daß die Anzahl der Laserschüsse sowie das Ablationsmuster vorgegeben ist, die Eindringtiefe des Lasers in das Instrument 10 abhängig von der Laserenergie.
In 1a wurde dasselbe vorgegebene Mehrfleckablationsmuster zur Ablation des Instruments wie für das in 1a gezeigte Instrument verwendet. Folglich wurde dieselbe Anzahl von Laserschüssen auf die vorgegebenen Positionen auf dem Instrument plaziert. Infolge einer höheren Energie des Laserstrahls erzeugte die Summe der Energie aller Laserimpulse einen größeren Ablationsbetrag. Als Folge wurde ein kegelförmig geformtes Ablationsmuster im Instrument 10 gebildet, wobei der Kegel eine größere Eindringtiefe aufweist. Die gesamte angewendete Laserenergie war ausreichend, die erste Schicht vollständig zu ablatieren und einen Durchbruch zu bilden, so daß die zweite Schicht 14 aus der Draufsicht des Instruments 10 sichtbar ist. Der Bereich, in dem die zweite Schicht 14 sichtbar ist, wird als der spezifische Ablationsbereich 22 bezeichnet. Der spezifische Ablationsbereich 22 kann so groß wie der Ablationsbereich 20 oder kleiner sein. Infolge der Tatsache, daß die Eindringtiefe des Lasers in das Instrument 10 mit zunehmender Laserenergie zunimmt, nimmt auch die Größe des spezifischen Ablationsbereichs 22 mit zunehmender Laserenergie zu. Daher ist die Größe des spezifischen Ablationsbereichs 22 ein Maß für die Laserenergie.
Die erste Schicht des Instruments 10 weist eine vorgegebene Dicke auf und kann mit einer vorgegebenen Anzahl von Laserimpulsen ablatiert werden. Das Instrument 10 kann auch aus mehr als zwei Schichten gebildet werden. Jede der Schichten kann unterschiedliche optische Eigenschaften wie unterschiedliche Reflexionseigenschaften und/oder Farben und/oder Farbsättigungen und/oder Helligkeit aufweisen. Insbesondere können aneinanderstoßende Schichten solche unterschiedlichen Eigenschaften aufweisen.
2 stellt eine Vorrichtung zur Bestimmung einer Energie eines Excimer-Lasers gemäß eines ersten Aspekts der Erfindung dar, der eine Kamera 30 als Bildaufnahmeneinrichtung und eine Analyseeinrichtung 32 zur Analyse der Ausgabe der Bildaufnahmeneinrichtung aufweist. Die Kamera 30 ist eine Photokamera oder eine Videokamera, die Schwarzweiß- oder Farbbilder/Filme aufnimmt. Abhängig vom Typ der Kamera nimmt die Kamera 30 mindestens ein Bild oder mehrere Bilder auf, die mindestens die spezifischen Ablationsbereich(e) auf dem Instrument 10 aufweisen. Es kann auch mehr als eine Bildaufnahmeneinrichtung geben, insbesondere falls mehr als ein Ablationsmuster auf dem Instrument 10 analysiert werden muß.
Die Analyseeinrichtung 32 verarbeitet die Bilddatenausgabe aus der Kamera 30. Die Analyseeinrichtung 32 kann einen Bildanalysealgorithmus nutzen, um Unterschiede in mindestens einem der Helligkeit und/oder Farbe und/oder Farbsättigung im Bild zu analysieren. In diesem Zusammenhang ist zu beachten, daß der Ausdruck Helligkeit so verwendet wird, daß er dieselbe Bedeutung wie der Ausdruck Leuchtdichte hat. Insbesondere kann die Analyseeinrichtung 32 den Helligkeits- und/oder Farb- und/oder Farbsättigungswert von Bildpixeln auf einen anderen vorgegebenen Helligkeits- und/oder Farb- und/oder Farbsättigungswert ändern. Ein Beispiel dafür ist, daß ein Instrument eine zweite Schicht rotes Material aufweist, das sichtbar ist, so daß ein Bild einen bestimmten Bereich roter Pixel aufweist, die z. B. andere Farbsättigungswerte aufweisen, die so geändert werden, daß sie einen vorgegebenen Farbsättigungswert aufweisen. Folglich wird eine Art Abbildung durchgeführt, wobei jeder Ausgangswert einen Eingangswert mit einem bestimmten Bereich der Helligkeit und/oder Farbe und/oder Farbsättigung aufweist. Diese „Abbildung" weist auch andere Ausgangswerte auf, wie „relevant" – „nicht relevant", oder „spezifischer Ablationsbereich" – „Ablationsbereich" – „nicht relevant" usw.
3a zeigt exemplarische Bilddaten, die durch die Kamera 30 geliefert werden. Das Bild weist mindestens den spezifischen Ablationsbereich 22 auf. Im Beispiel, das in 3a gezeigt wird, weist das Bild fast den gesamten Ablationsbereich 20 auf. 3a stellt Übergangszonen 23 vom spezifischen Ablationsbereich 22 zum Ablationsbereich 20 und vom Ablationsbereich 20 zur ersten Schicht 12 des Instruments 10 dar. Vorzugsweise wird nur ein Teil des Bildes, d. h. ein analysierter Ablationsbereich 21 analysiert. Daher wird, wie in 3b dargestellt, der jeweilige Teil des Bildes, der analysiert werden soll, durch Software oder dergleichen ausgeschnitten. Der analysierte Ablationsbereich 21 weist mindestens den spezifischen Ablationsbereich 22 auf. Auch der gesamte Ablationsbereich 20 kann analysiert werden. 3c zeigt exemplarische Bildausgabedaten nach einem Verarbeitungsschritt der Analyseeinrichtung 32. Um den Ablationsbereich 20 oder den analysierten Ablationsbereich 21 deutlich vom spezifischen Ablationsbereich 22 zu unterscheiden, können die Pixel des durch die Kamera 30 gelieferten Bildes in Hinblick auf ihren Graustufenwert in Form der Helligkeit analysiert werden. Ferner wird ähnlich zum oben erläuterten „Abbildungs"-Beispiel, die Helligkeit der Pixel geändert, wobei ein Pixel mit einem Helligkeitswert, der größer als ein vorgegebener Helligkeitswert ist, d. h. in seinem Aussehen heller, zu einem weißen Pixel geändert wird, und ein Pixel mit einem Helligkeitswert, der kleiner als der vorgegebene Helligkeitswert ist, d. h. in seinem Aussehen dunkler, zu einem grauen/dunklen Pixel mit einem vorgegebenen Graustufenwert/Helligkeit geändert wird. Wie aus 3c deutlich wird, kann der spezifische Ablationsbereich 22 dann deutlich vom analysierten Ablationsbereich 21 unterschieden werden.
Wieder auf 2 bezugnehmend, kann die Analyseeinrichtung 32 die Energie der Laserimpulse bestimmen, die zur Ablation des Instruments 10 angewendet werden. Insbesondere bestimmt die Analyseeinrichtung 32 die Laserenergie beruhend auf der Größe des spezifischen Ablationsbereichs 22. Daten, die eine Größe eines spezifischen Bezugsablationsbereichs mit einer Bezugslaserstrahlenergie korrelieren, können in der Analyseeinrichtung gespeichert werden. Dieser spezifische Bezugsablationsbereich wird mit der Istgröße des spezifischen Ablationsbereichs 22 verglichen. Aus diesem Vergleich wird die Istlaserenergie des Laserstrahls, der die Ablation gebildet hat, die durch die Kamera 30 aufgenommen wird, ausgewertet. In einem ersten Verarbeitungsschritt kann nur festgestellt werden, ob die Istlaserenergie in einem bestimmten Bereich liegt, d. h. ob die Größe des spezifischen Ablationsbereichs nicht zu klein und nicht zu groß ist. Wenn dieser Test positiv ist, kann jede weitere Verarbeitung weggelassen werden. Alternativ kann die Laserenergie im Detail ausgewertet werden. Die Analyseeinrichtung kann beruhend auf der Differenz der Istgröße des spezifischen Ablationsbereichs 22 und der Größe des spezifischen Bezugsablationsbereichs eine Ausgabe zur Einstellung der Energie einer Laserquelle liefern.
Zur Bestimmung der Größe des spezifischen Ablationsbereichs 22 durch die Analyseeinrichtung 32 kann der jeweilige Teil des Bildes, das mindestens den spezifischen Ablationsbereich 22 aufweist, ausgeschnitten werden, d. h. nur ein Teil des Bildes kann analysiert werden, um die Verarbeitung effizienter zu machen. Die 3b, 3c stellen einen kreisförmigen Ausschnitt dar, jedoch sind verschiedene Ausschnitte möglich, wie ein Ausschnitt, der den gesamten Ablationsbereich 20 abdeckt, oder ein quadratischer Ausschnitt. Ein solcher Ausschnitt kann erreicht werden, nachdem das Bild ebenso wie zuvor aufgenommen wird, d. h. durch eine jeweilige Anordnung der Kamera 30 in Bezug auf den spezifischen Ablationsbereich 22 und/oder den Ablationsbereich 20 oder durch Auswählen der relevanten Daten des Bildes, das durch die Kamera aufgenommen wird. Außerdem kann das gesamte Bild, das durch die Kamera 30 bereitgestellt wird, analysiert werden. Die Größe des spezifischen Ablationsbereichs 22 kann in Beziehung zu einem Bezugsbereich in Prozent bestimmt werden, wobei der Bezugsbereich 100% beträgt. Vorzugsweise ist der Bezugsbereich einer des Ablationsbereichs 20 oder des analysierten Ablationsbereichs 21.
Eine Möglichkeit, die Ablationsbereiche zu unterscheiden, d. h. die Größe des Ablationsbereichs 20 oder die Größe des analysierten Ablationsbereichs 21 und des spezifischen Ablationsbereich 22 zu bestimmen, ist es, die Anzahl von Pixeln zu zählen, die in einen vorgegebenen Bereich der Helligkeit und/oder der Farbe und/oder der Farbsättigung fallen. Wenn man den Bereich der Pixel der Helligkeit und/oder Farbe und/oder Farbsättigung kennt, die dem spezifischen Ablationsbereich 22 entsprechen, kann seine Größe festgestellt werden. Dieser Bereich der Helligkeit und/oder Farbe und/oder Farbsättigung kann in der Analyseeinrichtung 32 gespeichert oder über eine Messung z. B. in der Mitte eines Ablationsbereichs 20 erhalten werden. Im letztgenannten Fall wird vorzugsweise sichergestellt, daß die Bezugsmessung an einer Stelle vorgenommen wird, wo die erste Schicht 12 vollständig ablatiert ist. Dies kann durch die Ana lyseeinrichtung erreicht werden, indem eine Gültigkeitsprüfung durchgeführt wird. Die Gesamtanzahl gezählter Pixel repräsentiert einen bestimmten Bereich des Bildes, z. B. den analysierten Ablationsbereich 21. Folglich kann die prozentuale Größe des spezifischen Ablationsbereichs 22 relativ zum analysierten Ablationsbereich 21 bestimmt werden. Außerdem kann die Anzahl der gezählten Pixel, die den spezifischen Ablationsbereich betreffen, direkt mit der Energie des Lasers korreliert werden. Infolge der Tatsache, daß das (die) Ablationsmuster eine vorgegebene, d. h. bekannte, Anzahl von Schüssen aufweist, kann außerdem die mittlere Energie jedes Laserschusses bestimmt werden.
Wie in 4a dargestellt, kann erfindungsgemäß auch mehr als eine Ablation im Instrument 10 gebildet und analysiert werden. Der Einzelfleckablationsbereich 24 wird durch mehr Laserimpulse gebildet, die auf dieselbe Position auf dem Instrument 10 gerichtet werden. Dieser Einzelfleckablationsbereich 24 kann während der Bildung des Mehrfleckablationsmusters gebildet werden, das exemplarisch so dargestellt wird, daß es eine kegelförmige Form aufweist. Es kann eine vorgegebene Anzahl von Laserimpulsen entfernt vom Mehrfleckablationsmuster gerichtet werden, um den Einzelfleckablationsbereich 24 zu bilden, z. B. in bestimmten Intervallen. Dies ist vorteilhaft, da die Funktion und Genauigkeit des Laserabtastsystems, d. h. die korrekte Strahlablenkung geprüft werden kann. Da außerdem die Einzelfleckablation durch Laserimpulse gebildet wird, die auf dieselbe Position auf dem Instrument 10 gerichtet werden, kann der Laserfleckdurchmesser festgestellt/nachgeprüft werden. Dies setzt jedoch voraus, daß der Laserabtaster korrekt arbeitet, d. h. innerhalb einer bestimmten Genauigkeit. Die beiden Ablationsbereiche 20 und 24 können durch eine unterschiedliche Anzahl von Laserimpulsen gebildet werden. Dies ergibt sich dadurch, daß die Einzelfleckablation verwendet werden kann, um die Anwendbarkeit des Mehrfleckablationsmusters zu prüfen, d. h. falls die Eigenschaften des Ablationsbereichs 24 nicht einer gespeicher ten Referenz entsprechen, die vorzugsweise ein Ablationsbereich 24 ist, der ohne eine Bewegung des Laserabtastsystems hergestellt wird, kann geschlossen werden, daß auch das Mehrfleckablationsmuster fehlerhaft ist. Eine Fehlfunktion kann z. B. durch ein defektes Laserabtastersystem, einen falschen Fokus, eine Bodenbewegung, Vibration usw. verursacht werden.
4b stellt zwei Ablationsmuster wie 4a dar, jedoch ist der Einzelfleckablationsbereich 26 nicht korrekt ausgebildet. Eine Möglichkeit für ein solches Ablationsmuster ist ein Abtasterdefekt. In diesem Fall kann auch das Mehrfleckablationsmuster bestimmte (nicht gezeigte) Abweichungen zeigen, insbesondere im Umkreis des Ablationsbereichs 20 oder des spezifischen Ablationsbereichs 22. Wie oben in Hinblick auf den Mehrfleckablationsbereich erläutert, kann auch der Einzelfleckablationsbereich analysiert werden, z. B. die Pixel, die in einen vorgegebenen Bereich der Helligkeit und/oder Farbe und/oder Farbsättigung fallen, die dem Einzelfleckablationsbereich entsprechen, können gezählt werden, um die Größe des Ablationsbereichs zu bestimmen. Alternativ zum Einzelfleckablationsbereich kann auch ein Doppelfleckablationsbereich oder ein Ablationsbereich mit mehr als zwei Ablationszielpositionen auf dem Instrument 10 zur Bestimmung der Eigenschaften des Laserstrahls und/oder des Abtasters eingesetzt werden.
Es ist zu beachten, daß im oberen Teil der 4b der Einzelfleckablationsbereich 26 als planar dargestellt wird, jedoch kann es bei einem Laserabtasterdefekt oder einer Vibration während der Bildung des Einzelfleckablationsbereichs 26 vorkommen, daß die Ablationstiefe in der Randzone kleiner als in der zentralen Zone ist.
In 5 wird der Ablationsbereich für eine Einzelfleckablation unter unterschiedlichen Bedingungen gezeigt. Der Ablationsbereich ist in willkürliche Einheiten (w. E.) angegeben. Wie aus den ersten vier Balken (beginnend von links) entnommen werden kann, kann es einen bestimmten Bereich geben, in dem erwartet werden kann, daß der Laser korrekt arbeitet. Der fünfte Balken betrifft einen exemplarischen Abtasterdefekt. Der Ablationsbereich nimmt erheblich zu, jedoch kann dies abhängig vom Ausmaß des Abtasterdefekts variieren. Der sechste Balken stellt den Ablationsbereich mit einer Defokussierung von 3 mm dar. Dies bedeutet, daß der Brennpunkt 3 mm in der Tiefe von der Oberfläche entfernt ist, die ablatiert werden soll.
Ein weiterer Aspekt der Erfindung, der in einer schematischen Zeichnung in 6 dargestellt ist, betrifft eine Vorrichtung zur Laserenergiekalibrierung und/oder zur Überwachung 60. Diese Vorrichtung 60 weist mindestens eine Detektionseinrichtung auf, die einen Laserimpuls detektieren kann. Die Detektionseinrichtung kann die Energie eines Laserimpulses bestimmen und weist mindestens ein optisches Element auf, das im Laserstrahlweg angeordnet ist. Der Vollständigkeit halber zeigt 6 auch eine Laserquelle 50 und ein Zielobjekt 54, wie ein Kalibrierinstrument 10 oder ein Auge eines Patienten, das behandelt werden soll.
Die Detektionseinrichtung kann als ein optisches Element ausgeführt werden, das Reflexions- und/oder Transmissionseigenschaften aufweist, d. h. als ein integraler Teil des optischen Elements und/oder als eine Schicht auf oder im optischen Element. Insbesondere kann das optische Element ein Spiegel 62 sein, z. B. ein Abtasterspiegel zur Ablenkung des Laserstrahls während einer Behandlung, und/oder eine Linse 64, 66. Das optische Element, das die Detektionsfähigkeit aufweist, kann vorteilhaft nahe der Laserquelle 50 und/oder nahe des Ziels 54 vorgesehen werden, d. h. als das letzte optische Element im Strahlweg vor dem Ziel.
In einem Aspekt weist ein optisches Element sowohl optisches Material, das zu den optischen Eigenschaften beträgt, als auch Meßmaterial auf, das ein Meßsignal liefert. Das Meßmaterial stellt einen thermoelektrischen und/oder pyroelektrischen Effekt bereit und kann z. B. über ein Netz von elektrischen Leitern elektrisch verbunden werden, die auf und/oder im optischen Element ausgebildet sind. Das Meßmaterial, das nicht zu der op tischen Eigenschaft des optischen Elements beiträgt, ist in einem solchen Ausmaß und an einem solchen Ort/in einer solchen Verteilung über dem optischen Element vorgesehen, daß es im wesentlichen die optischen Eigenschaften nicht oder nur in einem bestimmten Ausmaß verschlechtert. Es wird bevorzugt, daß das Meßmaterial und/oder die jeweiligen Verbindungselemente in der Bildebene des Laserimpulses nicht sichtbar/detektierbar sind.
Ferner kann die Vorrichtung 60 eine Vergleichseinrichtung zum Vergleichen einer Istmessung der Detektionseinrichtung mit einer vorhergehenden Messung der Detektionseinrichtung zur Überwachung der Laserstrahlqualität aufweisen. Anstelle einer vorhergehenden Messung oder zusätzlich kann eine Messung durch Verwendung einer standardisierten Lichtquelle verwendet werden. Die standardisierte Lichtquelle kann auch zur Prüfung und/oder Kalibrierung der Detektionseinrichtung verwendet werden.
Die Vorrichtung 60 kann auch eine Maske 68 aufweisen, die vor der Detektionseinrichtung angeordnet ist, um selektiv mindestens einen Teil des Laserstrahls von der Detektionseinrichtung zu abzuhalten. Die Maske 68 kann eine Schlitzmaske sein, die lateral quer zur Achse des Laserstrahls bewegt wird. Gemäß eines Aspekts wird die Schlitzmaske mindestens von einem Rand des Laserstrahls zum gegenüberliegenden Rand bewegt. Die Bewegung der Schlitzmaske kann mit Hilfe eines Schrittmotors erreicht werden. 7a zeigt eine exemplarische Maske, die anfänglich den kompletten Laserstrahl abschattet und sich allmählich oder schrittweise in die Richtung des Pfeils bewegt, d. h. zur rechten Seite in der Figur. In 7b wird die Energieverteilung für acht unterschiedliche Positionen einer Schlitzmaske dargestellt, die in Schritten von 0,25 mm bewegt wird. Wie aus dem Diagramm entnommen werden kann, wurde ein Hartfleck von 2 mm verwendet, und 8 Messungen wurden vorgenommen. Die Messungen zeigen, daß die Zunahme des kreisförmigen Laserflecks nicht in einer linearen Weise zunimmt, sondern eine s-Form aufweist. Dies ist auf die Tatsache zurückzuführen, daß in den ersten und den letzten Messungen nur eine verhältnismäßig kleine Energie änderung gemessen wird. Diese Meßdaten können mit Bezugswerten verglichen werden, und folglich kann sowohl die Gesamtenergie des Laserstrahls als auch die Energieverteilung gemessen werden. Auf diese Weise kann auch eine Fehlausrichtung des Lasers detektiert werden.
Die Maske 68 kann außerdem eine Irisblende mit einem einstellbaren Öffnungsdurchmesser sein. Es kann dann eine Laserfleckenergieverteilung von der Mitte des Strahls zur Randzone oder umgekehrt festgestellt werden. Wie in 8 dargestellt, kann die Irisblende eine bestimmte Anzahl von Öffnungspositionen aufweisen, um die Laserenergie in der jeweiligen Blendeneinstellung zu detektieren. 8a stellt einen Weichflecklaserstrahl und 8b einen Hartflecklaserstrahl dar. Die jeweilige theoretische Energieverteilung wird in 9 gezeigt, wobei die x-Achse den Öffnungsdurchmesser der Irisblende betrifft und die y-Achse die relative Energie in willkürlichen Einheiten (w. E.) betrifft, die durch die Detektionseinrichtung detektiert wird. Eine Energiemessung wird von 0 mm zu 2 mm alle 0,25 mm durchgeführt. Der linke Teil jedes Balkens zeigt die Energie eines Hartflecks von 2 mm und der rechte Teil eines Weichflecks von 2 mm. Wie aus den Meßwerten entnommen werden kann, weist ein Weichfleck im Vergleich zum Hartfleck eine abnehmende Energie in der Randzone auf. Diese wird insbesondere aus den letzten drei Balken deutlich.
Die Maske 68 kann außerdem eine Öffnung aufweisen, die einen (nicht dargestellten) tortenstückähnlichen Ausschnitt aufweist, der allmählich oder schrittweise um eine Rotationsachse gedreht wird. Die Energie kann ähnlich zu den oben erläuterten Beispielen detektiert werden, indem Messungen an unterschiedlichen Winkelpositionen der Maske vorgenommen werden. Es kann auch eine Kombination von mehreren Maskearten angewendet werden, um unterschiedliche Energieverteilungen des Laserstrahls über den Bereich des Laserstrahls zu messen.
Mit der Maske 68 ist es möglich, die Strahlqualität zu messen, z. B. die Strahlform und die Energieverteilung. Für jede Maskenposition wird die spezifische Energie des Laserimpulses gemessen und kann mit einer vorhergehenden Messung oder einer Bezugsmessung verglichen werden. Zur Verarbeitung der Meßdaten der Detektionseinrichtung kann die Vorrichtung 60 eine Homogenitätsprüfungseinrichtung aufweisen, die die vom Maskenort/-öffnung abhängige Energieausgabe der Detektionseinrichtung mit einem gespeicherten Energiewert zur Bewertung der Strahlhomogenität vergleicht.
In 10a wird ein Weichflecklaserstrahl mit einem Randfehler dargestellt. 10b zeigt die entsprechende Energieverteilung sowohl eines theoretischen Energiesollwerts als auch eines gemessenen Energiewerts. Der Randfehler bewirkt nur in den letzten drei Öffnungsdurchmessern eine Differenz, wobei die Messung mit einem kleinen Irisblenden-Öffnungsdurchmesser, d. h. in der Randzone des Laserstrahls begonnen wird.
Es wird angemerkt, daß die oben beschriebene Vorrichtung zur Bestimmung einer Energie eines Excimer-Lasers, die ein Instrument 10 nutzt, und die Vorrichtung zur Laserenergiekalibrierung und/oder Überwachung 60 getrennt oder zusammen in ein Laserbehandlungssystem eingebaut werden können. Im letztgenannten Fall können die festgestellte Energie und/oder die Laserstrahleigenschaften verglichen werden oder kann mindestens eine Ausgabe als Bezug dienen.
Während bestimmte Ausführungsformen ausgewählt worden sind, um die Erfindung darzustellen, wird durch Fachleute verstanden werden, daß Änderungen und Modifikationen daran vorgenommen werden können, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen, der in den beigefügten Ansprüchen definiert ist.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

- US 5464960 B [0003]
- US 7211078 B [0005]

Claims

Vorrichtung zur Bestimmung einer Energie eines Excimer-Lasers, die aufweist: – ein Instrument, das einen Bereich aufweist, der mit mehreren Laserimpulsen des Excimer-Lasers unter Verwendung mindestens eines vorgegebenen Mehrfleckablationsmusters ablatiert ist, wobei der Ablationsbereich einen spezifischen Ablationsbereich aufweist, der so groß wie der Ablationsbereich ist oder kleiner; – eine Bildaufnahmeneinrichtung zur Aufnahme mindestens eines Bildes, das mindestens den spezifischen Ablationsbereich des Instruments aufweist; – eine Analyseeinrichtung zur Analyse des mindestens einen Bildes, wobei die Größe des spezifischen Ablationsbereichs ein Maß der Energie des Excimer-Lasers bereitstellt.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Mehrfleckablationsmuster durch mehrere Laserimpulse gebildet wird, die auf mindestens zwei Positionen auf dem Instrument gerichtet werden, wobei vorzugsweise jeder Laserimpuls eine andere Position auf dem Instrument aufweist.
Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Mehrfleckablationsmuster durch mehrere Laserimpulse gebildet wird, wobei die Größe einer Ablation eines Laserimpulses kleiner als der Ablationsbereich ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das Instrument mindestens eine erste Schicht aufweist, die auf einer Grundplatte angeordnet ist, wobei die erste Schicht aus einem Material besteht, das mit dem Excimer-Laser ablatiert werden kann, wobei die erste Schicht eine vorgegebene Dicke aufweist, die mit einer vorgegebenen Anzahl von Laserimpulsen ablatiert werden kann.
Vorrichtung nach Anspruch 4, wobei die erste Schicht und die Grundplatte unterschiedliche optische Eigenschaften, vorzugsweise unterschiedliche Reflexionseigenschaften und/oder Farben und/oder Farbsättigungen und/oder eine unterschiedliche Helligkeit aufweisen.
Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, wobei die mindestens erste Schicht des Instruments im spezifischen Ablationsbereich vollständig ablatiert ist, wobei der spezifische Ablationsbereich vorzugsweise so groß wie der Ablationsbereich ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei das Mehrfleckablationsmuster in mindestens eine Richtung Ablationen aufweist, die einer anderen Laserenergieanwendung über diese Richtung entsprechen.
Vorrichtung nach Anspruch 7, wobei das Mehrfleckablationsmuster eine kegelförmige Geometrie, eine spitzkerbenähnliche Form, eine liegende zylindrische Form oder eine refraktionsförmige Form aufweist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei die Bildaufnahmeneinrichtung eine Kamera aufweist, die vorzugsweise ein Farbvideokamera ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei die Analyseeinrichtung eingerichtet ist, einen Bildanalysealgorithmus zur Analyse mindestens eines Teils des Bildes zu nutzen, wobei der analysierte Teil des Bildes vorzugsweise mindestens den spezifischen Ablationsbereich aufweist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, wobei die Analyseeinrichtung eingerichtet ist, Unterschiede im Bild, vorzugsweise Unterschiede in mindestens einem der Helligkeit und/oder der Farbe und/oder der Farbsättigung zu analysieren.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, wobei die Analyseeinrichtung eingerichtet ist, den Prozentsatz des spezifischen Ablationsbereichs in Beziehung zu einem Bezugsbereich zu bestimmen, wobei der Bezugsbereich 100% beträgt.
Vorrichtung nach Anspruch 12, wobei der Bezugsbereich dem Ablationsbereich oder dem analysierten Teil des Bildes nach Anspruch 10 entspricht.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, wobei die Analyseeinrichtung eingerichtet ist, Pixel zu zählen, die in einen vorgegebenen Bereich der Helligkeit und/oder der Farbe und/oder der Farbsättigung fallen, der dem spezifischen Ablationsbereich entspricht.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, wobei die Analyseeinrichtung ferner gespeicherte Daten aufweist, die eine Größe eines spezifischen Bezugsablationsbereichs mit einer Bezugslaserstrahlenergie korrelieren, um die Energie des Laserstrahls, der die Istablation auf dem Instrument gebildet hat, beruhend auf der Istgröße des spezifischen Ablationsbereichs zu bestimmen.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, wobei die Analyseeinrichtung eingerichtet ist, die Laserstrahlenergie beruhend auf der Anzahl der gezählten Pixel auszuwerten, die in einen vorgegebenen Bereich der Helligkeit und/oder der Farbe und/oder der Farbsättigung fallen, der dem spezifischen Ablationsbereich entspricht.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, wobei das Mehrfleckablationsmuster ein erster Ablationsbereich ist und das Instrument ferner einen zweiten Ablationsbereich aufweist, der durch Verwendung eines Einzelfleckablationsmusters oder eines Doppelfleckablationsmusters gebildet ist, wobei die mindestens zwei Ablationsbereiche auf zwei unterschiedliche Positionen auf dem Instrument eingestellt sind.
Vorrichtung nach Anspruch 17, wobei die Analyseeinrichtung eingerichtet ist, den Laserfleckdurchmesser beruhend auf mindestens einen der Ablationsbereiche, vorzugsweise beruhend auf dem zweiten Ablationsbereich auszuwerten.
Vorrichtung nach Anspruch 17 oder 18, wobei die Analyseeinrichtung eingerichtet ist, die Laserabtastsystemgenauigkeit beruhend auf mindestens einem der Ablationsbereiche, vorzugsweise beruhend auf dem zweiten Ablationsbereich auszuwerten.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 19, wobei die Analyseeinrichtung eingerichtet ist, die Anwendbarkeit des Mehrfleckablationsmusters zu prüfen, indem vorzugsweise die Eigenschaften des zweiten Ablationsbereichs mit einer gespeicherten Referenz verglichen werden, die vorzugsweise ein Ablationsbereich ist, der ohne eine Bewegung des Laserabtastsystems hergestellt ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 18 bis 20, wobei die mindestens zwei Ablationsbereiche gebildet werden, indem eine unterschiedliche Anzahl von Laserimpulsen auf die Ablationsbereiche angewendet wird.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 18 bis 21, wobei der zweite Ablationsbereich während der Bildung des ersten Ablationsbereichs gebildet wird, indem vorzugsweise intermittierend Laserimpulse auf den zweiten Ablationsbereich gerichtet werden.
Laserbehandlungsvorrichtung, die eine Vorrichtung zur Bestimmung der Energie eines Excimer-Lasers nach einem der Ansprüche 1 bis 22 aufweist.
Verfahren zum Bestimmen einer Energie eines Excimer-Lasers, das die Schritte aufweist: – Aufnehmen mindestens eines Bildes, das mindestens einen spezifischen Ablationsbereich auf einem Instrument aufweist, wobei das Instrument einen Ablationsbereich aufweist, der den spezifischen Ablationsbereich aufweist, wobei der spezifische Ablationsbereich so groß wie der Ablationsbereich oder kleiner ist; – Analysieren des mindestens einen Bildes, wobei die Größe des spezifischen Ablationsbereichs ein Maß der Energie des Excimer-Lasers bereitstellt.
Verfahren nach Anspruch 24, wobei der Analyseschritt das Nutzen eines Bildanalysealgorithmus zum Analysieren mindestens eines Teils des Bildes aufweist, wobei der analysierte Teil des Bildes vorzugsweise mindestens den spezifischen Ablationsbereich aufweist.
Verfahren nach Anspruch 24 oder 25, wobei der Analyseschritt das Analysieren von Unterschieden, vorzugsweise Unterschieden mindestens eines der Helligkeit und/oder der Farbe und/oder der Farbsättigung aufweist.
Verfahren nach einem der Ansprüche 24 bis 26, wobei der Analyseschritt das Bestimmen des Prozentsatzes des spezifi schen Ablationsbereichs in Beziehung zu einem Bezugsbereich aufweist, wobei der Bezugsbereich 100% beträgt.
Verfahren nach Anspruch 27, wobei der Bezugsbereich dem Ablationsbereich oder dem analysierten Teil des Bildes nach Anspruch 24 entspricht.
Verfahren nach einem der Ansprüche 24 bis 28, wobei der Analyseschritt das Zählen von Pixeln aufweist, die in einen vorgegebenen Bereich der Helligkeit und/oder der Farbe und/oder der Farbsättigung fallen, der dem spezifischen Ablationsbereich entspricht.
Verfahren nach einem der Ansprüche 24 bis 29, wobei der Analyseschritt das Korrelieren einer Größe eines spezifischen Bezugsablationsbereichs mit einer Bezugslaserstrahlenergie und das Bestimmen der Energie des Laserstrahls, der die Istablation auf dem Instrument gebildet hat, beruhend auf der Istgröße des spezifischen Ablationsbereichs aufweist.
Verfahren nach einem der Ansprüche 24 bis 30, wobei der Analyseschritt das Zählen einer Anzahl von Pixeln, die in einen vorgegebenen Bereich der Helligkeit und/oder der Farbe und/oder der Farbsättigung fallen, der dem spezifischen Ablationsbereich entspricht, und das Bewerten der Laserstrahlenergie aufweist.
Verfahren nach einem der Ansprüche 24 bis 31, wobei der Analyseschritt das Bewerten des Laserfleckdurchmessers beruhend auf einem zweiten Ablationsbereich aufweist, der durch Verwendung eines Einzelfleckablationsmusters oder eines Doppelfleckablationsmusters gebildet wird.
Verfahren nach Anspruch 32, wobei der Analyseschritt das Bewerten der Laserabtastergenauigkeit beruhend auf mindes tens einen der Ablationsbereiche, vorzugsweise beruhend auf dem zweiten Ablationsbereich aufweist.
Verfahren nach einem der Ansprüche 30 bis 33, wobei der Analyseschritt die Überprüfung der Anwendbarkeit des Mehrfleckablationsmusters aufweist, indem vorzugsweise die Eigenschaften des zweiten Ablationsbereichs mit einer gespeicherten Referenz verglichen werden, die vorzugsweise ein Ablationsbereich ist, der ohne eine Bewegung des Laserabtastsystems hergestellt wird.
Vorrichtung zur Laserenergiekalibrierung und/oder Überwachung, die mindestens eine Detektionseinrichtung zur Detektion eines Laserstrahls und eine Bewertungseinrichtung zur Bewertung der Laserstrahlenergie beruhend auf der Datenausgabe der Detektionseinrichtung aufweist, wobei die Detektionseinrichtung mindestens ein optisches Element aufweist, das während einer Laserbehandlung im Laserstrahlweg angeordnet ist.
Vorrichtung nach Anspruch 35, wobei das optische Element Reflexions- und/oder Transmissionseigenschaften aufweist.
Vorrichtung nach Anspruch 35 oder 36, wobei das optische Element ein Spiegel und/oder eine Linse ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 35 bis 37, wobei das optische Element ein Material oder Komponenten aufweist, die einen thermoelektrischen und/oder pyroelektrischen Effekt bereitstellen.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 35 bis 38, wobei das optische Element ein Netz elektrischer Leiter aufweist, die auf und/oder in den thermoelektrischen und/oder pyroelektrischen Material oder Komponenten ausgebildet sind.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 35 bis 39, die ferner eine Vergleichseinrichtung zum Vergleichen einer Istmessung der Detektionseinrichtung mit einer vorhergehenden Messung der Detektionseinrichtung zur Überwachung der Laserstrahlqualität und/oder Energie aufweist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 35 bis 40, die ferner eine standardisierte Lichtquelle zum Prüfen und/oder Kalibrieren der Detektionseinrichtung aufweist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 35 bis 41, die ferner eine Maske aufweist, die vor der Detektionseinrichtung angeordnet ist, um mindestens einen Teils des Laserstrahls von der Detektionseinrichtung selektiv abzuhalten.
Vorrichtung nach Anspruch 42, wobei die Maske eine Schlitzmaske ist, die mindestens lateral von einem Rand des Laserstrahls zum gegenüberliegenden Rand bewegt wird.
Vorrichtung nach Anspruch 42, wobei die Maske eine Öffnung aufweist, die einen tortenstückähnlichen Ausschnitt aufweist, der gedreht wird.
Vorrichtung nach Anspruch 42, wobei die Maske eine Irisblende mit einem einstellbaren Öffnungsdurchmesser ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 42 bis 45, die ferner eine Homogenitätsprüfeinrichtung aufweist, die eingestellt ist, um die vom Maskenort/-öffnung abhängige Energieausgabe der Detektionseinrichtung mit einem gespeicherten Energiewert zur Bewertung der Strahlhomogenität zu vergleichen.
Laserbehandlungsvorrichtung, die eine Vorrichtung zur Laserenergiekalibrierung und/oder Überwachung nach einem der Ansprüche 35 bis 46 aufweist.
Laserbehandlungsvorrichtung nach Anspruch 47, wobei eine erste Detektionseinrichtung nahe einer Behandlungslaserquelle angeordnet ist und eine zweite Detektionseinrichtung nahe des Endes des Strahlwegs angeordnet ist, und ferner eine Strahlverschlechterungsmeßeinrichtung aufweist, die eingerichtet ist, mindestens eine Lasereigenschaft der ersten Detektionseinrichtung mit der zweiten Detektionseinrichtung zu vergleichen.
Laserbehandlungsvorrichtung nach Anspruch 47 oder 48, die ferner eine Vorrichtung zur Bestimmung einer Energie eines Excimer-Lasers nach einem der Ansprüche 1 bis 22 aufweist.