DE19749668A1 - Deckelaufbau einer Linearantriebsvorrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Deckelaufbau einer Linear­ antriebsvorrichtung mit einem Spindel- bzw. Schrauben- bzw. Schneckenmechanismus zum Umwandeln einer Drehbewegung in eine Linearbewegung und insbesondere einen Deckelaufbau für eine Linearantriebsvorrichtung, der ausreichend verhindern kann, daß in einem Spindelbereich der Vorrichtung verwendetes Schmiermittel spritzt oder tropft, und vermeiden kann, daß Staub oder andere unerwünschte Teilchen in den Spindelbereich in der Linearantriebsvorrichtung eintreten und darin festkle­ ben.

Eine Linearantriebsvorrichtung, auf die sich die Erfin­ dung bezieht, hat eine Funktion zur Umwandlung der Bewegungs­ richtung, um eine Drehbewegung in eine Linearbewegung umzu­ wandeln. Verwendet wird eine Linearantriebsvorrichtung in vielfältigen Anwendungsbereichen, z. B. in einem IC-Prüfmani­ pulator zum Prüfen von Halbleiterbausteinen. Ein IC-Prüfma­ nipulator transportiert zu prüfende IC-Bausteine zu einem Prüfkopf eines IC-Prüfsystems und stellt mechanische und elektrische Verbindungen zwischen den IC-Bausteinen und Prüf­ verbindern im Prüfkopf her. Ferner transportiert der IC-Ma­ nipulator die geprüften IC-Bausteine wieder zu Bausteinmaga­ zinen, um die IC-Bausteine aufgrund der Prüfergebnisse zu sortieren.

In einem solchen IC-Prüfmanipulator wird eine Linearan­ triebsvorrichtung z. B. verwendet, um die Prüfverbinder zu Stiften der IC-Bausteine zu führen und elektrische Verbindun­ gen zwischen ihnen herzustellen. Aufgrund der hohen Geschwin­ digkeit und hohen Funktionalität der IC-Bausteine muß die elektrische Verbindung zwischen den zu prüfenden IC-Baustei­ nen und den IC-Prüfverbindern fehlerfrei hergestellt werden, um die IC-Bausteine durch das IC-Prüfsystem vollständig zu bewerten.

In einer solchen Linearantriebsvorrichtung ist ein Schmiermittel, z. B. Fett, auf einen Spindelbereich aufgetra­ gen, um Verschleiß und Reibung zu senken sowie Wärmeerzeugung zu verhindern. Allerdings kann aufgrund der schnellen Drehbe­ wegung einer Spindelwelle oder eines anderen Mechanismus Schmiermittel spritzen oder tropfen. Dieses Spritzen und Tropfen des Schmiermittels ist in einer solchen Vorrichtung wie einem IC-Prüfmanipulator unerwünscht, da es die Prüflei­ stung der IC-Bausteine oder andere in der Nähe befindliche Teile oder Mechanismen beeinträchtigen kann.

Außerdem können Staub oder andere unerwünschte Objekte aus dem Umgebungsbereich in das Innere der Linearantriebsvor­ richtung gelangen. Staub oder Objekte dieser Art können sich auf dem Spindelbereich der Linearantriebsvorrichtung ablagern und ansammeln, was die Zuverlässigkeit der Vorrichtung senkt. Daher ist in einer Linearantriebsvorrichtung ein Deckel oder eine andere Einrichtung vorgesehen, um das Schmiermittel in der Vorrichtung zu halten und zu verhindern, daß Staub u. a. in die Vorrichtung eindringt.

Ein Beispiel für einen Deckelaufbau für diese Zwecke wird für eine herkömmliche Linearantriebsvorrichtung gemäß Fig. 5 und 6 erläutert. Fig. 5 ist eine perspektivische Ex­ plosionsansicht eines herkömmlichen Beispiels für eine Line­ arantriebsvorrichtung, wobei ein Decke vorgesehen ist, um Spritzen oder Austreten von Schmiermittel aus dem Spindelbe­ reich der Vorrichtung nach außen zu verhindern und zu unter­ binden, daß Staub in den Spindelbereich der Vorrichtung ein­ dringt und dort festklebt.

Das Beispiel von Fig. 5 und 6 weist auf: einen Hauptrah­ mendeckel 80 mit Endplatten 87, einen an den Endplatten 87 angeordneten Drehantriebsmechanismus 90, eine mit dem Drehan­ triebsmechanismus 90 verbundene Spindel bzw. Schraubenwelle bzw. Schneckenwelle 50, einen mit der Spindel 50 verbundenen Bewegungsrichtungswandler 30, einen mit dem Bewegungsrich­ tungswandler 30 verbundenen Außenübertragungsblock 35 und ei­ nen Spindelhauptdeckel 38.

Die Spindel 50 ist eine Welle mit Spiralgewinden zum Übertragen einer Drehbewegung vom Drehantriebsmechanismus 90 zum Bewegungsrichtungswandler 30. Beide Enden der Spindel 50 sind z. B. in Kugellagern 84a, 84b gelagert und mit ihnen verbunden, um frei drehen zu können. Der Drehantriebsmecha­ nismus 90, z. B. ein Motor, ist mit einem Ende der Spindel 50 verbunden. Die Spindel 50 nimmt positive oder negative Dreh­ kräfte durch den Drehantriebsmechanismus 90 auf. Schmiermit­ tel, z. B. Fett, ist auf den durch die Spindel 50 und den Be­ wegungsrichtungswandler 30 gebildeten Bereich aufgetragen, um die Bewegungen relativ zueinander zu schmieren.

Beim Bewegungsrichtungswandler 30 handelt es sich um ei­ nen Mechanismus, der eine Drehbewegung in eine Linearbewegung umwandelt. Eine Kugelmutter 31 nimmt die Drehbewegung der Spindel 50 auf. Die Kugelmutter 31 ist am Bewegungsrichtungs­ wandler 30 befestigt. Beide Seiten des Bewegungsrichtungs­ wandlers 30 sind durch eine Linearführung 82 am Hauptrahmen­ deckel 80 entlang gestützt. Damit kommt eine Linearbewegung in Längsrichtung der Spindel 50 zustande. Als Folge wird die zur Spindel 50 geführte Drehbewegung in die Linearbewegung des Wandlers 30 umgewandelt. Wenngleich nicht gezeigt, ist ein weiterer Mechanismus, z. B. eine Führungsschiene o. ä., vorgesehen, um den Bewegungsrichtungswandler 30 genau zu füh­ ren und zu positionieren.

Mit dem Bewegungsrichtungswandler 30 ist der Außenüber­ tragungsblock 35 verbunden, um die umgewandelte Linearbewe­ gung zu Außenkomponenten zu übertragen. Beispielsweise kann ein Übertragungsflansch 37 am Außenübertragungsblock 35 zur Verbindung mit den Außenkomponenten vorhanden sein, um die Linearbewegung bereitzustellen. Fig. 15a zeigt eine Quer­ schnittansicht im zusammengestellten Zustand an einer Linie A-A von Fig. 5, wo der Außenübertragungsblock 35 und der Be­ wegungsrichtungswandler 30 aneinander befestigt sind.

Der Spindelhauptdeckel 38 ist an der Linearantriebsvor­ richtung durch Befestigen seiner Längsenden an den Endplatten 87 angeordnet. Der Hauptdeckel 38 ist so konfiguriert, daß die Linearbewegung der Außenübertragung 37 nicht durch den Deckel 38 gestört wird. Das auf die Spindel 50 aufgetragene Schmiermittel kann wegen der schnellen Drehung der Spindel 50 spritzen. Letztlich kann das Schmiermittel durch Schwerkraft herabfallen, obwohl keine Drehbewegung der Spindel 50 vor­ liegt.

Daher ist der Spindelhauptdeckel 38 vorgesehen, um zu verhindern, daß das Schmiermittel aus der Linearantriebsvor­ richtung nach außen spritzt. Der Spindelhauptdeckel 38 ist so konfiguriert, daß er den gesamten Bereich längs der Spindel 50 der Linearantriebsvorrichtung abdeckt. Erwartet wird da­ her, daß der Spindeldeckel 38 ein Austreten des Schmiermit­ tels durch die Linearantriebsvorrichtung zumeist verhindert.

Indes kann der Deckelaufbau von Fig. 5 und 6 manche Ab­ schnitte der Linearantriebsvorrichtung nicht abdecken. Fig. 6b ist eine Querschnittansicht im zusammengestellten Zustand an einer Linie B-B von Fig. 5 und zeigt offene Bereiche, die nicht vom Spindelhauptdeckel 38 abgedeckt werden können. Der Grund für diese Öffnungen ist, daß Koppelabschnitte 32a und 32b in Fig. 6a zwischen dem Außenübertragungsblock 35 und dem Bewegungsrichtungswandler 30 befestigt und Öffnungen 85 un­ vermeidlich sind, damit die Linearbewegung der Koppelab­ schnitte 32a und 32b an der Spindel 5c entlang stattfinden kann.

Folglich kann das Schmiermittel aus den Öffnungen 85 austreten, was für einen praktischen Einsatz unzweckmäßig ist. Zum Beispiel kann das Schmiermittel unzureichende elek­ trische Verbindungen zwischen den IC-Bausteinstiften und dem Prüfverbinder verursachen, wenn die Linearantriebsvorrichtung im IC-Prüfmanipulator verwendet wird. Ferner kann der außer­ halb der Linearantriebsvorrichtung erzeugte Staub durch die Öffnungen 85 eindringen und sich auf der Oberfläche des Spin­ delbereichs in der Linearantriebsvorrichtung ablagern. Daher ist beim herkömmlichen Aufbau der Linearantriebsvorrichtung von Fig. 5 und 6 problematisch, daß Schmiermittel oder Staub die Zuverlässigkeit der Vorrichtung selbst sowie der umgeben­ den Komponenten verringern.

Obgleich nicht gezeigt, weist ein weiteres Beispiel für einen herkömmlichen Aufbau zum Verhindern des Schmiermittel­ austritts aus der Linearantriebsvorrichtung einen balgartigen Deckel auf. Ideal zum Verhindern des Schmiermittelaustritts ist ein zylindrischer Deckel, der das Gehäuse der Linearan­ triebsvorrichtung vollkommen abdichten und sich je nach Bewe­ gung der Linearantriebsvorrichtung dehnen oder zusammenziehen kann. Indes ist an jedem Ende der Linearbewegung ein Raum für den balgartigen Deckel erforderlich, wenn der Balg zusammen­ gezogen ist. Dadurch verkürzt sich die Länge der Linearbewe­ gung. Soll die Länge der Linearbewegung gleich bleiben, muß die Gesamtlänge der Linearantriebsvorrichtung erhöht werden.

Daher besteht eine Aufgabe der Erfindung darin, einen Deckelaufbau einer Linearantriebsvorrichtung bereitzustellen, der ausreichend verhindern kann, daß Schmiermittel aus der Linearantriebsvorrichtung nach außen spritzt und tropft, ohne die Außenlänge der Vorrichtung zu erhöhen.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, einen Deckelaufbau für eine Linearantriebsvorrichtung bereitzustel­ len, der ausreichend verhindern kann, daß Staub oder andere Teilchen in die Linearantriebsvorrichtung eindringen, um die Zuverlässigkeit der Vorrichtung aufrechtzuerhalten.

Eine nächste Aufgabe der Erfindung besteht darin, einen Deckelaufbau für eine Linearantriebsvorrichtung bereitzustel­ len, der eine ausreichende Abdichtung der Linearantriebsvor­ richtung während der Linearbewegungen erreichen kann, ohne die Herstellungskosten unangemessen zu erhöhen.

Zur Lösung dieser Aufgaben ist die Erfindung mit einem oder mehreren Deckeln versehen, mit dem (denen) die zum Über­ tragen der Linearbewegung zu einer Außenkomponente unver­ zichtbaren Öffnungen abgedeckt sind.

In einem ersten Aspekt der Erfindung weist ein Deckel­ aufbau einer Linearantriebsvorrichtung auf: einen Bewegungs­ richtungswandler zum Aufnehmen einer Drehbewegung einer Spin­ del bzw. Schraubenwelle bzw. Schneckenwelle und Umwandeln der Drehbewegung in eine Linearbewegung, einen Rahmendeckel zum Unterbringen des Bewegungsrichtungswandlers und der Spindel, einen mit dem Bewegungsrichtungswandler verbundenen Außen­ übertragungsblock zum Übertragen der Linearbewegung zu einer Außenkomponente, einen Spindeldeckel, der am Rahmendeckel auf bestimmte Weise zwischen dem Bewegungsrichtungswandler und dem Außenübertragungsblock der Länge des Rahmendeckels nach angeordnet ist, und ein Paar Hilfsdeckel, die jeweils an ei­ ner Außenwand des Rahmendeckels zum Abdecken von Öffnungen zwischen dem Rahmendeckel und dem Spindeldeckel der Länge des Rahmendeckels nach angeordnet sind.

In einem weiteren Aspekt der Erfindung weist ein Deckel­ aufbau einer Linearantriebsvorrichtung auf: einen Bewegungs­ richtungswandler zum Aufnehmen einer Drehbewegung einer Spin­ del und Umwandeln der Drehbewegung in eine Linearbewegung, einen Rahmendeckel zum Unterbringen des Bewegungsrichtungs­ wandlers und der Spindel, wobei der Rahmendeckel eine U-Form im Querschnitt hat und ein Boden von ihm an einer senkrechten Wand eines Systems angeordnet ist, für das die Linearan­ triebsvorrichtung verwendet wird, einen mit dem Bewegungs­ richtungswandler verbundenen Außenübertragungsblock zum Über­ tragen der Linearbewegung zu einer Außenkomponente, wobei der Außenübertragungsblock einen Vorsprung am Boden des Rahmen­ deckels im wesentlichen parallel zur senkrechten Wand des Systems hat, und einen Deckel, der an einer Außenwand des Rah­ mendeckels an seinem einem Ende der Länge des Rahmendeckels nach angeordnet ist, wobei das andere Ende des Deckels in en­ ger Nachbarschaft mit dem Vorsprung des Außenübertragungs­ blocks am Boden des Rahmendeckels positioniert ist.

In noch einem weiteren Aspekt der Erfindung weist der Deckelaufbau für eine Linearantriebsvorrichtung auf: einen Bewegungsrichtungswandler zum Aufnehmen einer Drehbewegung einer Spindel und Umwandeln der Drehbewegung in eine Linear­ bewegung, einen Rahmendeckel zum Anordnen des Bewegungsrich­ tungswandlers und der Spindel daran und mit einer Linearbewe­ gungsführung der Länge des Rahmens nach zum Führen des Bewe­ gungsrichtungswandlers, wobei ein Boden des Rahmendeckels an einer senkrechten Wand eines Systems angeordnet ist, für das die Linearantriebsvorrichtung verwendet wird, einen mit dem Bewegungsrichtungswandler verbundenen Außenübertragungsblock zum Übertragen der Linearbewegung zu einer Außenkomponente, wobei der Außenübertragungsblock einen Vorsprung am Boden der Linearantriebsvorrichtung im wesentlichen parallel zur senk­ rechten Wand des Systems hat, einen ersten Deckel, der an ei­ nem oberen Ende des Rahmendeckels an seinem einem Ende der Länge des Rahmendeckels nach angeordnet ist, wobei das andere Ende des Deckels in enger Nachbarschaft mit dem Vorsprung des Außenübertragungsblocks Außenübertragungsblocks am Boden der Linearantriebsvorrichtung positioniert ist, und einen zweiten Deckel, der an einem unteren Ende des Rahmendeckels zwischen einem durch den Bewegungsrichtungswandler und den Außenüber­ tragungsblock gebildeten Raum angeordnet ist.

Erfindungsgemäß kann der Deckelaufbau der Linearan­ triebsvorrichtung ausreichend verhindern, daß Schmiermittel aus der Linearantriebsvorrichtung nach außen spritzt und tropft, ohne die Länge der Vorrichtung zu erhöhen. Der Dec­ kelaufbau der Erfindung kann ausreichend gegen Außenstaub oder andere Teilchen abdichten, um die Zuverlässigkeit der Vorrichtung aufrechtzuerhalten. Außerdem kann der Deckelauf­ bau der Erfindung eine ausreichende Abdichtung der Linearan­ triebsvorrichtung während der Linearbewegung ohne zu starke Erhöhung der Herstellungskosten erreichen. Da der balgartige Deckel der herkömmlichen Technologie nicht notwendig ist, wird die Effektivlänge der Linearbewegung nicht durch den Deckelaufbau der Erfindung beschränkt.

Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung werden nach­ stehend anhand der Zeichnungen näher erläutert.

Fig. 1a ist eine Querschnittansicht eines Deckelaufbaus und einer Linearantriebsvorrichtung einer ersten Ausführungs­ form der Erfindung an einer Linie A-A von Fig. 2.

Fig. 1b ist eine Querschnittansicht eines Deckelaufbaus und einer Linearantriebsvorrichtung der ersten Ausführungs­ form der Erfindung an einer Linie B-B von Fig. 2.

Fig. 2 ist eine perspektivische Explosionsansicht der ersten Ausführungsform der Erfindung.

Fig. 3 ist eine Querschnittansicht eines Deckelaufbaus und einer Linearantriebsvorrichtung einer zweiten Ausfüh­ rungsform der Erfindung, wobei der Deckel an der Seitenwand der Vorrichtung befestigt ist.

Fig. 4 ist eine Querschnittansicht eines Deckelaufbaus und einer Linearantriebsvorrichtung einer dritten Ausfüh­ rungsform der Erfindung.

Fig. 5 ist eine perspektivische Explosionsansicht eines herkömmlichen Beispiels für einen Deckelaufbau und eine Line­ arantriebsvorrichtung.

Fig. 6a ist eine Querschnittansicht des herkömmlichen Beispiels an einer Linie A-A von Fig. 5.

Fig. 6b ist eine Querschnittansicht des herkömmlichen Beispiels an einer Linie B-B von Fig. 5.

Fig. 1 und 2 zeigen eine erste Ausführungsform eines Deckelaufbaus einer Linearantriebsvorrichtung der Erfindung. Die Linearantriebsvorrichtung weist auf: einen Hauptrahmen­ deckel 80 mit Endplatten 87, einen an den Endplatten 87 ange­ ordneten Drehantriebsmechanismus 90, eine mit dem Drehan­ triebsmechanismus 90 verbundene Spindel 50, einen mit der Spindel 50 verbundenen Bewegungsrichtungswandler 30, einen mit dem Bewegungsrichtungswandler 30 verbundenen Außenüber­ tragungsblock 35, einen Spindelhauptdeckel 38 sowie Deckel 10a und 10b. Somit sind dem herkömmlichen Beispiel von Fig. 5 und 6 die Deckel 10a und 10b zugefügt.

Die Deckel 10a und 10b dienen zum Abdichten der in Fig. 6b gezeigten Öffnungen 85, die zwischen dem Spindelhauptdec­ kel 38 und dem Hauptrahmendeckel 80 gebildet sind. Die Deckel 10a und 10b sind an entsprechenden Seiten des Haupt­ rahmendeckels 80 so befestigt, daß sie nicht die Linearbewe­ gung des Außenübertragungsblocks 35 stören. Da die Öffnungen 85 unversehrt sind, ist die Linearbewegung des Bewegungsrich­ tungswandlers 30 und des Außenübertragungsblocks 35 nicht durch die Deckel 10a und 10b beeinträchtigt.

Gemäß Fig. 1 und 2 sind die Deckel 10a und 10b so konfi­ guriert, daß sie in Kombination mit dem Spindelhauptdeckel 38 ausreichend den gesamten Bereich der Öffnungen abdecken. Zu­ sätzlich sind die Deckel 10a und 10b sowie der Spindelhaupt­ deckel 38 so positioniert, daß zwischen ihnen gebildete Spal­ te 86 (Fig. 1b) möglichst klein sind. Folglich ist der Innen­ mechanismus, z. B. die Spindel 50, der Linearantriebsvorrich­ tung vollständig gegenüber den Außenkomponenten isoliert, so daß Schmiermittel nicht aus der Vorrichtung austritt und Au­ ßenstaub nicht in die Vorrichtung gelangt.

Im vorstehenden Beispiel sind der Bewegungsrichtungs­ wandler 30 und der Außenübertragungsblock 35 getrennt vorge­ sehen und befestigt, um ein Linearbewegungsteil der Vorrich­ tung zu bilden. Allerdings können diese Komponenten auch in einem Stück als Einzelkomponente gebildet sein.

Obwohl gemäß der Querschnittansicht von Fig. 1b die Öff­ nungen für die Linearbewegung der Vorrichtung unabdingbar sind, sind Schmiermittelaustritt und Staubeintritt aus bzw. in die Vorrichtung durch die Deckel 10a und 10b in Kombinati­ on mit dem Hauptdeckel 38 des Spindelbereichs erheblich un­ terdrückt. Damit hat der Deckelaufbau der Erfindung von Fig. 1 und 2 einen ausreichenden Abdichtungseffekt zur praktischen Verwendung. Der Deckelaufbau des Linearantriebs der Erfindung kann verhindern, daß Schmiermittel aus der Vorrichtung spritzt oder tropft oder sich Staub im Spindelbereich abla­ gert. Damit erhöht sich die Zuverlässigkeit der Linearan­ triebsvorrichtung, ohne die Effektivlänge der Linearbewegung zu erhöhen, da der Balg der herkömmlichen Technologie nicht notwendig ist.

In Fig. 3 ist eine zweite Ausführungsform der Erfindung als Querschnittansicht eines Deckelaufbaus und einer Linea­ rantriebsvorrichtung gezeigt. Die Linearantriebsvorrichtung weist auf: einen Hauptrahmendeckel 80b, der U-förmig ist und Seitenwände 88 hat, eine Spindel 50, einen Bewegungsrich­ tungswandler 30b und einen Deckel 10c. Obwohl dies nicht dar­ gestellt ist, hat der Hauptrahmendeckel 80b Endplatten und einen Drehantriebsmechanismus 90 wie in Fig. 2 oder 5. Die Linearantriebsvorrichtung hat einen Außenübertragungsblock 37b, der sich an der Seitenwand 88 außen am Hauptrahmen 80b entlang bewegt. Der Außenübertragungsblock 37b ist mit dem Bewegungsrichtungswandler 30b gemäß Fig. 3 verbunden.

Das Beispiel von Fig. 3 ist so gestaltet, daß der Boden des U-förmigen Hauptrahmendeckels 80b an einer Seitenwand 93 eines Systems angeordnet ist, für das die Linearantriebsvor­ richtung verwendet wird. Somit ist das Paar Seitenwände 88 des Hauptrahmendeckels 80b in waagerechter Richtung gemäß der Darstellung in Fig. 3 angeordnet. Der Außenübertragungsblock 37b ist nahe der unteren Seitenwand 88 positioniert und ragt von ihr vor. Der Bewegungsrichtungswandler 30b wird durch ei­ ne Linearbewegungsführung 82b des Hauptrahmens 80b gestützt und geführt, um die Bewegung in Längsrichtung der Linearan­ triebsvorrichtung zu gewährleisten.

Vorzugsweise ist ein Schmiermittelspeicher 81b am Boden des Innenraums des Hauptrahmens 80b vorgesehen. Wenngleich nicht gezeigt, ist an jedem Ende des Schmiermittelspeichers 81b eine z. B. durch die Endplatte 87 von Fig. 2 und 5 gebil­ dete Wand so vorgesehen, daß das Schmiermittel nicht aus­ fließt. Ferner ist ein Vorsprung 83 vorzugsweise auf der In­ nenfläche des Bewegungsrichtungswandlers 30 auf die in Fig. 3 gezeigte Weise vorgesehen. Damit wird das Schmiermittel im Speicher 81b gespeichert.

Der Deckel 10c ist ausreichend lang, um den gesamten Be­ reich auf dem Hauptrahmen 80b so abzudecken, daß die Spindel 50 nicht der Außenatmosphäre ausgesetzt ist. Der Deckel 10c ist am Hauptrahmen so angeordnet, daß die zur Linearbewegung des Außenübertragungsblocks 37b notwendigen Öffnungen gewähr­ leistet sind. An einem Ende ist der Deckel 10c am Hauptrahmen 80b befestigt, während das andere Ende aufwärts weisend so ausgebildet sein kann, daß es als weiterer Schmierölspeicher fungiert. Vorzugsweise ist das aufwärts weisende Ende des Deckels 10c in eine am Außenübertragungsblock 37b gebildete Aussparung 36 eingefügt, um eine bessere Schmiermittelabdich­ tung vorzusehen.

Wie zuvor beschrieben wurde, sind die Öffnungen zum Rea­ lisieren der Linearbewegung des Bewegungsrichtungswandlers 30b und des Außenübertragungsblocks 37b gewährleistet. Zu­ gleich kann der Deckelaufbau der Erfindung ausreichend ver­ hindern, daß Schmiermittel aus der Linearantriebsvorrichtung austritt oder unerwünschte Objekte durch die Öffnungen ein­ dringen.

Eine dritte Ausführungsform der Erfindung ist in Fig. 4 gezeigt, die eine Querschnittansicht eines Deckelaufbaus und einer Linearantriebsvorrichtung darstellt. Die Linearan­ triebsvorrichtung der dritten Ausführungsform weist einen Be­ wegungsrichtungswandler 30c an einem Rahmen 80, einen ersten Deckel 10d, einen zweiten Deckel 10e und einen Außenübertra­ gungsblock 37c auf.

Ähnlich wie im Beispiel von Fig. 3 ist die Linearan­ triebsvorrichtung von Fig. 4 so gestaltet, daß sie an einer Seitenwand 93 anzuordnen ist, die eine senkrechte Wand eines Systems ist, für das die Linearantriebsvorrichtung verwendet wird. In der Mitte des Rahmens 80 ist eine Führungsrille bzw. -nut 95 in Längsrichtung vorgesehen, um die Bewegung des Be­ wegungsrichtungswandlers 30c zu führen. Der Bewegungsrich­ tungswandler 30c hat einen Vorsprung 82c zum Einsetzen in die Führungsrille 95, so daß der Bewegungsrichtungswandler 30c, geführt durch die Führungsrille 95, an der Spindel 50 entlang gleitet.

In dieser Ausführungsform hat der erste Deckel 10d ein Ende, das am Rahmen 80c befestigt ist und den Bewegungsrich­ tungswandler 30c sowie die Spindel 50 abdeckt. Das andere En­ de des ersten Deckels 10d ist am Boden der Linearantriebsvor­ richtung nahe dem Außenübertragungsblock 37c positioniert. Ähnlich wie im Beispiel von Fig. 3 weist das andere Ende des ersten Deckels 10d aufwärts, so daß es als Schmierölspeicher dienen kann. Obwohl dies nicht dargestellt ist, sind an bei­ den Enden des ersten Deckels 10d Wände vorgesehen, so daß das gespeicherte Öl nicht ausfließt.

Der zweite Deckel 10e ist am Rahmen 80c angeordnet und hat eine Form gemäß Fig. 4. Das Ende des zweiten Deckels 10e ist in einer am Bewegungsrichtungswandler 30c gebildeten Aus­ sparung befestigt, so daß es als Schmiermittelspeicher wirken kann. Wenngleich dies nicht gezeigt ist, sind Seitenwände an beiden Enden des zweiten Deckels 10e vorgesehen, so daß das gespeicherte Öl nicht ausfließt.

In dieser Ausführungsform sind die Öffnungen gewährlei­ stet, so daß die Linearbewegung des Außenübertragungsblocks 37c und des Bewegungsrichtungswandlers 30c nicht gestört ist. Gleichzeitig kann der Deckelaufbau der Erfindung ausreichend verhindern, daß Schmiermittel aus der Linearantriebsvorrich­ tung austritt oder unerwünschte Objekte durch die Öffnungen eindringen.

Wie zuvor erläutert wurde, ist die Erfindung durch fol­ gendes gekennzeichnet: Die für die Linearbewegung des Außen­ übertragungsblocks 37 notwendigen Öffnungen sind beibehalten. Der Deckelaufbau für die Linearantriebsvorrichtung ist durch einen oder mehrere Deckel so ausgebildet, daß die Spindel nicht der Außenatmosphäre ausgesetzt ist. Damit lassen sich die Schmierölabdichtung sowie der Schutz vor Staub oder ande­ ren äußeren Fremdstoffen erreichen.

In den vorstehenden Ausführungsformen werden die Kugel­ mutter und die Spindel zur Umwandlung der Drehbewegung in die Linearbewegung verwendet. Indes sind auch andere Aufbauten möglich, um die Drehbewegung in die Linearbewegung umzuwan­ deln.

Bei Einsatz der Linearantriebsvorrichtung in einem IC-Prüfmanipulator werden ideale elektrische Kontakte zwischen den Prüfverbindern und den IC-Bausteinstiften hergestellt, da der Schmiermittelaustritt aus der Linearantriebsvorrichtung ausreichend unterdrückt ist. Damit können die IC-Bausteine in Kombination mit dem Halbleiterprüfsystem vollständig bewertet werden. Da die Linearantriebsvorrichtung aufgrund des Decke­ laufbaus der Erfindung gegenüber Außenstaub oder anderen un­ erwünschten Teilchen immun ist, kann der die Linearantriebs­ vorrichtung verwendende IC-Prüfmanipulator eine längere Le­ bensdauer sowie eine höhere Zuverlässigkeit erreichen.

Wie zuvor für jede der Ausführungsformen beschrieben wurde, kann der Deckelaufbau der Linearantriebsvorrichtung der Erfindung ausreichend verhindern, daß Schmiermittel aus der Linearantriebsvorrichtung nach außen spritzt und tropft, ohne die Länge der Vorrichtung zu erhöhen. Der Deckelaufbau der Erfindung kann ausreichend gegen Außenstaub oder andere Teilchen abdichten, um die Zuverlässigkeit der Vorrichtung aufrechtzuerhalten. Außerdem kann der Deckelaufbau der Erfin­ dung eine ausreichende Abdichtung der Linearantriebsvorrich­ tung während der Linearbewegungen erreichen, ohne die Her­ stellungskosten übermäßig zu erhöhen. Da der balgartige Dec­ kel der herkömmlichen Technologie unnötig ist, wird die Ef­ fektivlänge der Linearbewegung durch den Deckelaufbau der Er­ findung nicht beschränkt.

Claims (10)

1. Deckelaufbau einer Linearantriebsvorrichtung zum Umwan­ deln einer Drehbewegung in eine Linearbewegung mit:
einem Bewegungsrichtungswandler zum Aufnehmen einer Drehbewegung einer Spindel und Umwandeln der Drehbewe­ gung in eine Linearbewegung;
einem Rahmendeckel zum Unterbringen des Bewegungsrich­ tungswandlers und der Spindel;
einem mit dem Bewegungsrichtungswandler verbundenen Au­ ßenübertragungsblock zum Übertragen der Linearbewegung zu einer Außenkomponente;
einem Spindeldeckel, der an dem Rahmendeckel auf be­ stimmte Weise zwischen dem Bewegungsrichtungswandler und dem Außenübertragungsblock der Länge des Rahmendeckels nach angeordnet ist; und
einem Paar Hilfsdeckel, die jeweils an einer Außenwand des Rahmendeckels zum Abdecken von Öffnungen zwischen dem Rahmendeckel und dem Spindeldeckel der Länge des Rahmendeckels nach angeordnet sind.

2. Deckelaufbau nach Anspruch 1, wobei der Außenübertra­ gungsblock einen Vorsprung in der Mitte des Außenüber­ tragungsblocks hat, um mit der Außenkomponente verbunden zu werden, und Kanten des Paars Hilfsdeckel in enger Nachbarschaft zu dem Vorsprung positioniert sind.

3. Deckelaufbau nach Anspruch 2, wobei die Kanten des Paars Hilfsdeckel nach unten parallel zu den entsprechenden Seiten des Vorsprungs des Außenübertragungsblocks gebo­ gen sind.

4. Deckelaufbau nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei der Bewegungsrichtungswandler ein Paar Rillen parallel zu dem Seitenrahmen des Rahmendeckels hat und Kanten des Spindeldeckels gebogen sind, um sich in die Rillen des Bewegungsrichtungswandlers einzupassen.

5. Deckelaufbau einer Linearantriebsvorrichtung zum Umwan­ deln einer Drehbewegung in eine Linearbewegung mit:
einem Bewegungsrichtungswandler zum Aufnehmen einer Drehbewegung einer Spindel und Umwandeln der Drehbewe­ gung in eine Linearbewegung;
einem Rahmendeckel zum Unterbringen des Bewegungsrich­ tungswandlers und der Spindel, wobei der Rahmendeckel eine U-Form im Querschnitt hat und ein Boden von ihm an einer senkrechten Wand eines Systems angeordnet ist, für das die Linearantriebsvorrichtung verwendet wird;
einem mit dem Bewegungsrichtungswandler verbundenen Au­ ßenübertragungsblock zum Übertragen der Linearbewegung zu einer Außenkomponente, wobei der Außenübertragungs­ block einen Vorsprung an dem Boden des Rahmendeckels im wesentlichen parallel zu der senkrechten Wand des Systems hat; und
einem Deckel, der an einer Außenwand des Rahmendeckels an seinem einem Ende der Länge des Rahmendeckels nach angeordnet ist, wobei das andere Ende des Deckels in en­ ger Nachbarschaft mit dem Vorsprung des Außenübertra­ gungsblocks an dem Boden des Rahmendeckels positioniert ist.

6. Deckelaufbau nach Anspruch 5, wobei der Rahmendeckel ei­ ne obere waagerechte Wand und eine untere waagerechte Wand bildet, wenn der Boden des Rahmendeckels mit der senkrechten Wand des Systems verbunden ist, wobei eine Innenfläche der unteren Wand gebogen ist, um Schmiermit­ tel in der Linearantriebsvorrichtung aufzunehmen.

7. Deckelaufbau nach Anspruch 5 oder 6, wobei der Außen­ übertragungsblock eine Rille parallel zu dem Rahmendec­ kel und in enger Nachbarschaft zu dem Vorsprung hat und das andere Ende des Deckels nach oben weist und sich in die Rille des Außenübertragungsblocks einpaßt.

8. Deckelaufbau einer Linearantriebsvorrichtung zum Umwan­ deln einer Drehbewegung in eine Linearbewegung mit:
einem Bewegungsrichtungswandler zum Aufnehmen einer Drehbewegung einer Spindel und Umwandeln der Drehbewe­ gung in eine Linearbewegung;
einem Rahmendeckel zum Anordnen des Bewegungsrichtungs­ wandlers und der Spindel daran und mit einer Linearbewe­ gungsführung der Länge des Rahmens nach zum Führen des Bewegungsrichtungswandlers, wobei ein Boden des Rahmen­ deckels an einer senkrechten Wand eines Systems angeord­ net ist, für das die Linearantriebsvorrichtung verwendet wird;
einem mit dem Bewegungsrichtungswandler verbundenen Au­ ßenübertragungsblock zum Übertragen der Linearbewegung zu einer Außenkomponente, wobei der Außenübertragungs­ block einen Vorsprung an dem Boden der Linearantriebs­ vorrichtung im wesentlichen parallel zu der senkrechten Wand des Systems hat;
einem ersten Deckel, der an einem oberen Ende des Rah­ mendeckels an seinem einem Ende der Länge des Rahmendec­ kels nach angeordnet ist, wobei das andere Ende des Dec­ kels in enger Nachbarschaft mit dem Vorsprung des Außen­ übertragungsblocks an dem Boden der Linear­ antriebsvorrichtung positioniert ist; und
einem zweiten Deckel, der an einem unteren Ende des Rah­ mendeckels zwischen einem durch den Bewegungsrichtungs­ wandler und den Außenübertragungsblock gebildeten Raum angeordnet ist.

9. Deckelaufbau nach Anspruch 8, wobei das andere Ende des ersten Deckels nach oben gebogen und in enger Nachbar­ schaft zu dem Vorsprung positioniert ist.

10. Deckelaufbau nach Anspruch 8 oder 9, wobei die Linearbe­ wegungsführung eine an dem Rahmendeckel hergestellte Rille ist und sich ein Vorsprung des Bewegungsrichtungs­ wandlers in die Rille einpaßt, um zur Linearbewegung ge­ führt zu werden.