DE19749668A1 - Deckelaufbau einer Linearantriebsvorrichtung - Google Patents
Deckelaufbau einer LinearantriebsvorrichtungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Deckelaufbau einer Linear
antriebsvorrichtung mit einem Spindel- bzw. Schrauben- bzw.
Schneckenmechanismus zum Umwandeln einer Drehbewegung in eine
Linearbewegung und insbesondere einen Deckelaufbau für eine
Linearantriebsvorrichtung, der ausreichend verhindern kann,
daß in einem Spindelbereich der Vorrichtung verwendetes
Schmiermittel spritzt oder tropft, und vermeiden kann, daß
Staub oder andere unerwünschte Teilchen in den Spindelbereich
in der Linearantriebsvorrichtung eintreten und darin festkle
ben.
Eine Linearantriebsvorrichtung, auf die sich die Erfin
dung bezieht, hat eine Funktion zur Umwandlung der Bewegungs
richtung, um eine Drehbewegung in eine Linearbewegung umzu
wandeln. Verwendet wird eine Linearantriebsvorrichtung in
vielfältigen Anwendungsbereichen, z. B. in einem IC-Prüfmani
pulator zum Prüfen von Halbleiterbausteinen. Ein IC-Prüfma
nipulator transportiert zu prüfende IC-Bausteine zu einem
Prüfkopf eines IC-Prüfsystems und stellt mechanische und
elektrische Verbindungen zwischen den IC-Bausteinen und Prüf
verbindern im Prüfkopf her. Ferner transportiert der IC-Ma
nipulator die geprüften IC-Bausteine wieder zu Bausteinmaga
zinen, um die IC-Bausteine aufgrund der Prüfergebnisse zu
sortieren.
In einem solchen IC-Prüfmanipulator wird eine Linearan
triebsvorrichtung z. B. verwendet, um die Prüfverbinder zu
Stiften der IC-Bausteine zu führen und elektrische Verbindun
gen zwischen ihnen herzustellen. Aufgrund der hohen Geschwin
digkeit und hohen Funktionalität der IC-Bausteine muß die
elektrische Verbindung zwischen den zu prüfenden IC-Baustei
nen und den IC-Prüfverbindern fehlerfrei hergestellt werden,
um die IC-Bausteine durch das IC-Prüfsystem vollständig zu
bewerten.
In einer solchen Linearantriebsvorrichtung ist ein
Schmiermittel, z. B. Fett, auf einen Spindelbereich aufgetra
gen, um Verschleiß und Reibung zu senken sowie Wärmeerzeugung
zu verhindern. Allerdings kann aufgrund der schnellen Drehbe
wegung einer Spindelwelle oder eines anderen Mechanismus
Schmiermittel spritzen oder tropfen. Dieses Spritzen und
Tropfen des Schmiermittels ist in einer solchen Vorrichtung
wie einem IC-Prüfmanipulator unerwünscht, da es die Prüflei
stung der IC-Bausteine oder andere in der Nähe befindliche
Teile oder Mechanismen beeinträchtigen kann.
Außerdem können Staub oder andere unerwünschte Objekte
aus dem Umgebungsbereich in das Innere der Linearantriebsvor
richtung gelangen. Staub oder Objekte dieser Art können sich
auf dem Spindelbereich der Linearantriebsvorrichtung ablagern
und ansammeln, was die Zuverlässigkeit der Vorrichtung senkt.
Daher ist in einer Linearantriebsvorrichtung ein Deckel oder
eine andere Einrichtung vorgesehen, um das Schmiermittel in
der Vorrichtung zu halten und zu verhindern, daß Staub u. a.
in die Vorrichtung eindringt.
Ein Beispiel für einen Deckelaufbau für diese Zwecke
wird für eine herkömmliche Linearantriebsvorrichtung gemäß
Fig. 5 und 6 erläutert. Fig. 5 ist eine perspektivische Ex
plosionsansicht eines herkömmlichen Beispiels für eine Line
arantriebsvorrichtung, wobei ein Decke vorgesehen ist, um
Spritzen oder Austreten von Schmiermittel aus dem Spindelbe
reich der Vorrichtung nach außen zu verhindern und zu unter
binden, daß Staub in den Spindelbereich der Vorrichtung ein
dringt und dort festklebt.
Das Beispiel von Fig. 5 und 6 weist auf: einen Hauptrah
mendeckel 80 mit Endplatten 87, einen an den Endplatten 87
angeordneten Drehantriebsmechanismus 90, eine mit dem Drehan
triebsmechanismus 90 verbundene Spindel bzw. Schraubenwelle
bzw. Schneckenwelle 50, einen mit der Spindel 50 verbundenen
Bewegungsrichtungswandler 30, einen mit dem Bewegungsrich
tungswandler 30 verbundenen Außenübertragungsblock 35 und ei
nen Spindelhauptdeckel 38.
Die Spindel 50 ist eine Welle mit Spiralgewinden zum
Übertragen einer Drehbewegung vom Drehantriebsmechanismus 90
zum Bewegungsrichtungswandler 30. Beide Enden der Spindel 50
sind z. B. in Kugellagern 84a, 84b gelagert und mit ihnen
verbunden, um frei drehen zu können. Der Drehantriebsmecha
nismus 90, z. B. ein Motor, ist mit einem Ende der Spindel 50
verbunden. Die Spindel 50 nimmt positive oder negative Dreh
kräfte durch den Drehantriebsmechanismus 90 auf. Schmiermit
tel, z. B. Fett, ist auf den durch die Spindel 50 und den Be
wegungsrichtungswandler 30 gebildeten Bereich aufgetragen, um
die Bewegungen relativ zueinander zu schmieren.
Beim Bewegungsrichtungswandler 30 handelt es sich um ei
nen Mechanismus, der eine Drehbewegung in eine Linearbewegung
umwandelt. Eine Kugelmutter 31 nimmt die Drehbewegung der
Spindel 50 auf. Die Kugelmutter 31 ist am Bewegungsrichtungs
wandler 30 befestigt. Beide Seiten des Bewegungsrichtungs
wandlers 30 sind durch eine Linearführung 82 am Hauptrahmen
deckel 80 entlang gestützt. Damit kommt eine Linearbewegung
in Längsrichtung der Spindel 50 zustande. Als Folge wird die
zur Spindel 50 geführte Drehbewegung in die Linearbewegung
des Wandlers 30 umgewandelt. Wenngleich nicht gezeigt, ist
ein weiterer Mechanismus, z. B. eine Führungsschiene o. ä.,
vorgesehen, um den Bewegungsrichtungswandler 30 genau zu füh
ren und zu positionieren.
Mit dem Bewegungsrichtungswandler 30 ist der Außenüber
tragungsblock 35 verbunden, um die umgewandelte Linearbewe
gung zu Außenkomponenten zu übertragen. Beispielsweise kann
ein Übertragungsflansch 37 am Außenübertragungsblock 35 zur
Verbindung mit den Außenkomponenten vorhanden sein, um die
Linearbewegung bereitzustellen. Fig. 15a zeigt eine Quer
schnittansicht im zusammengestellten Zustand an einer Linie
A-A von Fig. 5, wo der Außenübertragungsblock 35 und der Be
wegungsrichtungswandler 30 aneinander befestigt sind.
Der Spindelhauptdeckel 38 ist an der Linearantriebsvor
richtung durch Befestigen seiner Längsenden an den Endplatten
87 angeordnet. Der Hauptdeckel 38 ist so konfiguriert, daß
die Linearbewegung der Außenübertragung 37 nicht durch den
Deckel 38 gestört wird. Das auf die Spindel 50 aufgetragene
Schmiermittel kann wegen der schnellen Drehung der Spindel 50
spritzen. Letztlich kann das Schmiermittel durch Schwerkraft
herabfallen, obwohl keine Drehbewegung der Spindel 50 vor
liegt.
Daher ist der Spindelhauptdeckel 38 vorgesehen, um zu
verhindern, daß das Schmiermittel aus der Linearantriebsvor
richtung nach außen spritzt. Der Spindelhauptdeckel 38 ist so
konfiguriert, daß er den gesamten Bereich längs der Spindel
50 der Linearantriebsvorrichtung abdeckt. Erwartet wird da
her, daß der Spindeldeckel 38 ein Austreten des Schmiermit
tels durch die Linearantriebsvorrichtung zumeist verhindert.
Indes kann der Deckelaufbau von Fig. 5 und 6 manche Ab
schnitte der Linearantriebsvorrichtung nicht abdecken. Fig.
6b ist eine Querschnittansicht im zusammengestellten Zustand
an einer Linie B-B von Fig. 5 und zeigt offene Bereiche, die
nicht vom Spindelhauptdeckel 38 abgedeckt werden können. Der
Grund für diese Öffnungen ist, daß Koppelabschnitte 32a und
32b in Fig. 6a zwischen dem Außenübertragungsblock 35 und dem
Bewegungsrichtungswandler 30 befestigt und Öffnungen 85 un
vermeidlich sind, damit die Linearbewegung der Koppelab
schnitte 32a und 32b an der Spindel 5c entlang stattfinden
kann.
Folglich kann das Schmiermittel aus den Öffnungen 85
austreten, was für einen praktischen Einsatz unzweckmäßig
ist. Zum Beispiel kann das Schmiermittel unzureichende elek
trische Verbindungen zwischen den IC-Bausteinstiften und dem
Prüfverbinder verursachen, wenn die Linearantriebsvorrichtung
im IC-Prüfmanipulator verwendet wird. Ferner kann der außer
halb der Linearantriebsvorrichtung erzeugte Staub durch die
Öffnungen 85 eindringen und sich auf der Oberfläche des Spin
delbereichs in der Linearantriebsvorrichtung ablagern. Daher
ist beim herkömmlichen Aufbau der Linearantriebsvorrichtung
von Fig. 5 und 6 problematisch, daß Schmiermittel oder Staub
die Zuverlässigkeit der Vorrichtung selbst sowie der umgeben
den Komponenten verringern.
Obgleich nicht gezeigt, weist ein weiteres Beispiel für
einen herkömmlichen Aufbau zum Verhindern des Schmiermittel
austritts aus der Linearantriebsvorrichtung einen balgartigen
Deckel auf. Ideal zum Verhindern des Schmiermittelaustritts
ist ein zylindrischer Deckel, der das Gehäuse der Linearan
triebsvorrichtung vollkommen abdichten und sich je nach Bewe
gung der Linearantriebsvorrichtung dehnen oder zusammenziehen
kann. Indes ist an jedem Ende der Linearbewegung ein Raum für
den balgartigen Deckel erforderlich, wenn der Balg zusammen
gezogen ist. Dadurch verkürzt sich die Länge der Linearbewe
gung. Soll die Länge der Linearbewegung gleich bleiben, muß
die Gesamtlänge der Linearantriebsvorrichtung erhöht werden.
Daher besteht eine Aufgabe der Erfindung darin, einen
Deckelaufbau einer Linearantriebsvorrichtung bereitzustellen,
der ausreichend verhindern kann, daß Schmiermittel aus der
Linearantriebsvorrichtung nach außen spritzt und tropft, ohne
die Außenlänge der Vorrichtung zu erhöhen.
Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, einen
Deckelaufbau für eine Linearantriebsvorrichtung bereitzustel
len, der ausreichend verhindern kann, daß Staub oder andere
Teilchen in die Linearantriebsvorrichtung eindringen, um die
Zuverlässigkeit der Vorrichtung aufrechtzuerhalten.
Eine nächste Aufgabe der Erfindung besteht darin, einen
Deckelaufbau für eine Linearantriebsvorrichtung bereitzustel
len, der eine ausreichende Abdichtung der Linearantriebsvor
richtung während der Linearbewegungen erreichen kann, ohne
die Herstellungskosten unangemessen zu erhöhen.
Zur Lösung dieser Aufgaben ist die Erfindung mit einem
oder mehreren Deckeln versehen, mit dem (denen) die zum Über
tragen der Linearbewegung zu einer Außenkomponente unver
zichtbaren Öffnungen abgedeckt sind.
In einem ersten Aspekt der Erfindung weist ein Deckel
aufbau einer Linearantriebsvorrichtung auf: einen Bewegungs
richtungswandler zum Aufnehmen einer Drehbewegung einer Spin
del bzw. Schraubenwelle bzw. Schneckenwelle und Umwandeln der
Drehbewegung in eine Linearbewegung, einen Rahmendeckel zum
Unterbringen des Bewegungsrichtungswandlers und der Spindel,
einen mit dem Bewegungsrichtungswandler verbundenen Außen
übertragungsblock zum Übertragen der Linearbewegung zu einer
Außenkomponente, einen Spindeldeckel, der am Rahmendeckel auf
bestimmte Weise zwischen dem Bewegungsrichtungswandler und
dem Außenübertragungsblock der Länge des Rahmendeckels nach
angeordnet ist, und ein Paar Hilfsdeckel, die jeweils an ei
ner Außenwand des Rahmendeckels zum Abdecken von Öffnungen
zwischen dem Rahmendeckel und dem Spindeldeckel der Länge des
Rahmendeckels nach angeordnet sind.
In einem weiteren Aspekt der Erfindung weist ein Deckel
aufbau einer Linearantriebsvorrichtung auf: einen Bewegungs
richtungswandler zum Aufnehmen einer Drehbewegung einer Spin
del und Umwandeln der Drehbewegung in eine Linearbewegung,
einen Rahmendeckel zum Unterbringen des Bewegungsrichtungs
wandlers und der Spindel, wobei der Rahmendeckel eine U-Form
im Querschnitt hat und ein Boden von ihm an einer senkrechten
Wand eines Systems angeordnet ist, für das die Linearan
triebsvorrichtung verwendet wird, einen mit dem Bewegungs
richtungswandler verbundenen Außenübertragungsblock zum Über
tragen der Linearbewegung zu einer Außenkomponente, wobei der
Außenübertragungsblock einen Vorsprung am Boden des Rahmen
deckels im wesentlichen parallel zur senkrechten Wand des Systems
hat, und einen Deckel, der an einer Außenwand des Rah
mendeckels an seinem einem Ende der Länge des Rahmendeckels
nach angeordnet ist, wobei das andere Ende des Deckels in en
ger Nachbarschaft mit dem Vorsprung des Außenübertragungs
blocks am Boden des Rahmendeckels positioniert ist.
In noch einem weiteren Aspekt der Erfindung weist der
Deckelaufbau für eine Linearantriebsvorrichtung auf: einen
Bewegungsrichtungswandler zum Aufnehmen einer Drehbewegung
einer Spindel und Umwandeln der Drehbewegung in eine Linear
bewegung, einen Rahmendeckel zum Anordnen des Bewegungsrich
tungswandlers und der Spindel daran und mit einer Linearbewe
gungsführung der Länge des Rahmens nach zum Führen des Bewe
gungsrichtungswandlers, wobei ein Boden des Rahmendeckels an
einer senkrechten Wand eines Systems angeordnet ist, für das
die Linearantriebsvorrichtung verwendet wird, einen mit dem
Bewegungsrichtungswandler verbundenen Außenübertragungsblock
zum Übertragen der Linearbewegung zu einer Außenkomponente,
wobei der Außenübertragungsblock einen Vorsprung am Boden der
Linearantriebsvorrichtung im wesentlichen parallel zur senk
rechten Wand des Systems hat, einen ersten Deckel, der an ei
nem oberen Ende des Rahmendeckels an seinem einem Ende der
Länge des Rahmendeckels nach angeordnet ist, wobei das andere
Ende des Deckels in enger Nachbarschaft mit dem Vorsprung des
Außenübertragungsblocks Außenübertragungsblocks am Boden der
Linearantriebsvorrichtung positioniert ist, und einen zweiten
Deckel, der an einem unteren Ende des Rahmendeckels zwischen
einem durch den Bewegungsrichtungswandler und den Außenüber
tragungsblock gebildeten Raum angeordnet ist.
Erfindungsgemäß kann der Deckelaufbau der Linearan
triebsvorrichtung ausreichend verhindern, daß Schmiermittel
aus der Linearantriebsvorrichtung nach außen spritzt und
tropft, ohne die Länge der Vorrichtung zu erhöhen. Der Dec
kelaufbau der Erfindung kann ausreichend gegen Außenstaub
oder andere Teilchen abdichten, um die Zuverlässigkeit der
Vorrichtung aufrechtzuerhalten. Außerdem kann der Deckelauf
bau der Erfindung eine ausreichende Abdichtung der Linearan
triebsvorrichtung während der Linearbewegung ohne zu starke
Erhöhung der Herstellungskosten erreichen. Da der balgartige
Deckel der herkömmlichen Technologie nicht notwendig ist,
wird die Effektivlänge der Linearbewegung nicht durch den
Deckelaufbau der Erfindung beschränkt.
Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung werden nach
stehend anhand der Zeichnungen näher erläutert.
Fig. 1a ist eine Querschnittansicht eines Deckelaufbaus
und einer Linearantriebsvorrichtung einer ersten Ausführungs
form der Erfindung an einer Linie A-A von Fig. 2.
Fig. 1b ist eine Querschnittansicht eines Deckelaufbaus
und einer Linearantriebsvorrichtung der ersten Ausführungs
form der Erfindung an einer Linie B-B von Fig. 2.
Fig. 2 ist eine perspektivische Explosionsansicht der
ersten Ausführungsform der Erfindung.
Fig. 3 ist eine Querschnittansicht eines Deckelaufbaus
und einer Linearantriebsvorrichtung einer zweiten Ausfüh
rungsform der Erfindung, wobei der Deckel an der Seitenwand
der Vorrichtung befestigt ist.
Fig. 4 ist eine Querschnittansicht eines Deckelaufbaus
und einer Linearantriebsvorrichtung einer dritten Ausfüh
rungsform der Erfindung.
Fig. 5 ist eine perspektivische Explosionsansicht eines
herkömmlichen Beispiels für einen Deckelaufbau und eine Line
arantriebsvorrichtung.
Fig. 6a ist eine Querschnittansicht des herkömmlichen
Beispiels an einer Linie A-A von Fig. 5.
Fig. 6b ist eine Querschnittansicht des herkömmlichen
Beispiels an einer Linie B-B von Fig. 5.
Fig. 1 und 2 zeigen eine erste Ausführungsform eines
Deckelaufbaus einer Linearantriebsvorrichtung der Erfindung.
Die Linearantriebsvorrichtung weist auf: einen Hauptrahmen
deckel 80 mit Endplatten 87, einen an den Endplatten 87 ange
ordneten Drehantriebsmechanismus 90, eine mit dem Drehan
triebsmechanismus 90 verbundene Spindel 50, einen mit der
Spindel 50 verbundenen Bewegungsrichtungswandler 30, einen
mit dem Bewegungsrichtungswandler 30 verbundenen Außenüber
tragungsblock 35, einen Spindelhauptdeckel 38 sowie Deckel
10a und 10b. Somit sind dem herkömmlichen Beispiel von Fig. 5
und 6 die Deckel 10a und 10b zugefügt.
Die Deckel 10a und 10b dienen zum Abdichten der in Fig.
6b gezeigten Öffnungen 85, die zwischen dem Spindelhauptdec
kel 38 und dem Hauptrahmendeckel 80 gebildet sind. Die Deckel
10a und 10b sind an entsprechenden Seiten des Haupt
rahmendeckels 80 so befestigt, daß sie nicht die Linearbewe
gung des Außenübertragungsblocks 35 stören. Da die Öffnungen
85 unversehrt sind, ist die Linearbewegung des Bewegungsrich
tungswandlers 30 und des Außenübertragungsblocks 35 nicht
durch die Deckel 10a und 10b beeinträchtigt.
Gemäß Fig. 1 und 2 sind die Deckel 10a und 10b so konfi
guriert, daß sie in Kombination mit dem Spindelhauptdeckel 38
ausreichend den gesamten Bereich der Öffnungen abdecken. Zu
sätzlich sind die Deckel 10a und 10b sowie der Spindelhaupt
deckel 38 so positioniert, daß zwischen ihnen gebildete Spal
te 86 (Fig. 1b) möglichst klein sind. Folglich ist der Innen
mechanismus, z. B. die Spindel 50, der Linearantriebsvorrich
tung vollständig gegenüber den Außenkomponenten isoliert, so
daß Schmiermittel nicht aus der Vorrichtung austritt und Au
ßenstaub nicht in die Vorrichtung gelangt.
Im vorstehenden Beispiel sind der Bewegungsrichtungs
wandler 30 und der Außenübertragungsblock 35 getrennt vorge
sehen und befestigt, um ein Linearbewegungsteil der Vorrich
tung zu bilden. Allerdings können diese Komponenten auch in
einem Stück als Einzelkomponente gebildet sein.
Obwohl gemäß der Querschnittansicht von Fig. 1b die Öff
nungen für die Linearbewegung der Vorrichtung unabdingbar
sind, sind Schmiermittelaustritt und Staubeintritt aus bzw.
in die Vorrichtung durch die Deckel 10a und 10b in Kombinati
on mit dem Hauptdeckel 38 des Spindelbereichs erheblich un
terdrückt. Damit hat der Deckelaufbau der Erfindung von Fig.
1 und 2 einen ausreichenden Abdichtungseffekt zur praktischen
Verwendung. Der Deckelaufbau des Linearantriebs der Erfindung
kann verhindern, daß Schmiermittel aus der Vorrichtung
spritzt oder tropft oder sich Staub im Spindelbereich abla
gert. Damit erhöht sich die Zuverlässigkeit der Linearan
triebsvorrichtung, ohne die Effektivlänge der Linearbewegung
zu erhöhen, da der Balg der herkömmlichen Technologie nicht
notwendig ist.
In Fig. 3 ist eine zweite Ausführungsform der Erfindung
als Querschnittansicht eines Deckelaufbaus und einer Linea
rantriebsvorrichtung gezeigt. Die Linearantriebsvorrichtung
weist auf: einen Hauptrahmendeckel 80b, der U-förmig ist und
Seitenwände 88 hat, eine Spindel 50, einen Bewegungsrich
tungswandler 30b und einen Deckel 10c. Obwohl dies nicht dar
gestellt ist, hat der Hauptrahmendeckel 80b Endplatten und
einen Drehantriebsmechanismus 90 wie in Fig. 2 oder 5. Die
Linearantriebsvorrichtung hat einen Außenübertragungsblock
37b, der sich an der Seitenwand 88 außen am Hauptrahmen 80b
entlang bewegt. Der Außenübertragungsblock 37b ist mit dem
Bewegungsrichtungswandler 30b gemäß Fig. 3 verbunden.
Das Beispiel von Fig. 3 ist so gestaltet, daß der Boden
des U-förmigen Hauptrahmendeckels 80b an einer Seitenwand 93
eines Systems angeordnet ist, für das die Linearantriebsvor
richtung verwendet wird. Somit ist das Paar Seitenwände 88
des Hauptrahmendeckels 80b in waagerechter Richtung gemäß der
Darstellung in Fig. 3 angeordnet. Der Außenübertragungsblock
37b ist nahe der unteren Seitenwand 88 positioniert und ragt
von ihr vor. Der Bewegungsrichtungswandler 30b wird durch ei
ne Linearbewegungsführung 82b des Hauptrahmens 80b gestützt
und geführt, um die Bewegung in Längsrichtung der Linearan
triebsvorrichtung zu gewährleisten.
Vorzugsweise ist ein Schmiermittelspeicher 81b am Boden
des Innenraums des Hauptrahmens 80b vorgesehen. Wenngleich
nicht gezeigt, ist an jedem Ende des Schmiermittelspeichers
81b eine z. B. durch die Endplatte 87 von Fig. 2 und 5 gebil
dete Wand so vorgesehen, daß das Schmiermittel nicht aus
fließt. Ferner ist ein Vorsprung 83 vorzugsweise auf der In
nenfläche des Bewegungsrichtungswandlers 30 auf die in Fig. 3
gezeigte Weise vorgesehen. Damit wird das Schmiermittel im
Speicher 81b gespeichert.
Der Deckel 10c ist ausreichend lang, um den gesamten Be
reich auf dem Hauptrahmen 80b so abzudecken, daß die Spindel
50 nicht der Außenatmosphäre ausgesetzt ist. Der Deckel 10c
ist am Hauptrahmen so angeordnet, daß die zur Linearbewegung
des Außenübertragungsblocks 37b notwendigen Öffnungen gewähr
leistet sind. An einem Ende ist der Deckel 10c am Hauptrahmen
80b befestigt, während das andere Ende aufwärts weisend so
ausgebildet sein kann, daß es als weiterer Schmierölspeicher
fungiert. Vorzugsweise ist das aufwärts weisende Ende des
Deckels 10c in eine am Außenübertragungsblock 37b gebildete
Aussparung 36 eingefügt, um eine bessere Schmiermittelabdich
tung vorzusehen.
Wie zuvor beschrieben wurde, sind die Öffnungen zum Rea
lisieren der Linearbewegung des Bewegungsrichtungswandlers
30b und des Außenübertragungsblocks 37b gewährleistet. Zu
gleich kann der Deckelaufbau der Erfindung ausreichend ver
hindern, daß Schmiermittel aus der Linearantriebsvorrichtung
austritt oder unerwünschte Objekte durch die Öffnungen ein
dringen.
Eine dritte Ausführungsform der Erfindung ist in Fig. 4
gezeigt, die eine Querschnittansicht eines Deckelaufbaus und
einer Linearantriebsvorrichtung darstellt. Die Linearan
triebsvorrichtung der dritten Ausführungsform weist einen Be
wegungsrichtungswandler 30c an einem Rahmen 80, einen ersten
Deckel 10d, einen zweiten Deckel 10e und einen Außenübertra
gungsblock 37c auf.
Ähnlich wie im Beispiel von Fig. 3 ist die Linearan
triebsvorrichtung von Fig. 4 so gestaltet, daß sie an einer
Seitenwand 93 anzuordnen ist, die eine senkrechte Wand eines
Systems ist, für das die Linearantriebsvorrichtung verwendet
wird. In der Mitte des Rahmens 80 ist eine Führungsrille bzw.
-nut 95 in Längsrichtung vorgesehen, um die Bewegung des Be
wegungsrichtungswandlers 30c zu führen. Der Bewegungsrich
tungswandler 30c hat einen Vorsprung 82c zum Einsetzen in die
Führungsrille 95, so daß der Bewegungsrichtungswandler 30c,
geführt durch die Führungsrille 95, an der Spindel 50 entlang
gleitet.
In dieser Ausführungsform hat der erste Deckel 10d ein
Ende, das am Rahmen 80c befestigt ist und den Bewegungsrich
tungswandler 30c sowie die Spindel 50 abdeckt. Das andere En
de des ersten Deckels 10d ist am Boden der Linearantriebsvor
richtung nahe dem Außenübertragungsblock 37c positioniert.
Ähnlich wie im Beispiel von Fig. 3 weist das andere Ende des
ersten Deckels 10d aufwärts, so daß es als Schmierölspeicher
dienen kann. Obwohl dies nicht dargestellt ist, sind an bei
den Enden des ersten Deckels 10d Wände vorgesehen, so daß das
gespeicherte Öl nicht ausfließt.
Der zweite Deckel 10e ist am Rahmen 80c angeordnet und
hat eine Form gemäß Fig. 4. Das Ende des zweiten Deckels 10e
ist in einer am Bewegungsrichtungswandler 30c gebildeten Aus
sparung befestigt, so daß es als Schmiermittelspeicher wirken
kann. Wenngleich dies nicht gezeigt ist, sind Seitenwände an
beiden Enden des zweiten Deckels 10e vorgesehen, so daß das
gespeicherte Öl nicht ausfließt.
In dieser Ausführungsform sind die Öffnungen gewährlei
stet, so daß die Linearbewegung des Außenübertragungsblocks
37c und des Bewegungsrichtungswandlers 30c nicht gestört ist.
Gleichzeitig kann der Deckelaufbau der Erfindung ausreichend
verhindern, daß Schmiermittel aus der Linearantriebsvorrich
tung austritt oder unerwünschte Objekte durch die Öffnungen
eindringen.
Wie zuvor erläutert wurde, ist die Erfindung durch fol
gendes gekennzeichnet: Die für die Linearbewegung des Außen
übertragungsblocks 37 notwendigen Öffnungen sind beibehalten.
Der Deckelaufbau für die Linearantriebsvorrichtung ist durch
einen oder mehrere Deckel so ausgebildet, daß die Spindel
nicht der Außenatmosphäre ausgesetzt ist. Damit lassen sich
die Schmierölabdichtung sowie der Schutz vor Staub oder ande
ren äußeren Fremdstoffen erreichen.
In den vorstehenden Ausführungsformen werden die Kugel
mutter und die Spindel zur Umwandlung der Drehbewegung in die
Linearbewegung verwendet. Indes sind auch andere Aufbauten
möglich, um die Drehbewegung in die Linearbewegung umzuwan
deln.
Bei Einsatz der Linearantriebsvorrichtung in einem
IC-Prüfmanipulator werden ideale elektrische Kontakte zwischen
den Prüfverbindern und den IC-Bausteinstiften hergestellt, da
der Schmiermittelaustritt aus der Linearantriebsvorrichtung
ausreichend unterdrückt ist. Damit können die IC-Bausteine in
Kombination mit dem Halbleiterprüfsystem vollständig bewertet
werden. Da die Linearantriebsvorrichtung aufgrund des Decke
laufbaus der Erfindung gegenüber Außenstaub oder anderen un
erwünschten Teilchen immun ist, kann der die Linearantriebs
vorrichtung verwendende IC-Prüfmanipulator eine längere Le
bensdauer sowie eine höhere Zuverlässigkeit erreichen.
Wie zuvor für jede der Ausführungsformen beschrieben
wurde, kann der Deckelaufbau der Linearantriebsvorrichtung
der Erfindung ausreichend verhindern, daß Schmiermittel aus
der Linearantriebsvorrichtung nach außen spritzt und tropft,
ohne die Länge der Vorrichtung zu erhöhen. Der Deckelaufbau
der Erfindung kann ausreichend gegen Außenstaub oder andere
Teilchen abdichten, um die Zuverlässigkeit der Vorrichtung
aufrechtzuerhalten. Außerdem kann der Deckelaufbau der Erfin
dung eine ausreichende Abdichtung der Linearantriebsvorrich
tung während der Linearbewegungen erreichen, ohne die Her
stellungskosten übermäßig zu erhöhen. Da der balgartige Dec
kel der herkömmlichen Technologie unnötig ist, wird die Ef
fektivlänge der Linearbewegung durch den Deckelaufbau der Er
findung nicht beschränkt.
Claims (10)
1. Deckelaufbau einer Linearantriebsvorrichtung zum Umwan
deln einer Drehbewegung in eine Linearbewegung mit:
einem Bewegungsrichtungswandler zum Aufnehmen einer Drehbewegung einer Spindel und Umwandeln der Drehbewe gung in eine Linearbewegung;
einem Rahmendeckel zum Unterbringen des Bewegungsrich tungswandlers und der Spindel;
einem mit dem Bewegungsrichtungswandler verbundenen Au ßenübertragungsblock zum Übertragen der Linearbewegung zu einer Außenkomponente;
einem Spindeldeckel, der an dem Rahmendeckel auf be stimmte Weise zwischen dem Bewegungsrichtungswandler und dem Außenübertragungsblock der Länge des Rahmendeckels nach angeordnet ist; und
einem Paar Hilfsdeckel, die jeweils an einer Außenwand des Rahmendeckels zum Abdecken von Öffnungen zwischen dem Rahmendeckel und dem Spindeldeckel der Länge des Rahmendeckels nach angeordnet sind.
einem Bewegungsrichtungswandler zum Aufnehmen einer Drehbewegung einer Spindel und Umwandeln der Drehbewe gung in eine Linearbewegung;
einem Rahmendeckel zum Unterbringen des Bewegungsrich tungswandlers und der Spindel;
einem mit dem Bewegungsrichtungswandler verbundenen Au ßenübertragungsblock zum Übertragen der Linearbewegung zu einer Außenkomponente;
einem Spindeldeckel, der an dem Rahmendeckel auf be stimmte Weise zwischen dem Bewegungsrichtungswandler und dem Außenübertragungsblock der Länge des Rahmendeckels nach angeordnet ist; und
einem Paar Hilfsdeckel, die jeweils an einer Außenwand des Rahmendeckels zum Abdecken von Öffnungen zwischen dem Rahmendeckel und dem Spindeldeckel der Länge des Rahmendeckels nach angeordnet sind.
2. Deckelaufbau nach Anspruch 1, wobei der Außenübertra
gungsblock einen Vorsprung in der Mitte des Außenüber
tragungsblocks hat, um mit der Außenkomponente verbunden
zu werden, und Kanten des Paars Hilfsdeckel in enger
Nachbarschaft zu dem Vorsprung positioniert sind.
3. Deckelaufbau nach Anspruch 2, wobei die Kanten des Paars
Hilfsdeckel nach unten parallel zu den entsprechenden
Seiten des Vorsprungs des Außenübertragungsblocks gebo
gen sind.
4. Deckelaufbau nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei der
Bewegungsrichtungswandler ein Paar Rillen parallel zu
dem Seitenrahmen des Rahmendeckels hat und Kanten des
Spindeldeckels gebogen sind, um sich in die Rillen des
Bewegungsrichtungswandlers einzupassen.
5. Deckelaufbau einer Linearantriebsvorrichtung zum Umwan
deln einer Drehbewegung in eine Linearbewegung mit:
einem Bewegungsrichtungswandler zum Aufnehmen einer Drehbewegung einer Spindel und Umwandeln der Drehbewe gung in eine Linearbewegung;
einem Rahmendeckel zum Unterbringen des Bewegungsrich tungswandlers und der Spindel, wobei der Rahmendeckel eine U-Form im Querschnitt hat und ein Boden von ihm an einer senkrechten Wand eines Systems angeordnet ist, für das die Linearantriebsvorrichtung verwendet wird;
einem mit dem Bewegungsrichtungswandler verbundenen Au ßenübertragungsblock zum Übertragen der Linearbewegung zu einer Außenkomponente, wobei der Außenübertragungs block einen Vorsprung an dem Boden des Rahmendeckels im wesentlichen parallel zu der senkrechten Wand des Systems hat; und
einem Deckel, der an einer Außenwand des Rahmendeckels an seinem einem Ende der Länge des Rahmendeckels nach angeordnet ist, wobei das andere Ende des Deckels in en ger Nachbarschaft mit dem Vorsprung des Außenübertra gungsblocks an dem Boden des Rahmendeckels positioniert ist.
einem Bewegungsrichtungswandler zum Aufnehmen einer Drehbewegung einer Spindel und Umwandeln der Drehbewe gung in eine Linearbewegung;
einem Rahmendeckel zum Unterbringen des Bewegungsrich tungswandlers und der Spindel, wobei der Rahmendeckel eine U-Form im Querschnitt hat und ein Boden von ihm an einer senkrechten Wand eines Systems angeordnet ist, für das die Linearantriebsvorrichtung verwendet wird;
einem mit dem Bewegungsrichtungswandler verbundenen Au ßenübertragungsblock zum Übertragen der Linearbewegung zu einer Außenkomponente, wobei der Außenübertragungs block einen Vorsprung an dem Boden des Rahmendeckels im wesentlichen parallel zu der senkrechten Wand des Systems hat; und
einem Deckel, der an einer Außenwand des Rahmendeckels an seinem einem Ende der Länge des Rahmendeckels nach angeordnet ist, wobei das andere Ende des Deckels in en ger Nachbarschaft mit dem Vorsprung des Außenübertra gungsblocks an dem Boden des Rahmendeckels positioniert ist.
6. Deckelaufbau nach Anspruch 5, wobei der Rahmendeckel ei
ne obere waagerechte Wand und eine untere waagerechte
Wand bildet, wenn der Boden des Rahmendeckels mit der
senkrechten Wand des Systems verbunden ist, wobei eine
Innenfläche der unteren Wand gebogen ist, um Schmiermit
tel in der Linearantriebsvorrichtung aufzunehmen.
7. Deckelaufbau nach Anspruch 5 oder 6, wobei der Außen
übertragungsblock eine Rille parallel zu dem Rahmendec
kel und in enger Nachbarschaft zu dem Vorsprung hat und
das andere Ende des Deckels nach oben weist und sich in
die Rille des Außenübertragungsblocks einpaßt.
8. Deckelaufbau einer Linearantriebsvorrichtung zum Umwan
deln einer Drehbewegung in eine Linearbewegung mit:
einem Bewegungsrichtungswandler zum Aufnehmen einer Drehbewegung einer Spindel und Umwandeln der Drehbewe gung in eine Linearbewegung;
einem Rahmendeckel zum Anordnen des Bewegungsrichtungs wandlers und der Spindel daran und mit einer Linearbewe gungsführung der Länge des Rahmens nach zum Führen des Bewegungsrichtungswandlers, wobei ein Boden des Rahmen deckels an einer senkrechten Wand eines Systems angeord net ist, für das die Linearantriebsvorrichtung verwendet wird;
einem mit dem Bewegungsrichtungswandler verbundenen Au ßenübertragungsblock zum Übertragen der Linearbewegung zu einer Außenkomponente, wobei der Außenübertragungs block einen Vorsprung an dem Boden der Linearantriebs vorrichtung im wesentlichen parallel zu der senkrechten Wand des Systems hat;
einem ersten Deckel, der an einem oberen Ende des Rah mendeckels an seinem einem Ende der Länge des Rahmendec kels nach angeordnet ist, wobei das andere Ende des Dec kels in enger Nachbarschaft mit dem Vorsprung des Außen übertragungsblocks an dem Boden der Linear antriebsvorrichtung positioniert ist; und
einem zweiten Deckel, der an einem unteren Ende des Rah mendeckels zwischen einem durch den Bewegungsrichtungs wandler und den Außenübertragungsblock gebildeten Raum angeordnet ist.
einem Bewegungsrichtungswandler zum Aufnehmen einer Drehbewegung einer Spindel und Umwandeln der Drehbewe gung in eine Linearbewegung;
einem Rahmendeckel zum Anordnen des Bewegungsrichtungs wandlers und der Spindel daran und mit einer Linearbewe gungsführung der Länge des Rahmens nach zum Führen des Bewegungsrichtungswandlers, wobei ein Boden des Rahmen deckels an einer senkrechten Wand eines Systems angeord net ist, für das die Linearantriebsvorrichtung verwendet wird;
einem mit dem Bewegungsrichtungswandler verbundenen Au ßenübertragungsblock zum Übertragen der Linearbewegung zu einer Außenkomponente, wobei der Außenübertragungs block einen Vorsprung an dem Boden der Linearantriebs vorrichtung im wesentlichen parallel zu der senkrechten Wand des Systems hat;
einem ersten Deckel, der an einem oberen Ende des Rah mendeckels an seinem einem Ende der Länge des Rahmendec kels nach angeordnet ist, wobei das andere Ende des Dec kels in enger Nachbarschaft mit dem Vorsprung des Außen übertragungsblocks an dem Boden der Linear antriebsvorrichtung positioniert ist; und
einem zweiten Deckel, der an einem unteren Ende des Rah mendeckels zwischen einem durch den Bewegungsrichtungs wandler und den Außenübertragungsblock gebildeten Raum angeordnet ist.
9. Deckelaufbau nach Anspruch 8, wobei das andere Ende des
ersten Deckels nach oben gebogen und in enger Nachbar
schaft zu dem Vorsprung positioniert ist.
10. Deckelaufbau nach Anspruch 8 oder 9, wobei die Linearbe
wegungsführung eine an dem Rahmendeckel hergestellte
Rille ist und sich ein Vorsprung des Bewegungsrichtungs
wandlers in die Rille einpaßt, um zur Linearbewegung ge
führt zu werden.
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