DE19743349A1

DE19743349A1 - Verfahren zur Herstellung von Halbleiterchips

Info

Publication number: DE19743349A1
Application number: DE19743349A
Authority: DE
Inventors: Olaf Dr Schoenfeld; Gerhard Dr Franz
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1997-09-30
Filing date: 1997-09-30
Publication date: 1999-04-08
Anticipated expiration: 2017-10-01
Also published as: DE19743349C2

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Halb leiterchips aus einem Wafer. Das Verfahren betrifft vor allem den Schritt, die einzelnen Halbleiterchips voneinander zu tren nen und aus dem Wafer herauszulösen. Das Verfahren eignet sich besonders zum Herstellen sehr kleiner Halbleiterchips mit einer Kantenlänge von weniger als 150 µm. Besonders geeignet ist das Verfahren zum Herstellen von LEDs.

Bisher ist es üblich, Halbleiterchips voneinander und aus dem Wafer zu trennen, indem die Chips aus dem Wafer gesägt werden oder man die Waferoberfläche ritzt und die Chips aus dem Wafer bricht. Die beim Sägen verwendeten Sägeblätter haben in der Re gel eine Dicke von mehr als 30 µm. Die Dicke der Sägeblätter liegt damit in einem Bereich, der in etwa der Kantenlänge sehr kleiner Halbleiterchips entspricht oder nur wenig geringer ist als diese. Das Sägen kommt deshalb als Trennverfahren für sehr kleine Halbleiterchips nicht in Betracht. Der beim Ritzen und Brechen der Halbleiterchips verwendete Brechkeil ist in seinen Abmessungen so groß, daß er die Größe der kleinen Halbleiter chips übertrifft und deshalb für das Trennen dieser Chips nicht verwendet werden kann.

Die Herstellung sehr kleiner Chips mit einer Kantenlänge von unter 100 µm ist mit den Verfahren des Standes der Technik also nicht möglich. Halbleiterchips mit einer Kantenlänge von über 100 µm können zwar mit den konventionellen Verfahren voneinan der getrennt werden, jedoch ist der Verlust an Halbleitermate rial und der Ausschuß derart groß, daß die herkömmlichen Ver fahren vom wirtschaftlichen Standpunkt aus gesehen nicht zu friedenstellend sind.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren anzugeben, mit dem Halbleiterchips einer Kantenlänge von unter 150 µm und insbesondere von unter 100 µm auf einfache und wirtschaftliche Weise herstellbar sind und bei denen der Verlust an Halbleiter material möglichst gering gehalten werden kann.

Die Lösung dieser Aufgabe gelingt mit dem Verfahren gemäß An spruch 1. Bevorzugte und zweckmäßige Verfahrensvarianten erge ben sich aus den Unteransprüchen.

Das erfindungsgemäße Verfahren eignet sich gemäß Ansprüchen 25 und 26 zur Herstellung von Halbleiterchips mit einer Kantenlän ge von weniger als 150 µm und insbesondere zur Herstellung von LEDs.

Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich dadurch aus, daß die Halbleiterchips voneinander getrennt werden, indem der Wa fer im Bereich der Begrenzungsränder der Halbleiterchips mit Hilfe eines Trockenätzverfahrens vollständig durchgeätzt wird. Die Trockenätzverfahren, die im erfindungsgemäßen Verfahren eingesetzt werden können, entsprechen grundsätzlich denjenigen Ätzverfahren, welche bisher zur Strukturierung einzelner Schichten eines Halbleitersubstrates eingesetzt wurden, bei spielsweise um sogenannte Mesastrukturen zu erzeugen. Zum Bei spiel werden Trockenätzverfahren bisher dazu eingesetzt, den p/n-Übergang von Halbleiterschichten zu durchtrennen, indem im Übergangsbereich sogenannte Mesagräben geätzt werden. Die Ätz tiefe liegt in diesem Fall in einem Bereich zwischen 10 und 20 µm. Der Ätzvorgang betrifft nur einzelne Schichten des Halblei tersubstrates, während andere Schichten dem Ätzvorgang nicht ausgesetzt sind, so daß die bearbeiteten Chips im Waferverband erhalten bleiben. Die Trennung der Chips erfolgt auf herkömmli che Weise nach einem der oben beschriebenen Verfahren.

Erfindungsgemäß werden die Trockenätzverfahren nun dafür be nutzt, den Wafer in seiner gesamten Dicke durchzuätzen, so daß zwischen den Begrenzungsrändern der einzelnen Chips über die gesamte Dicke des Wafers reichende Ätzgräben entstehen. Mit den Trockenätzverfahren sind sehr gute Aspektverhältnisse zu reali sieren, so daß vertikal gerichtete isotrope Gräben mit Ätzbrei ten von unter 20 µm erzeugt werden können. Der Abstand zwischen den einzelnen Halbleiterchips auf dem Wafer kann entsprechend sehr klein sein, was einerseits dazu führt, daß die Anzahl an Halbleiterchips auf dem Wafer erhöht werden kann, und anderer seits der Verlust an Halbleitermaterial sehr gering ist. Ein weiterer Vorteil des Trennens der Halbleiterchips mit Hilfe ei nes Trockenätzverfahrens besteht in der sehr kurzen Ätzdauer und darin, daß die Trennung aller Halbleiterchips auf einem Wa fer gleichzeitig in einem einzigen Arbeitsschritt durchgeführt werden kann. Das Trennen der Halbleiterchips ist deshalb sehr schnell und kostengünstig möglich und verwendet außerdem aus dem Stand der Technik grundsätzlich bereits bekannte Arbeits vorrichtungen und Arbeitsschritte.

Wie bereits erwähnt, können grundsätzlich alle Trockenätzver fahren des Standes der Technik angewendet werden, die bereits bisher zum Ätzen der jeweiligen Halbleitermaterialien verwendet werden. Die verwendeten Ätzmittel richten sich nach dem jeweils zu ätzenden Halbleitermaterial. Beispielsweise werden bisher zum Ätzen von Galliumarsenid, Galliumphosphid oder Galliumni trid sowie Aluminium- oder Indium-haltiger Halbleitermateriali en wie InAlAs oder InGaN hochreaktive Gase wie Chlor, Silicium tetrachlorid oder Bortrichlorid in einem geeigneten Reaktor zum sogenannten reaktiven Ionenätzen (RIE) verwendet. Diese Ätzmit tel können im erfindungsgemäßen Verfahren ebenfalls eingesetzt werden, jedoch ist das Verfahren nicht auf diese Ätzmittel be schränkt. Andere grundsätzlich geeignete Ätzmittel für Halblei termaterialien, welche Elemente der dritten bis fünften Haupt gruppe des Periodensystems umfassen, sind beispielsweise in D. Widmann, "Technologie hochintegrierter Schaltungen", 2. Aufla ge, Springer, Berlin 1996, in Kapitel 5.2 - Trockenätzen, sowie in K. Schade, "Mikroelektronik-Technologie", 1. Auflage, Verlag Technik, Berlin 1991, in Kapitel 7 - Ätzen und Reinigen, be schrieben.

Erfindungsgemäß bevorzugt sind solche Ätzmittel, die aus einem Gemisch einer Lewis-Säure mit Chlor bestehen. Als Lewis-Säure können beispielsweise Bortrichlorid oder Bortribromid einge setzt werden. Enthält das zu ätzende Halbleitersubstrat kein Aluminium, kann ebenfalls Bortrifluorid als Lewis-Säure verwen det werden.

Bevorzugt beträgt das molare Verhältnis von Lewis-Säure, insbe sondere Bortrichlorid, zu Chlor zwischen 1 : 9 und 9 : 1. Besonders bevorzugt ist ein Verhältnis von 1 : 1.

Das erfindungsgemäße Verfahren kann grundsätzlich auf jede für das Trockenätzen bekannte Art und Weise in den bisher bekannten Reaktoren durchgeführt werden. Bevorzugt sind solche Verfahren, bei denen sehr anisotrop geätzt werden kann, also solche Ver fahren, bei denen die Ätzrate in vertikaler Richtung sehr viel höher ist als in horizontaler. Die geätzten Gräben zum Trennen der Halbleiterchips sind dann sehr schmal, z. B. kleiner als 20 µm, und entsprechend gering ist der Verlust an Halbleitermate rial durch das Trockenätzen. Als Folge können viele Halbleiter chips auf einem Wafer untergebracht werden.

Erfindungsgemäß bevorzugt erfolgt das Trockenätzen durch reak tives Ionenätzen (RIE), ECR-Ätzen (ECR = Electron Cyclotron Resonance) oder durch Ätzen mit induktiv gekoppelter Plas maquelle (ICP).

Beispiele geeigneter Reaktoren sind ein Parallel-Platten- Reaktor, bei welchem bei niedrigen Drücken zwischen 5 und 75 mTorr mit einer Radiofrequenz von üblicherweise von 13,56 oder 27,12 MHz ein Plasma gezündet wird, wobei die Ankopplung kapa zitiv erfolgt (CCP-Plasma). Weiterhin sind zylindrische Reakto ren geeignet, in welche die Radiofrequenz bei einem Druck von kleiner als 1 mTorr induktiv eingekoppelt wird (ICP-Plasma).

Die Probe befindet sich stromabwärts auf einer Elektrode, an welche zusätzlich kapazitiv Radiofrequenz angekoppelt werden kann. Alternativ kann in einem zylindrischen Reaktor ein Mikro wellenfeld mit Unterstützung eines statischen Magnetfeldes zur Erzeugung des Plasmas verwendet werden. Besonders bevorzugt liegt die Mikrowellenleistung zwischen 400 und 1000 W. Auch in diesem Fall befindet sich die Probe stromabwärts auf einer Elektrode, an die erneut zusätzlich kapazitiv Radiofrequenz an gekoppelt werden kann (ECR-Anregung).

Auch ein Reaktor mit Ionenstrahlanlage (IBE) kann eingesetzt werden. Bei einem solchen Reaktor wird üblicherweise mit Gleichstrom oder einer induktiv gekoppelten Radiofrequenz ein üblicherweise inertes Plasma aus Edelgas oder Stickstoff er zeugt. Das Plasma wird durch eine sogenannte Gitteroptik aus dem Reaktor extrahiert und auf die zu strukturierende Probe ge lenkt. Zu diesem Zweck befindet sich üblicherweise oberhalb der Probe eine Gasdusche, durch die das reaktive Gas der Probe zu geführt wird (CAIBE).

Bei der Durchführung des Trockenätzverfahrens in den genannten Reaktoren können die Ätzvorgänge mit hoher Anisotropie durchge führt werden. Im Falle eines Parallel-Platten-Reaktors ist die Plasmadichte etwa 1,5 Größenordnungen geringer als bei den üb rigen genannten Verfahren. Um eine vergleichbare Ätzrate zu er zielen, müssen also wesentlich höhere Elektrodenspannungen an gelegt werden. Dennoch hat sich dieses Verfahren zum Ätzen von Silicium-Halbleitermaterialien sehr bewährt.

Zufriedenstellende Ätzraten lassen sich vor allen Dingen errei chen, wenn, wie dies erfindungsgemäß bevorzugt ist, als Ätzmit tel eine Kombination einer Lewis-Säure mit Chlor verwendet wird. Durch die Anwesenheit der Lewis-Säure erhöht sich die Konzentration an Chlor-Kationen (Cl⁺ und Cl₂⁺), wodurch die Ätz rate stark ansteigt. Für einen 2-Zoll-Wafer, dessen Fläche na hezu vollständig (95 bis 98%) dem Ätzgas ausgesetzt ist, kön nen Ätzraten von bis zu 4 µm/Minute nach der CCP-RIE- und bis zu 1 µm/Minute mit dem ECR-RIE-Methode erzielt werden. Durch Verwendung eines ICP-Reaktors können diese Ätzraten nochmals gesteigert werden. Die Anwendung des CAIBE-Verfahrens empfiehlt sich vor allem, wenn der Ätzwinkel frei eingestellt werden soll. Vergleicht man die Ätzraten, welche mit einer Kombination aus Lewis-Säure und Chlor erreicht werden, mit der Ätzrate von 50 bis 100 nm/Minute, die typischerweise mit BCl₃/Ar erzielt wird, ist eine Steigerung der Ätzrate um einen Faktor von etwa 40 möglich, ohne daß dies zu einer optischen Degradation der Oberfläche führen würde.

Um ein vollständiges Durchtrennen des Wafers zu erreichen, ist die Ätzdauer üblicherweise länger als bei den bekannten Ätzver fahren, bei denen lediglich einzelne Schichten eines Halblei tersubstrats geätzt werden. Die längere Dauer des Trockenätz- Vorgangs führt üblicherweise zu einer Erhöhung der Temperatur in der Ätzkammer, so daß auch die Temperatur im erfindungsgemä ßen Verfahren höher liegt als bei herkömmlichen Trockenätzver fahren. Beispielhaft für das erfindungsgemäße Verfahren können eine Ätzdauer von fünfzehn Minuten bis zu drei Stunden bei ei ner Temperatur im Bereich von über 150°C und insbesondere von über 200°C genannt werden.

Um zu verhindern, daß die aus dem Wafer herausgeätzten sepa rierten Halbleiterchips ihre durch den Waferverbund vorgegebene Position verlieren, werden die Halbleiterchips im erfindungsge mäßen Verfahren vorzugsweise in ihren vorgegebenen Positionen lösbar fixiert. Dabei kann es sich beispielsweise um eine ma gnetische oder ferromagnetische Fixierung handeln. Zweckmäßig wird der zu ätzende Wafer dabei auf einen magnetischen oder ferromagnetischen Träger gesetzt und auf diesem der Ätzvorrich tung zugeführt.

Insbesondere bei der Herstellung kleiner Halbleiterchips mit einer Kantenlänge weniger als 150 µm und insbesondere als weni ger als 100 µm Kantenlänge erfolgt die lösbare Fixierung der Halbleiterchips vorzugsweise unter Verwendung einer Kunststof folie. Für die lösbare Fixierung der Halbleiterchips ist diese Kunststoffolie auf einer ihrer Oberflächen zweckmäßig mit einer Klebstoffschicht versehen, an welcher die Halbleiterchips haf ten bleiben. Zur Vereinfachung der Handhabung wird die Folie zweckmäßig auf oder in einen Rahmen gespannt. In einer bevor zugten Variante ist die Folie in einen ringförmigen Rahmen aus Silicium gespannt.

Die Klebefolie verhindert nicht nur während des Trockenätzvor ganges, daß die nach dem Durchätzen erhaltenen einzelnen Halb leiterchips verrutschen und ihre vorgegebene Position verlie ren, was die Weiterverarbeitung der Chips extrem erschweren oder sogar unmöglich machen würde, sondern die Folie kann auch als Trägermaterial in den weiteren Bearbeitungsschritten der Halbleiterchips verwendet werden. Es ist also nicht erforder lich, die Halbleiterchips nach dem erfindungsgemäßen Trocken ätzverfahren auf einen anderen Träger umzusetzen.

Um die thermische Belastung an Wafer und Folie während des er findungsgemäßen Trockenätzverfahrens gering zu halten, kann zweckmäßig auf der dem Wafer abgewandten Seite der Folie eine Wärmesenke angeordnet werden. Vorzugsweise dient hierzu eine Platte aus Metall und insbesondere eine Aluminiumplatte. Wird ein Rahmen zum Einspannen der Folie verwendet, weist die Me tallplatte zweckmäßig eine Dicke und einen Außendurchmesser auf, welche der Höhe des Rahmens bis zur Folienunterseite sowie dem Innendurchmesser des Rahmens im wesentlichen entsprechen.

Alle Materialien, die während des Trockenätzverfahrens in der Ätzkammer angeordnet werden, werden vorzugsweise so gewählt, daß sie unter den Bedingungen des Trockenätzverfahrens mög lichst wenig ausgasen, um die Zusammensetzung des Ätzmittels nicht zu verändern. Im Falle der Kunststoffolie wird also zweckmäßig eine solche Kunststoffolie verwendet, die unter den Bedingungen des Trockenätzverfahrens, beispielsweise unter den Bedingungen der erhöhten Temperatur, beständig und außerdem chemisch inert ist.

Das erfindungsgemäße Verfahren weist den weiteren Vorteil auf, daß Metallschichten, welche auf einer oder beiden Waferoberflä chen vorhanden sind, also beispielsweise metallische Kontakte oder ganzflächige Metallbeschichtungen, mit dem erfindungsgemä ßen Verfahren ebenfalls durchtrennt werden können. Metall schichten, welche sich auf den Waferoberflächen im Bereich der zu durchtrennenden Begrenzungsränder der Halbleiterchips befin den, können also in derselben Trockenätzvorrichtung im selben Arbeitsschritt wie das Halbleitersubstrat mit durchtrennt wer den. In aller Regel wird hierbei dasselbe Ätzmittel wie zum Durchtrennen des Halbleitersubstrates verwendet. Es ist aller dings auch möglich, die Zusammensetzung des Ätzmittels im Ver lauf des Trockenätzverfahrens zu variieren und den jeweils zu ätzenden Materialien, Metall oder Halbleitersubstrat, gezielt anzupassen.

Beispiele metallischer Kontakte oder ganzflächiger Metallbe schichtungen, welche im erfindungsgemäßen Verfahren im selben Arbeitsschritt wie das Halbleitersubstrat geätzt werden können, sind solche aus Gold oder einer Goldlegierung, beispielsweise Gold-Zink oder Gold-Germanium.

Bevor mit dem Trockenätzschritt begonnen wird, wird auf die Oberfläche des Wafers, welche dem Ätzmittel ausgesetzt werden soll, auf grundsätzlich an sich bekannte Weise eine Maske auf gebracht, welche den Bereich der Begrenzungsränder der Halblei terchips, dort wo der Ätzgraben entstehen soll, freiläßt. Als Masken geeignet sind die bekannten Masken aus Fotolack oder die sogenannten Hartmasken, welche beispielsweise aus Siliciumdi oxid oder Siliciumnitrid bestehen. Aufbringen und Strukturieren der Maske erfolgen auf die im Stand der Technik übliche Weise.

Bevorzugt wird das erfindungsgemäße Verfahren so durchgeführt, daß eine Selektivität (Verhältnis der Ätzraten von Halbleiter substrat zu Maske) von mindestens 10 und ein Aspektverhältnis ≧ 20 erhalten wird. Bei einer Ätztiefe von beispielsweise 100 µm sollte also die laterale Schrumpfung der Maske nicht größer als 5 µm sein und die Maskendicke nicht größer als 10 µm. Insbeson dere im Falle von Fotolackmasken tritt, bedingt durch die hohen Ätztemperaturen und die lange Dauer des erfindungsgemäßen Troc kenätzverfahrens, das Problem auf, daß der Fotolack seine Struktur ändert und sich im Anschluß an das Ätzverfahren nur noch schlecht ablösen läßt. Bei Verwendung einer Kunststoffolie als Träger für den Wafer oder die bereits vereinzelten Halblei terchips scheidet auch das Veraschen als Verfahren zum Entfer nen der Fotolackmaske aus, da die Kunststoffolie durch das Veraschen ebenfalls angegriffen würde. In einer bevorzugten Va riante des erfindungsgemäßen Verfahrens wird deshalb unter dem Fotolack oder unter der Hartmaske eine zusätzliche Schicht auf gebracht. Diese Schicht ist so gewählt, daß sie nach Abschluß des Trockenätzverfahrens gelöst werden kann. Dabei löst sich auch der Fotolack oder die Hartmaske von den Halbleiterchips ab. Das Material, aus welchem die Zwischenschicht besteht, wird also so gewählt, daß es während des Trockenätzverfahrens im we sentlichen nicht angegriffen wird und in einer Flüssigkeit lös bar ist, welche wiederum die Halbleiterchips und eventuell vor handene metallische Kontakte oder Metallbeschichtungen nicht löst. Beispiele solcher Materialien für die Zwischenschicht sind zum einen dielektrische Materialien wie Siliciumdioxid, Siliciumnitrid, Galliumarsenid oder Galliumnitrid und zum ande ren säurelösliche Metalle.

Der Endpunkt des Trockenätzverfahrens, d. h. der Zeitpunkt, zu dem der Wafer vollständig durchgeätzt und die einzelnen Halb leiterchips voneinander getrennt sind, kann auf jede im Stand der Technik grundsätzlich bekannte Art und Weise festgestellt werden. Bevorzugte Verfahren zur Endpunktfeststellung sind die Massenspektrometrie und optische Verfahren, insbesondere die optische Emissionsspektroskopie. Zweckmäßig wird hier der End punkt durch UV/VIS-Spektrometrie in einem Wellenlängenbereich zischen 300 und 900 nm bestimmt. Gemessen wird vorzugsweise die Spektrallinien-Intensität eines der Halbleitermaterialien, wel che mit dem Trockenätzverfahrens geätzt werden sollen. Im Falle galliumhaltiger Halbleitersubstrate kann beispielsweise die Li nienintensität des Galliums während des Trockenätzverfahrens verfolgt werden. Bei Halbleitersubstraten, welche aus mehreren Elementen zusammengesetzt sind, können gleichzeitig mehrere dieser Elemente emissionsspektrometrisch verfolgt werden. Im Falle von InGaN oder InGaAlP können beispielsweise neben den Spektrallinien des Galliums auch diejenigen des Indiums ver folgt werden. Ist das Halbleitersubstrat vollständig durchge ätzt, werden keine Halbleiterelemente mehr in die Ätzkammer freigesetzt, so daß die Linienintensität der entsprechenden Elemente rapide absinkt.

Das erfindungsgemäße Verfahren kann sehr flexibel auf die Wei terverarbeitung und den Test von Halbleiterchips angepaßt wer den.

Beispielsweise ist es möglich, das erfindungsgemäße Verfahren so durchzuführen, daß vor dem Durchätzen des Wafers zunächst die p/n-Übergänge eines jeden Halbleiterchips durch Ätzen von Gräben zwischen diese p/n-Übergänge getrennt werden. Das Ätzen der p/n-Übergänge ist grundsätzlich bekannt. Beispielsweise können die eingangs beschriebenen RIE-Ätzverfahren hierfür ver wendet werden. Nach dem Ätzen der p/n-Übergänge können die Halbleiterchips noch im Waferverbund auf an sich bekannte Weise auf ihre Funktionsfähigkeit hin überprüft werden. Erst nach Ab schluß der Tests werden die einzelnen Halbleiterchips dann er findungsgemäß durch Durchätzen voneinander separiert. Vorzugs weise erfolgt das Durchätzen dann von der rückwärtigen, den p/n-Übergängen abgewandten Seite des Wafers.

Um die Kontaktierung der Halbleiterchips zu erleichtern und so genannte parasitäre Kapazitäten zu reduzieren, können gleich zeitig mit dem Durchätzen und Separieren der Halbleiterchips in die Chips Vialöcher geätzt werden. Diese Vialöcher dienen dazu, die Unterseiten der Halbleiterchips auf an sich bekannte Weise direkt anzuschließen.

Um die Eigenschaften der nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Halbleiterchips weiter zu verbessern, können nach Beendigung des Trockenätzens die geätzten Seitenflanken der Halbleiterchips geglättet werden. Dies geschieht beispielsweise durch Sandstrahlen der Seitenflanken. Auf diese Weise können beispielsweise gerundete Halbleiterchips erhalten werden, die sich besonders gut für den Einsatz als LEDs mit einer erhöhten Lichtausbeute eignen. Zur Herstellung von LEDs und Halbleiter chips und LEDs mit einer Kantenlänge von unter 150 µm und ins besondere unter 100 µm ist das erfindungsgemäße Verfahren be sonders geeignet.

Die Erfindung soll nachfolgend anhand einer Zeichnung näher er läutert werden. Darin zeigen

Fig. 1 und 2 schematisch Teilquerschnitte einer Anordnung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens in verschiedenen Verfahrensabschnitten.

Im einzelnen zeigt Fig. 1 im Querschnitt einen Wafer 2, aus welchem LEDs hergestellt werden sollen. Der Wafer 2 ist auf seiner Rückseite ganzflächig mit einer metallischen Schicht 8, beispielsweise einer Goldlegierung, als n-Kontakt beschichtet. Auf der Vorderseite des Wafers auf einer Epitaxieschicht 11 sind metallische Kontakte 7 als p-Kontakte angeordnet. Während des Trockenätzvorganges, mit welchem erfindungsgemäß der Wafer durchtrennt und die LEDs separiert werden sollen, wird der Wa fer 2 auf eine Klebefolie 4 aus Kunststoff aufgesetzt. Die Fo lie 4 ist in einen ringförmigen Rahmen 5, beispielsweise aus Silicium, eingespannt. Um die thermische Belastung der Klebefo lie und des Wafers während des Trockenätzverfahrens zu vermin dern, ist auf der dem Wafer 2 gegenüberliegenden Seite der Fo lie 4 eine Metallplatte 6 aus Aluminium angeordnet. Die Alumi niumplatte 6 wiederum befindet sich auf einer üblichen Träger vorrichtung 12 einer herkömmlichen Ätzvorrichtung. Um mit dem Trockenätzverfahren einzelne LEDs aus dem Wafer 2 herauszutren nen, ist auf der Wafervorderseite eine Maske 9 aufgebracht. Bei der Maske 9 kann es sich beispielsweise um einen etwa 8 µm dic ken Fotolack, beispielsweise Fotolack AZ 4562 oder um mehrere Lagen Fotolack AZ 4533, handeln. Die Maske 9 läßt die Wafer oberfläche dort frei, wo durch das Trockenätzen Ätzgräben ge bildet werden sollen, die die einzelnen Halbleiterchips vonein ander trennen. Unter der Maske 9 ist weiterhin eine Schicht 10 angeordnet, welche nach Abschluß des Durchätzverfahrens das Ab lösen der Maske von den einzelnen LEDs erleichtern soll. Bei spielsweise kann es sich bei der Schicht 10 um eine metallische Schicht handeln, die sich in einer Säure löst, welche das Mate rial des Wafers 2 und das Metall der Kontakte 7 und der Schicht 8 nicht löst.

Fig. 2 verdeutlicht ein Verfahrensstadium des erfindungsgemäßen Verfahrens nach Durchführung des Trockenätzvorganges und nach dem Ablösen der Maske gemeinsam mit der Zwischenschicht 10. Durch das vollständige Durchätzen des Wafers 2 und der Metall schicht 8 im Bereich zwischen den Begrenzungsrändern 3 sind einzelne Halbleiterchips, hier LEDs 1, entstanden. Die LEDs 1 sind nach wie vor auf der Klebefolie 4 angeordnet und haben da her ihre im Waferverband vorgegebene Position behalten. Lösbar auf der Folie 4 fixiert können die LEDs 1 nun ihren weiteren Bearbeitungsschritten zugeführt werden. Mit Hilfe der Folie 4 können auch sehr kleine Halbleiterchips oder sehr kleine LEDs mit einer Kantenlänge von weniger als 100 µm bearbeitet werden, die mit herkömmlichen "pick and place"-Verfahren nicht gehand habt werden können.

Bezugszeichenliste

1

Halbleiterchip

2

Wafer

3

Begrenzungsrand

4

Folie

5

Rahmen

6

Metallplatte

7

Metallkontakt

8

Metallschicht

9

Maske

10

Zwischenschicht

11

Epitaxieschicht

12

Träger

Claims

1. Verfahren zum Herstellen von Halbleiterchips (1) aus einem Wafer (2), dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleiterchips (1) getrennt werden, indem der Wafer (2) im Bereich der Begrenzungsränder (3) der Halbleiterchips (1) mit Hilfe eines Trockenätzverfahrens vollständig durchge ätzt wird.

2. Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Trockenätzen durch reaktives Ionenätzen (RIE), ECR (Electron Cyclotron Resonance)-Ätzen oder Ätzen mit induktiv gekoppelter Plasmaquelle (ICP) erfolgt.

3. Verfahren gemäß Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Ätzmittel ein Gemisch einer Lewis-Säure mit Chlor ein gesetzt wird.

4. Verfahren gemäß Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Lewis-Säure Bortrichlorid, Bortribromid oder Bortriflu orid eingesetzt wird.

5. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Trockenätzverfahren bei einer Temperatur von größer als 150°C und insbesondere von über 200°C für einen Zeitraum von 15 Minuten bis 3 Stunden durchgeführt wird.

6. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Wafer (2) auf eine unter den Bedingungen des Troc kenätzverfahrens beständige und chemisch inerte Kunststoffolie (4) aufgesetzt wird.

7. Verfahren gemäß Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine Klebefolie verwendet wird.

8. Verfahren gemäß Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Folie (4) auf oder in einen Rahmen (5), vorzugsweise einen ringförmigen Rahmen aus Silicium, gespannt wird.

9. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß auf der dem Wafer (2) abgewandten Seite der Folie (4) eine Platte (6) aus Metall, insbesondere aus Aluminium, angeordnet ist.

10. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Wafer (2) auf einen magnetischen oder ferromagnetischen Träger aufgesetzt wird.

11. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 19, worin der Wa fer (2) auf wenigstens einer Oberfläche metallische Kontakte (7) oder eine ganzflächige Metallbeschichtung (8) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß diese im Bereich der Begrenzungsränder (3) der Halbleiter chips (1) mit dem Trockenätzverfahren ebenfalls vollständig durchgeätzt werden.

12. Verfahren gemäß Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß metallische Kontakte (7) oder Metallbeschichtung (8) aus Gold oder einer Goldlegierung bestehen.

13. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die dem Ätzmittel ausgesetzte Oberfläche des Wafers (2) vor Beginn des Trockenätzverfahrens mit einer Hartmaske oder einer Maske aus Fotolack (9) beschichtet wird, welche den Bereich der Begrenzungsränder (3) der Halbleiterchips (1) freiläßt.

14. Verfahren gemäß Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß unter dem Fotolack (9) oder unter der Hartmaske eine Schicht (10) aufgebracht wird, welche aus einem Material be steht, das während des Trockenätzverfahrens im wesentlichen nicht angegriffen wird und das in einer Flüssigkeit lösbar ist, welche die Halbleiterchips (1), metallische Kontakte (7) und Metallbeschichtung (8) nicht löst.

15. Verfahren gemäß Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht (10) aus einem dielektrischen Material wie Si liciumdioxid, Siliciumnitrid, Galliumarsenid oder Galliumnitrid oder einem säurelöslichen Metall besteht.

16. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Endpunkt des Trockenätzverfahrens durch Massenspektro metrie oder ein optisches Verfahren und insbesondere durch op tische Emissionsspektroskopie bestimmt wird.

17. Verfahren gemäß Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Endpunkt durch UV/VIS-Spektrometrie bestimmt wird und insbesondere durch Bestimmung der Spektrallinienintensität we nigstens eines der zu ätzenden Halbleitermaterialien.

18. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 14 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß nach Beendigung des Trockenätzverfahrens Hartmaske oder Fo tolack (9) und die unter Hartmaske oder Fotolack (9) befindli che Schicht (10) gemeinsam entfernt werden, indem die Schicht (10) von den Halbleiterchips (1) gelöst wird.

19. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß gleichzeitig mit dem Durchätzen Vialöcher zur Kontaktierung der Halbleiterchips (1) in den Wafer (2) geätzt werden.

20. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Durchätzen des Wafers (2) die p/n-Übergänge eines jeden Halbleiterchips (1) durch Ätzen von Gräben getrennt wer den.

21. Verfahren gemäß Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleiterchips (1) im Wafer (2) nach dem Trennen der p/n-Übergänge geprüft werden.

22. Verfahren gemäß Anspruch 20 oder 21, dadurch gekennzeichnet, daß der Wafer (2) vor dem Durchätzen umgedreht und das Durchät zen von der rückwärtigen, den p/n-Übergängen abgewandten Seite des Wafers (2) erfolgt.

23. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß nach Beendigung des Trockenätzens die geätzten Seitenflan ken der Halbleiterchips (1) geglättet werden.

24. Verfahren gemäß Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß das Glätten der Seitenflanken durch Sandstrahlen erfolgt.

25. Verwendung des Verfahrens gemäß einem der Ansprüche 1 bis 24 zur Herstellung von Halbleiterchips mit einer Kantenlänge von unter 150 µm und insbesondere unter 100 µm.

26. Verwendung des Verfahrens gemäß einem der Ansprüche 1 bis 24 und Verwendung gemäß Anspruch 25 zur Herstellung von LEDs.