DE19742661A1 - Steuervorrichtung zum intermittierenden Antrieb eines Aktuators, Pulverzufuhrvorrichtung und Servosystem mit Verwendung der Steuervorrichtung - Google Patents
Steuervorrichtung zum intermittierenden Antrieb eines Aktuators, Pulverzufuhrvorrichtung und Servosystem mit Verwendung der SteuervorrichtungInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Steuervorrichtung zum intermittierenden Antrieb eines
Aktuators durch Anlegen einer Treiberspannung, basierend auf einem Taktimpuls, wäh
rend ein Tastverhältnis des Taktimpulses verändert wird, indem eine Änderungsmenge ei
nes zu steuernden Objektes erfaßt wird und auf die Steuervorrichtung rückgekoppelt wird,
und bezieht sich auf eine Pulverzufuhrvorrichtung oder ein Servosystem mit der Steuervor
richtung darin.
Es sind verschiedene Steuervorrichtungen bekannt, die die zeitlich gemittelte Ausgangs
leistung, basierend auf der Betriebszeit je Zyklus in dem rechtwinkligen Impuls (Tastver
hältnis) steuern. Beispielsweise ist ein Ultraschallmotor mit einem Ultraschallresonator und
ein Servosystem mit einem Gleichstrommotor bekannt. Bei dem Ultraschallmotor wird ein
piezoelektrischer Wandler verwendet, bei dem die von elektrischer Energie hervorgerufene
mechanische Verformung eines piezoelektrischen Elements verwendet wird, um eine me
chanische Vibration eines Vibrators zu erzeugen, und die Ausgangsleistung des Ultraschall
motors wird verändert, indem das Tastverhältnis der Treiberspannung verändert wird.
In dem Fall, daß der Ultraschallresonator in dem Ultraschallmotor derart konstruiert wird,
daß sowohl eine axiale Schwingung (Längsschwingung) als auch eine Biegeschwingung
gleichzeitig hervorgerufen werden, wird an dem oberen Ende des Ultraschallresonators
eine elliptische Oszillation mit der Resonanzfrequenz hervorgerufen. An dem oberen Ende
des Resonators ist ein Rohr befestigt, und Pulver wird dem Rohr zugeführt; dann wird das
Pulver in der bestimmten Richtung mittels der elliptischen Oszillation bewegt; dieser Me
chanismus kann daher als Pulverzufuhrvorrichtung verwendet werden.
Die Pulverzufuhrvorrichtung wird unter Bezugnahme auf Fig. 10 erläutert. In Fig. 10 wird
die Pulvermenge in der Pulverzufuhrvorrichtung von einer Wägezelle bzw. Meßdose 11
erfaßt, die als Lastsensor wirkt, und das erfaßte Ausgangssignal (Spannung) wird von ei
nem Verstärker 12 verstärkt. Die verstärkte Ausgangsspannung wird über einen A/D-
Wandler zu einem Mikrocomputer 13 rückgeführt, der als Tastverhältnissteuereinrichtung
wirkt. In dem Mikrocomputer 13 wird das optimale Tastverhältnis auf Basis des Rückkopp
lungssignals berechnet und der Taktimpuls mit dem optimalen Tastverhältnis wird einer
Treiberschaltung 14 zugeführt. Die Treiberschaltung 14 gibt die durch das optimale Tast
verhältnis gesteuerte Treiberspannung aus. Auf diese Weise wird die Zeitdauer, während
der die Treiberspannung anliegt, gesteuert, und sowohl die Zufuhrmenge (vorbestimmte
Zufuhrmenge) als auch die aktuelle Zuführmenge des Pulvers werden auf einen vorbe
stimmten Wert (Sollwert) gesteuert bzw. geregelt.
In dem Fall aber, daß, wie oben erwähnt, der Aktuator, wie der Ultraschallmotor oder
Gleichstrommotor, unter Verwendung des Rechteckimpulses angetrieben wird, besteht ein
Problem dahingehend, daß Störspitzen erzeugt werden, wenn der Aktuator AN/AUS ge
schaltet wird, und solche Störspitzen haben einen ungünstigen Einfluß auf die Ausgangs
spannung aus der Meßdose 11. Bei dem Ultraschallmotor beispielsweise wird die an ihm
liegende Treiberspannung mit der Resonanzfrequenz für eine Antriebsperiode (aktive Pe
riode) von einer in Fig. 11 dargestellten Oszillatorschaltung erzeugt. In der Oszillatorschal
tung der Fig. 11 ist an der Primärseite eine sogenannte Push-Pull-Schaltung mit Transisto
ren TR1 und TR2. Das heißt, wie in Fig. 12(a) gezeigt, beide Transistoren TR1 und TR2
wirken derart, daß einer AN ist und der andere AUS ist oder umgekehrt. Zu der Zeit, zu
der die Transistoren TR1 und TR2 AUS-ausgeschaltet werden (d. h. wenn die Transistoren
TR1 und TR2 so wirksam sind, daß sie den Strom abschalten), wird am Kollektor der
Transistoren TR1, TR2 eine hohe Spannung erzeugt.
Da eine Störung erzeugt wird, wenn einer der Transistoren TR1, TR2 AUS-geschaltet
wird, wird im Hinblick auf die vorstehenden Ausführungen die Wellenform der Treiber
spannung VACT zu der in Fig. 12(b) gezeigten Wellenform. Im Ergebnis führt dies dazu,
daß die Störung in der Treiberspannung VACT als Störung der Ausgangsspannung der Meß
dose 11 überlagert wird, wodurch die Wellenform der Ausgangsspannung VCELL zu der in
Fig. 12(c) gezeigten Wellenform wird.
Wie in Fig. 12(a) dargestellt, entspricht ein Schaltzyklus (AN/AUS-Zyklus) T1 jedes Tran
sistors TR1, TR2 einem Zyklus T2 der Treiberspannung VACT. Wenn sie aktuell für die
Pulverzufuhrvorrichtung verwendet wird, wird die Wellen bzw. Impulsform der Treiber
spannung VACT daher der in Fig. 6(b) gezeigten Wellenform und die Wellenform der Aus
gangsspannung VCELL wird die in Fig. 6(c) gezeigte Wellenform.
Wenn die Datenerfassung (Sampling) der Ausgangsspannung VCELL beispielsweise zu den
Zeitpunkten A, B, C. . . erfolgt, wie in Fig. 6(d) dargestellt, wenn die Rückkopplung zu
dem Mikrocomputer 13 erfolgt, wird die Ausgangsspannung, der die Störung überlagert
ist, als Rückkopplungssignal eingegeben. Aufgrund dieser Tatsache kann der Aktuator
nicht genau gesteuert werden und es tritt ein Problem auf, daß die Genauigkeit des Steuer
systems sehr schlecht wird.
Entsprechend liegt eine Aufgabe der Erfindung darin, die vorgenannten Probleme zu lösen
und eine Steuervorrichtung zu schaffen, mittels der ein Aktuator mit hoher Genauigkeit ge
steuert werden kann, wenn der Aktuator intermittierend angetrieben wird, indem eine auf
einem Taktimpuls basierende Treiberspannung angelegt wird, während ein Tastverhältnis
des Taktimpulses verändert wird, indem eine Änderungsmenge eines zu steuernden Objek
tes erfaßt wird und auf die Steuervorrichtung rückgekoppelt wird.
Weiter liegt eine Aufgabe der Erfindung darin, eine Pulverzufuhrvorrichtung zu schaffen,
mittels der die Zufuhrmenge an Pulver mit hoher Genauigkeit gesteuert werden kann, oder
ein Servosystem mit einem Motor zu schaffen, mittels dessen die Drehzahl des Motors mit
hoher Genauigkeit gesteuert werden kann.
Zur Lösung dieser Aufgabe schafft die Erfindung eine Steuervorrichtung zum intermittie
renden Antreiben eines Aktuators durch Anlegen einer Treiberspannung an den Aktuator,
welche Steuervorrichtung enthält:
eine Zeittaktimpulserzeugniseinrichtung zum Erzeugen eines Taktimpulses mit einem Tastverhältnis;
eine Spannungsanlegeeinrichtung zum Anlegen der Treiberspannung an den Ak tuator entsprechend dem Tastverhältnis;
eine Sensoreinrichtung zum Ermitteln einer Änderungsmenge des Aktuators als Spannungswert;
eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen des Spannungswertes, der von der Sensoreinrichtung nach Ablauf einer vorbestimmten Zeitdauer seit der Antrieb des Aktua tors endet oder beginnt; und
einer Steuereinrichtung zum Steuern des Tastverhältnisses auf Basis des von der Erfassungseinrichtung erfaßten Spannungswertes.
eine Zeittaktimpulserzeugniseinrichtung zum Erzeugen eines Taktimpulses mit einem Tastverhältnis;
eine Spannungsanlegeeinrichtung zum Anlegen der Treiberspannung an den Ak tuator entsprechend dem Tastverhältnis;
eine Sensoreinrichtung zum Ermitteln einer Änderungsmenge des Aktuators als Spannungswert;
eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen des Spannungswertes, der von der Sensoreinrichtung nach Ablauf einer vorbestimmten Zeitdauer seit der Antrieb des Aktua tors endet oder beginnt; und
einer Steuereinrichtung zum Steuern des Tastverhältnisses auf Basis des von der Erfassungseinrichtung erfaßten Spannungswertes.
In der im Anspruch 1 beanspruchten Steuervorrichtung bedeutet intermittierender Antrieb
der Aktuatoreinrichtung, daß eine aktive Periode, während der der Aktuator angetrieben
wird, und eine inaktive Periode, während der der Aktuator nicht angetrieben wird, alter
nierend in einem Zyklus des Taktimpulses auftreten. Dabei ist es nicht notwendig, daß die
aktive Periode und die inaktive Periode mit gleicher Länge wiederholt werden.
Da der von der Sensoreinrichtung ermittelte Spannungswert von der Erfassungseinrichtung
erfaßt wird, nachdem eine vorbestimmte Zeitdauer seit Ende oder Beginn des Antriebs ab
gelaufen ist, kann bei der Steuereinrichtung der von der Sensoreinrichtung ermittelte Span
nungswert erfaßt werden, ohne daß er von einer Schaltstörung überlagert ist, die bei
AN/AUS-Schalten des Aktuators erzeugt wird, wodurch der Aktuator mit hoher Genauig
keit gesteuert werden kann. Der Grund ist folgender. Der Spannungswert ist möglicherwei
se von der Schaltstörung beeinflußt, wenn der Spannungswert unmittelbar ermittelt wird,
nachdem der Antrieb des Aktuators endet oder beginnt; ein solcher Einfluß der Schaltstö
rung kann daher mit Sicherheit vermieden werden, indem der Spannungswert erfaßt wird,
nachdem die vorbestimmte Zeitdauer vergangen ist, seit der Antrieb des Aktuators endet
oder beginnt.
Weiter schafft die Erfindung eine Pulverzufuhrvorrichtung zum intermittierenden Antrieb
eines Vibrators mit einem piezoelektrischen Element durch Anlegen einer Treiberspannung
mit einer vorbestimmten Resonanzfrequenz an das piezoelektrische Element, welche Pul
verzufuhrvorrichtung enthält:
eine Zeittaktimpulserzeugungsvorrichtung zum Erzeugen eines Taktimpulses mit einem Tastverhältnis;
eine Spannungsanlegeeinrichtung zum Anlegen der Treiberspannung an das pie zoelektrische Element entsprechend dem Tastverhältnis;
ein an einem oberen Ende des Vibrators befestigtes Pulverzufuhrrohr; einen Pulverspeichertrichter zum Zuführen des Pulvers zu dem Pulverzuführ rohr;
eine Gewichtssensoreinrichtung zum Ermitteln des Gewichts des Pulvers in dem Pulverspeichertrichter als Spannungswert;
eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen des von der Gewichtssensoreinrich tung ermittelten Spannungswertes, nachdem eine vorbestimmte Zeitdauer vergangen ist, seitdem der Antrieb des piezoelektrischen Elements endet ist; und
eine Steuereinrichtung zum Steuern des Tastverhältnisses auf Basis des von der Erfassungseinrichtung erfaßten Spannungswertes.
eine Zeittaktimpulserzeugungsvorrichtung zum Erzeugen eines Taktimpulses mit einem Tastverhältnis;
eine Spannungsanlegeeinrichtung zum Anlegen der Treiberspannung an das pie zoelektrische Element entsprechend dem Tastverhältnis;
ein an einem oberen Ende des Vibrators befestigtes Pulverzufuhrrohr; einen Pulverspeichertrichter zum Zuführen des Pulvers zu dem Pulverzuführ rohr;
eine Gewichtssensoreinrichtung zum Ermitteln des Gewichts des Pulvers in dem Pulverspeichertrichter als Spannungswert;
eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen des von der Gewichtssensoreinrich tung ermittelten Spannungswertes, nachdem eine vorbestimmte Zeitdauer vergangen ist, seitdem der Antrieb des piezoelektrischen Elements endet ist; und
eine Steuereinrichtung zum Steuern des Tastverhältnisses auf Basis des von der Erfassungseinrichtung erfaßten Spannungswertes.
Bei der im Anspruch 9 beanspruchten Pulverzufuhrvorrichtung oszilliert der Vibrator mit
einer elliptischen Bewegung, wenn die Treiberspannung an das piezoelektrische Element
angelegt wird, so daß das an dem oberen Ende Vibrators befestigte Pulverzufuhrrohr ähn
lich wie der Vibrator mit elliptischer Bewegung oszilliert. Dabei erfährt das aus dem Pul
verspeichertrichter dem Pulverzufuhrrohr zugeführte Pulver eine Beschleunigung in waag
rechter Richtung (in Richtung senkrecht zur Längsschwingung des Vibrators und in Rich
tung parallel zur Biegeschwingrichtung des Vibrators) und wird bewegt. Auf diese Weise
wird das Pulver zugeführt.
Da die Treiberspannung an das piezoelektrische Element während der Durchführung einer
AN/AUS-Steuerung der Treiberspannung angelegt wird, wird dabei das Pulver während
einer Periode zugeführt, in der der Vibrator angetrieben ist. Auf diese Weise wird die Zu
führmenge an Pulver auf Basis der Beziehung zwischen der aktiven Periode und der inakti
ven Periode gesteuert, das heißt dem Tastverhältnis, und nachdem das Gewicht des Pulvers
in dem Pulverspeichertrichter von der Gewichtssensoreinrichtung als der Spannungswert
ermittelt wird, wird der ermittelte Spannungswert von der Erfassungseinrichtung derart er
faßt, daß er mit keiner Schaltstörung überlagert ist. Auf diese Weise kann die Pulverzu
fuhrmenge mit hoher Genauigkeit gesteuert werden.
Weiter schafft die Erfindung ein Servosystem zum intermittierenden Antrieb eines Motors
durch Anlegen einer Treiberspannung an den Motor, welches Servosystem enthält:
eine Impulsweitenmodulationseinrichtung zum Erzeugen eines Taktimpulses mit einem Tastverhältnis und zum Anlegen der Treiberspannung an den Motor entsprechend dem Tastverhältnis;
eine Impulsweitenmodulationseinrichtung zum Erzeugen eines Taktimpulses mit einem Tastverhältnis und zum Anlegen der Treiberspannung an den Motor entsprechend dem Tastverhältnis;
eine erste Sensoreinrichtung zum Ermitteln einer Spannung in dem Motor als
Spannungswert;
eine zweite Sensoreinrichtung zum Ermitteln einer Anschaltkante bzw. An stiegskante des Taktimpulses;
eine Verzögerungseinrichtung zum Verzögern eines Ausgangssignals der zwei ten Sensoreinrichtung um eine vorbestimmte Zeitdauer;
eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen des von der ersten Sensoreinrichtung auf Basis des von der Verzögerungseinrichtung verzögerten Ausgangssignals ermittelten Spannungswertes; und
eine Steuereinrichtung zum Steuern des Tastverhältnisses auf Basis des von der Erfassungseinrichtung erfaßten Spannungswertes.
eine zweite Sensoreinrichtung zum Ermitteln einer Anschaltkante bzw. An stiegskante des Taktimpulses;
eine Verzögerungseinrichtung zum Verzögern eines Ausgangssignals der zwei ten Sensoreinrichtung um eine vorbestimmte Zeitdauer;
eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen des von der ersten Sensoreinrichtung auf Basis des von der Verzögerungseinrichtung verzögerten Ausgangssignals ermittelten Spannungswertes; und
eine Steuereinrichtung zum Steuern des Tastverhältnisses auf Basis des von der Erfassungseinrichtung erfaßten Spannungswertes.
Bei dem im Anspruch 18 beanspruchten Servosystem wird das Ausgangssignal der zweiten
Sensoreinrichtung von der Verzögerungseinrichtung um eine vorbestimmte Zeitdauer verzö
gert und die Erfassungseinrichtung erfaßt den Spannungswert, der von der ersten Sensorein
richtung auf Basis des Ausgangssignals ermittelt wurde, das von der Verzögerungseinrich
tung verzögert wurde. Daher kann der Spannungswert ebenfalls erfaßt werden, ohne daß
er mit einer Schaltstörung überlagert ist, die beim AN/AUS-Schalten des Motors erzeugt
wird, wodurch der Motor mit hoher Genauigkeit gesteuert werden kann. Wenn die Steuer
vorrichtung für einen Antriebsmotor eines Roboterarmes oder einen Positioniermotor zur
Positionierung des Tisches einer NC-Bearbeitungsmaschine verwendet wird, kann der Ro
boterarm korrekt bewegt werden oder der Tisch der NC-Bearbeitungsmaschine kann kor
rekt positioniert werden, beides mit hoher Genauigkeit.
Die vorstehenden und weitere Aufgaben und neuartige Merkmale der Erfindung werden
aus der folgenden Beschreibung genauer verständlich, wenn die Beschreibung zusammen
mit den beigefügten Zeichnungen gelesen wird. Es sei ausdrücklich darauf hingewiesen,
daß die Zeichnungen nur für Zwecke der Darstellung sind und nicht als Definition der
Grenzen der Erfindung beabsichtigt sind.
Die Erfindung wird unter Bezugnahme auf die folgenden Zeichnungen erläutert, in denen
zeigen:
Fig. 1 eine Ansicht, teilweise im Schnitt, die schematisch eine Pulverzufuhrvorrich
tung entsprechend der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt;
Fig. 2 eine Kurve, die die Frequenzcharakteristik der Eingangsimpedanz eines Vibra
tors zeigt;
Fig. 3 eine schematische Ansicht des Vibrators, die über Vibrationszustände bei An
trieb mit der Resonanzfrequenz zeigt;
Fig. 4 eine schematische Ansicht des Vibrators, die die Vibrationszustände nach je
weils 1/4 Zyklus bei Antrieb mit der Resonanzfrequenz zeigt;
Fig. 5 ein Blockschaltbild, das ein System der Pulverzufuhrvorrichtung entsprechend
der ersten Ausführungsform zeigt;
Fig. 6 Zeitverläufe zur Erläuterung von Betriebszuständen der Pulverzufuhrvorrich
tung entsprechend der ersten Ausführungsform, wobei
Fig. 6(a) den Taktimpuls zur Änderung des Zeitverlaufes einer aktiven Periode und einer
inaktiven Periode zeigt,
Fig. 6(b) die an den Vibrator angelegte Treiberspannung zeigt,
Fig. 6(c) die von der Meßdose gelieferte Ausgangsspannung zeigt,
Fig. 6(d) die Erfassungszeitpunkte bei der herkömmlichen Pulverzufuhrvorrichtung zeigt
und
Fig. 6(e) die Erfassungszeitpunkte bei der Pulverzufuhrvorrichtung der ersten Ausfüh
rungsform zeigt;
Fig. 7 Zeitverläufe zur Erläuterung von Betriebszuständen der Pulverzufuhrvorrich
tung entsprechend der ersten Ausführungsform, wenn der Taktimpuls mit dem
maximalen Tastverhältnis verwendet wird, wobei die Fig. 7(a)-7(c) und 7(e) in
Fig. 6(a)-6(c) und 6(e) entsprechen;
Fig. 8 ein Blockdiagramin, das das Servosystem entsprechend der zweiten Ausfüh
rungsform zeigt;
Fig. 9 Zeitverläufe zur Erläuterung von Betriebszuständen des Servosystems entspre
chend der zweiten Ausführungsform, wobei
Fig. 9(a) den Taktimpuls (PWM-Signal) zur Änderung des Zeitverlaufes einer aktiven
Periode und einer inaktiven Periode zeigt,
Fig. 9(b) das Ausgangssignal eines Sensors zeigt,
Fig. 9(c) die Erfassungszeitpunkte in dem Servosystem der zweiten Ausführungsform
zeigt;
Fig. 10 ein Blockschaltbild, das ein System der Pulverzufuhrvorrichtung entsprechend
dem Stand der Technik zeigt;
Fig. 11 ein Schaltbild einer Oszillatorschaltung mit der Resonanzfrequenz zum Anlegen
der Treiberspannung an den Vibrator; und
Fig. 12 Zeitverläufe zur Erläuterung einer Störungen erzeugenden Theorie, wobei
Fig. 12(a) den Betriebszustand der Transistoren in der Oszillatorschaltung gemäß Fig. 11
zeigt,
Fig. 12(b) die an dem Vibrator liegende Treiberspannung zeigt und
Fig. 12(c) die Ausgangsspannung der Meßdose zeigt.
Eine detaillierte Beschreibung der ersten Ausführungsform der Erfindung wird unter Be
zugnahme auf die beigefügten Zeichnungen gegeben. Der Aufbau einer Pulverzufuhrvor
richtung entsprechend der Ausführungsform ist in Fig. 1 gezeigt.
Der Vibrator 10 ist ein Ultraschallmotor vom sogenannten Lineartyp, wobei zwei flache
piezoelektrische Elemente 1 unter Zwischenanordnung einer in der Figur nicht dargestell
ten Elektrode gestapelt sind und zwischen einem etwa zylindrischen Metallhorn 2a und ei
nem etwa hohlzylindrischen metallischen Rückhorn 2b angeordnet sind. Der Vibrator 10
ist mittels einer Schraube 3 an einem Befestigungsbauteil 4 befestigt, die an einem Ende
an dem Horn 2a befestigt ist und durch ein Durchgangsloch hindurch eingesetzt ist, das
sich durch das Rückhorn 2b und das piezoelektrische Element 1 in der Mitte erstreckt.
Das Ende 2c des Horns 2a ist doppelt abgeflacht und mit einem Durchgangsloch 2d zum
Einsatz eines Rohrs, wie nachfolgend beschrieben, versehen.
Ein Pulverzufuhrrohr 20, in dessen innerem Teil sich Pulver bewegt, ist durch das Durch
gangsloch 2d hindurch eingesetzt und darin befestigt. Das in der Figur linksseitige Ende
21 des Pulverzufuhrrohrs 20 ist leicht abwärts gebogen, um das Herausfallen des von der
in der Figur rechten Seite her zugeführten Pulvers P aus dem Ende 21 des Rohrs 20 zu
unterstützen.
Das andere Ende 22 des Rohrs 20 rechtsseitig in der Figur ist leicht aufwärts gebogen, um
die Bewegung des von einem Trichterkörper 20 her zugeführten Pulvers P in der Figur
nach links zu unterstützen.
Der Trichterkörper 20 ist zum Speichern von Pulver P und zum langsamen Zuführen des
Pulvers P in das Rohr 20 vorgesehen, wobei der Boden 31 trichterförmige Gestalt hat. An
den Boden 31 ist ein Rohr 32 angeschlossen, dessen anderes Ende mit dem Ende 22 des
Pulverzufuhrrohrs 20 verbunden ist. Entsprechend wird das in den Trichterkörper 30 gela
dene Pulver P durch das Rohr 32 hindurch dem Rohr 20 zugeführt. Das Rohr 32 besteht
aus flexiblem Material und ist so gewählt bzw. geartet, daß es die Schwingung des Vibra
tors 10 nicht unterdrückt; in der vorliegenden Ausführungsform wird ein Nylonrohr bzw.
eine Nylonleitung verwendet.
Fig. 2 zeigt das Meßergebnis der Eingangsimpedanzfrequenzcharakteristik des Vibrators
10, mittels eines Impedanzanalysators gemessen. Das Meßergebnis zeigt, daß die Reso
nanzfrequenz Fr des Vibrators 10 etwa 29,4 kHz beträgt. Der Antrieb mit dieser Reso
nanzfrequenz Fr erzeugt eine große Schwingung. Bei der ersten Ausführungsform wird die
Wechselspannung mit der Resonanzfrequenz Fr an den Vibrator 10 gelegt.
Die Vibration wird für den Fall beschrieben, daß der Vibrator 10 mit der Resonanzfre
quenz schwingt.
Die Vibration des piezoelektrischen Elements 1 mit der Resonanzfrequenz verursacht die
Schrumpfungs-Dehnungsverformung des piezoelektrischen Elements 1 und der Vibrator 10
führt eine Biegeschwingung aus, wie in Fig. 3 dargestellt. Diese Biegeschwingung ist eine
resultierende Bewegung der Dehnungs-Schrumpfungs-Bewegung in der senkrechten Rich
tung in der Figur (Längsvibration) und der Biegeschwingung in der waagrechten Richtung
in der Figur (Biegeschwingung).
Ein Zyklus dieser Vibration wird in Fig. 4 im Detail beschrieben. Für ein leichteres Ver
ständnis der Bewegung des Endes (in der Figur das untere Ende) ist das Ende mit einem
schwarzen Punkt in der Mitte gemäß Fig. 4 markiert. Zunächst wird bei t = 0 (Fig. 4(a))
das Ende (schwarzer Punkt) derart gebogen, daß es sich nach rechts bewegt. Dann nach
1/4 Zyklus bei t = π/2 (Fig. 4(b)) schrumpft der Vibrator 10 und das Ende (schwarzer
Punkt) bewegt sich nach oben. Anschließend bei t = π (Fig. 4(c)) wird das Ende (schwar
zer Punkt) so gebogen, daß es sich nach links bewegt. Nach einem weiteren 1/4 Zyklus bei
t = 3 π/2 (Fig. 4(d)) wird der Vibrator 10 gedehnt und das Ende (schwarzer Punkt) be
wegt sich in der Fig. 4 nach unten. Entsprechend zeigt die Spur des schwarzen Punktes
während eines Zyklus eine elliptische Bewegung, wie in Fig. 4 dargestellt. An diesem
Ende ist ein Rohr befestigt, dem Pulver zugeführt wird. Das Pulver wird daher mit
schwimmender bzw. schwebender Bewegung nach links beschleunigt und zur linken Seite
bewegt.
Die Zufuhrmenge (vorbestimmte Zufuhrmenge) des Pulvers P wird eingestellt, in dem die
Periode des Antriebs des Vibrators 10 mit der Resonanzfrequenz Fr verändert wird, das
heißt, das Tastverhältnis. Dabei wird das Gewicht des Pulvers in dem Trichterkörper 30
mittels der Meßdose 11 ermittelt und das Ausgangssignal der Meßdose 11 wird an den
Mikrocomputer 13 rückgeführt. Basierend auf dem rückgeführten Signal berechnet der
Mikrocomputer 13 das Steuersignal, um das Tastverhältnis zu optimieren, und das Steuer
signal wird an die Treiberschaltung 14 gegeben. Die Treiberschaltung 14 legt die Treiber
spannung VACT an den Vibrator 10 während der dem Tastverhältnis entsprechenden Zeit
dauer, wodurch die Zufuhrmenge und die aktuelle Zufuhrmenge des Pulvers P kontrolliert
wird. Bei der Ausführungsform wird der Mikrocomputer 13 als Tastverhältnissteuerein
richtung verwendet.
Bei der herkömmlichen Steuervorrichtung wird die Ausgangsspannung VCELL, die das
Rückkopplungssignal von der Meßdose 11 ist, an den Mikrocomputer 13 gegeben, unab
hängig davon, ob die Ausgangsspannung während der aktiven Periode Ta oder der inakti
ven Periode Ti erfaßt wird. Wenn die Ausgangsspannung VCELL der Meßdose beispielswei
se zu den Zeitpunkten A, B,C. . ., wie in Fig. 6(d) dargestellt, erfaßt wird, das heißt wäh
rend der aktiven Periode Ta des Tastverhältnissteuersignals, wird das Tastverhältnis daher
auf Basis der Ausgangsspannung VCELL berechnet, der die Störung überlagert ist. Im Er
gebnis kann die Zufuhrmenge an Pulver nicht auf die augenblickliche Zufuhrmenge und
aktuelle Zufuhrmenge gesteuert bzw. geregelt werden.
Bei der ersten Ausführungsform wird die Ausgangsspannung VCELL der Meßdose 11 syn
chron mit der inaktiven Periode Ti im Tastverhältnissteuersignal erfaßt. Die Synchronisa
tion des Erfassungszeitpunktes wird von dem Programm bestimmt, das im Mikrocomputer
13 ausgeführt wird.
Unter Bezugnahme auf Fig. 6 wird das Steuerverfahren der Pulverzufuhrvorrichtung erläu
tert. Fig. 6(a) zeigt einen Zeittakt (Tastverhältnistakt) zum intermittierenden Antreiben des
Vibrators 10. Dieses Taktsignal wird von dem Mikrocomputer 13 als Tastverhältnissteuer
einrichtung erzeugt. In Fig. 6 (a) ist die aktive Periode Ta mit "Nieder" und die inaktive
Periode Ti mit "Hoch" bezeichnet. Das Tastverhältnis ist durch den Anteil der aktiven Pe
riode Ta in einem Zyklus dargestellt und wird durch Ta/(Ta+ Ti) berechnet.
Fig. 6(b) zeigt den sich ändernden Zustand der Treiberspannung VACT, die an das piezo
elektrische Element 1 gelegt wird. Aus Fig. 6(b) ist ersichtlich, daß die Amplitude der
Spannung VACT sich nicht ändert, daß die Wechselspannung mit der Resonanzfrequenz Fr
während der aktiven Periode Ta angelegt wird und während der inaktiven Periode T nicht
anliegt.
Wenn die in Fig. 6(b) dargestellte Spannung VACT an dem piezoelektrischen Element 1
liegt, oszilliert der Vibrator 10. Dabei bewirkt der Antrieb mit der Resonanzfrequenz Fr
die Resonanz des Vibrators 10, so daß der Vibrator 10 mit großer Amplitude schwingt und
sein Ende in elliptische Bewegung gebracht wird. Wenn dagegen an dem piezoelektrischen
Element 1 keine Treiberspannung liegt, schwingt der Vibrator nicht.
Fig. 6(c) zeigt die Änderung der Ausgangsspannung VCELL aus der Meßdose 11. Die Am
plitude der Ausgangsspannung VCELL wird allmählich kleiner, da die Menge des Pulvers P
im Trichterkörper 30 mit der Zeit abnimmt. Während der aktiven Periode Ta ist die vorge
nannte Schaltstörung überlagert.
Fig. 6(e) zeigt die Erfassungszeitpunkte, zu denen das Rückkoppelsignal erfaßt wird, das
heißt der Ausgangsspannungswert VCELL in den A/D-Wandler hinein. In Fig. 6(e) werden
die Erfassungszeitpunkte G, H,. . . in die inaktive Periode Ti gelegt, synchron mit dem
Tastverhältnistakt. Genauer erfolgt die Erfassung der Ausgangsspannung VCELL, nachdem
einige msec vom unmittelbaren Zeitpunkt des Beginns der inaktiven Periode Ti vergangen
sind. Der Grund ist folgender. Wenn die Ausgangsspannung VCELL unmittelbar nach dem
Beginn der inaktiven Periode Ti erfaßt wird, ist die Spannung VCELL möglicherweise von
der Schaltstörung beeinflußt; deshalb ist es notwendig, den Einfluß der Schaltstörung zu
vermeiden. Wenn die Ausgangsspannung VCELL zu den Zeitpunkten G, H,. . . erfaßt wird,
kann die Ausgangsspannung VCELL, der keine Schaltstörung überlagert ist, sicher rückge
koppelt bzw. rückgeführt werden.
Wenn das Tastverhältnis jedoch 100% beträgt, das heißt, wenn das piezoelektrische Ele
ment kontinuierlich angetrieben wird, gibt es keine inaktive Periode Ti, während der die
Vibration des Vibrators 10 stoppt. In diesem Fall kann die Ausgangsspannung VCELL, der
keine Schaltstörung überlagert ist, nicht zu dem Mikrocomputer 13 rückgeführt werden.
Unter Berücksichtigung des Vorstehenden wird der maximale Wert des Tastverhältnisses
in der ersten Ausführungsform auf 95% festgelegt, wie in Fig. 7 dargestellt. Entsprechend
ist die inaktive Periode Ti sichergestellt und die Erfassungszeitpunkte J, K,. . . werden syn
chron mit der inaktiven Periode Ti eingestellt. Deshalb kann mit Sicherheit eine Ausgangs
spannung VCELL rückgeführt werden, der keine Schaltstörung überlagert wird, ist.
Wie vorstehend ausgeführt, sind bei der Pulverzufuhrvorrichtung der ersten Ausführungs
form die Erfassungszeitpunkte G, H,. . . oder J, K,. . . der Ausgangsspannung VCELL der
Meßdose 11 so eingestellt, daß sie synchron mit dem Zyklus der inaktiven Periode Ti lie
gen. Daher wird eine Ausgangsspannung VCELL, der keine Schaltstörung überlagert ist,
sicher auf den Mikrocomputer 13 rückgeführt. Da der Mikrocomputer 13 das optimale
Tastverhältnis basierend auf dem korrekten Rückführsignal berechnen kann, kann die Zu
fuhrmenge des Pulvers P daher mit hoher Genauigkeit gesteuert bzw. geregelt werden.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 8 wird das Servosystem eines Gleichstrommotors entspre
chend der zweiten Ausführungsform beschrieben. Bei der zweiten Ausführungsform wird
der Gleichstrommotor 50 in dem Aktuator verwendet und der Sensor 53 ermittelt den
Spannungswert des Gleichstrommotors 50. Der ermittelte Spannungswert wird von dem
Verstärker 58 verstärkt und der verstärkte Spannungswert wird zu der Erfassungsschaltung
56 rückgekoppelt, wodurch die Drehzahl des Gleichstrommotors 53 gesteuert wird. Weiter
wird eine PWM (Impulsweitenmodulation) Steuervorrichtung 51 verwendet und das PWM-
Signal der Steuervorrichtung 51 wird vom Verstärker 52 verstärkt. Der Gleichstrommotor
50 wird von dem verstärktem Signal aus dem Verstärker 52 angetrieben.
Das Steuerverfahren in dem Servosystem der zweiten Ausführungsform wird unter Bezug
nahme auf Fig. 9 beschrieben. Fig. 9(a) zeigt eine PWM-Wellen- bzw. Impulsform, die
der Zeittakt zum intermittierenden Antrieb des Gleichstrommotors 50 ist. In Fig. 9(a) ist
die aktive Periode Ta mit "Hoch" dargestellt und die inaktive Periode Ti mit "Nieder"
dargestellt. Da die PWM-Welle der Änderung der Treiberspannung für den Gleichstrom
motor 50 entspricht, wird der Gleichstrommotor 50 während der aktiven Periode Ta ange
trieben und während der inaktiven Periode Ti nicht angetrieben.
Fig. 9(b) zeigt die Änderung der Ausgangsspannung des Sensors 53. Wenn der Gleich
strommotor 53 AN/AUS geschaltet wird, wird aufgrund der Induktanz des Gleichstrommo
tors 50 beim Ausschalten des Gleichstrommotors 50 eine hohe induzierte elektromotorische
Kraft erzeugt. Dabei wird eine Störung erzeugt und diese Störung wird der Ausgangsspan
nung des Sensors 53 überlagert. Es ist verständlich, daß die Störung, wie in der Wellen
form von VCELL in Fig. 9(b) dargestellt, der Ausgangsspannung überlagert wird, wenn der
Gleichstrommotor 50 zu Beginn der inaktiven Periode Ti abgeschaltet wird.
Fig. 9(c) zeigt die Erfassungszeitpunkte, zu denen das Rückkoppelsignal, das heißt die
Ausgangsspannung, erfaßt wird. Die Erfassungszeitpunkte M, N,. . ., liegen innerhalb der
aktiven Periode Ta synchron mit dem Tastverhältnis. Die Erfassungszeitpunkte M, N . . .
sind so gewählt, daß die Datenerfassung nach Ablauf der optimalen Verzögerungszeit vom
Antriebsbeginn des Gleichstrommotors 50 von der elektronischen Schaltung 57 durchge
führt wird, die die Detektorschaltung 54, die die Anschaltflanke der PWM-Wellenform ge
mäß Fig. 8, die Verzögerungsschaltung 55 und das Erfassungsschaltung 56 enthält.
Auf diese Weise kann ähnlich wie bei der ersten Ausführungsform die Ausgangsspannung
VCELL, der keine Störung überlagert ist, rückgekoppelt bzw. rückgeführt werden, wodurch
die Drehzahl des Gleichstrommotors 50 mit hoher Genauigkeit gesteuert bzw. geregelt
werden kann.
Wie vorstehend erwähnt, sind bei der zweiten Ausführungsform die Erfassungszeitpunkte
M, N,. . . der von dem Sensor 53 ermittelten Ausgangsspannung mit dem Zyklus der akti
ven Periode Ta synchronisiert. Daher kann die Ausgangsspannung VCELL, der keine Störung
überlagert ist, rückgekoppelt werden und die Drehzahl des Gleichstrommotors 50 kann mit
hoher Genauigkeit gesteuert werden. Weiter wird bei der zweiten Ausführungsform nicht
der Mikrocomputer verwendet, sondern die Erfassungszeitpunkte M, N. . . der Ausgangs
spannung VCELL erfolgen mittels der elektronischen Schaltung 57, die einfach aufgebaut ist.
Daher kann die Steuervorrichtung der zweiten Ausführungsform mit geringen Kosten ver
wirklicht werden.
Die Erfindung wurde zwar unter Bezugnahme auf ihre bevorzugten Ausführungsformen ge
nauer dargestellt und beschrieben; dem Fachmann ist jedoch klar, daß zahlreiche Modifika
tionen und Abänderungen durchgeführt werden können, ohne vom Erfindungsgedanken ab
zuweichen.
Es wurde die Pulverzufuhrvorrichtung mit dem Ultraschallmotor unter Verwendung des
piezoelektrischen Elements als Antriebsquelle und das Servosystem mit dem Gleichstrom
motor verwendet; die Erfindung kann jedoch beispielsweise für Vorrichtungen verwendet
werden, bei denen der Aktuator so gesteuert wird, daß er intermittierend angetrieben wird.
Beispielsweise kann die vorliegende Erfindung zur Steuerung der Ausgangsleistung einer
Ultraschallbearbeitungsmaschine verwendet werden, wie ein Ultraschallschweißgerät, wie
es zum Schweißen oder Bearbeiten von Kunststoff verwendet wird.
Claims (23)
1. Steuervorrichtung zum intermittierenden Antrieb eines Aktuators (10; 50)
durch Anlegen einer Treiberspannung an den Aktuator (10, 50), welche Steuervorrichtung
enthält:
eine Zeittaktimpulserzeugungseinrichtung (14; 51) zum Erzeugen eines Taktim pulses mit einem Tastverhältnis;
eine Spannungsanlegeeinrichtung (14; 51) zum Anlegen der Treiberspannung an den Aktuator (10, 50) entsprechend dem Tastverhältnis;
eine Sensoreinrichtung (11; 53) zum Ermitteln einer Änderungsmenge des Aktuators als ein Spannungswert;
welche Steuervorrichtung dadurch gekennzeichnet ist, daß sie weiter enthält:
eine Erfassungseinrichtung (13; 57) zum Erfassen des von der Sensoreinrichtung (11, 53) ermittelten Spannungswertes nach Ablauf einer vorbestimmten Zeitdauer seit der Antrieb des Aktuators endet oder beginnt; und
eine Steuereinrichtung (13; 57) zum Steuern des Tastverhältnisses auf Basis des von der Erfassungseinrichtung (13; 57) erfaßten Spannungswertes.
eine Zeittaktimpulserzeugungseinrichtung (14; 51) zum Erzeugen eines Taktim pulses mit einem Tastverhältnis;
eine Spannungsanlegeeinrichtung (14; 51) zum Anlegen der Treiberspannung an den Aktuator (10, 50) entsprechend dem Tastverhältnis;
eine Sensoreinrichtung (11; 53) zum Ermitteln einer Änderungsmenge des Aktuators als ein Spannungswert;
welche Steuervorrichtung dadurch gekennzeichnet ist, daß sie weiter enthält:
eine Erfassungseinrichtung (13; 57) zum Erfassen des von der Sensoreinrichtung (11, 53) ermittelten Spannungswertes nach Ablauf einer vorbestimmten Zeitdauer seit der Antrieb des Aktuators endet oder beginnt; und
eine Steuereinrichtung (13; 57) zum Steuern des Tastverhältnisses auf Basis des von der Erfassungseinrichtung (13; 57) erfaßten Spannungswertes.
2. Steuervorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Taktimpuls innerhalb eines
Zyklus des Taktimpulses eine aktive Periode und eine inaktive Periode hat und das Tast
verhältnis durch den Anteil der aktiven Periode innerhalb eines Zyklus des Taktimpulses
bestimmt ist.
3. Steuervorrichtung nach Anspruch 2, wobei der maximale Wert des Tastverhält
nisses auf 95% eingestellt ist.
4. Steuervorrichtung nach Anspruch 2, wobei die Treiberspannung während der
aktiven Periode an den Aktuator (10; 50) gelegt wird.
5. Steuervorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Treiberspannung eine Spannung
mit einer Resonanzfrequenz des Aktuators (10; 50) ist.
6. Steuervorrichtung nach Anspruch 1, wobei die vorbestimmte Zeitdauer auf ei
nige msec eingestellt ist.
7. Steuervorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Aktuator (10) einen Ultraschall
motor enthält.
8. Steuervorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Aktuator einen Gleichstrom
motor (50) enthält.
9. Pulverzufuhrvorrichtung zum intermittierenden Antrieb eines Vibrators (10) mit
einem piezoelektrischen Element (1) durch Anlegen einer Treiberspannung mit einer vor
bestimmten Resonanzfrequenz an das piezoelektrische Element (1), welche Pulverzufuhr
vorrichtung enthält:
eine Zeittaktimpulserzeugungseinrichtung (14) zum Erzeugen eines Taktim pulses mit einem Tastverhältnis;
eine Spannungsanlegeeinrichtung (14) zum Anlegen der Treiberspannung an das piezoelektrische Element (1) entsprechend dem Tastverhältnis;
ein an einem oberen Ende des Vibrators (10) befestigtes Pulverzufuhrrohr (20);
einen Pulverspeichertrichter (30) zum Zuführen des Pulvers zu dem Pulverzufuhrrohr (20);
eine Gewichtssensoreinrichtung (10) zum Ermitteln des Gewichtes des Pulvers in dem Pul verspeichertrichter (30) als ein Spannungswert;
welche Pulverzufuhrvorrichtung dadurch gekennzeichnet ist, daß sie weiter ent hält:
eine Erfassungseinrichtung (13) zum Erfassen des von der Gewichtssensorein richtung (11) ermittelten Spannungswertes nach Ablauf einer vorbestimmten Zeitdauer seit der Antrieb des piezoelektrischen Elements (1) endet; und
eine Steuereinrichtung (13) zum Steuern des Tastverhältnisses auf Basis des von der Erfassungseinrichtung (13) erfaßten Spannungswertes.
eine Zeittaktimpulserzeugungseinrichtung (14) zum Erzeugen eines Taktim pulses mit einem Tastverhältnis;
eine Spannungsanlegeeinrichtung (14) zum Anlegen der Treiberspannung an das piezoelektrische Element (1) entsprechend dem Tastverhältnis;
ein an einem oberen Ende des Vibrators (10) befestigtes Pulverzufuhrrohr (20);
einen Pulverspeichertrichter (30) zum Zuführen des Pulvers zu dem Pulverzufuhrrohr (20);
eine Gewichtssensoreinrichtung (10) zum Ermitteln des Gewichtes des Pulvers in dem Pul verspeichertrichter (30) als ein Spannungswert;
welche Pulverzufuhrvorrichtung dadurch gekennzeichnet ist, daß sie weiter ent hält:
eine Erfassungseinrichtung (13) zum Erfassen des von der Gewichtssensorein richtung (11) ermittelten Spannungswertes nach Ablauf einer vorbestimmten Zeitdauer seit der Antrieb des piezoelektrischen Elements (1) endet; und
eine Steuereinrichtung (13) zum Steuern des Tastverhältnisses auf Basis des von der Erfassungseinrichtung (13) erfaßten Spannungswertes.
10. Pulverzufuhrvorrichtung nach Anspruch 9, wobei der Vibrator (10) einen Ultra
schallmotor enthält.
11. Pulverzufuhrvorrichtung nach Anspruch 9, wobei das Pulverzufuhrrohr (20) als
Nylonrohr ausgebildet ist.
12. Pulverzufuhrvorrichtung nach Anspruch 10, wobei die Resonanzfrequenz etwa
29,4 kHz beträgt.
13. Pulverzufuhrvorrichtung nach Anspruch 9, wobei die Gewichtssensoreinrich
tung (11) eine Meßdose enthält.
14. Pulverzufuhrvorrichtung nach Anspruch 9, wobei der Taktimpuls während eines
Zyklus des Taktimpulses eine aktive Periode und eine inaktive Periode hat und das Tast
verhältnis durch den Anteil der aktiven Periode in einem Zyklus des Taktimpulses be
stimmt ist.
15. Pulverzufuhrvorrichtung nach Anspruch 14, wobei der Maximalwert des Tast
verhältnisses auf 95% eingestellt ist.
16. Pulverzufuhrvorrichtung nach Anspruch 14, wobei die Treiberspannung wäh
rend der aktiven Periode an das piezoelektrische Element (1) gelegt ist.
17. Pulverzufuhrvorrichtung nach Anspruch 9, wobei die vorbestimmte Zeitdauer
auf einige msec eingestellt ist.
18. Servosystem zum intermittierenden Antrieb eines Motors (50) durch Anlegen
einer Treiberspannung an den Motor (50), welches Servosystem enthält:
eine Impulsbreitenmoduliereinrichtung (50) zum Erzeugen eines Taktimpulses mit einem Tastverhältnis und zum Anlegen der Treiberspannung an den Motor entspre chend dem Tastverhältnis;
eine erste Sensoreinrichtung (53) zum Ermitteln einer Spannung in dem Motor als ein Spannungswert;
eine zweite Sensoreinrichtung (54) zum Erfassen einer Anstiegsflanke des Takt impulses;
eine Verzögerungseinrichtung (55) zum Verzögern eines Ausgangssignals der zweiten Sensoreinrichtung (54) um eine vorbestimmte Zeitdauer;
welches Servosystem dadurch gekennzeichnet ist, daß es weiter enthält:
eine Erfassungseinrichtung (56) zum Erfassen des von der ersten Sensoreinrich tung (53) auf Basis des von der Verzögerungseinrichtung (55) verzögerten Ausgangssignals ermittelten Spannungswertes; und
eine Steuereinrichtung (57) zum Steuern des Tastverhältnisses auf Basis der von der Erfassungseinrichtung (56) erfaßten Spannungswertes.
eine Impulsbreitenmoduliereinrichtung (50) zum Erzeugen eines Taktimpulses mit einem Tastverhältnis und zum Anlegen der Treiberspannung an den Motor entspre chend dem Tastverhältnis;
eine erste Sensoreinrichtung (53) zum Ermitteln einer Spannung in dem Motor als ein Spannungswert;
eine zweite Sensoreinrichtung (54) zum Erfassen einer Anstiegsflanke des Takt impulses;
eine Verzögerungseinrichtung (55) zum Verzögern eines Ausgangssignals der zweiten Sensoreinrichtung (54) um eine vorbestimmte Zeitdauer;
welches Servosystem dadurch gekennzeichnet ist, daß es weiter enthält:
eine Erfassungseinrichtung (56) zum Erfassen des von der ersten Sensoreinrich tung (53) auf Basis des von der Verzögerungseinrichtung (55) verzögerten Ausgangssignals ermittelten Spannungswertes; und
eine Steuereinrichtung (57) zum Steuern des Tastverhältnisses auf Basis der von der Erfassungseinrichtung (56) erfaßten Spannungswertes.
19. Servosystem nach Anspruch 18, wobei der Taktimpuls innerhalb eines Zyklus
des Taktimpulses eine aktive Periode und eine inaktive Periode aufweist und das Tastver
hältnis durch den Anteil der aktiven Periode in einem Zyklus des Taktimpulses bestimmt
ist.
20. Servosystem nach Anspruch 19, wobei die Treiberspannung während der akti
ven Periode an dem Motor (50) liegt.
21. Servosystem nach Anspruch 18, wobei die Treiberspannung eine Spannung mit
einer Resonanzfrequenz des Aktuators ist.
22. Servosystem nach Anspruch 18, wobei die vorbestimmte Zeitdauer auf einige
msec eingestellt ist.
23. Servosystem nach Anspruch 18, wobei der Motor (50) einen Gleichstrommotor
enthält.
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