DE3314609A1 - Verfahren zum betrieb eines ultraschall-schwingers zur fluessigkeitszerstaeubung - Google Patents

Verfahren zum betrieb eines ultraschall-schwingers zur fluessigkeitszerstaeubung

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Description

Verfahren zum Betrieb eines Ultraschall-Schwingers zur Flüssigkeitszerstäubung.
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Aus der deutschen Patentschrift 20 32 433 ist ein Ultraschall-Flüssigkeitszerstäuber bekannt, der mit elektrischer Wechselspannung mit einer Frequenz von z.B. 100 kHz gespeist wird. Zum Zwecke der Umwandlung elektrischer in mechanische Energie hat der Schwinger des Zerstäubers einen Anteil aus piezoelektrischer Keramik.
Im Handel ist ein Inhalationsgerät der Fa. Siemens mit der Bezeichnung "Mikroinhalator", in dem sich ein Flüssigkeitszerstäuber nach der obengenannten Patentschrift befindet. In diesem Gerät ist auch eine elektrische Anregungsschaltung enthalten, die die Speise-Wechselspannung liefert.
Weitere Anwendungen eines Flüssigkeitszerstäubers der obengenannten Art ist z.B. die Heizöl-Zerstäubung für Heizölbrenner.
In allen Anwendungsfällen eines wie obengenannten Flüssigkeitszerstäubers mit einem Ultraschall-Schwinger war darauf zu achten, daß die der schwingenden Arbeitsplatte zuzuführende und insbesondere die an dieser Platte anhaftende Flüssigkeitsmenge niemals groß war, weil sonst das einwandfreie Schwingen des Schwingers und insbesondere dieser Arbeitsplatte behindert würde.
Bts 1 BIa / 21.4.1983
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, Maßnahmen anzugeben, mit denen das Problem der Behinderung der Schwingung des Flüssigkeitszerstäubers bei übermäßiger Flüssigkeitsmenge behoben wird.
Diese Aufgabe wird mit einem Verfahren nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 erfindungsgemäß mit Hilfe der Merkmale des Kennzeichens des Patentanspruchs 1 gelöst. Weitere Ausgestaltungen und Weiterbildungen gehen aus den Unteransprüchen hervor.
Zum Betrieb des Ultrascha11-Wandlers sines wie oben erörterten Flüssigkeitszerstäubers wird eine elektronische Anregungsschaltung benötigt, die den Schwinger auch unter ungünstigen Betriebs(Anschwing-)bedingungen derart in Betrieb zu setzen vermag, daß tatsächlich Flüssigkeitszerstäubung auftritt. Eine solche ungünstige Betriebsbedingung ist z.B., daß an der Arbeitsplatte des Zerstäubers ein Flüssigkeitstropfen haftet, der die Schwingung dieser Arbeitsplatte und damit die Schwingung des ganzen Ultraschall-Schwingers behindert. Bisher wurde als Abhilfe dagegen ein so hoher Leistungsüberschuß an elektrisch eingespeister Dauerleistung vorgesehen, daß auch solche übermäßige Bedämpfung des Schwingers bewältigt wird. Dies hat aber den Nachteil, daß insbesondere bei einem Ausfall der Flüssigkeitszufuhr der Schwinger dann zerstört wird, weil im Ergebnis thermische Überlastung desselben auftritt.
Die Erfindung geht von der Überlegung aus, daß ein völlig neues Betriebsverfahren für einen solchen Flüssigkeitszerstäuber gefunden werden muß, um die anstehenden Probleme zu lösen. Das Konzept dieses neuen Verfahrens ist, den mit einer relativ hochfrequenten Wechselspannung zu speisenden Schwinger statt wie bisher kontinuierlich
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jetzt mit relativ niedriger Frequenz (20 bis 100 Hz) repetierlich, insbesondere periodisch, getaktet zu speisen. Zum sicheren Anschwingen des Schwingers und damit zum sicheren Anlaufen des Zerstäubungsvorgangs wird v/ährend eines ersten Zeitintervalls At1 eine so hohe elektrische (Spitzen-)Leistung zugeführt, daß der ' Schwinger selbst bei starker Bedämpfung durch z.B. anhängende Tropfen sicher anschwingt. Fahrend eines nachfolgenden zweiten Zeitintervalls zLtp wird wesentlich niedrigere elektrische Leistung bzw. gar keine Leistung mehr zugeführt. Das Taktverhältnis von At1 zu Atp, die absoluten Zeitdauern der Zeitintervalle und die Werte der in den Zeitintervallen zugeführten elektrischen Leistungswerte sind aufeinander so abgestimmt bemessen, daß die sich aus der integral ergebenden mittleren zugeführten elektrischen Leistung resultierende thermische Belastung des Schwingers nicht unzulässig hoch wird und dennoch entsprechende Flüssigkeitsmenge zerstäubt wird.
Eine besonders vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung ist, für die Zeitintervalle AtJ und At2 eine derartige Repetition vorzusehen, bei der Gruppen, jeweils bestehend aus mehreren aufeinanderfolgenden, den Zeitintervallen At1 entsprechenden Takten, periodisch aufeinanderfolgen. Vorzugsweise wird die Frequenz der Aufeinanderfolge der Gruppen gleich der schon obengenannten Taktfrequenz mit z.B. 20 bis 100 Hz gewählt. Mit einer Taktfrequenz eines solchen Frequenzwertes läßt sich erreichen, daß ein an der schwingenden Arbeitsplatte anhaftender Flüssigkeitstropfen - je nach Konsistenz und Adhäsionskraft des Materials dieses Tropfens - in eine Schwingbewegung auf der Oberfläche dieser Arbeitsplatte gebracht wird. Während der Phase des Schwingens der Arbeitsplatte
zieht sich ein solcher Flüssigkeitstropfen vorzugsweise im Zentrum dieser Platte zusammen. Bei Abklingen der Schwingamplitude bzw. Ruhe der Arbeitsplatte verteilt er sich dagegen gleichförmig bis zu dem Rand der Platte über deren ganzer Oberfläche oder hängt bei nichthorizontaler Lage der Oberfläche der Platte mehr oder weniger am Randbereich der Platte.
Anstelle eines - bezogen auf die Periodendauer einer 10 bis 100 Hz-Schwingung - längeren Zeitintervalls At* ist es vorteilhaft, die bereits obenerwähnten Impulsgruppen vorzusehen, nämlich mehrere Impulse mit jeweils kürzeren Zeit int ervallen At*1 aufeinanderfolgen zu lassen und die Länge des einzelnen ZeitIntervalls AtJ so kurz zu wählen, daß At^ = 25 bis 200% der Betriebs-Anschwingzeitkonstanten -fdes Schwingers ist. Diese Bemessung hat den überraschenden Vorteil, daß in einem derart kurz bemessenen Zeitintervall AtJ die Anschwing-Steilheit des Schwingers als lastunabhängig erscheint. Diese Anschwingzeitkonstante beträgt z.B.1 ms für einen Schwinger mit 100 kHz Schwingfrequenz „
Besonders wenig aufwendig ist es, die Repetitionsfrequenz bzw. die Periodenfrequenz für das Aufeinanderfolgen der Gruppen von Anregungstakten der Netzfrequenz zu entnehmen. Hierfür genügt es, ungesiebt gleichgerichtete Wechselspannung des Netzes zur Speisung der Anregungsschaltung zu verwenden.
Bei Schwingungsanregung des Schwingers mit kurzen Zeitintervallen At*1 in der Größe von 25 bis 200% der Anschwingzeitkonstanten erreicht die Schwingungsamplitude des Schwingers nicht die Höhe der Endamplitude der Schwin-
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gung, sondern der Anstieg bricht bei einem vorgebbaren Wert einer oberen Schwelle S. ab. Im nachfolgenden zweiten Zeitintervall itp, in dem Speisung mit geringerer oder keiner elektrischen Leistung erfolgt, klingt diese Schwingung dann auf einen unteren vorgebbaren Schwellenwert ab. Es läßt sich damit ein sägezahnartiger zeitlicher Verlauf der Schwingungsamplitude des Schwingers erreichen. Damit wird einerseits stets zuverlässig Schwingungsanregung und Flüssigkeitszerstäubung, und zwar auch unter ungünstigsten Anschwingbedingungen, erreicht, und andererseits kann die mittlere thermische Belastung des Schwingers selbst für den Fall des Trockengehens desselben auf einem genügend niedrigen Maß gehalten werden.
Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren getakteter Zuführung der elektrischen Anregungsleistung für das Schwingen des Ultraschall-Schwingers kann eine besonders vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung realisiert werden, nämlich Steuerungs- und/oder Kontrollmaßnahmen durchzuführen.
Wenn man im zweiten Zeitintervall £fco dem Schwinger keine elektrische Leistung zuführt, erfolgt das Abklingen der Schwingung desselben entsprechend den eigenen charakteristischen Eigenschaften des Schwingers. Da der Ultraschall-Schwinger im Regelfall mit Hilfe eines piezoelektrischen Wandlers angeregt wird, dem die elektrische Leistung zugeführt wird, kann in der Phase des Abkling-Ausschwingens dieses Ultraschall-Schwingers von diesem Wandler umgekehrt ein elektrisches Signal abgenommen werden. Die Frequenz dieses abzunehmenden elektrischen Signals ist gleich der Eigenresonanzfrequenz des Schwingers und kann zur optimalen Steuerung der Frequenz der Anregungs-Wechselspannung für die Speisung im ersten Zeitintervall It* genutzt werden. Das Auftreten eines' solchen elektrischen Signals im zweiten Zeitintervall £tp ist auch
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eine Kontrolle für das Schwingen und"die Zerstäubungsfunktion im ersten Zeitintervall At*. Die Höhe und der zeitliche Yerlauf - insbesondere die Zeitkonstante - des elektrischen Signals im Zeitintervall ^t2 ist auch ein Maß für die erreichte Schwingamplitude im Zeitintervall j{t*. Eine geringere Höhe dieses im Zeitintervall 4.t2 aufgenommenen elektrischen Signals weist auf stärkere Bedämpfung des Ultraschall-Schwingers und damit auf relativ große Flüssigkeitszufuhr hin. Soweit zulässig, kann die zugeführte elektrische Speiseleistung im Zeitintervall At* vergrößert werden oder die Menge der pro Zeiteinheit zugeführten Flüssigkeit soweit verringert werden, bis das im Zeitintervall 4t2 abgenommene elektrische Signal auf wieder erreichtes optimales Schwingverhalten des Flüssigkeitszerstäubers hinweist.
Weitere Erläuterungen der Erfindung gehen aus der anhand der Figuren gegebenen Beschreibung hervor. Es zeigen:
Fig.1 eine Prinzipanordnung eines Flüssigkeitszerstäubers mit elektronischer Anregungsschaltung.
Fig.2 Ein Diagramm des zeitlichen Taktverlaufs eingespeister elektrischer Leistung.
Fig.3 Ein Diagramm eines zeitlichen Taktverlaufs eingespeister elektrischer Leistung, wobei Gruppen von Speisetakten periodisch aufeinanderfolgen.
Fig.4 Ein Diagramm des zeitlichen Terlaufs der Schwingungsamplitude des Ultraschall-Schwingers.
Fig.5 ein Diagramm des zeitlichen Verlaufs der Amplitude des Ultraschall-Schwingers, wobei die Taktfolge
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nach den jeweils erreichten Schwingungsamplituden gesteuert wird.
Fig.6 Ein Schaltungsbeispiel zur Durchführung des erfindungs gemäßen "Verfahrens.
Fig.7 Ein Schaltbild für eine gemäß der Weiterbildung der Erfindung vorgesehene Überwachung des Betriebsverhaltens des Ultraschall-Schwingers.
In Fig.1 ist mit 1 der gesamte Ultraschall-Schwinger bezeichnet. Es ist dies z.B. ein Ultraschall-Schwinger nach der deutschen Patentschrift 20 32 433. Dieser Schwinger umfaßt eine piezokeramische Scheibe 2 als piezoelektrischer Wandler, an die die elektrische Anregungsspannung anzulegen ist. Mit 3 ist die Arbeitsplatte bezeichnet, auf deren Oberfläche 4 die Flüssigkeitszerstäubung 5 erfolgt. Mit 6 ist eine Zuführungsleitung und mit 7 eine in dieser Zuführungsleitung installierte Pumpe für die der Oberfläche 4 zuzuführende, zu zerstäubende Flüssigkeit bezeichnet.
Mit 11 ist die eigentliche Anregungselektronik bezeichnet und mit 12 ist auf eine gemäß einer Weiterbildung vorgesehene zusätzliche Elektronikschaltung hingewiesen, die der Überwachung des betriebsmäßigen Schwingverhaltens des Ultraschall-Schwingers 1 dient.
Über die Leitung 13 wird die von der Schaltung 11 abgegebene elektrische Leistung dem Wandler 2 zugeführt. Die Schaltung 11 wird an den Anschlüssen 14 z.B. mit 220 YoIt Wechselspannung oder auch mit 12 YoIt Gleichspannung gespeist. Mit 15 ist eine Yerbindungsleitung zur Schaltung 12 bezeichnet, nämlich über die während der Speisepause
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im Zeitintervall ^t2 ein vom Wandler 2 zurückgeliefertes elektrisches Signal dieser Schaltung 12 zugeführt werden kann. Alternativ kann auch vorgesehen sein, daß der Wandler 2 eine zusätzliche (Rückkopplungs-)Elektrode hat, die über die Leitung 15 mit der Schaltung 12 verbunden ist. Die Leitung 16 zwischen den Schaltungen 11 und 12 dient dazu, von der Schaltung 12 AuswerteSignaIe an die Schaltung 11 zu liefern, um diese zu steuern. Diese Steuerung kann sich insbesondere auf die Frequenz f der Anregungs-Wechselspannung (z.B. im Bereich von 100 kHz), auf die obere Schwelle S1 der Schwingungsamplitude des Schwingers 1 und/oder auf die untere Schwingungsamplitude S^ desselben beziehen.
Mit den Leitungen 17 ist auf SteuerSignalausgänge der Schaltung 12 hingewiesen, z.B. zu einer Leuchtdiode 18, die als Betriebssignallampe dienen kann, und zur Pumpe 7, deren Steuerung aus der Schaltung 12 stets angepaßte Menge der Flüssigkeitszufuhr zur Oberfläche 4 des Schwingers 1 gewährleisten kann.
Das Diagramm der Fig.2 zeigt die über die Leitung 13 dem Wandler 2 und damit dem Schwinger 1 zugeführte elektrische Leistung N, aufgetragen über der Zeit. Die Takte 21 mit den ersten Zeitintervallen ^t1 sind die eigentlichen Speiseintervalle. In diesen Intervallen erhält der Schwinger 1 eine so große elektrische Leistung zugeführt, daß er selbst und damit auch die Arbeitsplatte 3 zuverlässig in die geforderte Ultraschall-Schwingung versetzt wird, und zwar unabhängig davon, ob auf der Oberfläche 4 der Platte 3 eine mehr oder weniger große Flüssigkeitsbelegung oder ein daran anhaftender Tropfen vorliegt. In den Zeitintervallen to.2 wird elektrische Leistung entsprechend den Takten 22 zugeführt. Die Leistung der Takte 22 kann so hoch
bemessen sein, daß kontinuierliches Weiterschwingen kontinuierlich weitere Zerstäubung 5 bewirkt. Die elektrische Leistung der Takte 22 kann aber den Wert Null haben, d.h. man läßt in den zweiten Zeitintervallen ^tρ den Schwinger 1 ausschwingen. Das Taktverhältnis ^t1:
(^t1H-At2) beträgt z.B. 4 ms : 20 ms, wobei letzterer Wert vorteilhafterweise aus der Netzfrequenz abgeleitet ist. Wichtig für das Taktverhältnis ist, daß zusammen mit dem Leistungsverhältnis N1 zu N2 die zulässigerweise zuzuführende mittlere elektrische Leistung nicht überschritten wird, aber dennoch mit der Höhe der Leistung N1 stets sicheres Anschwingen gewährleistet ist.
Fig.3 zeigt das Diagramm der elektrischen Leistung N, wiederum aufgetragen über der Zeit t, jedoch mit Gruppen von - bei diesem Beispiel jeweils drei - Takten 31. Sin jeder dieser Takte 31 hat die Länge eines Zeitintervalls Jt1' von z.B. 1 ms Dauer. Die Repetition dieser Takte 31 innerhalb einer Gruppe ist vorzugsweise periodisch mit der Frequenz F1. Die Gruppen 32 bestehen aus der jeweiligen Anzahl der Einzeltakte 31, haben vorzugsweise ebenfalls periodische Repetition mit der Frequenz F2. Insbesondere wird diese Frequenz F2 zwischen 10 und 100 Hz, vorzugsweise 50 Hz (60 Hz), groß gemacht. Für das Maß der bereits obenerwähnten zugeführten mittleren elektrischen Leistung kommt es auf die Summe der Zeitintervalle it1' einer einzelnen Gruppe 32 im Verhältnis zur Feriodendauer der Repetitionsfrequenz F2 an.
Das Diagramm der Fig.4 zeigt ein sich bei Speisung mit Anregungsieistung nach Fig.3 ergebender Amplitudenverlauf der Schwingung des Schwingers 1 bzw. der Arbeitsplatte 3» Da zwischen dem letzten Zeitintervall /Lt* ' der einen Gruppe 32 und dem ersten Zeitintervall 4t1' der folgen-
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den Gruppe 32 nach Fig.3 keine elektrische Leistungszufuhr vorgesehen ist, erfolgt in diesem Zeitintervall At2 ein asymptotisches Abklingen bis zum erneuten Wiederanschwingen.
Es ist bereits oben darauf hingewiesen worden, daß es von Vorteil sein kann, die Schwingungsamplitude A zwischen einer oberen Schwelle S^ und einer unteren Schwelle Sp zu halten, wie dies Fig.5 zeigt. Die Zeitintervalle des ijt^ bzw. das Zeitintervall, in dem Zeitintervaine At* ' ι ' ι
(Fig.3) vorliegen, und das Zeitintervall itp ergeben sich dann aus dem jeweiligen Betriebsschwingungsverhalten des Schwingers 1 und sind hier in ihrer zeitlichen Länge über die Dauer betrachtet variabel. Wie ebenfalls bereits oben erwähnt, erfolgt die Steuerung der Zeitintervalle At^ und Ätp mit Hilfe der Schaltung 12, in der ein über die Leitung 15 geliefertes Rücksignal des Schwingers 1 ausgewertet wird.
Fig.6 zeigt ein vollständiges Schaltbild für eine Schaltung 11 zur Erzeugung der den Schwinger 1 speisenden elektrischen Leistung. Die Repetitionsfrequenz wird in dieser Schaltung von dem Generator 61 geliefert. Mit dem Generator 62 wird die Frequenz f der über die Leitung 13 zuzuführenden Wechselspannung, z.B. 100 kHz, gesteuert. Der Schaltungsteil 63 ist eine Treiberstufe und der Transistor 64 ist die Endstufe. Das Schaltungsteil 65 mit der Zenerdiode dient der Korrektur einer Schwankung der Versorgungsspannung 66. Die weiteren Einzelheiten der Schaltung gehen für den Fachmann ohne weiteres erkennbar aus dem Schaltbild hervor.
Fig.7 zeigt ein Schaltungsbeispiel für eine Schaltung Es sind mit 71 das für eine Signalverzögerung vorgesehene Schaltungsteil und mit 72 der Signalkomparator bezeichnet.
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Ab
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Auch dieses Schaltbild bedarf für den Fachmann keiner weiteren Erläuterung.
In Fig.3 ist mit 35 ein Yorimpuls gezeigt, der zeitlich vor Ingangsetzen des eigentlichen Zerstäuberbetriebs dem Schwinger 1 zugeführt wird. Es ist dies vorzugsweise ein Burstimpuls (Schwingungspaket) mit vorteilhafterweise eins bis zwanzig Schwingungen mit einer Frequenz, die wenigstens angenähert gleich der Resonanzfrequenz des Schwingers 1 ist.
Der Torimpuls stößt eine Schwingung des Schwingers 1 an und dessen Abklingschwingung 45 (in Fig.4) wird, wie oben schon beschrieben, zur Anfangssteuerung der Frequenz f der über die Leitung 13 zuzuführenden Anregungs-Wechselspannung genutzt.
17 Patentansprüche
7 Figuren

Claims (1)

  1. Patentansprüche
    (V.. Verfahren zum Betrieb eines Ultraschall-Schwingers zur Flüssigkeitszerstäubung, wobei der Schwinger mit einer elektrischen Wechselspannung mit einer solchen Frequenz gespeist' wird, die auf optimale Schwingungsleistung des Schwingers abgestimmt wird, gekennzeichnet dadurch, daß die Speisung bezüglich der Höhe der eingespeisten elektrischen Leistung zeitlieh repetierlich getaktet erfolgt, wobei für ein erstes Zeitintervall (^t.) die eingespeiste Leistung (N.) so hoch bemessen ist, daß die Einsatzschwelle (E) für tatsächlich eintretende Flüssigkeitszerstäubung (5) auch bei ungünstigster Betriebs-Anschwingbedingung genügend hoch überschritten ist, wobei für ein zweites Zeitintervall (^ftp) die eingespeiste Leistung φίρ) vergleichsweise zum Zeitintervall (i tj geringer bemessen ist und wobei der Mittelwert der eingespeisten Leistung (N.
    gemittelt über die beiden Zeitintervalle (At^, ^ zusammengenommen auf die pro Zeiteinheit zugeführte, zu zerstäubende Flüssigkeitsmenge (7) angepaßt Gemessen ist,
    2 ο Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß während eines zweiten Zeitintervalls (At^) keine elektrische Leistung (Np = 0) eingespeist wird und wobei zur weiteren Flüssigkeitszerstäubung (5) in diesem zweiten Zeitintervall (4t„) die im Schwinger (1) gespeicherte mechanische Leistung genutzt wird. (Fig. 4)
    3 ο Verfahren nach Anspruch 1.oder 2, gekenn-
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    zeichnet dadurch, daß die Länge eines ersten Zeitintervalls (A t^ f/bLs 200% der Betriebs-Anschwingzeitkonstanten T des Schwingers beträgt.
    4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, gekennzeichnet dadurch, daß die Repetition der Zeitintervalle (£.t , /\t^) mit einer Frequenz (F2) von 10 bis 100 Hz erfolgt.
    5. Verfahren nach Anspruch 4, gekennzeichnet dadurch, daß die Repetition (Fp) mit der Netzfrequenz (50 oder 60 Hz) durchgeführt wird, wobei hierfür ungesiebte, gleichgerichtete Wechselspannung des Netzes zur Versorung (14) der Anregungsschaltung verwendet wird.
    6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet dadurch, daß für eine Gruppe (32) bestehend aus mehreren Takten (31) aufeinanderfolgende erste Zeitintervalle (At1) eine erste Repetitionsfrequenz (F.) angewendet wird und die aufeinanderfolgenden Gruppen (32) eine zweite Repetitionsfrequenz (F2) mit 10 bis 100 Hz haben.
    7. Verfahren nach Anspruch 6, gekennzeichnet dadurch, daß die ersten Repetitionsfrequenz (F.) etwa gleich dem 0,2- bis 2-fachen des Reziprokwertes der Anschwingzeitkonstanten T des Schwingers (1) gewählt ist.
    8. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, gekennzeichnet dadurch, daß die Anzahl der Takte (31) der ersten Zeitintervalle (ü tj einer jeweiligen Gruppe
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    (32) gleich 2 bis 10 oder 2 ist.
    9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, g e kennzei chnet dadurch, daß eine obere Schwelle (S1) und eine untere Schwelle (Sp) für die Schwingungsamplituden (A) des Schwingers (1) vorgegeben werden, wobei die obere Schwelle (S1) größer als die zur Zerstäubung notwendige Mindestamplitude (E) des Schwingers (1) bemessen ist und
    wobei der Wechsel vom jeweils ersten Zeitintervall (Jf^, A t ') zum nachfolgenden zweiten Zeitintervall (At ^) bei Erreichen der oberen Schwelle (S1) erfolgt und wobei der Wechsel vom zweiten Zeitintervall (At^) zum nachfolgenden ersten Zeitintervall (it., £ t. ') bei Erreichen der unteren Schwelle (Sp) erfolgt.
    10o Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 9, gekennzeichnet dadurch, daß eine Auswertung des im zweiten Zeitintervall (A t~) erfolgenden zeitliehen Abklingens der Schwingungsamplitude (A) des Schwingers (i) vorgenommen wird,
    wobei ein vom Schwinger geliefertes, diesem Abklingen entsprechendes elektrisches Signal (15) aufgenommen wird.
    11 ο Verfahren nach Anspruch 10, gekennzeichnet dadurch, daß die Auswertung des elektrischen Signals (15) des Abklingens des Schwingers (1) des zweiten Zeitintervalls (At^) zur Überwachung (18) ordnungsgemäßen Betriebs des Schwingers genutzt wird.
    12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, gekennzeichnet dadurch, daß das elektrische Signal (15) des Abklingens des Schwingers im zweiten Zeitintervall (A tp) zur Steuerung des Unterbrechens und/oder (Wieder-)
    Einschaltens der Flüssigkeitszufuhr (7) genutzt wird.
    13. Verfahren nach Anspruch 10, 11 oder 12, g e kennzeichn et dadurch, daß das elektrische Signal (15) des Abklingens des Schwingers im zweiten Zeitintervall (/tp) zur Steuerung der Abstimmung der Flüssigkeitszufuhr (7) und der eingespeisten mittleren elektrischen Leistung (N. + Np) zueinander benutzt wird.
    14. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 13» gekennzeichnet dadurch, daß das elektrische Signal (15) des Abklingens des Schwingers (1) im zweiten Zeitintervall (At~) zur Überwachung und Steuerung der Einspeisung für das betriebsgemäße Überschreiten der Einsatzschwelle (E) genügend hoch bemessener elektrischer Leistung (N.) während des Zeitintervalls (At.) genutzt wird.
    15. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 14, g e kennzeichnet dadurch, daß die Frequenz des
    elektrischen Signals (15) des Abklingens des Schwingers (1) im zweiten Zeitintervall (4t2) zur Steuerung der Frequenz (f) der Anregungswechselspannung für die Speisung des Schwingers (1) genutzt wird. 25
    16. Verfahren nach Anspruch 10, gekennzeichnet dadurch, daß die Frequenz des elektrischen Signals (15) des. Abklingens des Schwingers (i), das nach einer Speisung des Schwingers (i) mit einem anregenden Vorimpuls (35) zu erhalten ist, für die Bestimmung der Frequenz (f) der den Schwinger (1) anregenden elektrischen Wechselspannung (13) genutzt wird.
    17. Verfahren nach Anspruch 16, ge· kennzeich-
    83 P 1 2 9 3 DE
    net dadurch, daß der Vorimpuüs (35) ein Burst-Signal (Schwingungspaket) mit nur wenigen Schwingungen ist.
    18. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 17, gekennzeichnet dadurch, daß durch eine geregelte (65) Änderung der Länge der ersten und/oder der zweiten Zeitintervalle ( t^, tp) die mittlere elektrische Leistung (NT+nT) unabhängig von Schwankungen der Tersorgungsspannung (66) konstant gehalten wird.
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