DE19734641A1 - Bandleiterlaser mit einem optischen Abbildungssystem zur Strahlformung - Google Patents
Bandleiterlaser mit einem optischen Abbildungssystem zur StrahlformungInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen Bandleiterlaser, insbesondere einen CO2-
Bandleiterlaser, mit einem optischen Abbildungssystem zur Strahlformung eines
aus einem Resonator austretenden Laserstrahls.
Bei einem sogenannten Bandleiter- oder Slablaser handelt es sich um einen La
ser, dessen Resonator eine Kombination aus einem Wellenleiter-Resonator und
einem instabilen Resonator des negativen oder positiven Zweiges ist. Ein solcher
Bandleiterlaser mit einem Kohlendioxid CO2 enthaltenden Gasgemisch als laser
aktivem Medium ist beispielsweise aus den europäischen Offenlegungsschriften
0 275 023 A1 und 0 305 893 A2 bekannt.
Die bekannten Bandleiterlaser enthalten flache plattenförmige Elektroden, die mit
ihren Flachseiten einander gegenüberliegend angeordnet sind. Die Elektroden
legen einen flachen längsgestreckten Entladungsraum fest, in dem durch Anlegen
eines hochfrequenten elektromagnetischen Feldes das zwischen den Elektroden
befindliche Lasergas angeregt wird. Gegenüber den Stirnflächen des Entladungs
raumes ist jeweils ein Resonatorspiegel derart angeordnet, daß sich der aus
Wellenleiter und Resonatorspiegel gebildete Resonator in einer Richtung parallel
zur Längsseite der Stirnfläche wie ein instabiler konfokaler Resonator mit freier
Strahlpropagation verhält. Quer zu dieser Richtung, d. h. parallel zur Schmalseite
der Stirnfläche, werden die Ausbreitungsbedingungen der innerhalb des Entla
dungsraumes entstehenden elektromagnetischen Strahlung durch die Wellenlei
tereigenschaften der einander zugewandten Elektroden festgelegt.
Der aus einem solchen Resonator ausgekoppelte Laserstrahl hat in einer Ebene
quer zur Ausbreitungsrichtung im wesentlichen die Form eines Rechtecks, dessen
Schmalseite parallel zum Abstand der den Wellenleiter bildenden Wandflächen
verläuft und dessen Längsseite parallel zur Stirnfläche des von den Elektroden
des Wellenleiters gebildeten Entladungsraumes verläuft. Mit anderen Worten: Die
Intensitätsverteilung in der Ebene quer zur Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls
hat im Nahfeld eine annähernd rechteckige Form mit einer Höhe von etwa 1-2
mm und einer Breite von einigen Zentimetern.
Der ausgekoppelte Laserstrahl weist außerdem in dieser Ebene in zwei zueinan
der senkrechten Richtungen unterschiedliche Strahleigenschaften auf. In Wellen
leiterrichtung oder in stabiler Richtung, d. h. in Richtung der Schmalseite, ist die
Divergenz relativ hoch, beispielsweise 10 mrad. Die Intensitätsverteilung im Nah
feld ist in dieser Richtung annähernd rechteckig, wobei im Fernfeld annähernd
eine gaußförmige Verteilung der Intensität vorliegt. Die Divergenz in der instabilen
Richtung, d. h. in Richtung der Längsseite, ist aufgrund der hohen Strahlbreite
relativ klein, beispielsweise 1 mrad, wobei die Intensitätsverteilung im Nahfeld in
dieser Richtung ebenfalls annähernd rechteckig ist. Im Fernfeld liegt eine gauß
förmige Intensitätsverteilung mit teilweise ausgeprägten Nebenmaxima vor. Eine
solche asymmetrische Intensitätsverteilung liegt auch bei einem sogenannten
koaxialen Bandleiterlaser vor, wie er beispielsweise aus der PCT-Anmeldung WO
91/15045 näher bekannt ist.
Die bei einem ebenen Bandleiterlaser auftretende unterschiedliche Strahlkaustik
instabiler und stabiler Richtung ist auch aus der Zeitschrift "Laser und Optoelek
tronik", 23(3), 1991, S. 68 bis 81, bekannt. Dort wird zum Angleichen der unter
schiedlichen Divergenzen und zur Strahlsymmetrisierung eine teleskopische Ab
bildung vorgeschlagen, die aus Kreiszylinderspiegeln oder aus asphärischen Zy
linderspiegeln aufgebaut ist.
Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, einen Bandleiterlaser anzugeben,
dessen Laserstrahl am Ausgang eine weitgehend gleichmäßige Strahldivergenz in
allen Richtungen quer zur Ausbreitungsrichtung aufweist.
Die genannte Aufgabe wird gelöst mit den Merkmalen des Patentanspruches 1.
Bandleiterlaser, insbesondere ein CO2-Bandleiterlaser, enthält gemäß der Er
findung ein optisches Abbildungssystem zur Strahlformung eines aus einem Re
sonator austretenden Laserstrahls, dessen Divergenz in einer zur Ausbreitungs
richtung senkrechten ersten Richtung kleiner ist als in einer dazu und zur Ausbrei
tungsrichtung senkrechten zweiten Richtung, wobei das optische Abbildungssy
stem ein erstes optisches Abbildungselement zur Fokussierung des Laserstrahls
in der ersten Richtung und zur Kollimation des Laserstrahls in der zweiten Rich
tung sowie ein zweites optisches Abbildungselement zur Kollimation des fokus
sierten Laserstrahls in der ersten Richtung umfaßt. Durch diese Maßnahme ist es
möglich, den Durchmesser des Laserstrahls in seiner zweiten Richtung am Ort der
Abbildungsfläche des zweiten optischen Abbildungselementes auf den Durch
messer des Laserstrahls in der ersten Richtung anzupassen. Durch eine solche
Abbildung ist es somit möglich, einen Laserstrahl zu erzeugen, der annähernd
quadratischen Querschnitt und in zueinander senkrechten Richtungen eine annä
hernd gleiche Divergenz oder Strahlkaustik aufweist. Auf diese Weise ist die wei
tere Strahlführung zur eigentlichen Bearbeitungsstelle, beispielsweise zu einem
Schweißkopf, vereinfacht.
Unter Kollimation wird in der vorliegenden Beschreibung eine optische Abbildung
verstanden, mit der die Divergenz eines Strahlenbündels verringert wird. Der kol
limierte Laserstrahl hat in diesem Fall ein niedrigere Divergenz als der nichtkolli
mierte Laserstrahl vor seiner Abbildung durch das Abbildungselement. Eine ideale
Kollimation läge bei Erzeugung eines parallelen Strahlenbündels vor. Dies ist je
doch bei großen Wellenlängen, beispielsweise 10,6 µm für die Laserstrahlung ei
nes CO2-Bandleiterlasers praktisch nicht realisierbar, da in diesen Fällen die Ge
setze der geometrischen Optik nicht mehr uneingeschränkt anwendbar sind.
Vorzugsweise weist das erste optische Abbildungselement eine sphärische Abbil
dungsfläche auf. Durch die Abbildung mit einer sphärischen Abbildungsfläche wird
außerdem die in zweiter Richtung vorhandene kleinere Divergenz weiter verrin
gert.
Das erste optische Abbildungselement kann eine sphärische Linse sein. Vorzugs
weise ist jedoch ein sphärischer Spiegel vorgesehen, bei dem die thermische Be
lastung des Abbildungselementes zu einer geringeren Beeinflussung des Laser
strahls führt.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung umfaßt das zweite optische
Abbildungselement eine zylindrische Abbildungsfläche, dessen Zylinderachse
senkrecht zur ersten Richtung orientiert ist. Ein derartiges Abbildungselement be
einflußt die Divergenz des Laserstrahls in der zweiten Richtung, d. h. parallel zur
Zylinderachse, nicht, so daß entsprechend dem Krümmungsradius der zylindri
schen Abbildungsfläche eine Anpassung der Divergenz in erster Richtung an die
Divergenz in zweiter Richtung erfolgen kann.
Als zweites optisches Abbildungselement ist eine Zylinderlinse, insbesondere ein
Zylinderspiegel, vorgesehen. Durch die Verwendung eines Zylinderspiegels wer
den ebenfalls die mit einer thermischen Belastung des Abbildungselementes ein
hergehenden Nachteile weitgehend vermindert.
Insbesondere ist im Linsenfokus des zweiten optischen Abbildungselementes ein
Raumfilter angeordnet, mit dem die räumliche Verteilung in der ersten Richtung im
Fernfeld durch Ausblenden der dort vorhandenen Nebenmaxima so geändert
wird, daß nur das Hauptmaximum übrigbleibt.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung ist ein zusätzliches Abbildungsele
ment zur zusätzlichen Strahlformung des aus dem ersten Abbildungselement
austretenden Laserstrahls vorgesehen. Mit einem solchen zusätzlichen Abbil
dungselement ist eine einfache Einstellung der Lage der externen Strahltaille des
geformten Laserstrahls möglich.
Vorzugsweise ist hierzu das zusätzliche optische Abbildungselement entlang sei
ner optischen Achse verschiebbar angeordnet. Dies ermöglicht eine einfache An
passung der Strahlausbreitung an die jeweils vorliegenden Bedürfnisse.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist der Resonator in
der Kammer zur Aufnahme eines Lasergases angeordnet, die ein Austrittsfenster
zum Auskoppeln des Laserstrahls aufweist, wobei das optische Abbildungssystem
derart angeordnet ist, daß die Strahlformung außerhalb der Kammer erfolgt. Auf
diese Weise erfolgt die Strahlausbreitung bei der Strahlformung nicht innerhalb
des Lasergases, so daß eine Absorption des Laserstrahls durch das Lasergas
außerhalb des Resonators weitgehend verringert ist.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung, ist das Austrittsfenster
strahlformend ausgebildet. Auf diese Weise kann die Anzahl der insgesamt erfor
derlichen optischen Komponenten verringert werden.
Als Austrittsfenster ist insbesondere ein Fenster aus Diamant vorgesehen, mit
dem auch ein Laserstrahl im Höchstleistungsbereich in unmittelbarer Nähe des
Resonators, d. h. bei geringer Querschnittsfläche, und dementsprechend hoher
Intensität aus der Lasergas enthaltenden Kammer ausgekoppelt werden kann, so
daß Verluste durch Absorption des Laserstrahls im Lasergas weitgehend verrin
gert werden können.
Zur weiteren Erläuterung der Erfindung wird auf die Ausführungsbeispiele der
Zeichnung verwiesen. Es zeigen:
Fig. 1 einen Bandleiterlaser gemäß der Erfindung in einer schematischen
perspektivischen Darstellung,
Fig. 2a und 2b die Strahlausbreitung im optischen Abbildungssystem jeweils in
einer Schnittfläche parallel bzw. senkrecht zur ersten Richtung,
Fig. 3 und 4 jeweils vorteilhafte Ausgestaltungen der Strahlführung in einer
schematischen Übersichtsdarstellung,
Fig. 5 eine vorteilhafte Ausgestaltung des Abbildungssystems mit einer
Steuerung zur Lageveränderung des zusätzlichen optischen Abbil
dungselementes,
Fig. 6 die Strahlkaustik des Laserstrahls für zwei unterschiedliche Positio
nen des zusätzlichen optischen Abbildungselementes in einem Dia
gramm.
Gemäß Fig. 1 enthält ein Bandleiterlaser eine gasdichte Kammer 2, in dem sich
Lasergas LG, im Ausführungsbeispiel ein Kohlendioxid CO2 enthaltendes Laser
gas, sowie ein Resonator 4 befinden. Die Kammer 2 ist mit einer Vielzahl von
Versorgungsanschlüssen versehen, die aus Gründen der Übersichtlichkeit in der
Figur nicht eingezeichnet sind. Diese Versorgungsanschlüsse umfassen bei
spielsweise Gaszufuhr- bzw. Gasabfuhranschlüsse, um einen Austausch des La
sergases zu ermöglichen. Des weiteren sind Anschlüsse für Kühlmittel zum Küh
len der Komponenten des Resonators 4 sowie elektrische Anschlüsse zur Bereit
stellung der für die Gasentladung erforderlichen HF-Spannung vorgesehen.
Der Resonator 4 enthält im Ausführungsbeispiel zwei flache plattenförmige Elek
troden 6 und 8, die mit ihren einander zugewandten Flachseiten einen dünnen
ebenfalls quaderförmigen Entladungsraum 9 für das Lasergas LG bilden. Gegen
über jeder schmalen Stirnseite des Entladungsraumes 9 ist ein Resonatorspiegel 10
bzw. 12 angeordnet, der in einer ersten zu den Flachseiten der Elektroden 6, 8
und zur Stirnfläche des Entladungsraumes 9 parallelen Richtung 14 einen instabi
len konfokalen Resonator, im Ausführungsbeispiel ein instabiler Resonator des
positiven Zweigs, bildet.
Die Elektroden 6 und 8 sind in einem Abstand a von wenigen Millimetern vonein
ander angeordnet und bilden in einer zweiten zur Schmalseite parallelen, d. h. zur
Flachseite der Elektroden 6, 8 senkrechten Richtung 16 einen Wellenleiterresona
tor.
Der Resonatorspiegel 10 erstreckt sich nicht über die gesamte Stirnseite des von
den Elektroden 6, 8 festgelegten Entladungsraumes 9, so daß der im Resonator 4
erzeugte Laserstrahl LS seitlich am Resonatorspiegel 10 vorbei aus einem recht
eckigen Auskoppelspalt 18 austritt.
Der aus dem Auskoppelspalt 18 austretende Laserstrahl LS hat aufgrund der
niedrigen Spaltbreite a in zweiter Richtung 16 eine große Divergenz, beispielswei
se etwa 10 mrad. In Längsrichtung des Auskoppelspaltes 18, d. h. parallel zur er
sten Richtung 14, hat der Laserstrahl eine deutlich kleinere Divergenz, beispiels
weise 1 mrad.
Der Strahlengang des Laserstrahls LS ist in der Figur stark vereinfacht in Form
von seitlichen Begrenzungslinien eingetragen. Der divergente Laserstrahl LS tritt
aus der Kammer 2 durch ein für die Wellenlänge des Laserstrahls LS transparen
tes Austrittsfenster 20 aus. Auch die Divergenz des aus dem Resonator 4 austre
tenden Laserstrahls LS ist in der Figur zur Veranschaulichung übertrieben einge
zeichnet. Das Austrittsfenster 20 besteht vorzugsweise aus Diamant. Die extreme
Härte und die hohe Wärmeleitfähigkeit von Diamant erlaubt die Verwendung sehr
dünner, beispielsweise etwa 0,5 mm dicker Scheiben als Austrittsfenster. Diamant
zeichnet sich durch eine sehr hohe Qualitätskennzahl FOM (Figure of merit) aus,
die durch die Beziehung
wobei d die Dicke des Materials, A die Absorptionskonstante, λ die Wärmeleitfä
higkeit, dl/dT der Längenausdehnungskoeffizient und dn/dT der Koeffizient der
Temperaturabhängigkeit des optischen Brechungsindex n ist. Der für Diamant
errechnete Wert für Qualitätskennzahl FOM beträgt bei gleicher Materialdicke et
wa das 10fache der Qualitätskennzahl FOM üblicher verwendeter Fenstermate
rialien, beispielsweise Fenster aus ZnSe. Aus diesem Grund kann das Austritts
fenster 20 auch für Höchstleistungs-CO2-Bandleiterlaser, d. h. CO2-Band
leiterlaser mit einer Ausgangsleistung über 1 kW, nahe am Auskoppel
spalt 18, beispielsweise unmittelbar neben dem Resonatorspiegel 10, und somit
einer Stelle angeordnet werden, an der der Laserstrahl LS eine kleine Quer
schnittsfläche aufweist.
Im Strahlengang des Laserstrahls LS außerhalb der Kammer 2 sind entlang einer
optischen Achse 22 ein erstes Abbildungselement 24, im Ausführungsbeispiel ei
ne sphärische Linse, und in Richtung der Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls
LS dahinter ein zweites Abbildungselement 26, im Ausführungsbeispiel eine Zy
linderlinse, angeordnet. Das erste optische Abbildungselement 24 erzeugt einen
Linienfokus LF, der zwischen dem ersten Abbildungselement 24 und dem zweiten
Abbildungselement 26 liegt. Die Fokussierung des Laserstrahls LS erfolgt mit Hilfe
des ersten Abbildungselementes 24 somit in der ersten Richtung 14. In der dazu
und zur Ausbreitungsrichtung 22 des Laserstrahls LS senkrechten zweiten Rich
tung 16 folgt lediglich eine Verringerung der Divergenz, die im geometrischen
Idealfall dazu führt, daß die Randstrahlen 23 in einer zur ersten Richtung 14 senk
rechten Ebene parallel zueinander verlaufen.
Der vom ersten Abbildungselement 24 erzeugte Linienfokus LF liegt annähernd im
Linienfokus der im Ausführungsbeispiel als zweites optisches Abbildungsele
ment 26 verwendeten Zylinderlinse. Wird die Brennweite der Zylinderlinse so ge
wählt, daß die Strahlbreite an der abbildenden Oberfläche der Zylinderlinse senk
recht zur Zylinderachse, d. h. parallel zur ersten Richtung 14, und die Strahlbreite
parallel zur Zylinderachse, d. h. parallel zur zweiten Richtung 16, bei korrektem
Fokusabstand annähernd übereinstimmen, so tritt aus dem zweiten optischen
Abbildungselement 26 ein Laserstrahl LS aus, dessen Divergenz δ1, δ2 und
Strahlbreite b1, b2 in erster Richtung 14 und in zweiter Richtung 16 jeweils annä
hernd gleich sind (δ1=δ2 und b1=b2).
Dies ist in Fig. 2a und 2b näher erläutert. Gemäß Fig. 2a hat der aus dem Reso
nator austretende Laserstrahl LS in erster Richtung 14 eine relativ große Breite
und eine geringe Divergenz. Mit Hilfe des ersten Abbildungselementes 24 wird der
Laserstrahl LS in den senkrecht zur Zeichenebene verlaufenden Linienfokus LF
fokussiert. Durch das erste Abbildungselement 24 wird somit der Laserstrahl LS in
erster Richtung 14 nach dem Linienfokus LF in ein in dieser Richtung stark diver
gentes Strahlenbündel umgewandelt. Mit Hilfe des zweiten Abbildungselementes
26, im Ausführungsbeispiel eine plankonvexe Zylinderlinse, wird die Divergenz in
dieser Richtung verringert, d. h. der Laserstrahl LS wird kollimiert. Im Idealfall ist
der Divergenzwinkel δ1 in erster Richtung 14 des aus dem zweiten optischen
Abbildungselement austretenden Laserstrahls LS praktisch gleich Null.
Dem zweiten optischen Abbildungselements 26 ist in einer vorteilhaften Ausge
staltung der Erfindung ein zusätzliches optisches Abbildungselement 30 nachge
schaltet, beispielsweise eine sphärische Linse, das parallel zur optischen Achse
22 verschiebbar angeordnet ist und mit dem die Strahltaille des sich frei bis zu
einer in der Figur nicht dargestellten Bearbeitungseinheit fortpflanzenden Laser
strahls LS beeinflußt werden kann.
In Fig. 2b ist zu erkennen, daß der aus dem Resonator austretende Laserstrahl
LS parallel zur zweiten Richtung 16 relativ schmal ist und eine hohe Divergenz
aufweist. Durch das erste optische Abbildungselement 24 wird diese Divergenz
verringert, d. h. der Laserstrahl LS wird in zweiter Richtung 16 durch das erste
optische Abbildungselement 24 kollimiert. Das zweite optische Abbildungselement
26 bewirkt in der ersten Richtung 16 keine optische Abbildung, da diese parallel
zur Zylinderachse der im Ausführungsbeispiel verwendeten Zylinderlinse verläuft.
Der bei der Abbildung durch das erste Abbildungselement 24 erzeugte Divergenz
winkel δ2 bleibt somit erhalten und ist zumindest annähernd gleich dem Diver
genzwinkel δ1 der in erster Richtung 14 bei Kollimation durch das zweite optische
Abbildungselement 26 verbleibt (Fig. 2a).
Im Linienfokus LF ist ein Raumfilter 32 angeordnet, das im Beispielfall aus zwei
Prismen besteht, die mit ihren Längskanten derart parallel zueinander angeordnet
sind, daß zwischen zwei einander zugewandten Längskanten ein schmaler Spalt
entsteht, der parallel zum Linienfokus LF verläuft. Mit Hilfe des Raumfilters 32
können unerwünschte Nebenmaximal in der Strahlverteilung parallel zur ersten
Richtung 14 aus dem Strahlengang durch Reflexion am Prisma 32 ausgeblendet
werden.
Gem. Fig. 3 enthält die optische Abbildungseinrichtung zur Strahlformung des La
serstrahls LS anstelle von Linsen Spiegel als optische Abbildungselemente 24, 26
und 30. In diesem Ausführungsbeispiel ist das erste optische Abbildungselement
24 ein sphärischer Hohlspiegel, das zweite optische Abbildungselement 26 ein
zylindrischer Hohlspiegel und das zusätzliche optische Abbildungselement 30
ebenfalls ein sphärischer Hohlspiegel.
Gegenüber der Austrittsfläche des aus den Elektroden 6 und 8 gebildeten Wellen
leiters ist ein erster Umlenkspiegel 40 angeordnet, der den Laserstrahl LS um 90°
umlenkt und einem zweiten Umlenkspiegel 42 zuführt, der eine erneute Umlen
kung um nahezu 90° bewirkt und den Laserstrahl LS auf das optische Abbildung
selement 24 richtet. Der Laserstrahl LS trifft unter einem spitzen Winkel α zur op
tischen Achse 22 auf das erste optische Abbildungselement 24 auf. Durch eine
solche Anordnung kann ein kompakter Aufbau sowohl des optischen Abbildungs
systems selbst als auch des Bandleiterlasers erreicht werden, da ein Teil der für
die Strahlformung erforderlichen Strahlausbreitungsstrecke parallel zur Längsrich
tung der Elektroden 6, 8 erfolgt und nicht zu einer Erhöhung der Baulänge des
Bandleiterlasers führt.
Gem. Fig. 4 sind die Elektroden 6, 8 den Resonators gegenüber der Ausbrei
tungsrichtung des Laserstrahls LS zwischen dem ersten optischen Abbildungs
element 24 und dem zweiten optischen Abbildungselement 26 um einen spitzen
Winkel α, beispielsweise etwa 3°, geneigt angeordnet. In dieser Ausführungsform
entfallen die Umlenkspiegel 40, 42 gem. Fig. 3.
Entsprechend Fig. 5 wird der vom zusätzlichen Abbildungselement 30 zusätzlich
geformte Laserstrahl einem Bearbeitungskopf 50 zugeführt, in dem er beispiels
weise um 90° umgelenkt fokussiert wird und auf ein Werkstück 52 geführt wird.
Ein im Bearbeitungskopf 50 angeordneter Meßwertaufnehmer 54 mißt beispiels
weise die Größe des Laserstrahls LS und die gewonnenen Meßergebnisse wer
den einer Steuereinrichtung 56 zugeführt, die den gemessenen Istwert mit einem
Sollwert vergleicht und entsprechend der Abweichung zwischen Sollwert und Ist
wert ein Steuersignal S zur Linearverschiebung des zusätzlichen optischen Abbil
dungselementes 30 an einen in der Figur nicht dargestellten Elektromotor weiter
leitet.
Gemäß Fig. 6 ist der Strahlradius r1, r2 des Laserstrahls in erster bzw. zweiter
Richtung in Abhängigkeit vom Abstand A vom zusätzlichen optischen Abbildungs
element 30 für zwei unterschiedliche Abstände A des zusätzlichen optischen
Abbildungselementes 30 vom zweiten optischen Abbildungselement 26 darge
stellt. Kurvenpaar a zeigt die Ausgangssituation bei einem Abstand A von 0,25 m
und Kurvenpaar b zeigt die Situation für einen Abstand A von etwa 0,35 m. In der
Figur ist deutlich zu erkennen, wie die Strahlkaustik von der Lage des zusätzli
chen optischen Abbildungselementes 30 beeinflußt werden kann. Dabei stimmen
beiden Fällen die Strahlradien r1 und r2 in erster und zweiter Richtung so gut
überein, daß sie zeichnerisch praktisch zusammenfallen.
Claims (14)
1. Bandleiterlaser, insbesondere CO2-Bandleiterlaser, mit einem optischen Abbil
dungssystem zur Strahlformung eines aus einem Resonator (4) austretenden La
serstrahls (LS), dessen Divergenz in einer zur Ausbreitungsrichtung senkrechten
ersten Richtung (14) kleiner ist als in einer dazu und zur Ausbreitungsrichtung
senkrechten zweiten Richtung (16), wobei das optische Abbildungssystem ein
erstes optisches Abbildungselement (24) zur Fokussierung des Laserstrahls (LS)
der ersten Richtung (14) und zur Kollimation des Laserstrahls (LS) in der zwei
ten Richtung (16) sowie ein zweites optisches Abbildungselement (26) zur Kolli
mation des fokussierten Laserstrahls (LS) in der ersten Richtung (14) umfaßt.
2. Bandleiterlaser nach Anspruch 1, bei dem das erste und zweite optische Abbil
dungselement (24,26) derart festgelegt sind, daß der aus dem zweiten Abbildungs
element (26) austretende Laserstrahl (LS) in der ersten Richtung (14) und in der
zweiten Richtung (16) annähernd gleiche Strahlbreite und Divergenz aufweist.
3. Bandleiterlaser nach Anspruch 1 oder 2, bei dem das erste optische Abbil
dungselement (24) eine sphärische Abbildungsfläche aufweist.
4. Bandleiterlaser nach Anspruch 3, bei dem das erste optische Abbildungsele
ment (24) ein sphärischer Spiegel ist.
5. Bandleiterlaser nach Anspruch 3, bei dem das erste optische Abbildungsele
ment (24) eine sphärische Linse ist.
6. Bandleiterlaser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem das
zweite optische Abbildungselement (26) eine zylindrische Abbildungsfläche um
faßt.
7. Bandleiterlaser nach Anspruch 6, bei dem das zweite optische Abbildungsele
ment (26) eine Zylinderlinse ist.
8. Bandleiterlaser nach Anspruch 6, bei dem das zweite optische Abbildungsele
ment (26) ein Zylinderspiegel ist.
9. Bandleiterlaser nach einem der Ansprüche 1 bis 8 bei dem im Fokus des ersten
optischen Abbildungselementes (24) ein Raumfilter (32) angeordnet ist.
10. Bandleiterlaser nach einem der Ansprüche 1 bis 9 bei dem das optische Ab
bildungssystem ein zusätzliches sphärisches Abbildungselement (30) zur zusätzli
chen Strahlformung des aus dem zweiten optischen Abbildungselement (26) aus
tretenden Laserstrahls (LS) umfaßt.
11. Bandleiterlaser nach Anspruch 10, bei dem das zusätzliche optische Abbil
dungselement (30) entlang seiner optischen Achse verschiebbar angeordnet ist.
12. Bandleiterlaser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem der Re
sonator (4) in einer Kammer (2) zur Aufnahme eines Lasergases (LG) angeordnet
ist, die ein Austrittsfenster (20) zum Auskoppeln des Laserstrahls (LS) aufweist,
wobei das optische Abbildungssystem derart angeordnet ist, daß die Strahlfor
mung außerhalb der Kammer erfolgt.
13. Bandleiterlaser nach Anspruch 12, bei dem das Austrittsfenster (20) strahlfor
mend ausgebildet ist.
14. Bandleiterlaser nach Anspruch 12 oder 13, bei dem das Austrittsfenster (20)
aus Diamant besteht.
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---|---|---|---|
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DE (1) | DE19734641A1 (de) |
WO (1) | WO1999008347A1 (de) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10230522B4 (de) * | 2001-07-07 | 2008-11-13 | Rofin-Sinar Laser Gmbh | Bandleiterlaser mit einem instabilen Resonator |
EP2053708A1 (de) * | 2007-10-25 | 2009-04-29 | Rofin-Sinar UK Ltd | Gaslaservorrichtung |
EP2628218A2 (de) * | 2010-11-23 | 2013-08-21 | Iradion Laser, Inc. | Keramische gaslaser mit integriertem strahlformungswellenleiter |
CN104678556A (zh) * | 2015-02-06 | 2015-06-03 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种透镜组条形象散光束实时整形与低阶像差补偿系统 |
WO2018057567A1 (en) * | 2016-09-20 | 2018-03-29 | Iradion Laser, Inc. | Lasers with setback aperture |
CN110221441A (zh) * | 2019-06-17 | 2019-09-10 | 佛山根固激光科技有限公司 | 射频板条co2激光器条形光束柱面镜整形的自适应系统 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1340585A1 (de) | 2002-02-28 | 2003-09-03 | Retainagroup Limited | Gerät zum Markieren eines Fahrzeugs mittels Laserstrahl |
WO2017075732A1 (zh) * | 2015-11-03 | 2017-05-11 | 徐海军 | 安装有柱面准直镜的射频激光器 |
CN105375252A (zh) * | 2015-11-03 | 2016-03-02 | 北京热刺激光技术有限责任公司 | 安装有柱面准直镜的射频激光器 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19500513C1 (de) * | 1995-01-11 | 1996-07-11 | Dilas Diodenlaser Gmbh | Optische Anordnung zur Verwendung bei einer Laserdiodenanordnung |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4530574A (en) * | 1982-07-28 | 1985-07-23 | Xerox Corporation | Beam collimation and focusing of multi-emitter or broad emitter lasers |
DE9003331U1 (de) * | 1990-03-21 | 1991-07-18 | Rofin-Sinar Laser GmbH, 2000 Hamburg | Gaslaser |
US5331466A (en) * | 1991-04-23 | 1994-07-19 | Lions Eye Institute Of Western Australia Inc. | Method and apparatus for homogenizing a collimated light beam |
FR2688098B1 (fr) * | 1992-03-02 | 1994-04-15 | Lair Liquide | Laser de puissance a fenetre diamant non revetue. |
-
1997
- 1997-08-11 DE DE1997134641 patent/DE19734641A1/de not_active Withdrawn
-
1998
- 1998-08-10 WO PCT/EP1998/005057 patent/WO1999008347A1/de not_active Application Discontinuation
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19500513C1 (de) * | 1995-01-11 | 1996-07-11 | Dilas Diodenlaser Gmbh | Optische Anordnung zur Verwendung bei einer Laserdiodenanordnung |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10230522B4 (de) * | 2001-07-07 | 2008-11-13 | Rofin-Sinar Laser Gmbh | Bandleiterlaser mit einem instabilen Resonator |
EP2053708A1 (de) * | 2007-10-25 | 2009-04-29 | Rofin-Sinar UK Ltd | Gaslaservorrichtung |
EP2053707A3 (de) * | 2007-10-25 | 2011-01-12 | Rofin-Sinar UK Ltd | Gaslaservorrichtung |
EP2628218A2 (de) * | 2010-11-23 | 2013-08-21 | Iradion Laser, Inc. | Keramische gaslaser mit integriertem strahlformungswellenleiter |
CN103503252A (zh) * | 2010-11-23 | 2014-01-08 | 依拉迪激光有限公司 | 具有集成光束成形波导管的陶瓷气体激光器 |
EP2628218A4 (de) * | 2010-11-23 | 2014-05-21 | Iradion Laser Inc | Keramische gaslaser mit integriertem strahlformungswellenleiter |
CN104678556A (zh) * | 2015-02-06 | 2015-06-03 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种透镜组条形象散光束实时整形与低阶像差补偿系统 |
WO2018057567A1 (en) * | 2016-09-20 | 2018-03-29 | Iradion Laser, Inc. | Lasers with setback aperture |
CN109906534A (zh) * | 2016-09-20 | 2019-06-18 | 依拉迪激光有限公司 | 具有缩进孔口的激光器 |
EP3516745A4 (de) * | 2016-09-20 | 2020-05-13 | Iradion Laser, Inc. | Laser mit setback-öffnung |
US10985518B2 (en) | 2016-09-20 | 2021-04-20 | Iradion Laser, Inc. | Lasers with setback aperture |
CN109906534B (zh) * | 2016-09-20 | 2021-04-23 | 依拉迪激光有限公司 | 具有缩进孔口的激光器 |
CN110221441A (zh) * | 2019-06-17 | 2019-09-10 | 佛山根固激光科技有限公司 | 射频板条co2激光器条形光束柱面镜整形的自适应系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO1999008347A1 (de) | 1999-02-18 |
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