DE19733490C1 - Optik-Fassung mit UV-Kleber und Schutzschicht - Google Patents
Optik-Fassung mit UV-Kleber und SchutzschichtInfo
- Publication number
- DE19733490C1 DE19733490C1 DE19733490A DE19733490A DE19733490C1 DE 19733490 C1 DE19733490 C1 DE 19733490C1 DE 19733490 A DE19733490 A DE 19733490A DE 19733490 A DE19733490 A DE 19733490A DE 19733490 C1 DE19733490 C1 DE 19733490C1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- layer
- adhesive
- wavelength range
- curing
- transmission
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
- G03F7/70825—Mounting of individual elements, e.g. mounts, holders or supports
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/025—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses using glue
Description
Die Erfindung betrifft eine Baugruppe bestehend aus einem
Halter - insbesondere einer Fassung - und einem mittels eines
Klebers verklebten transparenten optischen Bauteil, das im
ultravioletten Spektralbereich transmittiert, wobei der Kleber
durch UV-Licht mit einer bestimmten Spektralverteilung
aushärtbar ist. Ein Beispiel ist JP 8-72300 A mit
Strahlungshärtung durch ein optisches Bauteil hindurch.
Solche Baugruppen bilden u. a. gefaßte Linsen und dergleichen
von Beleuchtungssystemen und Projektionsobjektiven für die
Mikrolithographie.
Z. B. für Auto- und Architekturglas ist die Klebeverbindung mit
Fassung bekannt, wobei der Klebstoff durch UV-absorbierende
Füllstoffe und Schutzschichten vor der Einwirkung von solarer
UV-Strahlung geschützt wird.
Dünne Schichten, also insbesondere Schichten mit Dicken im
Mikrometerbereich aus Dielektrika, die durch Vakuum-Bedampfen,
Sputtern, PVD oder CVD aufgebracht werden, sind auch auf dem
Gebiet der Optik bekannt. Eine derartige Schutzschicht für UV-
härtende Klebungen ist in JP 9-184917 A beschrieben, jedoch
nicht für den Schutz vor kurzwelliger Strahlung als der
Aushärtestrahlung.
Ausweislich Naumann, Schröder, Bauelemente der Optik, München
und Wien 1983, Seite 72 haben derartige Schichten aus Kryolith,
Magnesiumfluorid, Cerfluorid, Zinksulfid und Titandioxid untere
Durchlässigkeitsgrenzen von 0,12 bis 0,4 µm. Tantalpentoxid,
Hafniumdioxid und Mischungen davon transmittieren laut
SU 48 23 642/33 ab 0,3 µm bzw. 0,32 µm.
Allgemein sind die genauen Reflexions-, Absorptions- und
Transmissionsspektren dieser dünnen Schichten im DUV-Bereich
nicht bekannt, da Einflüsse der Substrate und der Spektrometer-
/Monochromator-Bauteile schwer erfaßbar sind, und diese
Materialien außerhalb des vorgesehenen Anwendungsbereichs nicht
geprüft werden.
Es hat sich gezeigt, daß bekannte Fassungskleber auf
Epoxidharz-Basis, die mit UV-Licht der Hg-I-Linie ausgehärtet
werden können, unter dem DUV-Streulicht bei 248 nm und mehr
noch bei 193 nm in DUV-Projektionsbelichtungsanlagen erheblich
strahlungsgeschädigt werden können und durch ihr Versagen die
Lebensdauer dieser aufwendigen Systeme begrenzen.
DUV-absorbierende Füllstoffe in der Klebermasse verhindern
nicht das Versagen der Grenzschicht Quarzglas-Kleber.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine gattungsgemäße Baugruppe
bereitzustellen, bei der der Kleber mit UV-Licht, besonders Hg-
I-Linie, ausgehärtet werden kann, und die doch gegen UV-Licht
eines Nutz-Spektralbereichs, besonders im kurzwelligeren DUV-
Bereich, stabil ist. Die Reflexion von Licht aus dem
Klebebereich soll weitgehendst unterbleiben, da solches
Streulicht in der Optik störend wirkt. Ein Herstellungs
verfahren dazu soll angegeben werden. Eine entsprechend
optimierte Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage ist
gesucht.
Gelöst wird diese Aufgabe durch eine Baugruppe mit den
Merkmalen des Anspruchs 1 und durch das Herstellverfahren des
Anspruchs 13.
Vorteilhafte Ausführungen sind Gegenstand der Unteransprüche
3 bis 12 und 14 bis 16. Die Baugruppe ist als Bestandteil
einer Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage einsetzbar.
Es gelingt somit also, ausgehend von der bewährten
Fassungstechnik mit UV-härtendem Kleber, durch Einführung nur
eines einzigen Herstellschritts der Beschichtung, der zudem gut
in die ohnehin erforderliche Behandlung zum Aufbringen von
Antireflexschichten integriert werden kann, eine DUV-taugliche
dauerfeste Ausführung der Linsenfassung zu verwirklichen.
Näher erläutert wird die Erfindung anhand der Zeichnung.
Es zeigen:
Fig. 1 in einem schematischen Ausschnitt eine
erfindungsgemäße Baugruppe;
Fig. 2 das Transmissionsspektrum einer geeigneten Ta2O5-
Schicht.
Die in Fig. 1 mit einem signifikanten Ausschnitt schematisch
dargestellte Baugruppe besteht aus einem transparenten Bauteil
1, nämlich einer Linse, einer Planplatte, einem Prisma, einem
Manginspiegel oder einem transmittierenden diffraktiven
optischen Element in einer Fassung 2 aus Metall oder
Keramik/Glaskeramik, die nicht UV-transparent ist. Diese Teile
1 und 2 sind mit Kleberschichten 31, 32, die abschnittsweise
über den Rand des Bauteils 1 verteilt oder durchgängig am Stück
ausgebildet sind, kraftschlüssig verbunden. Die Kleberschichten
31, 32 bestehen aus UV-härtbarem (bzw. UV-gehärtetem) Kleber
auf Epoxidharz-Basis, wie z. B. dem Omnifit UV-4000 von
Omnitechnic GmbH, Hannover.
Der Kleber in dieser Anordnung (1, 2, 31, 32) kann mit
Hg-I-Licht einer Quecksilberhochdrucklampe durch das
transparente optische Bauteil 1 hindurch ausgehärtet werden.
Da der Kleber gegen Licht mit kürzerer Wellenlänge,
insbesondere das Licht von Excimer-Lasern bei 248 nm oder
193 nm - wie es bei Projektionsbelichtungsanlagen für die
Mikrolithographie der neuesten Bauformen benötigt wird -
photochemisch unstabil ist, wird eine Kleberschutzschicht 41,
42 für jede Kleberschicht 31, 32 benötigt und erfindungsgemäß
vorgesehen. Diese kann entweder direkt an der Stelle der
späteren Verklebung angebracht werden oder auf der
gegenüberliegenden Fläche des transparenten Bauteils.
Als Schutzschicht ist beispielsweise eine dünne Schicht aus
Tantalpentoxid (Ta2 O5) geeignet, die wie eine optische Schicht
(zur Entspiegelung usw.) aufgebracht wird. Sie kann
beispielsweise konventionell im Vakuum als Einfachschicht
aufgedampft werden.
Die Dicke wird bestimmt als n x Lambda/2 für die optische
Weglänge bei der Aushärtewellenlänge von 365 nm mit n = 1 für
die Nutzwellenlänge 193 nm, n = 2 für die Nutzwellenlänge
248 nm.
Damit wird eine hohe Transmission von über 85% bei der
Aushärtewellenlänge 365 nm, eine sehr niedrige Transmission
unter 2% bei der Nutzwellenlänge 248 nm und darunter, zugleich
eine hohe Absorption und eine durchgängig geringe Reflexion bei
beiden Spektralbereichen erreicht.
Fig. 2 zeigt das Transmissionsspektrum einer solchen
Tantalpentoxid-Schicht auf einseitig unbeschichtetem Suprasil-
Quarzglas, gemessen unter 7° zur Flächennormalen.
Weiter reduzierte Reflexion kann durch gezielte
Mehrfachschichten (Entspiegelungsschichten) erreicht werden.
Die Zug- und Zugscherfestigkeit der Schicht sollte mindestens
10 N/mm2 auf Quarzglas betragen, damit die Haltekraft der
Klebeverbindung nicht herabgesetzt wird.
Die Schicht ist chemisch stabil gegenüber den Umweltbedingungen
bei Herstellung und Betrieb von DUV-Projektionsbelichtungs
anlagen für die Mikrolithographie.
Eine derartige Tantalpentoxid-beschichtete Baugruppe übersteht
nun eine Bestrahlung mit 248 nm-DUV-Licht so gut, daß die
Lebensdauer des Gesamtsystems nicht durch die Lebensdauer der
Klebeverbindung limitiert wird.
Für die Funktion des optischen Bauteils 1 ist es ganz
wesentlich, daß die der Transmission dienenden Funktionsflächen
10 nicht mit der absorbierenden Tantalpentoxid-Schicht
kontaminiert werden. Die Bedampfung geschieht daher mit einer
Vorrichtung, die diese Flächen 10 hermetisch versiegelt, z. B.
mit elastisch verspannten Ringschneiden.
Die Kleberschutzschicht 41, 42 wird vorzugsweise vor den
Entspiegelungsschichten für die transmittierenden Flächen 10
aufgebracht, damit eine eventuelle Kontamination weniger
gravierend ist.
Die Verwendung von Tantalpentoxid auf Quarzglas wie auch die
Wellenlängen 365 nm, 248 nm oder 193 nm sind dabei bevorzugte
Beispiele. Andere geeignete Stoffe, deren Transmission im DUV-
Bereich abnimmt, sind beispielhaft in der Einleitung
beschrieben. Wie die angegebene SU-Schrift zeigt, kommen dabei
auch Stoffmischungen in Betracht.
Ebenso sind als transparentes Substrat neben Quarzglas u. a.
auch Kalziumfluorid und Germaniumdioxid-Glas
(DE 196 33 128.5, Schuster) geeignet.
Neben der Verwendung der erfindungsgemäßen Baugruppen in der
Projektions-Mikrolithographie sind sie besonders auch für DUV-
Laseroptiken, hier besonders für Austrittsfenster von Excimer-
Lasern, geeignet.
Claims (17)
1. Baugruppe, bestehend aus einem Halter (2) und einem
mittels eines durch UV-Licht eines bestimmten Wellen
längenbereiches aushärtenden Klebers an dem Halter (2)
festgelegten, optischen Bauteil (1), das im ultravioletten
Wellenlängenbereich des Lichtes transparent ist, der
Transmission dienende Funktionsflächen (10) aufweist und
mit einer in Dünnschichttechnik aufgebrachten Schicht (41,
42) versehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht
(41, 42) nur außerhalb der der Transmission dienenden
Funktionsflächen vorgesehen ist und die Schicht (41, 42)
innerhalb des von dem optischen Bauteil (1)
transmittierten Wellenlängenbereichs in dem UV-
Nutzwellenlängenbereich das eingestrahlte Licht hochgradig
reflektiert und/oder absorbiert und in dem langwelligeren
UV-Wellenlängenbereich, in dem der Kleber aushärtet,
transparent ist zur Aushärtung des Klebers mittels UV-
Lichtbestrahlung, die das optische Bauteil (1) und die
Schicht (41, 42) durchdringt.
2. Baugruppe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das
optische Element (1) im Bereich des Klebers (31, 32) eine
dünne Schicht (41, 42) trägt, die bei der Hg-I-Linie mehr
als 60% transmittiert und bei Wellenlängen unter 250 nm
weniger als 5% transmittiert.
3. Baugruppe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Schicht (41, 42) im Nutz-Spektralbereich weniger als 2%
transmittiert.
4. Baugruppe nach mindestens einem der Ansprüche 1-3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Schicht (41, 42) im zur Aushärtung
geeigneten Spektralbereich über 50% Transmission
erreicht.
5. Baugruppe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die
Transmission über 80% erreicht.
6. Baugruppe nach mindestens einem der Ansprüche 1-5, dadurch
gekennzeichnet, daß die Schicht (41, 42) eine
Transmissionskante zwischen dem Nutz-Spektralbereich und
dem vorzugsweise langwelligeren zur Aushärtung geeigneten
Spektralbereich aufweist.
7. Baugruppe nach mindestens einem der Ansprüche 1-6, dadurch
gekennzeichnet, daß die Schicht (41, 42) in das
transparente Bauteil (1) weniger als 10% reflektiert.
8. Baugruppe nach mindestens einem der Ansprüche 1-7, dadurch
gekennzeichnet, daß der Nutz-Spektralbereich die Excimer-
Laser-Linien bei 248 nm oder 193 nm umfaßt und der zur
Aushärtung des Klebers geeignete Spektralbereich die
Hg-I-Linie bei 365 nm umfaßt.
9. Baugruppe nach mindestens einem der Ansprüche 1-8, dadurch
gekennzeichnet, daß die Schicht (41, 42) durch Bedampfen,
Sputtern, PVD-Abscheidung oder CVD-Abscheidung hergestellt
ist.
10. Baugruppe nach mindestens einem der Ansprüche 1-9, dadurch
gekennzeichnet, daß die Schicht (41, 42) aus
Tantalpentoxid, Hafniumdioxid, Titandioxid, Zinksulfid,
Cerfluorid, Kryolith oder Magnesiumfluorid oder Mischungen
davon besteht.
11. Baugruppe nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß
die Schicht (41, 42) bei einer Temperatur des
transparenten Bauteils von unter 100°C aufgebracht ist.
12. Baugruppe nach mindestens einem der Ansprüche 1-11,
dadurch gekennzeichnet, daß das transparente Bauteil (1)
aus Quarzglas, Kalziumfluorid oder Germaniumdioxid
besteht.
13. Herstellverfahren einer optischen Baugruppe mit folgenden
Verfahrensschritten:
- a) ein optisches Bauteil (1) wird nur außerhalb seiner der Transmission dienenden Funktionsflächen (10) mit einer Schicht (41, 42) belegt, die mit Dünnschicht technik aufgebracht wird und die innerhalb des von dem optischen Bauteil (1) transmittierten Wellen längenbereichs in dem UV-Nutzwellenlängenbereich das eingestrahlte Licht hochgradig reflektiert und/oder absorbiert und in dem langwelligeren UV-Wellenlängen bereich, in dem der Kleber aushärtet, transparent ist,
- b) zwischen der aufgebrachten dünnen Schicht (41, 42) und dem Halter (2) wird Kleber aufgebracht,
- c) der Kleber wird ausgehärtet, indem er durch das optische Bauteil und die dünne Schicht (41, 42) hindurch mit UV-Licht in dem Kleberaushärte- Wellenlängenbereich bestrahlt wird.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß
die dünne Schicht (41, 42) eine Einfachschicht ist.
15. Verfahren nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekenn
zeichnet, daß durch Bedampfen oder Sputtern
durch PVD oder CVD belegt wird.
16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet,
daß das Bedampfen oder Sputtern mit Ionen-
Unterstützung erfolgt.
17. Baugruppe nach einem der Ansprüche 1 bis 12,
dadurch gekennzeichnet, daß sie Bestandteil
einer Mikrolithographie-Projektionsbelichtungs
anlage ist.
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19733490A DE19733490C1 (de) | 1997-08-01 | 1997-08-01 | Optik-Fassung mit UV-Kleber und Schutzschicht |
KR1019980019860A KR19990023146A (ko) | 1997-08-01 | 1998-05-29 | 투과성 광학 부품의 제조방법 및 그 방법을 이용하여 제조된 부품그룹 |
JP15114098A JP4139471B2 (ja) | 1997-08-01 | 1998-06-01 | Uv接着剤及び保護層を有する光学系 |
EP98112734A EP0895113B1 (de) | 1997-08-01 | 1998-07-09 | Optik-Fassung mit UV-Kleber und Schutzschicht |
DE59810824T DE59810824D1 (de) | 1997-08-01 | 1998-07-09 | Optik-Fassung mit UV-Kleber und Schutzschicht |
TW087112412A TW408240B (en) | 1997-08-01 | 1998-07-29 | Optical mount with UV adhesive and protective layer |
US09/126,693 US6097536A (en) | 1997-01-08 | 1998-07-30 | Optical mount with UV adhesive and protective layer |
US09/568,224 US6285496B1 (en) | 1997-08-01 | 2000-05-09 | Optical mount with UV adhesive and protective layer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19733490A DE19733490C1 (de) | 1997-08-01 | 1997-08-01 | Optik-Fassung mit UV-Kleber und Schutzschicht |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19733490C1 true DE19733490C1 (de) | 1999-02-25 |
Family
ID=7837816
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19733490A Expired - Fee Related DE19733490C1 (de) | 1997-01-08 | 1997-08-01 | Optik-Fassung mit UV-Kleber und Schutzschicht |
DE59810824T Expired - Fee Related DE59810824D1 (de) | 1997-08-01 | 1998-07-09 | Optik-Fassung mit UV-Kleber und Schutzschicht |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE59810824T Expired - Fee Related DE59810824D1 (de) | 1997-08-01 | 1998-07-09 | Optik-Fassung mit UV-Kleber und Schutzschicht |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6097536A (de) |
EP (1) | EP0895113B1 (de) |
JP (1) | JP4139471B2 (de) |
KR (1) | KR19990023146A (de) |
DE (2) | DE19733490C1 (de) |
TW (1) | TW408240B (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19938154A1 (de) * | 1999-08-16 | 2001-03-22 | Schott Glas | Abstandselement für eine Haltevorrichtung für Komponenten von optischen und/oder feinmechanischen Aufbauten |
DE102005052240A1 (de) * | 2005-11-02 | 2007-05-03 | Brendemühl, Bernd | Neue Spiegelträger für Spiegeloptiken |
DE102008041262A1 (de) | 2007-10-26 | 2009-04-30 | Carl Zeiss Smt Ag | Verfahren zur Herstellung einer optischen Anordnung mittels eines selektiv erwärmbaren Klebers sowie entsprechend hergestellte Anordnung |
DE102017128668A1 (de) * | 2017-12-04 | 2019-06-06 | Schölly Fiberoptic GmbH | Optische Baugruppe |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10111859A1 (de) * | 2001-03-13 | 2002-06-06 | Saint Gobain Performance Plast | Verfahren zum Verbinden von Glasteilen mit anderen Glasteilen oder mit Abdicht- oder Verbindungsprofilen und entsprechende Verbindung |
DE10209661A1 (de) * | 2002-03-05 | 2003-09-18 | Zeiss Carl Smt Ag | Objektiv, insbesondere Projektionsobjektiv für die Mikrolithographie |
US7081278B2 (en) * | 2002-09-25 | 2006-07-25 | Asml Holdings N.V. | Method for protection of adhesives used to secure optics from ultra-violet light |
JP3834816B2 (ja) * | 2003-04-24 | 2006-10-18 | 船井電機株式会社 | 対物レンズユニット |
US20050153064A1 (en) * | 2004-01-14 | 2005-07-14 | Asml Holding N.V. | Method of covering clear aperture of optic during deposition of glue protection layer |
US20060033984A1 (en) * | 2004-08-10 | 2006-02-16 | Carl Zeiss Smt Ag | Optical mount with UV adhesive and protective layer |
EP2062098B1 (de) | 2006-09-12 | 2014-11-19 | Carl Zeiss SMT GmbH | Optische anordnung für die immersionslithografie |
DE102006062480A1 (de) | 2006-12-28 | 2008-07-03 | Carl Zeiss Smt Ag | Optisches Element mit hydrophober Beschichtung, Projektionsobjektiv und Projektionsbelichtungsanlage damit |
KR101239967B1 (ko) | 2007-03-28 | 2013-03-06 | 삼성전자주식회사 | 광학유닛, 이를 포함하는 화상형성장치 및 그 광학소자 |
JP2011065738A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-31 | Panasonic Corp | 光ピックアップ装置 |
US8179944B2 (en) * | 2009-11-25 | 2012-05-15 | Corning Incorporated | Adhesive protective coating with supressed reflectivity |
US8335045B2 (en) * | 2010-02-24 | 2012-12-18 | Corning Incorporated | Extending the stability of UV curable adhesives in 193NM laser systems |
DE102010021539B4 (de) | 2010-05-19 | 2014-10-09 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projektionsobjektiv mit Blenden |
US9158207B2 (en) | 2011-08-09 | 2015-10-13 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optical component comprising radiation protective layer |
DE102011080639A1 (de) | 2011-08-09 | 2012-10-11 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optische Komponente mit Strahlungs-Schutzschicht |
US8492448B2 (en) | 2011-10-07 | 2013-07-23 | Corning Incorporated | Systems and methods for performing photoreactions using light-diffusing optical fiber |
US9753190B2 (en) | 2013-08-28 | 2017-09-05 | Corning Incorporated | Adhesive with embedded waveguides for curing |
US9958579B2 (en) * | 2013-09-06 | 2018-05-01 | Corning Incorporated | UV protective coating for lens assemblies having protective layer between light absorber and adhesive |
US9557516B2 (en) | 2013-10-07 | 2017-01-31 | Corning Incorporated | Optical systems exhibiting improved lifetime using beam shaping techniques |
US10578785B2 (en) | 2015-08-18 | 2020-03-03 | Corning Incorporated | Blocking coating with adhesion layer for ultraviolet optics |
US10459134B2 (en) | 2015-08-18 | 2019-10-29 | Corning Incorporated | UV-blocking coating with capping layer in optical assembly having UV light source |
US10752790B2 (en) | 2016-12-21 | 2020-08-25 | Corning Incorporated | UV blocking coatings for lens assemblies |
CN108469662B (zh) * | 2017-02-23 | 2020-10-27 | 玉晶光电(厦门)有限公司 | 光学镜头、其组装方法及镜筒 |
DE102022205143A1 (de) | 2022-05-24 | 2023-11-30 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optisches Element sowie Baugruppe und optisches System damit |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0872300A (ja) * | 1994-09-06 | 1996-03-19 | Ricoh Co Ltd | 光源装置 |
JPH09184917A (ja) * | 1995-12-28 | 1997-07-15 | Nikon Corp | 光学部品及びその製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62184079A (ja) * | 1986-02-07 | 1987-08-12 | Olympus Optical Co Ltd | 光学部品の保持装置 |
JPS6470222A (en) * | 1987-09-10 | 1989-03-15 | Asahi Glass Co Ltd | Heated windshield glass for automobile and manufacture thereof |
US5430303A (en) * | 1992-07-01 | 1995-07-04 | Nikon Corporation | Exposure apparatus |
CH695281A5 (de) * | 1993-04-02 | 2006-02-28 | Balzers Hochvakuum | Verfahren zur Herstellung eines Filters, danach hergestellte optische Schicht, optisches Bauelement mit einer derartigen Schicht und Braeunungsanlage mit einem solchen Element. |
BE1007907A3 (nl) * | 1993-12-24 | 1995-11-14 | Asm Lithography Bv | Lenzenstelsel met in gasgevulde houder aangebrachte lenselementen en fotolithografisch apparaat voorzien van een dergelijk stelsel. |
JP3238617B2 (ja) * | 1995-09-08 | 2001-12-17 | ウシオ電機株式会社 | 紫外線照射装置用光学レンズ |
-
1997
- 1997-08-01 DE DE19733490A patent/DE19733490C1/de not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-05-29 KR KR1019980019860A patent/KR19990023146A/ko active IP Right Grant
- 1998-06-01 JP JP15114098A patent/JP4139471B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1998-07-09 DE DE59810824T patent/DE59810824D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1998-07-09 EP EP98112734A patent/EP0895113B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-07-29 TW TW087112412A patent/TW408240B/zh not_active IP Right Cessation
- 1998-07-30 US US09/126,693 patent/US6097536A/en not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-05-09 US US09/568,224 patent/US6285496B1/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0872300A (ja) * | 1994-09-06 | 1996-03-19 | Ricoh Co Ltd | 光源装置 |
JPH09184917A (ja) * | 1995-12-28 | 1997-07-15 | Nikon Corp | 光学部品及びその製造方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19938154A1 (de) * | 1999-08-16 | 2001-03-22 | Schott Glas | Abstandselement für eine Haltevorrichtung für Komponenten von optischen und/oder feinmechanischen Aufbauten |
DE19938154C2 (de) * | 1999-08-16 | 2001-11-15 | Schott Glas | Verfahren zur Herstelllung eines stabförmigen Abstandselementes |
DE102005052240A1 (de) * | 2005-11-02 | 2007-05-03 | Brendemühl, Bernd | Neue Spiegelträger für Spiegeloptiken |
DE102008041262A1 (de) | 2007-10-26 | 2009-04-30 | Carl Zeiss Smt Ag | Verfahren zur Herstellung einer optischen Anordnung mittels eines selektiv erwärmbaren Klebers sowie entsprechend hergestellte Anordnung |
DE102017128668A1 (de) * | 2017-12-04 | 2019-06-06 | Schölly Fiberoptic GmbH | Optische Baugruppe |
US11215810B2 (en) | 2017-12-04 | 2022-01-04 | Schölly Fiberoptic GmbH | Optical assembly |
DE102017128668B4 (de) | 2017-12-04 | 2023-04-06 | Schölly Fiberoptic GmbH | Optische Baugruppe, Endoskop sowie Verfahren zur Ausrichtung einer optischen Funktionseinheit einer optischen Baugruppe |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0895113A3 (de) | 1999-12-15 |
DE59810824D1 (de) | 2004-04-01 |
US6097536A (en) | 2000-08-01 |
KR19990023146A (ko) | 1999-03-25 |
EP0895113A2 (de) | 1999-02-03 |
US6285496B1 (en) | 2001-09-04 |
JP4139471B2 (ja) | 2008-08-27 |
TW408240B (en) | 2000-10-11 |
EP0895113B1 (de) | 2004-02-25 |
JPH1152205A (ja) | 1999-02-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19733490C1 (de) | Optik-Fassung mit UV-Kleber und Schutzschicht | |
DE10127225A1 (de) | Ultraviolettlicht-Abschwächungsfilter | |
EP0231226A1 (de) | Reflexionsvermindernder belag für ein optisches element aus organischem material. | |
DE3528947A1 (de) | Reflexionsbeugungsgitter mit hohem wirkungsgrad | |
DE102006013670A1 (de) | Breitbandig entspiegelte optische Bauteile mit gekrümmten Oberflächen | |
DE19936325B4 (de) | Fahrzeugscheinwerfer mit einer Kunstharzlinse mit verringerter Missfärbung und Rissbildung durch Ultraviolettstrahlung | |
WO2001009958A1 (de) | Photodetektor für ultraviolette lichtstrahlung | |
EP3707786B1 (de) | Vorrichtung zur erzeugung einer laserstrahlung | |
DE102015208705A1 (de) | Kombinierter reflektor und filter für licht unterschiedlicher wellenlängen | |
EP3668678A1 (de) | Optisches element zum herausfiltern von uv-prozessstrahlung, laserbearbeitungskopf mit einem solchen optischen element, und zugehöriges laserbearbeitungsverfahren | |
DE102010006133B4 (de) | Antireflexschichtsystem und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE2409254A1 (de) | Lichtpolarisator und verfahren zu seiner herstellung | |
DE10352184A1 (de) | Vorrichtung zum Härten und/oder Trocknen einer Beschichtung auf einem Substrat | |
DE102011086457A1 (de) | Euv-abbildungsvorrichtung | |
EP3420386B1 (de) | Optische beschichtung und verfahren zur herstellung einer optischen beschichtung mit verminderter lichtstreuung | |
DE102004013850B4 (de) | Filterchip mit integrierter Blende | |
DE102010006134B4 (de) | UV-absorbierendes Schichtsystem, Verfahren zu dessen Herstellung und Kunststoffsubstrat | |
DE102006035986B4 (de) | Vorrichtung zum Trocknen von UV-Druckfarben oder UV-Lacken auf einem Bedruckstoff | |
EP3140682B1 (de) | Verfahren zur begrenzung einer optischen leistung, leistungsbegrenzer und damit ausgestattetes gerät | |
WO2022171493A1 (de) | Vorrichtung und verfahren zum erfassen einer optischen eigenschaft eines werkstücks | |
DE102020203750A1 (de) | Vorrichtung zur Erfassung einer Temperatur, Anlage zur Herstellung eines optischen Elementes und Verfahren zur Herstellung eines optischen Elementes | |
EP0942266A1 (de) | Spektrometer | |
DE3442277A1 (de) | Maske fuer die roentgenlithographie | |
WO2020053005A1 (de) | Verfahren zum aushärten einer klebestelle und verbundsystem mit klebestelle | |
WO2023061857A1 (de) | Trübheitssensor, insbesondere zur ermittlung einer zelldichte einer suspension |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8100 | Publication of the examined application without publication of unexamined application | ||
D1 | Grant (no unexamined application published) patent law 81 | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: CARL ZEISS SMT AG, 73447 OBERKOCHEN, DE |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |