DE19701334A1 - Mit der zweiten Harmonischen abbildende Wandler - Google Patents
Mit der zweiten Harmonischen abbildende WandlerInfo
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- 238000002059 diagnostic imaging Methods 0.000 title description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 13
- 239000003973 paint Substances 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 82
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 10
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 238000002592 echocardiography Methods 0.000 description 6
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 6
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 6
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 6
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000003491 array Methods 0.000 description 3
- 239000002872 contrast media Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 2
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 2
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- LFVLUOAHQIVABZ-UHFFFAOYSA-N Iodofenphos Chemical compound COP(=S)(OC)OC1=CC(Cl)=C(I)C=C1Cl LFVLUOAHQIVABZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 229940039231 contrast media Drugs 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000000032 diagnostic agent Substances 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 238000012285 ultrasound imaging Methods 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
- B06B1/0622—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
- B06B1/064—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface with multiple active layers
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- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
- H04R17/04—Gramophone pick-ups using a stylus; Recorders using a stylus
- H04R17/08—Gramophone pick-ups using a stylus; Recorders using a stylus signals being recorded or played back by vibration of a stylus in two orthogonal directions simultaneously
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Description
Die Erfindung ist auf die medizinische Bildverarbeitung und
insbesondere auf einen Wandler gerichtet, der bei einer er
sten Harmonischen sendet und überwiegend bei einer zweiten
Harmonischen empfängt.
Ultraschallwandler werden bei einer Vielzahl von Anwendungen
verwendet, bei denen es erwünscht ist, das Innere eines Ob
jekts mit einem minimalen Eindringgrad zu betrachten. Bei
spielsweise können bei medizinischen Anwendungen viele dia
gnostische Informationen von einer Ultraschallabbildung des
Inneren eines menschlichen Körpers erhalten werden. Folglich
haben Ultraschallabbildungsgeräte, einschließlich der Ultra
schallsonden und der zugeordneten Bildverarbeitungsgeräte,
eine weit verbreitete medizinische Verwendung gefunden.
Bei einigen medizinischen Ultraschallanwendungen kann die
Abbildung des Bluts durch die Injektion eines Kontrastmit
tels, das aus mikroskopischen Bläschen oder Teilchen be
steht, gesteigert werden. Einige Kontrastmittel weisen die
Eigenschaft auf, daß sie, wenn sie bei einer bestimmten Fre
quenz f bestrahlt werden, ein starkes Signal bei der zweiten
Harmonischen dieser Frequenz, d. h. bei 2f, zurückstrahlen.
Da sich diese Frequenz der zweiten Harmonischen von normalen
Gewebeechos unterscheidet, wird der Bildkontrast zwischen
dem Gewebe, das mit Blut durchtränkt ist, und dem Gewebe,
das nicht durchtränkt ist, durch eine frequenzselektive Fil
terung und Verarbeitung gesteigert. Dies ist als die Abbil
dung mit der zweiten Harmonischen bekannt.
Ein Hindernis bei der Verwendung von Kontrastmitteln für die
Abbildung mit der zweiten Harmonischen besteht in der Unter
drückung der Sendeenergie bei der Frequenz der zweiten Har
monischen von einem Wandler, der in der Lage ist, bei dieser
Frequenz zu empfangen. Ein herkömmlicher Ultraschallwandler,
der in der Lage ist, die zweite Harmonische, d. h. 2f, zu
empfangen, wird auch ein starkes Signal bei 2f senden. Dies
stellt ein Problem dar, da Reflexionen sowohl von dem durch
tränkten als auch von dem undurchtränkten Gewebe von dieser
2f-Frequenz auftreten werden. Die Energie bei der Frequenz
einer beliebigen Harmonischen, die gesendet wird, wird bei
dieser Frequenz Gewebeechos erzeugen, welche den Kontrast
mit der zweiten Harmonischen, die von den Bläschen erzeugt
wird, reduzieren.
Der Versuch der Abbildung mit der zweiten Harmonischen ohne
spezielle Wandler wirft verschiedene Probleme auf. Als er
stes muß ein sehr breitbandiger Wandler verwendet werden, um
sowohl bei der ersten als auch bei der zweiten Harmonischen
anzusprechen. Wandler mit der erforderlichen Bandbreite sind
jedoch schwierig zu entwerfen und aufzubauen, insbesondere
wenn sich die Empfindlichkeit nicht verringern soll. Dies
trifft insbesondere auf kleine Elemente zu, die für Sektor
sonden benötigt werden. Wenn eine derartige Sonde aufgebaut
ist, muß ferner beim Senden die Frequenz der zweiten Harmo
nischen unterdrückt werden. Eine zusätzliche Unterdrückung
wird beim Senden durch eine unterschiedliche Gewebedämpfung
zwischen hohen und niedrigen Frequenzen realisiert, wobei
dies bei einer flacheren Tiefe jedoch weniger effektiv ist.
Alternativ könnte jede Sonde separate Sende- und Empfangsab
schnitte beinhalten, die jeweils für unterschiedliche Fre
quenzen optimiert sind. Da die Abmessungen der Wandlerele
mente einer derartigen Sonde sehr stark variieren würden,
sind diese aufwendig aufzubauen, wobei dieselben eine kom
plizierte Anordnung innerhalb enger mechanischer Toleranzen
erfordern.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, einen
mit der zweiten Harmonischen abbildenden Wandler zu schaf
fen, der einfach herzustellen ist.
Diese Aufgabe wird durch einen piezoelektrischen Wandler ge
mäß Anspruch 1 und 11, und durch einen Wandler gemäß An
spruch 12 gelöst.
Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß
sie einen mit der zweiten Harmonischen Wandler schafft, der
ferner in der Lage ist, als Standardabbildungssonde mit vol
ler Apertur betrieben zu werden.
Ein mit einer Harmonischen abbildender Wandler ist eine
Struktur aus zwei mechanisch gekoppelten piezoelektrischen
Schichten. Diese piezoelektrische Zweischichtstruktur kann
entweder in einem symmetrischen Modus, bei dem sich die bei
den Schichten im Einklang ausdehnen und zusammenziehen, oder
in einem anti-symmetrischen Modus schwingen, bei dem sich
eine Schicht zusammenzieht, während sich die andere Schicht
ausdehnt. Schwingungen des symmetrischen Modus ergeben sich
bei einem Betrieb mit einer ersten Harmonischen, während
sich Schwingungen des anti-symmetrischen Modus bei einem Be
trieb mit einer zweiten Harmonischen ergeben.
Ein Träger ist neben einer piezoelektrischen Struktur posi
tioniert, die eine erste und eine zweite Schicht aus einem
piezoelektrischen Material aufweisen kann, zwischen denen
mindestens eine Elektrode angeordnet ist. Eine oder mehrere
akustische Anpassungsschichten sind über der piezoelektri
schen Struktur positioniert. Ein Umschalter ist mit der pie
zoelektrischen Struktur verbunden, derart, daß der Wandler
bei der ersten Harmonischen arbeitet, wenn der Umschalter
geschlossen ist, und der Wandler bei der zweiten Harmoni
schen arbeitet, wenn der Umschalter offen ist. Bei einem be
vorzugten Ausführungsbeispiel besteht der Umschalter aus
zwei Dioden, die mit entgegengesetzter Polarität parallelge
schaltet sind, derart, daß die starken Sendesignale bewir
ken, daß die Dioden leiten, woraus sich ein Betrieb bei ei
ner ersten Harmonischen ergibt, wobei die Empfangssignale
jedoch nicht stark genug sind, um zu bewirken, daß die Dio
den leiten, wodurch der Empfang der zweiten Harmonischen
ebenso wie der ersten ermöglicht wird.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung
werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die beiliegenden
Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 einen allgemeinen Aufbau eines Wandlerarrays;
Fig. 2 eine Querschnittsansicht des in Fig. 1 gezeigten
Wandlerarrays;
Fig. 3A bis D Ausführungsbeispiele eines mit einer zweiten Har
monischen abbildenden Wandlers;
Fig. 4A bis B ein alternatives Ausführungsbeispiel für den mit
einer zweiten Harmonischen abbildenden Wandler;
Fig. 5 ein alternatives Ausführungsbeispiel für den mit
einer zweiten Harmonischen abbildenden Wandler;
Fig. 6 ein alternatives Ausführungsbeispiel für den mit
einer zweiten Harmonischen abbildenden Wandler;
Fig. 7A bis B ein alternatives Ausführungsbeispiel für den mit
einer zweiten Harmonischen abbildenden Wandler;
Fig. 8A bis B ein alternatives Ausführungsbeispiel für den mit
einer zweiten Harmonischen abbildenden Wandler.
Ein Ultraschallwandler ist eine Struktur aus zwei mechanisch
gekoppelten piezoelektrischen Schichten. Diese piezoelektri
sche Zweischichtstruktur kann entweder in einem symmetri
schen Modus, wenn sich die beiden Schichten im Einklang aus
dehnen und zusammenziehen, oder in einem anti-symmetrischen
Modus schwingen, wenn sich eine Schicht zusammenzieht, wäh
rend sich die andere Schicht ausdehnt. Die Schwingungen des
symmetrischen Modus ergeben einen Betrieb bei einer ersten
Harmonischen, während Schwingungen des anti-symmetrischen
Modus einen Betrieb bei einer zweiten Harmonischen ergeben.
Dieser Ultraschallwandler sendet vorzugsweise bei der ersten
Harmonischen und ist in der Lage, die zweite Harmonische zu
empfangen. Zwischen den Schichten eines piezoelektrischen
Materials sind leitende Kontaktschichten (Elektroden) ange
ordnet. Die Elektroden sind mit zugeordneten elektronischen
Komponenten und mit Signal- und Massezuleitungen von dem Ul
traschallsystem verbunden.
Fig. 1 stellt den allgemeinen Aufbau eines Wandlerarrays 10
dar. Das Wandlerarray 10 umfaßt eine Serie von piezoelektri
schen Elementen 12, die Seite-an-Seite auf einem Träger 15
angeordnet sind. Der Träger 15 kann eine Dämpfungsschicht
mit einer geeigneten akustischen Impedanz sein, um die Emp
findlichkeit, die Bandbreite oder Pulslänge des Wandlers zu
optimieren. Typische Arrays können mehrere zehn bis mehrere
hundert Elemente umfassen, die jeweils in der y-Richtung 100
bis 600 µm breit sein können. Jedes piezoelektrische Element
12N ist in der x-Richtung typischerweise zwischen 0,5 und 2
cm lang. Die Elemente sind physikalisch getrennt, derart,
daß sie einzeln erregt werden können. Abhängig von den Be
triebsfrequenzen des Arrays können die Elemente in der z-
Richtung 0,1 bis 2 mm hoch sein. Diese Elemente können bei
Frequenzen von wenigen MHz bis mehreren zehn MHz arbeiten.
Für einen weiten Bereich von medizinischen Anwendungen ist
ein typisches Array zwischen 1 und 6 cm lang, wobei jedoch
andere Anwendungen Abmessungen erfordern können, die sich
außerhalb der offenbarten Bereiche befinden, die ohne weite
res von Fachleuten berechnet werden können. Die Serie der
piezoelektrischen Elemente 12 kann mit einer Impedanzanpas
sungsschicht 16 abgedeckt sein.
Alternativ können die Elemente eine Zusammensetzung eines
keramischen piezoelektrischen Material in einer Polymerma
trix oder ein nicht-keramisches piezoelektrisches Material
anstelle eines einzigen keramischen Materials sein. Fachleu
ten sind viele geeignete piezoelektrische Materialtypen be
kannt.
Fig. 2 stellt eine Querschnittsansicht des in Fig. 1 gezeig
ten Wandlerarrays 10 dar. Zwischen der Serie von piezoelek
trischen Elementen 12, die zwei Schichten 12₁, 12₂ eines
piezoelektrischen Materials aufweisen, ist eine Serie von
elektrisch leitfähigen Schichten 14 angeordnet. Eine der
piezoelektrischen Schichten 12₁ ist zwischen elektrisch
leitfähigen Kontaktschichten 14A, 14B positioniert, während
die andere piezoelektrische Schicht 12₂ zwischen den elek
trisch leitfähigen Kontaktschichten 14B, 14C positioniert
ist. Die elektrische Kontaktschicht 14B, die zwischen den
zwei Schichten 12₁, 12₂ des piezoelektrischen Materials po
sitioniert ist, ist ausreichend dünn, damit die Ultraschall
schwingungen zwischen den zwei Schichten des piezoelektri
schen Materials mechanisch gekoppelt sind.
Dieses Wandlerarray kann in zwei unterschiedlichen Resonanz
moden schwingen, welche zwei unterschiedliche Frequenzen er
zeugen. Bei dem symmetrischen Schwingungsmodus dehnen sich
die obere und untere piezoelektrische Schicht im Einklang
aus und ziehen sich im Einklang zusammen, wobei das Array
auf die gleiche Art und Weise wie eine einzige Schicht in
Resonanz tritt, deren Dicke die Summe der Dicken der zwei
Schichten ist. Dieser Modus zeigt eine Dickenmodusresonanz
bei einer Frequenz F₁, die durch die folgende Formel be
stimmt wird:
wobei v die Schallgeschwindigkeit in den Schichten, und h
die Höhe (Dicke) jeder Schicht in der z-Richtung ist.
Bei dem anti-symmetrischen Schwingungsmodus sind die Schwin
gungen in den zwei Schichten zueinander gegenphasig, derart,
daß sich die untere piezoelektrische Schicht zusammenzieht,
während sich die obere Schicht ausdehnt, und sich die untere
piezoelektrische Schicht ausdehnt, während sich die obere
Schicht zusammenzieht. Als Ergebnis wird die Resonanzfre
quenz F₂ dieses Modus durch die folgende Formel bestimmt:
Es ist aus den Gleichungen, die F₁ und F₂ beschreiben, klar
zu ersehen, daß F₂ zweimal F₁ ist.
Die obige Beschreibung bezieht sich auf den Fall, bei dem
die Dicken der piezoelektrischen Schichten gleich sind.
Durch Auswählen unterschiedlicher Dicken für die piezoelek
trischen Schichten oder durch Verwenden geradzahlig Vielfa
cher der piezoelektrischen Schichten können die Verhältnisse
der beiden Resonanzfrequenzen variiert werden. Fachleuten
sind viele Variationen, beispielsweise bei der Größe und bei
den Anwendungen dieser Wandler, bekannt. Es ist offensicht
lich, daß die Resonanzfrequenz des Wandlers sowohl die Fre
quenz, bei welcher die Ultraschallenergie von dem Wandler
gesendet wird, als auch die Frequenz bestimmt, bei welcher
die Ultraschallenergie von dem Wandler empfangen und in ein
elektrisches Signal umgewandelt wird.
Die Berechnung der Dicken, die erforderlich sind, um die ge
wünschten Dickenmodusresonanzfrequenzen zu erzeugen, wird
von Fachleuten gut beherrscht. Die Frequenz einer akusti
schen Welle wird durch F = v/λ ausgedrückt, wobei v die
Schallgeschwindigkeit in dem Medium, das die akustische Wel
le trägt, und λ die Wellenlänge einer Welle der Frequenz F
in dem Medium ist. Falls F auf die Dickenmodusresonanzfre
quenz des Mediums, das die akustische Welle trägt, einge
stellt ist, dann gilt außerdem F = (c/ϕ)½/2h, wobei c die
Steifigkeit des Resonanzkörpers, ϕ die Dichte des Resonanz
körpers, und h die Höhe des Resonanzkörpers ist. Indem mit
den Materialeigenschaften des Mediums begonnen wird, können
die Dicken berechnet werden, die erforderlich sind, um jede
gewünschte Resonanzfrequenz zu erzeugen. Das Anwenden der
obigen Gleichung und der Übertragungsleitungstheorie auf das
in den Fig. 1 und 2 gezeigte Array, erzeugt jeden gewünsch
ten Satz von Resonanzfrequenzen.
Der Aufbau der mehrschichtigen Arrays kann durch eine belie
bige bekannte Verarbeitungstechnik oder durch eine Kombina
tion von bekannten Verarbeitungstechniken für Keramik oder
Keramikzusammensetzungen erreicht werden. Das beschriebene
Aufbauverfahren beginnt entweder mit der Herstellung eines
Wafers aus Keramik oder aus einer Keramikzusammensetzung,
dessen Dicke gleich der Dicke einer Schicht der gewünschten
Struktur ist. Die gewünschten elektrischen Kontaktschichten
können dann auf diesen Wafer Vakuum-aufgebracht, aufgedampft
oder mittels Siebdruck aufgebracht werden. Zusätzliche Wafer
und elektrische Kontaktschichten können ferner unter Verwen
dung herkömmlicher Techniken, die Fachleuten bekannt sind,
mit dieser Grundstruktur auf eine akustisch angepaßte Art
verbunden werden.
Obwohl das beschriebene spezifische Ausführungsbeispiel die
Form eines phasengesteuerten Arrays oder eines linearen Ar
rays aufweist, kann eine beliebige Anzahl von Elementen, die
für einen bestimmten Wandlertyp und eine bestimmte Wandler
anwendung geeignet sind, verwendet werden. Beispielsweise
werden Wandler häufig unter Verwendung lediglich eines ein
zigen Wandlerelements aufgebaut. Das Verhalten und der Auf
bau eines solchen getrennten Elements sind hinsichtlich der
im vorhergehenden beschriebenen Elemente eines phasengesteu
erten Arrays oder eines linearen Arrays gleich.
Die Frequenzen der akustischen Resonanzen eines Wandlers
werden durch die Frequenzen der symmetrischen und anti-sym
metrischen Schwingungsmoden bestimmt, wie es im vorhergehen
den beschrieben wurde. Ob jedoch eine bestimmte Frequenz mit
den elektrischen Sende- und Empfangssignalen gekoppelt ist,
wird durch die Details der elektrischen Verbindungen und der
Ausrichtung der Polarisationsvektoren der piezoelektrischen
Schichten bestimmt. Diese können angeordnet werden, um le
diglich mit dem einen Modus oder mit dem anderen Modus oder
mit einer Überlagerung der zwei Moden gekoppelt zu werden.
Falls die elektrischen Verbindungen ein Umschaltelement auf
weisen, kann der Wandler hergestellt werden, um in dem einen
Modus zu arbeiten, wenn der Umschalter offen ist, und um in
dem anderen Modus zu arbeiten, wenn der Umschalter geschlos
sen ist.
Typische Umschaltelemente umfassen Dioden, Feldeffekttransi
storen, Varistoren und Zehnerdioden. Mehrere der Ausfüh
rungsbeispiele, die im nachfolgenden beschrieben werden,
weisen die erwünschte Eigenschaft auf, daß das Umschalten
automatisch als Reaktion auf die relativen Pegel der Sende-
und Empfangssignale durchgeführt wird, ohne daß ein separa
tes Steuersignal für die Umschalter benötigt wird. Alterna
tiv kann ein Wandler Elemente mit identischen physikalischen
Abmessungen aufweisen, wobei jedoch ein Abschnitt der Ele
mente für einen Betrieb bei F₁, und der Rest für einen Be
trieb bei F₂ verbunden ist. Die Fig. 3-6 wenden sich einem
mit einer zweiten Harmonischen abbildenden Wandler zu, der
Elemente aufweist, die zwischen dem Betrieb bei einer ersten
und einer zweiten Harmonischen umschalten. Die Fig. 7-8 wen
den sich den mit einer zweiten Harmonischen abbildendem
Wandlern zu, die separate Sätze von Elementen für die erste
und die zweite Harmonische aufweisen.
Die Fig. 3A-D stellen mit der zweiten Harmonischen abbilden
de Wandler mit passiven Umschaltelementen dar. In Fig. 3A
ist zu sehen, daß die untere elektrische Kontaktschicht 14A
durch ein Diodenpaar 20A, 20B getrennt ist. Diese Dioden
20A, 20B leiten unter den hohen Signalpegeln beim Senden und
Verbinden die untere elektrische Kontaktschicht 14A elek
trisch mit der Masse. Beim Empfangen sind die elektrischen
Signale nicht stark genug, um zu bewirken, daß die Dioden
leiten. Somit ist die untere piezoelektrische Schicht nicht
elektrisch gekoppelt. Als Ergebnis sind sowohl die symmetri
schen als auch die anti-symmetrischen Schwingungsmoden mit
der Empfangsschaltung gekoppelt, wobei der Wandler sowohl
bei F₁ als auch F₂ wirksam empfängt.
Eine optionale Stromquelle 12 kann parallel zu dem Dioden
paar 20A, 20B plaziert sein. Wenn es erwünscht ist, sowohl
F₂ beim Empfangen zu unterdrücken als auch identische Sende-
und Empfangscharakteristika aufzuweisen, kann über den An
schluß zwischen den Dioden 20A, 20B und der unteren elektri
schen Kontaktschicht 14A ein Vorstrom zugeführt werden, um
eine der Dioden 20A, 20B einzuschalten. Als Ergebnis ist die
Erregung beider piezoelektrischen Schichten die gleiche, wo
bei vorzugsweise der symmetrische Schwingungsmodus gekoppelt
ist. Dies bewirkt, daß der Wandler bei der niedrigeren Fre
quenz F₁ sowohl sendet als auch empfängt. Das elektronische
Umschalten des Vorstroms kann mittels Techniken durchgeführt
werden, die Fachleuten bekannt sind.
Fig. 3B zeigt eine geringfügige Variation gegenüber Fig. 3A,
bei welcher die Signal- und Massebezeichnungen der elektri
schen Kontaktschichten umgekehrt sind. Der Betrieb ist der
gleiche wie in Fig. 3A.
In Fig. 3C sind eine vierte elektrische Kontaktschicht 14D
und eine elektrische Isolationsschicht 22 zwischen der unte
ren piezoelektrischen Schicht 14A und der mittleren elektri
schen Kontaktschicht 14B angeordnet. Diese Schichten müssen
dünn genug sein, um die akustische Kopplung zwischen den
piezoelektrischen Schichten zu bewahren. Die Dioden 20A, 20B
sind zwischen die mittlere und die vierte elektrische Kon
taktschicht 14B, 14D geschaltet, wobei die untere elektri
sche Kontaktschicht 14A mit der Schaltungsmasse verbunden
ist. Im Betrieb verhält sich dieser Wandler auf die gleiche
Art und Weise wie die Wandler von Fig. 3A-B.
Fig. 3D und Fig. 3C sind annähernd gleich, mit der Ausnahme,
daß die Isolationsschicht und die Dioden durch eine dünne
Siliziumschicht 24 ersetzt wurden, in welcher p-Typ- und n-
Typ-Regionen hergestellt wurden, um ein Diodenarray zu bil
den, das die mittlere und die vierte elektrische Kontakt
schicht verbindet. Der Betrieb ist zu dem von Fig. 3C iden
tisch, jedoch ist die Herstellung einfacher, da weniger
äußere elektrische Verbindungen zu den Kontaktschichten her
gestellt werden müssen.
Alternativ kann die Siliziumschicht durch eine dünne Zink
oxidschicht ersetzt werden. Wenn dieselbe in einer geeigne
ten Art und Weise hergestellt ist, wirkt das Zinkoxid wie
ein Varistor, der beidseitig leitet, wenn er hohen Spannun
gen ausgesetzt ist, jedoch unter Niederspannungsbedingungen
ein Isolator bleibt. Diese Eigenschaft des Zinkoxid ermög
licht es, daß die Siliziumschicht in dem Ausführungsbeispiel
von Fig. 3D durch das Zinkoxid ersetzt wird.
Wenn es erwünscht ist, die erste Harmonische, d. h. F₁, beim
Empfang zu unterdrücken, kann ein Übertrager oder ein Diffe
renzverstärker verwendet werden. In den Fig. 4A-B sind zwei
mögliche Verfahren gezeigt, wenn ein Übertrager 26 zum Um
schalten zwischen f- und 2f-Moden verwendet wird. In Fig. 4A
sind die obere und die untere elektrische Kontaktschicht
14A, 14C mit der Sekundärwicklung des Übertragers 26 verbun
den, wobei die mittlere Kontaktschicht 14B geerdet ist. Die
Sende/Empfangsleitung ist über ein Diodenpaar, bei dem die
Dioden mit entgegengesetzter Polarität parallelgeschaltet
sind, mit dem Mittelabgriff der Sekundärwicklung des Über
tragers 26 und über eine Umschaltschaltung mit der Primär
wicklung des Übertragers verbunden.
Eine Umschaltschaltung 28, die aus zwei Dioden 30A, 30B und
einer Vorstromquelle 32 besteht, ist dargestellt, wobei je
doch auch andere Einrichtungen verwendet werden können. Die
Umschaltschaltung 28 muß während des Sendens ausgeschaltet
und während des Empfangens eingeschaltet sein. Diese spe
zielle Umschaltschaltung 28, die in Fig. 4A gezeigt ist,
weist den Vorteil auf, daß das starke Sendesignal dieselbe
automatisch ausschalten wird, ohne daß ein separates Steuer
signal angelegt ist. Die piezoelektrischen Schichten 121,
122 sind derart polarisiert, um die elektrischen Signale des
gemeinsamen Modus (d. h. Signale mit gleicher Polarität) auf
der oberen und der unteren elektrischen Kontaktschicht zu
den Schwingungen des symmetrischen Modus zu koppeln, und um
die elektrischen Signale des Differenzmodus (d. h. Signale
mit entgegengesetzter Polarität) zu den Schwingungen des
anti-symmetrischen Modus zu koppeln. Die zwei Dioden 20A,
20B, die zwischen die Sende/Empfangsleitung und den Mittel
abgriff der Sekundärwicklung des Übertragers 26 geschaltet
sind, leiten unter den starken Sendesignalen, was eine elek
trische Anregung des gemeinsamen Modus ergibt. Somit wird
der symmetrische Schwingungsmodus angeregt, welcher eine Re
sonanzfrequenz F₁ aufweist. Beim Empfangen sind die Signale
nicht stark genug, um zu bewirken, daß die Dioden 20A, 20B
auf der Sekundärseite leiten. Während des Empfangens ist je
doch die Umschaltschaltung 28 auf der Primärseite einge
schaltet. Somit ist es offensichtlich, daß der Übertrager 26
derart verbunden ist, um lediglich die Empfangssignale des
Differenzmodus, die sich aus dem anti-symmetrischen Schwin
gungsmodus bei der Frequenz F₂ ergeben, jedoch nicht die
Empfangssignale des gemeinsamen Modus zu koppeln, die sich
aus dem symmetrischen Schwingungsmodus bei der Frequenz F₁
ergeben.
In Fig. 4B wurde die Polarisationsrichtung einer der piezo
elektrischen Schichten umgekehrt. In diesem Fall sind die
Schwingungen des symmetrischen Modus mit den elektrischen
Signalen des Differenzmodus gekoppelt, und die Schwingungen
des anti-symmetrischen Modus sind mit den elektrischen Si
gnalen des gemeinsamen Modus gekoppelt. Die mittlere elek
trische Kontaktschicht 14B ist über einen Umschalter 34 mit
der Masse verbunden, wobei der Umschalter 34 während des
Sendens ausgeschaltet und während des Empfangens eingeschal
tet ist. Dieser Umschalter kann zu dem in Fig. 4A gezeigten
Umschalter ähnlich sein. Die obere Kontaktschicht 14C ist
über eine Wicklung eines Übertragers 26 mit der Sende/Emp
fangsleitung verbunden, wobei die untere Kontaktschicht 14A
über die andere Wicklung des Übertragers 26 mit der Masse
verbunden ist. Das Windungsverhältnis des Übertragers ist
1 : 1, wobei die Verbindungen derart beschaffen sind, daß die
Signale des gemeinsamen Modus durchgelassen werden, während
die Signale des Differenzmodus unterdrückt werden. Zwei Sät
ze von Dioden 36A, 36B sind zu den Wicklungen des Übertra
gers elektrisch parallelgeschaltet. Diese Dioden 36A, 36B
leiten unter den Sendebedingungen mit hohem Signalpegel,
wobei der Übertrager umgangen wird, und das Wandlerelement
mit einem elektrischen Signal des Differenzmodus angeregt
wird, welches in diesem Fall mit dem symmetrischen Schwin
gungsmodus, der eine Resonanzfrequenz F₁ aufweist, gekoppelt
ist. Beim Senden werden die elektrischen Signale des gemein
samen Modus, welche die Frequenz F₂ anregen würden, unter
drückt, indem der Umschalter, der mit der mittleren Kontakt
schicht verbunden ist, offengehalten wird. Beim Empfangen
ist dieser Umschalter 34 geschlossen, und die Schwingungen
bei der Frequenz F₂, welche elektrische Empfangssignale des
gemeinsamen Modus ergeben, werden über den Übertrager zu der
Empfangsleitung durchgelassen. Die empfangenen Schwingungen
bei der Frequenz F₁ ergeben elektrische Signale des Diffe
renzmodus, welche durch die Wirkung des Übertragers unter
drückt werden, da die Empfangssignale zu schwach sind, um
die Dioden einzuschalten.
Fig. 5 stellt einen mit einer zweiten Harmonischen abbilden
den Wandler dar, der einen Differenzverstärker 38 verwendet,
um den Empfang der ersten Harmonischen zu unterdrücken. Der
Wandler ist der gleiche, wie der, der in Fig. 3B dargestellt
ist, wobei der Wandler zusätzlich den Differenzverstärker 38
und ein zweites Diodenpaar 40 aufweist. Dieses zweite Dio
denpaar 40 leitet unter den Sendebedingungen mit hohem Si
gnalpegel, wodurch bewirkt wird, daß die Sendesignale den
Verstärker 38 umgehen, und wodurch sich ein Sendebetrieb er
gibt, der der gleiche ist, wie bei dem Ausführungsbeispiel
von Fig. 3B, wobei lediglich die Frequenz F₁ gesendet und
die Frequenz F₂ unterdrückt wird. Beim Empfangen sind die
Signale nicht stark genug, um zu bewirken, daß die Dioden
leiten. Die Schwingungen des symmetrischen Modus, die durch
das Empfangen von Echos bei der Frequenz F₁ bewirkt werden,
rufen auf der oberen und der unteren Kontaktschicht 14A, 14C
Spannungen des gemeinsamen Modus hervor, während die Schwin
gungen des anti-symmetrischen Modus, die durch das Empfangen
von Echos bei der Frequenz F₂ bewirkt werden, auf der oberen
und der unteren Kontaktschicht 14A, 14C Spannungen des Dif
ferenzmodus hervorrufen. Der Differenzverstärker 38 läßt le
diglich die Spannungen des Differenzmodus durch. Somit wird
lediglich die Frequenz F₂ empfangen, während F₁ unterdrückt
wird.
Fig. 6 stellt einen mit einer zweiten Harmonischen abbilden
den Wandler dar, der das Ultraschallsystem zum Umschalten
zwischen den zwei Frequenzen verwendet. Bei diesem Ausfüh
rungsbeispiel sind die getrennten Sende/Empfangsleitungen
T/R₁, T/R₂ (T = transmit = senden; R = receive = empfangen)
mit der oberen und der unteren elektrischen Kontaktschicht
14A, 14C verbunden, wobei die mittlere elektrische Kontakt
schicht 14B geerdet ist. Die Sendesignale auf den beiden
Sende/Empfangsleitungen T/R₁, T/R2 sind identisch. Somit
werden in dem Wandler Schwingungen des symmetrischen Modus
angeregt, die eine Sendefrequenz F₁ ergeben. Beim Empfangen
ergeben Echos bei der Frequenz F₁ Schwingungen des sym
metrischen Modus, die an der oberen und der unteren elektri
schen Kontaktschicht identische Spannungen erzeugen, während
die Echos bei der Frequenz F₂ Schwingungen des anti-symme
trischen Modus ergeben, die an den Kontaktschichten gleiche
Spannungen mit jedoch entgegengesetzter Polarität erzeugen.
In dem Empfangsstrahlformer des Ultraschallsystems können
die Signale auf den zwei Leitungen voneinander abgezogen
werden. Dies wird eine Unterdrückung der Signale bei F₁, je
doch eine Verstärkung der Signale bei F₂ bewirken. Es ist
nun ohne weiteres ersichtlich, daß ein Betrieb bei einer
einzigen Frequenz, d. h. bei F₁ oder F₂, oder bei einer be
liebigen Frequenz zwischen F₁ und F₂ möglich ist, indem die
Sende- und Empfangssignale auf den zwei Sende/Empfangslei
tungen zeitlich geeignet eingestellt werden.
Fig. 7A und B stellen Elemente dar, welche, obwohl sie me
chanisch identisch sind, derart polarisiert sind, um für ei
nen Betrieb entweder bei F₁ oder bei F₂ getrennt optimiert
zu sein. Bei beiden Elementen ist die Signalleitung mit der
mittleren elektrischen Kontaktschicht verbunden, wobei die
obere und die untere elektrische Schicht geerdet sind.
In Fig. 7A sind die Polarisationsvektoren in den zwei piezo
elektrischen Schichten entgegengesetzt ausgerichtet. Diese
Struktur ist lediglich mit den Schwingungen des symmetri
schen Modus piezoelektrisch gekoppelt. Dieselbe arbeitet da
her bei der Frequenz F₁. In Fig. 7B sind die Polarisations
vektoren in der gleichen Richtung ausgerichtet. Diese Struk
tur ist lediglich mit den Schwingungen des anti-symmetri
schen Modus piezoelektrisch gekoppelt. Dieselbe arbeitet da
her bei der Frequenz F₂. Nun kann für einen mit einer zwei
ten Harmonischen abbildenden Wandler ein Abschnitt der Ele
mente für den Betrieb bei F₁ polarisiert werden, wobei der
Rest der Elemente für einen Betrieb bei F₂ polarisiert wer
den kann. Diese Elemente können in verschiedenen Mustern in
den Wandlern angeordnet werden. Beispielsweise kann der
Wandler entweder in der x- oder y-Richtung in zwei benach
barte Abschnitte geteilt werden, wie es in Fig. 1 gezeigt
ist, wobei jeder Abschnitt lediglich Elemente mit der glei
chen Polarisation aufweist. Alternativ können die zwei Ele
menttypen zwischeneinanderliegend angeordnet sein, wobei
zwischen den beiden Typen abgewechselt wird. Dies ist ein
wenig schwieriger herzustellen, der Wandler wird jedoch zu
sammenfallende Sende- und Empfangsstrahlen aufweisen.
Bei einem alternativen Ausführungsbeispiel, das in Fig. 8A
und 8B gezeigt ist, können eine oder beide der piezoelektri
schen Schichten durch ein elektrostriktives Material ersetzt
werden. Dieser Materialtyp zeigt die Eigenschaft, daß das
Material durch eine Gleichvorspannung sehr stark polarisier
bar ist, wodurch piezoelektrische Eigenschaften gezeigt wer
den. Die piezoelektrischen Eigenschaften dauern lediglich
solange an, wie die Gleichvorspannung angelegt ist, wobei
die Ausrichtung der Polarisation von der Polarität der Vor
spannung abhängt. Das HF-Signal (HF = Hochfrequenz) ist ka
pazitiv mit der Masse gekoppelt. Durch geeignetes Anlegen
der Vorspannungen können somit beide Elementtypen, die in
Fig. 7A-B gezeigt sind, hergestellt werden. Fig. 8A ent
spricht Fig. 7A, und Fig. 8B entspricht Fig. 7B. Diese Ele
mente können in verschiedenen Mustern angeordnet werden, wie
es im vorhergehenden beschrieben ist. Zusätzlich können alle
Elemente in der gleichen Richtung polarisiert sein, wenn es
erwünscht ist, den Wandler in einem herkömmlichen Abbil
dungsmodus entweder bei F₁ oder F₂ zu betreiben, wie es von
Guraraja (U.S.P.N. 5,410,205) beschrieben ist.
Claims (14)
1. Piezoelektrischer Wandler (10), der bei zwei unter
schiedlichen Frequenzen wirksam ist, mit folgenden
Merkmalen:
einer piezoelektrischen Anordnung mit einer ersten und einer zweiten Oberfläche, wobei die Anordnung ferner folgende Merkmale aufweist:
eine Serie von N piezoelektrischen Schichten (12), wobei sich die Serie von der ersten Oberfläche zu der zweiten Oberfläche erstreckt,
eine Mehrzahl von dazwischenliegenden Elektroden (14B), wobei jede derselben zwischen benachbarten piezoelektrischen Schichten angeordnet ist, und
eine erste und eine zweite Elektrode (14A, 14C), wobei die erste Elektrode die erste Oberfläche und die zweite Elektrode die zweite Oberfläche be rührt, wodurch eine Spannungsdifferenz über der piezoelektrischen Anordnung eingerichtet wird;
einer Sende/Empfangsleitung, die mit der piezoelektri schen Anordnung elektrisch verbunden ist; und
einem ersten Umschalter (20A, 20B), der wirksam ist, um zwischen den zwei unterschiedlichen Frequenzen umzu schalten, und der mit der piezoelektrischen Anordnung elektrisch verbunden ist.
einer piezoelektrischen Anordnung mit einer ersten und einer zweiten Oberfläche, wobei die Anordnung ferner folgende Merkmale aufweist:
eine Serie von N piezoelektrischen Schichten (12), wobei sich die Serie von der ersten Oberfläche zu der zweiten Oberfläche erstreckt,
eine Mehrzahl von dazwischenliegenden Elektroden (14B), wobei jede derselben zwischen benachbarten piezoelektrischen Schichten angeordnet ist, und
eine erste und eine zweite Elektrode (14A, 14C), wobei die erste Elektrode die erste Oberfläche und die zweite Elektrode die zweite Oberfläche be rührt, wodurch eine Spannungsdifferenz über der piezoelektrischen Anordnung eingerichtet wird;
einer Sende/Empfangsleitung, die mit der piezoelektri schen Anordnung elektrisch verbunden ist; und
einem ersten Umschalter (20A, 20B), der wirksam ist, um zwischen den zwei unterschiedlichen Frequenzen umzu schalten, und der mit der piezoelektrischen Anordnung elektrisch verbunden ist.
2. Wandler gemäß Anspruch 1, bei dem der erste Umschalter
aus zwei parallelgeschalteten Dioden besteht, der einen
Knoten aufweist, der mit der piezoelektrischen Anord
nung verbunden ist, wobei die zwei Dioden mit entgegen
gesetzter Polarität parallelgeschaltet sind.
3. Wandler gemäß Anspruch 2, bei dem
die Sende/Empfangsleitung mit mindestens einer der Mehrzahl der dazwischenliegenden Elektroden (14B) ver bunden ist; und
die zwei Dioden (20A, 20B) zwischen die erste Elektrode (14A) und Masse geschaltet sind.
die Sende/Empfangsleitung mit mindestens einer der Mehrzahl der dazwischenliegenden Elektroden (14B) ver bunden ist; und
die zwei Dioden (20A, 20B) zwischen die erste Elektrode (14A) und Masse geschaltet sind.
4. Wandler gemäß Anspruch 2, bei dem
die Sende/Empfangsleitung mit der zweiten Elektrode (14C) verbunden ist;
die zwei Dioden (20A, 20B) zwischen die erste und die zweite Elektrode (14A, 14C) geschaltet sind; und
mindestens eine der Mehrzahl von dazwischenliegenden Elektroden (14B) mit Masse verbunden ist.
die Sende/Empfangsleitung mit der zweiten Elektrode (14C) verbunden ist;
die zwei Dioden (20A, 20B) zwischen die erste und die zweite Elektrode (14A, 14C) geschaltet sind; und
mindestens eine der Mehrzahl von dazwischenliegenden Elektroden (14B) mit Masse verbunden ist.
5. Wandler gemäß Anspruch 4, wobei der Wandler ferner fol
gende Merkmale aufweist:
einen Verstärker (38), der mit der ersten und der zwei ten Elektrode verbunden ist, und der einen Ausgang auf weist;
ein zweites Diodenpaar (40), wobei die Dioden mit ent gegengesetzter Polarität parallelgeschaltet sind, und mit der ersten Elektrode und dem Ausgang verbunden sind; und
wobei die Sende/Empfangsleitung mit dem Ausgang verbun den ist.
einen Verstärker (38), der mit der ersten und der zwei ten Elektrode verbunden ist, und der einen Ausgang auf weist;
ein zweites Diodenpaar (40), wobei die Dioden mit ent gegengesetzter Polarität parallelgeschaltet sind, und mit der ersten Elektrode und dem Ausgang verbunden sind; und
wobei die Sende/Empfangsleitung mit dem Ausgang verbun den ist.
6. Wandler gemäß Anspruch 2, bei dem
die piezoelektrische Anordnung ferner eine elektrisch
isolierende Schicht (22) zwischen zwei benachbarten da zwischenliegenden Elektroden (14B, 14D) aufweist;
die erste und die zweite Elektrode (14A, 14C) mit Masse verbunden sind; und
die Sende/Empfangsleitung mit einer der zwei benachbar ten dazwischenliegenden Elektroden (14B, 14D) verbunden ist.
die piezoelektrische Anordnung ferner eine elektrisch
isolierende Schicht (22) zwischen zwei benachbarten da zwischenliegenden Elektroden (14B, 14D) aufweist;
die erste und die zweite Elektrode (14A, 14C) mit Masse verbunden sind; und
die Sende/Empfangsleitung mit einer der zwei benachbar ten dazwischenliegenden Elektroden (14B, 14D) verbunden ist.
7. Wandler gemäß Anspruch 2, bei dem
die piezoelektrische Anordnung ferner eine halb-leitfä hige Schicht (24) aufweist, die ein Diodenarray zwi schen den zwei benachbarten dazwischenliegenden Elek troden (14B, 14D) bildet;
die erste und die zweite Elektrode (14A, 14C) mit Masse verbunden sind; und
die Sende/Empfangsleitung mit einer der zwei benachbar ten dazwischenliegenden Elektroden (14B, 14D) verbunden ist.
die piezoelektrische Anordnung ferner eine halb-leitfä hige Schicht (24) aufweist, die ein Diodenarray zwi schen den zwei benachbarten dazwischenliegenden Elek troden (14B, 14D) bildet;
die erste und die zweite Elektrode (14A, 14C) mit Masse verbunden sind; und
die Sende/Empfangsleitung mit einer der zwei benachbar ten dazwischenliegenden Elektroden (14B, 14D) verbunden ist.
8. Wandler gemäß Anspruch 1, der ferner folgende Merkmale
aufweist:
einen Übertrager (26) mit einer ersten Wicklung, einer zweiten Wicklung und einem Mittelabgriff,
wobei der Übertrager (26) mit der piezoelektrischen An ordnung verbunden und wirksam ist, um die Frequenzse lektivität zu erhöhen.
einen Übertrager (26) mit einer ersten Wicklung, einer zweiten Wicklung und einem Mittelabgriff,
wobei der Übertrager (26) mit der piezoelektrischen An ordnung verbunden und wirksam ist, um die Frequenzse lektivität zu erhöhen.
9. Wandler gemäß Anspruch 8, bei dem
die erste und die zweite Elektrode mit der ersten Wick lung des Übertragers verbunden sind;
eine der dazwischenliegenden Elektroden mit Masse ver bunden ist;
der erste Umschalter zwischen die Sende/Empfangsleitung und den Mittelabgriff geschaltet ist; und
ein zweiter Umschalter (28) vorgesehen ist, der zwi schen die Sende/Empfangsleitung und die zweite Windung geschaltet ist.
die erste und die zweite Elektrode mit der ersten Wick lung des Übertragers verbunden sind;
eine der dazwischenliegenden Elektroden mit Masse ver bunden ist;
der erste Umschalter zwischen die Sende/Empfangsleitung und den Mittelabgriff geschaltet ist; und
ein zweiter Umschalter (28) vorgesehen ist, der zwi schen die Sende/Empfangsleitung und die zweite Windung geschaltet ist.
10. Wandler gemäß Anspruch 8, bei dem
der Übertrager ein Windungsverhältnis von 1 : 1 aufweist;
die erste Wicklung zwischen die Sende/Empfangsleitung und die erste Elektrode geschaltet ist;
die zweite Wicklung zwischen die zweite Elektrode und Masse geschaltet ist, derart, daß ein Strom, der aus der zweiten Elektrode fließt, in der gleichen Richtung über den Übertrager fließt, wie ein Strom, der in die erste Elektrode fließt;
ein zweiter Umschalter (34) vorgesehen ist, der mit ei ner der dazwischenliegenden Elektroden verbunden ist, wobei der zweite Umschalter wirksam ist, um die eine der dazwischenliegenden Elektroden während des Sendens auszuschalten und während des Empfangens einzuschalten; und
zwei Diodenpaare (36A, 36B) vorgesehen sind, wobei je des Diodenpaar mit entgegengesetzter Polarität paral lelgeschaltet ist, und jeweils mit einer entsprechenden der ersten und zweiten Wicklung verbunden ist.
der Übertrager ein Windungsverhältnis von 1 : 1 aufweist;
die erste Wicklung zwischen die Sende/Empfangsleitung und die erste Elektrode geschaltet ist;
die zweite Wicklung zwischen die zweite Elektrode und Masse geschaltet ist, derart, daß ein Strom, der aus der zweiten Elektrode fließt, in der gleichen Richtung über den Übertrager fließt, wie ein Strom, der in die erste Elektrode fließt;
ein zweiter Umschalter (34) vorgesehen ist, der mit ei ner der dazwischenliegenden Elektroden verbunden ist, wobei der zweite Umschalter wirksam ist, um die eine der dazwischenliegenden Elektroden während des Sendens auszuschalten und während des Empfangens einzuschalten; und
zwei Diodenpaare (36A, 36B) vorgesehen sind, wobei je des Diodenpaar mit entgegengesetzter Polarität paral lelgeschaltet ist, und jeweils mit einer entsprechenden der ersten und zweiten Wicklung verbunden ist.
11. Piezoelektrischer Wandler, der bei mindestens zwei ver
schiedenen Frequenzen wirksam ist, mit folgenden Merk
malen:
einer piezoelektrischen Anordnung mit einer ersten und einer zweiten Oberfläche, wobei die Anordnung ferner folgende Merkmale aufweist:
eine Serie von N piezoelektrischen Schichten (12 x), wobei sich die Serie von der ersten Ober fläche zu der zweiten Oberfläche erstreckt,
eine Mehrzahl von dazwischenliegenden Elektroden (14B), wobei jede derselben zwischen benachbarten piezoelektrischen Schichten angeordnet ist, und
eine erste und eine zweite Elektrode (14A, 14C), wobei die erste Elektrode die erste Oberfläche und die zweite Elektrode die zweite Oberfläche be rührt, wodurch eine Spannungsdifferenz über der piezoelektrischen Anordnung eingerichtet wird; und
zwei Sende/Empfangsleitungen, die mit der piezoelektri schen Anordnung, die bei zwei Schwingungsmoden arbei tet, elektrisch verbunden sind, wobei jeder Schwin gungsmodus einer der zwei unterschiedlichen Frequenzen entspricht.
einer piezoelektrischen Anordnung mit einer ersten und einer zweiten Oberfläche, wobei die Anordnung ferner folgende Merkmale aufweist:
eine Serie von N piezoelektrischen Schichten (12 x), wobei sich die Serie von der ersten Ober fläche zu der zweiten Oberfläche erstreckt,
eine Mehrzahl von dazwischenliegenden Elektroden (14B), wobei jede derselben zwischen benachbarten piezoelektrischen Schichten angeordnet ist, und
eine erste und eine zweite Elektrode (14A, 14C), wobei die erste Elektrode die erste Oberfläche und die zweite Elektrode die zweite Oberfläche be rührt, wodurch eine Spannungsdifferenz über der piezoelektrischen Anordnung eingerichtet wird; und
zwei Sende/Empfangsleitungen, die mit der piezoelektri schen Anordnung, die bei zwei Schwingungsmoden arbei tet, elektrisch verbunden sind, wobei jeder Schwin gungsmodus einer der zwei unterschiedlichen Frequenzen entspricht.
12. Wandler, der bei einer ersten und einer zweiten Fre
quenz wirksam ist, mit folgenden Merkmalen:
einer Mehrzahl von M Anordnungen mit jeweils einer er sten und einer zweiten Oberfläche, wobei jede Anordnung ferner folgende Merkmale aufweist:
eine Serie von N elektro-akustischen Schichten (12 x), wobei sich die Serie von der ersten Ober fläche zu der zweiten Oberfläche erstreckt,
eine Mehrzahl von dazwischenliegenden Elektroden (14B), wobei jede derselben zwischen benachbarten elektro-akustischen Schichten angeordnet ist, und
eine erste und eine zweite Elektrode (14A, 14C), wobei die erste Elektrode die erste Oberfläche und die zweite Elektrode die zweite Oberfläche be rührt, wodurch eine Spannungsdifferenz über der Anordnung eingerichtet wird; und
M Sende/Empfangsleitungen, wobei jede Leitung mit einer entsprechenden der Mehrzahl von M Anordnungen elek trisch verbunden ist, wobei ein erster Abschnitt der Mehrzahl der M Anordnungen bei der ersten Frequenz ar beitet, während ein zweiter Abschnitt der Mehrzahl der M Anordnungen bei der zweiten Frequenz arbeitet.
einer Mehrzahl von M Anordnungen mit jeweils einer er sten und einer zweiten Oberfläche, wobei jede Anordnung ferner folgende Merkmale aufweist:
eine Serie von N elektro-akustischen Schichten (12 x), wobei sich die Serie von der ersten Ober fläche zu der zweiten Oberfläche erstreckt,
eine Mehrzahl von dazwischenliegenden Elektroden (14B), wobei jede derselben zwischen benachbarten elektro-akustischen Schichten angeordnet ist, und
eine erste und eine zweite Elektrode (14A, 14C), wobei die erste Elektrode die erste Oberfläche und die zweite Elektrode die zweite Oberfläche be rührt, wodurch eine Spannungsdifferenz über der Anordnung eingerichtet wird; und
M Sende/Empfangsleitungen, wobei jede Leitung mit einer entsprechenden der Mehrzahl von M Anordnungen elek trisch verbunden ist, wobei ein erster Abschnitt der Mehrzahl der M Anordnungen bei der ersten Frequenz ar beitet, während ein zweiter Abschnitt der Mehrzahl der M Anordnungen bei der zweiten Frequenz arbeitet.
13. Wandler gemäß Anspruch 12, bei dem die Serie der N
elektro-akustischen Schichten (12 x) eine Serie von N
piezoelektrischen Schichten ist.
14. Wandler gemäß Anspruch 12, bei dem mindestens eine der
Serie von N elektro-akustischen Schichten (12 x) eine
Schicht aus einem elektrostriktiven Material ist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/622,483 US5825117A (en) | 1996-03-26 | 1996-03-26 | Second harmonic imaging transducers |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19701334A1 true DE19701334A1 (de) | 1997-10-02 |
DE19701334C2 DE19701334C2 (de) | 1999-06-10 |
Family
ID=24494345
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19701334A Expired - Fee Related DE19701334C2 (de) | 1996-03-26 | 1997-01-16 | Mit der zweiten Harmonischen abbildende Wandler |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5825117A (de) |
JP (1) | JPH1023598A (de) |
DE (1) | DE19701334C2 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009021530A1 (de) * | 2007-08-11 | 2009-02-19 | Festo Ag & Co. Kg | Elektronische steuerungseinrichtung für einen als trimorph ausgebildeten piezokeramischen biegewandler |
DE112007001920B4 (de) * | 2006-08-16 | 2016-01-28 | Siemens Medical Solutions Usa, Inc. | Umschalten von Schichten für eine Ultraschallwandleranordnung |
Families Citing this family (51)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6236144B1 (en) * | 1995-12-13 | 2001-05-22 | Gec-Marconi Limited | Acoustic imaging arrays |
US6074346A (en) * | 1997-06-27 | 2000-06-13 | Siemens Medical Systems, Inc. | Transmit/receive ultrasound front end circuit providing automatic transmit/receive switching |
US20030036746A1 (en) | 2001-08-16 | 2003-02-20 | Avi Penner | Devices for intrabody delivery of molecules and systems and methods utilizing same |
US6140740A (en) * | 1997-12-30 | 2000-10-31 | Remon Medical Technologies, Ltd. | Piezoelectric transducer |
US6416478B1 (en) | 1998-05-05 | 2002-07-09 | Acuson Corporation | Extended bandwidth ultrasonic transducer and method |
US6320300B1 (en) * | 1998-09-03 | 2001-11-20 | Lucent Technologies Inc. | Piezoelectric array devices |
US6437484B1 (en) * | 1998-12-24 | 2002-08-20 | Kyocera Corporation | Piezoelectric resonator |
US6409667B1 (en) | 2000-02-23 | 2002-06-25 | Acuson Corporation | Medical diagnostic ultrasound transducer system and method for harmonic imaging |
GB2362989B (en) * | 2000-05-31 | 2004-03-24 | Seiko Epson Corp | Piezoelectric devices |
US6432055B1 (en) * | 2000-06-30 | 2002-08-13 | Acuson Corporation | Medical ultrasonic imaging system with three-state ultrasonic pulse and improved pulse generator |
WO2002054827A2 (en) * | 2001-01-05 | 2002-07-11 | Angelsen Bjoern A J | Wideband transducer |
KR100854242B1 (ko) * | 2001-04-25 | 2008-08-25 | 엔엑스피 비 브이 | 2개의 압전층을 가진 장치 및 필터 장치 |
US6761692B2 (en) * | 2001-06-25 | 2004-07-13 | Eagle Ultrasound As | High frequency and multi frequency band ultrasound transducers based on ceramic films |
US20030173870A1 (en) * | 2002-03-12 | 2003-09-18 | Shuh-Yueh Simon Hsu | Piezoelectric ultrasound transducer assembly having internal electrodes for bandwidth enhancement and mode suppression |
US6821252B2 (en) * | 2002-03-26 | 2004-11-23 | G.E. Medical Systems Global Technology Company, Llc | Harmonic transducer element structures and properties |
US6558331B1 (en) | 2002-05-29 | 2003-05-06 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Apparatus and method for harmonic imaging using an array transducer operated in the k31 mode |
US7396332B2 (en) | 2002-06-10 | 2008-07-08 | Scimed Life Systems, Inc. | Transducer with multiple resonant frequencies for an imaging catheter |
US6806623B2 (en) * | 2002-06-27 | 2004-10-19 | Siemens Medical Solutions Usa, Inc. | Transmit and receive isolation for ultrasound scanning and methods of use |
US6994674B2 (en) * | 2002-06-27 | 2006-02-07 | Siemens Medical Solutions Usa, Inc. | Multi-dimensional transducer arrays and method of manufacture |
EP1539381A1 (de) * | 2002-07-15 | 2005-06-15 | Eagle Ultrasound AS | Hochfrequenz- und mehrfrequenzbandultraschallwandler auf der grundlage von keramikfolien |
US7676345B2 (en) * | 2003-07-07 | 2010-03-09 | Nira Dynamics Ab | Method and system of determining the absolute velocity of a vehicle |
US20050113698A1 (en) * | 2003-11-21 | 2005-05-26 | Kjell Kristoffersen | Ultrasound probe transceiver circuitry |
US20050148879A1 (en) * | 2003-12-19 | 2005-07-07 | Siemens Medical Solutions Usa, Inc. | Mode dependent tunable transducers and methods of use |
DE602005024179D1 (de) | 2004-11-24 | 2010-11-25 | Remon Medical Technologies Ltd | Implantierbares medizinprodukt mit integriertem akustischem wandler |
US7522962B1 (en) | 2004-12-03 | 2009-04-21 | Remon Medical Technologies, Ltd | Implantable medical device with integrated acoustic transducer |
EP1849195A4 (de) * | 2005-02-15 | 2011-12-07 | Ultran Group Inc | Mehrschichtiger piezoelektrischer gasmatrixverbundwandler |
US7713199B2 (en) * | 2005-07-28 | 2010-05-11 | Siemens Medical Solutions Usa, Inc. | Medical diagnostic ultrasound transducer system for harmonics |
US7615012B2 (en) | 2005-08-26 | 2009-11-10 | Cardiac Pacemakers, Inc. | Broadband acoustic sensor for an implantable medical device |
US7570998B2 (en) | 2005-08-26 | 2009-08-04 | Cardiac Pacemakers, Inc. | Acoustic communication transducer in implantable medical device header |
DE102006023165B4 (de) * | 2006-05-17 | 2008-02-14 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zur Herstellung eines akustischen Spiegels aus alternierend angeordneten Schichten hoher und niedriger akustischer Impedanz |
US7912548B2 (en) | 2006-07-21 | 2011-03-22 | Cardiac Pacemakers, Inc. | Resonant structures for implantable devices |
JP2009544366A (ja) | 2006-07-21 | 2009-12-17 | カーディアック ペースメイカーズ, インコーポレイテッド | 金属製キャビティが植え込まれた医療器具に用いる超音波トランスデューサ |
WO2008015917A1 (fr) * | 2006-08-02 | 2008-02-07 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Sonde à ultrasons et son procédé de fabrication |
US7936553B2 (en) * | 2007-03-22 | 2011-05-03 | Paratek Microwave, Inc. | Capacitors adapted for acoustic resonance cancellation |
US8467169B2 (en) | 2007-03-22 | 2013-06-18 | Research In Motion Rf, Inc. | Capacitors adapted for acoustic resonance cancellation |
US8825161B1 (en) | 2007-05-17 | 2014-09-02 | Cardiac Pacemakers, Inc. | Acoustic transducer for an implantable medical device |
JP2010528814A (ja) | 2007-06-14 | 2010-08-26 | カーディアック ペースメイカーズ, インコーポレイテッド | 多素子音響再充電システム |
US7750537B2 (en) * | 2007-08-16 | 2010-07-06 | University Of Virginia Patent Foundation | Hybrid dual layer diagnostic ultrasound transducer array |
US8194387B2 (en) | 2009-03-20 | 2012-06-05 | Paratek Microwave, Inc. | Electrostrictive resonance suppression for tunable capacitors |
KR20110064511A (ko) * | 2009-12-08 | 2011-06-15 | 삼성메디슨 주식회사 | 초음파 프로브 장치 및 그 제조방법 |
US8854923B1 (en) * | 2011-09-23 | 2014-10-07 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Variable resonance acoustic transducer |
US9883849B2 (en) | 2012-06-28 | 2018-02-06 | B-K Medical Aps | Ultrasound imaging |
US11039814B2 (en) | 2016-12-04 | 2021-06-22 | Exo Imaging, Inc. | Imaging devices having piezoelectric transducers |
US10648852B2 (en) | 2018-04-11 | 2020-05-12 | Exo Imaging Inc. | Imaging devices having piezoelectric transceivers |
US10656007B2 (en) | 2018-04-11 | 2020-05-19 | Exo Imaging Inc. | Asymmetrical ultrasound transducer array |
DE102018126387A1 (de) * | 2018-10-23 | 2020-04-23 | Tdk Electronics Ag | Schallwandler und Verfahren zum Betrieb des Schallwandlers |
CA3126228A1 (en) * | 2019-01-15 | 2020-07-23 | Exo Imaging, Inc. | Synthetic lenses for ultrasound imaging systems |
JP2023511802A (ja) | 2019-09-12 | 2023-03-23 | エコー イメージング,インク. | 端部溝、仮想ピボット、および非拘束状態の境界を介する、mut結合効率および帯域幅の増加 |
US11951512B2 (en) | 2021-03-31 | 2024-04-09 | Exo Imaging, Inc. | Imaging devices having piezoelectric transceivers with harmonic characteristics |
US11819881B2 (en) | 2021-03-31 | 2023-11-21 | Exo Imaging, Inc. | Imaging devices having piezoelectric transceivers with harmonic characteristics |
DE102022113015A1 (de) | 2022-05-24 | 2023-11-30 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein | Verfahren zur Signalübertragung zwischen einem Ultraschallwandler und einer Ultraschallelektronik sowie zugehörige Anordnung |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US545265A (en) * | 1895-08-27 | Shaving-cabinet | ||
US3971250A (en) * | 1975-02-18 | 1976-07-27 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Electret sensing medium having plural sensing units |
DE2537760A1 (de) * | 1975-08-25 | 1977-03-10 | Siemens Ag | Piezoelektrischer motor |
DE2856508A1 (de) * | 1977-12-29 | 1979-07-12 | Sony Corp | Piezoelektrischer wandler sowie diesen verwendende signalwiedergabeanordnung |
DE3129725A1 (de) * | 1980-07-29 | 1982-03-04 | Kureha Kagaku Kogyo K.K., Nihonbashi, Tokyo | Ultraschallwandler |
JPH04237699A (ja) * | 1991-01-17 | 1992-08-26 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 液体取扱いシステム |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4096756A (en) * | 1977-07-05 | 1978-06-27 | Rca Corporation | Variable acoustic wave energy transfer-characteristic control device |
DE2914031C2 (de) * | 1979-04-06 | 1981-01-15 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Ultraschallwandler |
US4344159A (en) * | 1981-05-08 | 1982-08-10 | Honeywell Inc. | Ultrasonic transducer |
FR2612722B1 (fr) * | 1987-03-19 | 1989-05-26 | Thomson Csf | Transducteur acoustique multifrequences, notamment pour imagerie medicale |
US5452265A (en) * | 1991-07-01 | 1995-09-19 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Active acoustic impedance modification arrangement for controlling sound interaction |
US5410205A (en) * | 1993-02-11 | 1995-04-25 | Hewlett-Packard Company | Ultrasonic transducer having two or more resonance frequencies |
US5381067A (en) * | 1993-03-10 | 1995-01-10 | Hewlett-Packard Company | Electrical impedance normalization for an ultrasonic transducer array |
US5329498A (en) * | 1993-05-17 | 1994-07-12 | Hewlett-Packard Company | Signal conditioning and interconnection for an acoustic transducer |
US5434827A (en) * | 1993-06-15 | 1995-07-18 | Hewlett-Packard Company | Matching layer for front acoustic impedance matching of clinical ultrasonic tranducers |
US5381385A (en) * | 1993-08-04 | 1995-01-10 | Hewlett-Packard Company | Electrical interconnect for multilayer transducer elements of a two-dimensional transducer array |
-
1996
- 1996-03-26 US US08/622,483 patent/US5825117A/en not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-01-16 DE DE19701334A patent/DE19701334C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-03-24 JP JP9069810A patent/JPH1023598A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US545265A (en) * | 1895-08-27 | Shaving-cabinet | ||
US3971250A (en) * | 1975-02-18 | 1976-07-27 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Electret sensing medium having plural sensing units |
DE2537760A1 (de) * | 1975-08-25 | 1977-03-10 | Siemens Ag | Piezoelektrischer motor |
DE2856508A1 (de) * | 1977-12-29 | 1979-07-12 | Sony Corp | Piezoelektrischer wandler sowie diesen verwendende signalwiedergabeanordnung |
DE3129725A1 (de) * | 1980-07-29 | 1982-03-04 | Kureha Kagaku Kogyo K.K., Nihonbashi, Tokyo | Ultraschallwandler |
JPH04237699A (ja) * | 1991-01-17 | 1992-08-26 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 液体取扱いシステム |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
TIETZE, U. u.a.: Halbleiter-Schaltungstechnik, 5.Aufl., Berlin, Springer-Verlag, 1980, S.399-400 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112007001920B4 (de) * | 2006-08-16 | 2016-01-28 | Siemens Medical Solutions Usa, Inc. | Umschalten von Schichten für eine Ultraschallwandleranordnung |
WO2009021530A1 (de) * | 2007-08-11 | 2009-02-19 | Festo Ag & Co. Kg | Elektronische steuerungseinrichtung für einen als trimorph ausgebildeten piezokeramischen biegewandler |
US8053949B2 (en) | 2007-08-11 | 2011-11-08 | Festo Ag & Co. Kg | Electronic control device for a piezo-ceramic bending transducer designed as a trimorph |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1023598A (ja) | 1998-01-23 |
DE19701334C2 (de) | 1999-06-10 |
US5825117A (en) | 1998-10-20 |
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DE3611669C2 (de) | ||
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