DE1965086A1 - Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen Behandlung - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen Behandlung

Info

Publication number
DE1965086A1
DE1965086A1 DE19691965086 DE1965086A DE1965086A1 DE 1965086 A1 DE1965086 A1 DE 1965086A1 DE 19691965086 DE19691965086 DE 19691965086 DE 1965086 A DE1965086 A DE 1965086A DE 1965086 A1 DE1965086 A1 DE 1965086A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
pressure
chamber
lock chamber
welding
lock
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19691965086
Other languages
English (en)
Other versions
DE1965086C3 (de
DE1965086B2 (de
Inventor
Jacques Long
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alsacienne de Constructions Atomiques de Telecommunications et dElectronique ALCATEL
Original Assignee
Alsacienne de Constructions Atomiques de Telecommunications et dElectronique ALCATEL
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Alsacienne de Constructions Atomiques de Telecommunications et dElectronique ALCATEL filed Critical Alsacienne de Constructions Atomiques de Telecommunications et dElectronique ALCATEL
Publication of DE1965086A1 publication Critical patent/DE1965086A1/de
Publication of DE1965086B2 publication Critical patent/DE1965086B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE1965086C3 publication Critical patent/DE1965086C3/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D16/00—Control of fluid pressure
    • G05D16/20—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means
    • G05D16/2006—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means
    • G05D16/2013—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means
    • G05D16/2026—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means with a plurality of throttling means
    • G05D16/2046—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means with a plurality of throttling means the plurality of throttling means being arranged for the control of a single pressure from a plurality of converging pressures
    • G05D16/2053—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means with a plurality of throttling means the plurality of throttling means being arranged for the control of a single pressure from a plurality of converging pressures the plurality of throttling means comprising only a first throttling means acting on a higher pressure and a second throttling means acting on a lower pressure, e.g. the atmosphere
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K15/00—Electron-beam welding or cutting
    • B23K15/0046—Welding
    • B23K15/0053—Seam welding
    • B23K15/006—Seam welding of rectilinear seams
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K15/00—Electron-beam welding or cutting
    • B23K15/06—Electron-beam welding or cutting within a vacuum chamber
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D9/00—Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor
    • C21D9/52—Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor for wires; for strips ; for rods of unlimited length
    • C21D9/54—Furnaces for treating strips or wire
    • C21D9/56—Continuous furnaces for strip or wire
    • C21D9/561—Continuous furnaces for strip or wire with a controlled atmosphere or vacuum
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2101/00—Articles made by soldering, welding or cutting
    • B23K2101/04—Tubular or hollow articles
    • B23K2101/06—Tubes
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S277/00—Seal for a joint or juncture
    • Y10S277/906—Seal for article of indefinite length, e.g. strip, sheet

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)
  • Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

DR. MÜLLER-BOR^ DIPL.-ΙΝΘ. GRALFS
DIPL.-PHYS. DR. MANITZ DIPL.-CHEM. DR. DEUFEL 1965086
PATENTANWÄLTE
München, den 27.12.69
Mak/Sv - S 2107
SOCIETE ALSACIEmE DE COUSTRUCOiIOlTS ATOMIQUES
DE TELECOMMUNICATIONS ET D'ELECTRONIQUE "ALCATEL"
32 rue de Lisbonne, Paris 8,
Srankreich
Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen
Behandlung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur unter Druck und kontrollierter Atmosphäre erfolgenden kontinuierlichen Behandlung von Metallteilen und dergleichen, welche ein im wesentlichen konstantes Profil aufweisen.
Die bekannten verschiedenen Vorrichtungen zur kontinuierlichen Behandlung unter Vakuum oder unter kontrollierter Atmosphäre, wie das Schweißen durch Elektronenbeschuß, die Metallisierung und die unter Vakuum erfolgenden thermischen Behandlungen umfassen im allgemeinen einen Behälter, dessen Dichte gegenüber der Umgebungsluft entweder mittels eines an dem zu behandelnden Teil befestigten Bandes oder durch Dichtungen aus beispielsweise elastomerem Material gewährleistet ist. Eine derartige
Vorrichtung ist beispielsweise in der französischen Patentschrift 1 331 413 beschrieben.
009828/131Ö
BRAUNSCHWEIG, AM BORGERPARK β φ (0531) 2β#β7 8 MÜNCHEN 22, ROBERT-KOCH-STR 1 Φ COBH) 225110
Es sind jedoch Vorrichtungen bekannt, die insbesondere zum Schweißen durch Elektronenbeschuß bestimmt sind, bei denen die zu schweißenden Teile nicht unter Vakuum gehalten werden, sondern bei denen der Elektronenstrahl in der freien Luft arbeiten kann oder nach Durchlaufen einer Reihe von Gefäßen mit abgestuften Drücken begrenzt werden kann, die voneinander durch ein mit einer kleinen Öffnung versehenes Diaphragma bzw. durch eine Membran mit einer derartigen kleinen öffnung getrennt sind.
Alle diese Vorrichtungen weisen eine bestimmte Anzahl von Nachteilen auf.
Bei den Vorrichtungen mit Dichtungen ergibt sich einer dieser Nachteile dadurch, daß die verwendeten Dichtungen schnell durch die Reibung der beweglichen Teile und gegebenenfalls durch den Wärmefluß zerstört werden, der bei der durchgeführten Behandlung ausgesandt wird. Es ist somit erforderlich, häufige Auswechslungen dieser Dichtungen vorzunehmen, was dazu führt, daß häufige und längere Stillstände der gesamten Behandlungsvorrichtungen auftreten. Ein anderer Nachteil ergibt sich dadurch, daß es derartige Vorrichtungen nicht ermöglichen, die Stabilität des in dem Behandlungsgefäß herrschenden Druckes zu gewährleisten. Insbesondere im Fall des Schweißens durch Elektronenbeschuß führen die daraus resultierenden Änderungen der Strahlfokussierung zu Schweißraupen, welche eine gewisse Heterogenität und schlechte mechanische Qualität besitzen.
Ein anderer Nachteil ergibt sich dadurch, daß die bekannten Vorrichtungen nur die Durchführung der Behandlung von ebenen oder drehsymmetrischen Teilen wie Bändern und Zylindern ermöglichen und nur unter Schwierigkeiten, wenn nicht sogar überhaupt nicht für Behandlungsvorgänge von komplexeren Teilen geeignet sind wie profilierten Teilen, Winkelteilen und dergleichen.
009823/1310
Aufgabe der Erfindung ist es, diese Nachteile zu beseitigen und eine Vorrichtung zu schaffen, die es ermöglicht, Teile zu erhalten, deren Behandlung vollkommen regelmäßig und homogen ist und zu ausgezeichneten Qualitäten führt, wobei die Teile ein im wesentlichen konstantes Profil besitzen, aber auch verschiedene einfache und komplexe Konfigurationen aufweisen können.
Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur kontinuierlichen Behandlung von Teilen mit einem im wesentlichen konstanten Profil unter kontrollierter Atmosphäre, welche unter einem von dem Atmosphärendruck verschiedenen Druck gehalten wird, und dieses Verfahren zeichnet sich dadurch aus, daß das zu behandelnde Teil mit im wesentlichen konstantem Querschnitt, das auch komplex sein kann, in einer Förderleitung geführt wird, die durch zwei Wände definiert ist, geeigneten Querschnitt aufweist und sich erweitert, um aufeinanderfolgend wenigstens eine Kammer, nämlich eine Eingangsschleuse, eine Behandlungskammer und eine weitere Kammer, nämlich eine Ausgangsschleuse, zu bilden, daß in diesen Kammern vorgegebene Drücke aufrechterhalten werden, daß der Druck und die Zusammensetzung der in der Behandlungskamrner herrschenden Atmoöphäre ständig geregelt werden, indem ständig de " Druck und die Gaszusammensetzung der die Eingangsschleuse bildenden Kammer und der die Ausgangsschleuse bildenden Kammer mit Bezugswerten verglichen werden und daß ständig auf den in diesen Kammern herrschenden Druck und/oder auf die Konduktanz der Förderleitung sowie auf äae Gaszulaßventile eingewirkt wird.
Die Erfindung betrifft gleichermaßen eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens.
Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung werden nachfolgend beispielsweise im Zusammenhang mit einer Ausführungs-
009828/1318
form einer derartigen Vorrichtung zum Schweißen durch Elektronenbeschuß unter Bezugnahme auf die .Zeichnung beschrieben} in dieser zeigt;
Figur 1 einen Längsschnitt einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zum kontinuierlichen Schweißen, welche zum Schweissen von Rohrteilen bestimmt ist, und
Figur 2 eine teilweise geschnitten dargestellte Ansicht einer
Vorrichtung zur automatischen Druckregulierung, welche zur Verwendung bei der Vorrichtung nach Pig. 1 geeignet
ist.
Figur 1 zeigt eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum kontinuierlichen Schweißen von Rohren, welche relativ große Fertigungsunregelmäßigkeiten aufweisen, und diese Vorrichtung besteht im wesentlichen aus einer zylindrischen Förderleitung 1, die durch eine Außenwand 2 und eine Innenwand 3 begrenzt ist.
Diese Leitung mündet in eine Schweißkammer 4, welche mit eigner Elektronenkanone 5 versehen ist, die in ihrem Mitteilteil angeordnet ist* sowie einer die Einlaßschleuse bildenden Kammer 6, einer die Auslaßschleuse'bildenden Kammer 9 Howie Ringschleusenkammern 7 und 8, die durch die Leitung 1 begrenzt sind, welche bezüglich der Schweißkammer 4 symmetrisch sind. Die Schweißkammer 4 ist mit einer ersten nicht dargestellten Pumpgruppe verbunden, während die Schleusenkammern 7 und. 8 und die Schleusenkammern 6 und 9 jeweils mit nicht dargestellten Pumpengruppen verbunden sind. Die in den Kammern 6 und 9) welche von der Schweißkammer am weitesten entfernt sind, herrschenden Drücke liegen zwischen denen der Kammern 7 und 8 und dem Atmosphärendruck, und die Drücke dieser letzteren Kammern liegen zwischen denen der Schweißkammer und denen der Kammern 6 und 9·
009828/1319
■ Es wird angenommen, daß das Vorbeiläufen des Rohres 10 "beispielsweise in Richtung des Pfeiles 11 erfolgt und mittels nicht dargestellten Rollenanordnungen vor sich geht.
Die Vorrichtung arbeitet folgendermaßen»
Nach Einschalten der Pumpgruppen und der Elektronenkanone 5 wird das Vorbeilaufen des Rohres 10 in der Leitung 1 mitttels Rollengruppen gewährleistet, was später anhand der Fig. 2 beschrieben wird. Das Schweißen wird somit kontinuierlich durch den von der Kanoiie 5 ausgesandten Strahl vorgenommen, während der in der Pumpkammer herrschende Druck durch Druckregelvorrichtungen konsiaat gehalten wird, von denen eine Ausführungsform in Fig. 2 dargestellt ist.
Fig. 2 zeigt eine der automatischen Druckregelvorrichtungen. Diese Vorrichtung besteht im wesentlichen aus einem Manostat 20, der mit der Eingangsschieusenkammer 6 verbunden ist, welche unmittelbar auf die Regelvorrichtung folgt. Dieser Manostat kann zwei El ektr ο ventile steuern, nämlich ein Fiill-Elektroventil 21 und ein Ablaß-Elektroventil 22, welche durch eine Fluidquelle (nicht dargestellt) über eine Leitung 23 gespeist sind und mit einem hydraulischen Demultiplikator, bzw. Untersetzer 24 mittbels einer Leitung 25 in Verbindung stehen.
Der hydraulische Untersetzer 24 besteht aus einem ersten Zylinder 26, in dessen Innerem zwei miteinander fest verbundene Kolben 27 und 28 gleiten können, wobei zwischen dem Kolben und dem unteren Flansch des Zylinders 26 eine Feder 29 angeordnet ist. In Höhe dieses unteren Flansches ist ein zweiter Zylinder 30 angeordnet, der eine Flüssigkeit abschließt, Dieser Zylinder 30 ist koaxial zum Kolben 27, welcher gleichen Durchmesser besitzt und in den Zylinder eindringt.
009828/1318
In den Wänden 2 und 3 der Leitung 1 sind an sich bekannte verformbare Ringmembranen angebracht, welche mittels Leitungen 32 mit Ringkollektoren 33 und 34- verbunden sind, welche mit dem zweiten Zylinder 30 des hydraulischen Untersetzers 34 über Leitungen 35 in Verbindung stehen. Fig. 2 zeigt außerdem das zu schweißende Rohr 10, dessen Antrieb und mechanischen Zentrierung in der Leitung 1 mittels einer Gruppe von Eingangsrollen 36 und einer Gruppe von Ausgangsrollen 37 gewährleistet ist.
Die Vorrichtung arbeitet in folgender Weise:
Wenn der Druck in der Einlaßschleusenkammer 26 höher als der gewünschte Druck ist, sendet der Manostat 20 eine Information aus, welche die öffnung des Füll-Elektroventils 21 und die Zuführung von Fluid zu dem Zylinder 26 des hydraulischen Untersetz_ers 24- steuert. Der Kolben 28 treibt den Kolben 27 nach unten und der letztere bewirkt die Erhöhung des Volumens der verformbaren Membranen 31 > indem die in dem Zylinder 30 des hydraulischen Untersetzers enthaltene Flüssigkeit komprimiert wird. Die Volumenerhöhung der Membranen 31 hat die Verringerung der Konduktanz der Förderleitung 1 zur Folge, und als Folge davon tritt eine Verringerung des Druckes in der Einlaßschleusenkammer 6 bis zu dem angezeigten Wert auf.
Umgekehrt sendet der Manostat 20 dann, wenn der Druck in der Einlaßschleusenkammer geringer als der gewünschte Druck ist, eine Information aus, welche die öffnung des Ablaß-Elektroventils 22 des Zylinders 26 des hydraulischen Untersetzers 24 steuert. Die Feder 39 treibt die Kolben 28 und 27 nach oben, und der letztere Kolben bewirkt die Verringerung des Volumens der verformbaren Membranen 31 durch Reduktion des Drucks der in dem Zylinder 30 des hydraulischen Untersetzers 24· enthaltenen Flüssigkeit. Die Volumenverringerung der Membranen 31 hat die Erhöhung der Konduktanz der Leitung 1 zur Folge,
003828/1318
und als Folge davon die Erhöhung des Druckes in der Einlaßschleusenkammer 6 bis zu dem angezeigten Wert usw.
Eine zur beschriebenen Regelvorrichtung identische Vorrichtung ist der Auslaßschleusenkammer 9 zugeordnet und befindet sich zwischen dieser Kammer und dem Ende der Leitung 1.
Das vorstehend beschriebene Verfahren sowie die beschriebene Vorrichtung weisen eine bestimmte Anzahl von Vorteilen auf.
Auf diese Weise wird nämlich trotz der Konduktanzänderungen der Wände der Förderleitung, welche durch die Änderungen der Fertigungstoleranzen und die Oberflächenzustände bewirkt werden, der Druck streng konstant und gleich dem eingestellten Wert gehalten. Die Folge davon ist, daß die erzielte Behandlung vollkommen regelmäßig und homogen ist, wodurch es möglich ist, Teile von ausgezeichneter Qualität zu erhalten.
Ein anderer Vorteil ergibt sieh dadurch, daß aufgrund der Aufrechterhaltung des Druckes nur eine beschränkte Anzahl von Schleusenkammern erforderlich ist. Eine derartige-Vorrichtung benötigt demgemäß wenig Raum und kann mit geringen Hastellkosten gefertigt werden.
Ein weiterer Vorteil ergibt sich dadurch, daß die Anordnung der in der Leitung zur Förderung des Teiles angebrachten verformbaren Membranen mit der Leitung zusammenwirkt, um eine Konduktanz, bzw. Leitung "mit Riefelung" zu schaffen, deren Wirksamkeit im Falle von turbulenten und viskosen Strömungszuständen größer ist und eine bessere Pumpleistung gewährleistet.
Gemäß eiaem weiteren Vorteil erfordert eine derartige Vorrichtung nicht die Anordnung von reibenden Verbindungen, deren
009828/1318
Dichtigkeit sich häufig als unvollkommen erweist und welche durch Reibung schnell unbrauchbar werden.
Gemäß einem weiteren Vorteil gestattet es diese Vorrichtung, die Behandlung von Stücken in verschiedenen und komplexen !Formen zu gewährleisten, wie z.B. Winkelstücke, profilierte Stücke usw., wobei die einzige zu verwirklichende Umwandlung darin besteht, den Querschnitt der Förderleitung des Stückes an den Querschnitt des Stückes anzupassen.
Eng verbunden mit der Ausnutzung der in Fig. 2 dargestellten Druckregelungsvorrichtung ist es möglich, direkt auf den Druck einzuwirken, da? in den Schleusenkammern herrscht. Man kann ebenfalls diese einzige Art der Regulierung des Druckes verwenden, indem man durch den Manostat 20 z.B. die Füllung oder die Reinigung der Schleusenkammern steuern läßt.
Die Druckregulierungsvorrichtung, die in Fig. 2 dargestellt ist, kann durch ein äquivalentes System ersetzt werden, das die gleiche Regulierung bewirkt, insbesondere was den Demultiplikator und seine beiden Steuerelektroventile betrifft.
- Patentansprüche -
009828/1318

Claims (3)

Pat ent ansprüche
1. Vorrichtung zur kontinuierlichen Behandlung eines Stückes unbestimmter Länge und von im wesentlichen konstantem Querschnitt in einer Behandlungskammer, die unter kontrollierter Atmosphäre und unter einem Druck gehsLten wird, der vom Atmosphärendruck verschieden ist, mit einer Fördereinrichtung für das zu behandelnde Stück, die durch eine Leitung gebildet ist, welche zwischen zwei parallelen Wänden vorgesehen ist, die zwischen sich einen schmalen Zwischenraum von der Form und dem Querschnitt des zu behandelnden Stückes angepaßtem Querschnitt bestimmen,waä mit Führungsrollen, mit einer Isoliervorrichtung für die Behandlungskammer, die von wenigstens einer EingangsSchleusenkammer und von wenigstens einer Ausgangsschleusenkammer gebildet ist, die symmetrisch zu der Behandlungskammer angeordnet sind, wobei die im gleichen Abstand von letzterer angeordneten Schleusenkammern auf im wesentlichen gleichen Drücken gehalten sind, die Isoliervorrichtung der Behandlungskammer außerdem mit jeder der Schleusenkammern verbundene Pumpgruppen umfaßt, mit Mitteln für die Abwandlung der Konduktanz der Fördereinrichtung, Mitteln zum "Vergleich des in der Eingangsschleusenkammer und in der Ausgangsschleusenkammer herrschenden Druckes mit einem vorbestimmten Bezugsdruck, welche zwei Arten von Signalen liefern je nach der algebraischen Differenz zwischen den Drücken, und mit Mitteln zum Wiederherstellen des Druckes in der Eingangsschleusenkammer und der Ausgangsschleusenkammer als Funktion der beiden Arten der oben erwähnten Signale, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zum Wiederherstellen des Druckes in der Eingangsschleusenkammer und in der Ausgangsschleusenkammer durch Elektroventile gebildet sind, die durch die Vergleichsmittel gesteuert sind, welche auf die jeweiligen Pumpengruppen der Schleusenkammern in Kombina-
. 009828/1318
tion mit den Mitteln einwirken, welche die Abwandlung der Konduktanz der Förderleitung steuern.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel für die Abwandlung der Konduktanz der Förderleitung durch an sich bekannte torusförmige Membranen aus= elastomerem Material gebildet sind, die durch den Druck eines Pluides verformt werden können.
'
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch g e k e η η ζ e i c h ne t, daß die die Abwandlung der Konduktanz der torusKjrmigen Membranen steuernden Mittel durch hydraulische Demultiplikatoren gebildet sind, die je durch zwei Elektroventile gesteuert sind.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zum Vergleich des in der Eingangsschleusenkammer und in der Ausgangsschleusenkammer herrschenden Druckes mit einem vorbestimmten Bezugsdruck durch einen Manostat gebildet sind.
. 5· Vorrichtung zum kontinuierlichen Schweißen durch Elektronenbombardierung eines Stückes unbestimmter Länge und von im wesentlichen konstantem Querschnitt mit einer Förderleitung, die durch eine Außenwand (2) und eine Innenwand (3) begrenzt und mit Führungsrollen ausgestattet ist, mit einer Schweißkammer (5) unter reduziertem Druck, die mit einer Elektronenkanone und einer Pumpgruppe verbunden ist, mit einer den Druck in der Schweißkammer konstant haltenden Isoliervorrichtung, die durch eine EingangsSchleusenkammer (6), eine AusgangsSchleusenkammer (9) sowie durch zwei Ringkammern (7 und 8) gebildet ist, welche symmetrisch in bezug auf die Schweißkammer angeordnet sind, und durch Pumpgruppen, die
00 98 28/1318
jeweils mit jeder der Schleusenkammern verbunden sind, und durch verformbare torusförmige Membranen (31), dadurch g e k e η η ζ eichnet, daß die Regelung des Druckes durch eine gleichseitige Einwirkung auf die den Schleusenkammern zugeordneten Pumpgruppen und auf die verformbaren torusförmigen Membranen (31) erfolgt, während der Druck, der in der- Schweißkammer herrscht, größer ist als ein vorherbestimtier Wert und einzig und allein auf das Abschwellen des verformbaren torusförmigen Membranen (31) einwirkt, i?®nn der DruGk, der in der Schweißkammer herrscht, einen Wert erreicht hat, der kleiner als sein vorherbestimmter Wert ist.
6. Vorrichtung zum kontinuierlichen Schweißen durch Elektronenbombardierung eines Stückes unbestimmter länge und von im wesentlichen konstantem Querschnitt mit einer Förderleitung, die durch eine Außenwand (2) und durch eine Innenwand (3) begrenzt und mit Mümingsrollen ausgestattet ist, einer Schv.reißkammer unter reduziertem Druck (5), die mit einer Elektronenkanone und einer Pumpgruppe verbunden ist, mit einer Isoliervorrichtung, die den Druck in der Schweißkammer konstant hält und durch eine Eingangsschleusenkammer (6)t eine Ausgangsschleusenkammer (9) sowie durch zwei ringförmige Kammern gebildet ist, die symmetrisch in bezug auf die Schweißkammer angeordnet sind, und durch torusförmige verformbare Membranen (31) 5 dadurch gekennzeichnet, daß die Regulierung des Druckes durch eine Veränderung der Konduktanz der Isoliervorrichtung erhalten ist, welche dadurch verwirklicht wird, daß der Zustand der Schwellung der torusförmigen verformbaren Membranen verändert wird.
009828/1318
Leerseite
DE1965086A 1968-12-26 1969-12-27 Vorrichtung zur Durchführung von Behandlungsvorgängen Granted DE1965086B2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR180656 1968-12-26

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE1965086A1 true DE1965086A1 (de) 1970-07-09
DE1965086B2 DE1965086B2 (de) 1978-07-13
DE1965086C3 DE1965086C3 (de) 1979-03-22

Family

ID=8659062

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1965086A Granted DE1965086B2 (de) 1968-12-26 1969-12-27 Vorrichtung zur Durchführung von Behandlungsvorgängen

Country Status (3)

Country Link
US (1) US3643058A (de)
DE (1) DE1965086B2 (de)
FR (1) FR1601513A (de)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5799639A (en) * 1980-12-12 1982-06-21 Fujitsu Ltd Treatment of negative type resist
DE3466414D1 (en) * 1983-06-17 1987-10-29 Hitachi Ltd Continuous vacuum treating apparatus
JP4574051B2 (ja) * 2001-04-17 2010-11-04 株式会社ジェイテクト 熱処理方法及びそれに用いる熱処理装置
GB2568696A (en) * 2017-11-23 2019-05-29 Aquasium Tech Limited Welding assembly

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3032890A (en) * 1958-03-28 1962-05-08 Continental Can Co Sealing structures for treating chambers
US3058057A (en) * 1960-12-16 1962-10-09 Bell Telephone Labor Inc Ionization manometer circuit
US3212408A (en) * 1962-03-16 1965-10-19 Glenn T Randol Pressure-differential operated brake booster mechanism
DE1515201B2 (de) * 1964-08-08 1973-04-05 Steigerwald Strahltechnik GmbH, 8000 München Vorrichtung zur materialbearbeitung mittels eines korpuskularstrahles
US3348447A (en) * 1964-10-16 1967-10-24 Joseph A Goleb Determination of isotopic concentrations
US3435185A (en) * 1966-01-11 1969-03-25 Rohr Corp Sliding vacuum seal for electron beam welder
US3440390A (en) * 1966-04-20 1969-04-22 Little Inc A Method and apparatus for treating continuous strip material under vacuum
US3438259A (en) * 1967-05-31 1969-04-15 Midwest Research Inst Vacuum system pressure change detection

Also Published As

Publication number Publication date
DE1965086C3 (de) 1979-03-22
DE1965086B2 (de) 1978-07-13
US3643058A (en) 1972-02-15
FR1601513A (de) 1970-08-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2404882A1 (de) Verfahren und einrichtung zum regulieren des fluiddurchflusses in einer rohrleitung
DE2226175A1 (de) Öffnung mit hoher Durchflußmenge für Spulenventile
DE2142394B2 (de) Expansionsrohrventil
DE1807614A1 (de) Mehrfach-Dichtungssystem
DE1946786A1 (de) Linearer Hydromotor
DE2504616C2 (de) Sicherheitsventil für fördernde Bohrlöcher
EP1029173B1 (de) Ventilsteuereinheit für ein kraftstoffeinspritzventil
DE2413273C3 (de) Druckminderventil
DE2834895C2 (de) Hydraulische Formschließvorrichtung mit einem Druckübersetzer
DE1965086A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen Behandlung
DE3029872A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum pumpen fliessfaehigen materials
EP0130306A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Steuern eines Rohrtrenners
DE2736428A1 (de) Belueftete drosselventilvorrichtung
DE3490354C2 (de)
DE2342908A1 (de) Spann- und foerdervorrichtung fuer langgestreckte gegenstaende
EP0463567A2 (de) Entnahmeventil für Kraftstofftank
EP0761592B1 (de) Verteilvorrichtung zum wahlweisen Verbinden von Leitungen eines ersten Leitungsfeldes mit Leitungen eines zweiten Leitungsfeldes
DE945310C (de) Druckluft-Tuerschliesseinrichtung
EP0087505B1 (de) Vorrichtung zur Behandlung von Werkstücken, insbesondere thermische Entgratanlage
DE2703999A1 (de) Schieberventil
DE2246810A1 (de) Einrichtung zum nachtraeglichen anpressen der dichtflaechen bei nicht mehr demontierbaren gehaeusen von maschinen, geraeten, apparaten o.dgl., insbesondere der dichtflaechen bei brennkammerkoepfen von fluessigkeitsraketentriebwerken
EP0227854B1 (de) Druckmindervorrichtung
DE2727225A1 (de) Axialstrom-drosselorgan
DE102022202370A1 (de) Druckreduzierventil
DE2033081A1 (de) Ventil

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)