DE19637079A1 - Anordnung zur Beschleunigungsmessung - Google Patents
Anordnung zur BeschleunigungsmessungInfo
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- 230000001133 acceleration Effects 0.000 title claims description 31
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 6
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 10
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims 2
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000003353 gold alloy Substances 0.000 claims 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 229920006351 engineering plastic Polymers 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000007765 extrusion coating Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P1/00—Details of instruments
- G01P1/02—Housings
- G01P1/023—Housings for acceleration measuring devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P1/00—Details of instruments
- G01P1/02—Housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
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Description
Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Beschleunigungsmessung nach
dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Beschleunigungssensoren werden häufig bei Insassenschutzsystemen in
Kraftfahrzeugen eingesetzt, um für die Insassen gefährliche Situationen zu
erkennen und Rückhaltesysteme zu deren Schutz zu aktivieren.
Die Hauptempfindlichkeitsachse bei bekannten Beschleunigungssensoren ist
senkrecht oder parallel zur Montageebene angeordnet.
Einen derartigen Aufbau eines Beschleunigungssensors nach dem Stand der
Technik ist in der European Patent Application 0 675 363 A2 beschrieben,
wo in einem Gehäuse ein mikromechanischer Beschleunigungssensor und
eine nachgeschaltete Auswerteschaltung angeordnet sind.
Diese Anordnung weist den Nachteil auf, daß nur Beschleunigungskräfte ge
messen werden können, die parallel zur Montageebene des Beschleuni
gungssensors verlaufen.
Es ist deshalb Aufgabe der Erfindung, eine Anordnung zur Beschleuni
gungsmessung anzugeben, bei der die genannten Nachteile vermieden wer
den.
Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Anordnung zur Beschleunigungsmes
sung, bestehend aus einem Gehäuse, einem Beschleunigungssensorelement
und einem eine Bestückungsebene für das Beschleunigungssensorelement
definierenden Träger, mit Anschlußbeinchen zur Erzeugung wenigstens ei
ner Montageebene für das Gehäuse, wobei die Bestückungsebene in einem
beliebigen Winkel zur Montageebene angeordnet ist.
Dadurch wird erreicht, daß Einflüsse der Verschlußtechnik (z. B. Löten oder
Schweißen) nicht vorhanden sind. Durch den gewählten Herstellungsprozeß
(Spritzprozeß) für Sensor und Elektronik in einem Gehäuse ist der Abgleich
des Sensors leicht möglich. Außerdem werden ausschließlich bekannte Her
stellungsverfahren der Halbleitertechnik eingesetzt. Durch den eingesetzten
Dom (Glob-Top) wird das Sensorelement wirksam von Umwelteinflüssen und
auftretenden mechanischen Spannungen abgeschirmt. Das Einsatzspektrum
wird durch den beliebig wählbaren Winkel stark erweitert, und die kon
struktive Integration in das System bedeutend vereinfacht.
Weitere vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteran
sprüchen beschrieben. So wird im Patentanspruch 2 vorgeschlagen, Be
stückungs- und Montageebene in einem Winkel zwischen 10° und 15° zuein
ander anzuordnen. Der Winkel zwischen 10° und 15° ist durch die Konstruk
tion des Sensors bedingt. Die Verspannungen durch das Umspritzen werden
dadurch klein gehalten. Erst die Kombination von Dom und vorgeschlagener
Konstruktion des Sensors ermöglicht den Einsatz der Spritztechnik.
Die weiteren Vorteile der Erfindung liegen darin, daß mit der erfindungs
gemäßen Anordnung auch Beschleunigungen gemessen werden können,
die nicht senkrecht oder parallel zur Montageebene der Anordnung verlau
fen. Zudem kann die Anordnung in zwei verschiedenen Einbau lagen ver
baut werden, ohne daß Änderungen an der Konstruktion des Sensors vor
genommen werden müssen. Die Montagemöglichkeit in zwei Ebenen er
möglicht eine wirtschaftliche Optimierung der Logistik und erweitert das
Einsatzspektrum.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist nachstehend ausführlich erläu
tert und anhand der Figuren dargestellt.
Es zeigen
Fig. 1 eine Draufsicht und zwei Seitenansichten der erfindungsge
mäßen Anordnung zur Beschleunigungsmessung,
Fig. 2 einen Schnitt durch die Anordnung nach Fig. 1,
Fig. 3 der zur erfindungsgemäßen Anordnung gehörende Träger,
Fig. 4a die erfindungsgemäße Anordnung, wobei die Hauptempfind
lichkeitsachse senkrecht zur Montageebene verläuft und
Fig. 4b die erfindungsgemäße Anordnung, wobei die Hauptempfind
lichkeitsachse parallel zur Montageebene verläuft.
Die Fig. 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Anord
nung, bestehend aus einem Gehäuse 1, einem Träger 2 mit Anschlußbein
chen 3, mit ersten Befestigungsblechen 4 und zweiten Befestigungsblechen
5. Das Gehäuse 1 besteht vorzugsweise aus einem technischen Kunststoff
und wird durch ein bekanntes Mouldverfahren hergestellt. Der metallene
Träger 2 besteht aus einer bekannten Kupfer- oder Eisenlegierung, die hohe
elektrische und thermische Leitfähigkeit und genügend hohe mechanische
Festigkeit aufweist. Die verwendete Legierung muß außerdem mittels eines
Stanzwerkzeuges bearbeitbar und gut lötbar und bondbar sein.
Eine erste Montageebene 18 zum Einbau der Anordnung, vorzugsweise in
das Chassis eines Kraftfahrzeuges, wird durch die Anschlußbeinchen 3 und
die ersten Befestigungsbleche 4 gebildet, eine zweite Montageebene 19
durch die Anschlußbeinchen 3 und die zweiten Befestigungsbleche 5.
Fig. 2 zeigt den inneren Aufbau der erfindungsgemäßen Anordnung. Auf
einer um einen beliebigen Winkel α, beispielsweise zwischen 10° und 15°,
zur Montageebene 18 geneigten Bestückungsebene 20, gebildet durch den
Träger 2, der vom Gehäuse 1 umschlossen ist, sind ein Beschleunigungssen
sorelement 6 und eine nachgeschaltete Auswerteeinheit 7 angeordnet. Die
Größe des Winkels α hängt hierbei vom Aufbau des verwendeten Beschleu
nigungssensorelements 6 ab. Das Beschleunigungssensorelement 6 weist zu
seinem Schutz beim Mouldvorgang einen Dom (Glob-Top) 8 auf, der aus ei
ner elastischen Kunststoffmasse, wie beispielsweise Silikon, besteht. Bei der
Auswerteeinheit 7 handelt es sich um einen anwendungsspezifischen Inte
grierten Schaltkreis (ASIC). Die Befestigung von Beschleunigungssensorele
ment 6 und Auswerteeinheit 7 auf dem Träger 2 erfolgt mittels eines leit
fähigen oder isolierenden Klebstoffes oder durch Chipbonden, so daß eine
elektrisch und thermisch leitfähige Verbindung zustande kommt.
Die elektrische Verbindung zwischen Beschleunigungssensorelement 6 und
Auswerteeinheit 7 bzw. zwischen Auswerteeinheit 7 und den Anschlußbein
chen 3 erfolgt mittels Bonddrähten 9, die aus einer leitfähigen Metallegie
rung auf Basis von Gold oder Aluminium bestehen. Die Anschlußbeinchen 3
weisen wie die ersten Befestigungsbleche 4 eine J-förmige Gestalt auf und
werden daher auch als J-Wings bezeichnet. Sie werden mit Leitbahnen 10
bzw. metallenen Kontaktflächen 11 einer Leiterplatte 12 verlötet, wobei die
Befestigungsbleche 4 zusätzlich zur Befestigung der Anordnung für die elek
trische Verbindung beispielsweise zum Bezugspotential dienen.
Für die Messung einer Beschleunigung senkrecht bzw. parallel zur Montage
ebene 18 muß die Empfindlichkeitsachse senkrecht bzw. parallel zur Monta
geebene 18 liegen. Dies wird durch geeignete Wahl des Winkels α erreicht.
Ist die Empfindlichkeitsachse in Richtung des Pfeiles 13a geneigt, dann kön
nen durch die zur Leiterplatte 12 um den Winkel α geneigten Anordnung
des Beschleunigungssensorelements 6, bei dem es sich vorzugsweise um ein
bekanntes piezoresistives Widerstandselement in Verbindung mit einer seis
mischen Masse handelt, aufgrund von sich ergebenden Nebenempfindlich
keitsachsen 13b und 13c auch Beschleunigungen gemessen werden, die
nicht senkrecht zur ersten Montageebene 18 verlaufen.
Die Fig. 3 zeigt den zum Aufbau der erfindungsgemäßen Anordnung ver
wendeten Träger 2 mit einer Positionierungsmarkierung 14 und Transport
löchern 15. Eine Fläche 16 wird später mit einem Beschleunigungssensor
element und eine Fläche 17 mit einer Auswerteeinheit bestückt. Weiterhin
weist der Träger 2 noch nicht freigeschnittene Anschlußbeinchen 3 und
noch nicht umgebogene Befestigungsbleche 4 und 5 auf. Die Befestigungs
bleche 4 lassen sich auch als Anschlußbeinchen nutzen, wenn sie durch Frei
schneiden vom übrigen Träger 2 galvanisch getrennt werden.
Aus den Fig. 4a und 4b geht hervor, daß die Anordnung in zwei verschiede
nen Einbaulagen montiert werden kann, ohne Änderungen am Aufbau, bei
spielsweise am Gehäuse 1, vornehmen zu müssen.
Um für Beschleunigungen sensibilisiert zu werden, die vorwiegend in Pfeil
richtung 13b senkrecht zur ersten Montageebene 18 wirken, werden zur
Befestigung der Anordnung auf der Leiterplatte 12 nur die Anschlußbein
chen 3 und die ersten Befestigungsbleche 4 verwendet, wie aus Fig. 4a her
vorgeht. Die Anschlußbeinchen 3 und die ersten Befestigungsbleche 4 bil
den hierbei die erste Montageebene 18.
Um dagegen eine Hauptempfindlichkeitsachse gemäß einer Pfeilrichtung
21b senkrecht zur zweiten Montageebene 19 zu erhalten, werden die An
schlußbeinchen 3 und die zweiten Befestigungsbleche 5 auf der Leiterplatte
12 verlötet. Die Anschlußbeinchen 3 und die zweiten Befestigungsbleche 5
bilden hierbei die zweite Montageebene 19. Bei geeigneter Wahl des Win
kels α (Fig. 2) können aber auch Beschleunigungen detektiert werden, die
gemäß Pfeilrichtung 21b bzw. 21c parallel bzw. senkrecht zur Montageebe
ne 19 wirken.
Die erfindungsgemäße Anordnung zur Beschleunigungsmessung findet ihre
Verwendung hauptsächlich in Kraftfahrzeugen zur Auslösung von Insassen
schutzsystemen, wenn aufgrund einer Fahrsituation Gefahr für die Insassen
besteht. Die Anordnung kann in zwei verschiedenen Einbaulagen montiert
werden, ohne Änderungen am Aufbau vornehmen zu müssen. Durch die zu
den Montageebenen nicht parallele Anordnung des Beschleunigungssensor
elements können auch Beschleunigungen detektiert werden, die nicht senk
recht zu einer Montageebene verlaufen, insbesondere Querbeschleunigun
gen.
Claims (13)
1. Anordnung zur Beschleunigungsmessung, bestehend aus einem Gehäuse
(1), einem Beschleunigungssensorelement (6) und einem eine Bestückungs
ebene (20) für das Beschleunigungssensorelement (6) definierenden Träger
(2), mit Anschlußbeinchen (3) zur Erzeugung wenigstens einer Montageebe
ne (18, 19) für das Gehäuse (1), dadurch gekennzeichnet, daß die Be
stückungsebene (20) in einem Winkel (α) zur Montageebene (18) angeordnet
ist.
2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Winkel
(α) zwischen 10° und 15° liegt.
3. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger
(2) erste Befestigungsbleche (4) aufweist, wobei die Anschlußbeinchen (3)
mit den ersten Befestigungsblechen (4) eine erste Montageebene (18) bil
den.
4. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger
(2) zweite Befestigungsbleche (5) aufweist, wobei die Anschlußbeinchen (3)
mit den zweiten Befestigungsblechen (5) eine zweite Montageebene (19) bil
den.
5. Anordnung nach Anspruch 1, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß
auf dem Träger (2) eine Auswerteeinheit (7) angeordnet ist.
6. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Be
schleunigungssensorelement (6) ein piezoresistives Element verwendet
wird.
7. Anordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß als Auswer
teeinheit (7) ein anwendungsspezifischer Schaltkreis (ASIC) verwendet wird.
8. Anordnung nach Anspruch 1, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die
Anschlußbeinchen (3) J-förmig ausgeformt sind (J-Wing).
9. Anordnung nach Anspruch 1, 3, 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß
der Träger (2) aus einer Aluminiumlegierung besteht.
10. Anordnung nach Anspruch 1, 3, 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß
der Träger (2) aus einer Eisenlegierung besteht.
11. Anordnung nach Anspruch 1 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß das
Beschleunigungssensorelement (6) und die Auswerteeinheit (7) mittels
Bonddrähten (9) miteinander oder mit dem Träger (2) verbunden sind.
12. Anordnung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Bond
drähte (9) aus Gold oder einer Goldlegierung bestehen.
13. Anordnung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Bond
drähte (9) aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung bestehen.
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19637079A DE19637079C2 (de) | 1996-09-12 | 1996-09-12 | Anordnung zur Beschleunigungsmessung |
JP10513220A JP2001500611A (ja) | 1996-09-12 | 1997-09-04 | 加速度測定装置 |
PCT/EP1997/004810 WO1998011442A1 (de) | 1996-09-12 | 1997-09-04 | Anordnung zur beschleunigungsmessung |
KR1019997002092A KR20000036081A (ko) | 1996-09-12 | 1997-09-04 | 가속 측정 장치 |
EP97943831A EP0925508A1 (de) | 1996-09-12 | 1997-09-04 | Anordnung zur beschleunigungsmessung |
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US09/254,720 US6112594A (en) | 1996-09-12 | 1997-09-04 | Acceleration measurement device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19637079A DE19637079C2 (de) | 1996-09-12 | 1996-09-12 | Anordnung zur Beschleunigungsmessung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19637079A1 true DE19637079A1 (de) | 1998-06-10 |
DE19637079C2 DE19637079C2 (de) | 2000-05-25 |
Family
ID=7805371
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19637079A Expired - Lifetime DE19637079C2 (de) | 1996-09-12 | 1996-09-12 | Anordnung zur Beschleunigungsmessung |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6112594A (de) |
EP (1) | EP0925508A1 (de) |
JP (1) | JP2001500611A (de) |
KR (1) | KR20000036081A (de) |
CN (1) | CN1230256A (de) |
DE (1) | DE19637079C2 (de) |
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D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
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|
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R071 | Expiry of right |