DE19637079A1 - Anordnung zur Beschleunigungsmessung - Google Patents

Anordnung zur Beschleunigungsmessung

Info

Publication number
DE19637079A1
DE19637079A1 DE19637079A DE19637079A DE19637079A1 DE 19637079 A1 DE19637079 A1 DE 19637079A1 DE 19637079 A DE19637079 A DE 19637079A DE 19637079 A DE19637079 A DE 19637079A DE 19637079 A1 DE19637079 A1 DE 19637079A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
arrangement according
carrier
arrangement
acceleration sensor
mounting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19637079A
Other languages
English (en)
Other versions
DE19637079C2 (de
Inventor
Gerald Dipl Ing Brinks
Viktor Dipl Phys Tiederle
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Conti Temic Microelectronic GmbH
Original Assignee
Temic Telefunken Microelectronic GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to DE19637079A priority Critical patent/DE19637079C2/de
Application filed by Temic Telefunken Microelectronic GmbH filed Critical Temic Telefunken Microelectronic GmbH
Priority to US09/254,720 priority patent/US6112594A/en
Priority to CN97197726A priority patent/CN1230256A/zh
Priority to EP97943831A priority patent/EP0925508A1/de
Priority to KR1019997002092A priority patent/KR20000036081A/ko
Priority to PCT/EP1997/004810 priority patent/WO1998011442A1/de
Priority to JP10513220A priority patent/JP2001500611A/ja
Publication of DE19637079A1 publication Critical patent/DE19637079A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19637079C2 publication Critical patent/DE19637079C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P1/00Details of instruments
    • G01P1/02Housings
    • G01P1/023Housings for acceleration measuring devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P1/00Details of instruments
    • G01P1/02Housings
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/18Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Beschleunigungsmessung nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Beschleunigungssensoren werden häufig bei Insassenschutzsystemen in Kraftfahrzeugen eingesetzt, um für die Insassen gefährliche Situationen zu erkennen und Rückhaltesysteme zu deren Schutz zu aktivieren.
Die Hauptempfindlichkeitsachse bei bekannten Beschleunigungssensoren ist senkrecht oder parallel zur Montageebene angeordnet.
Einen derartigen Aufbau eines Beschleunigungssensors nach dem Stand der Technik ist in der European Patent Application 0 675 363 A2 beschrieben, wo in einem Gehäuse ein mikromechanischer Beschleunigungssensor und eine nachgeschaltete Auswerteschaltung angeordnet sind.
Diese Anordnung weist den Nachteil auf, daß nur Beschleunigungskräfte ge­ messen werden können, die parallel zur Montageebene des Beschleuni­ gungssensors verlaufen.
Es ist deshalb Aufgabe der Erfindung, eine Anordnung zur Beschleuni­ gungsmessung anzugeben, bei der die genannten Nachteile vermieden wer­ den.
Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Anordnung zur Beschleunigungsmes­ sung, bestehend aus einem Gehäuse, einem Beschleunigungssensorelement und einem eine Bestückungsebene für das Beschleunigungssensorelement definierenden Träger, mit Anschlußbeinchen zur Erzeugung wenigstens ei­ ner Montageebene für das Gehäuse, wobei die Bestückungsebene in einem beliebigen Winkel zur Montageebene angeordnet ist.
Dadurch wird erreicht, daß Einflüsse der Verschlußtechnik (z. B. Löten oder Schweißen) nicht vorhanden sind. Durch den gewählten Herstellungsprozeß (Spritzprozeß) für Sensor und Elektronik in einem Gehäuse ist der Abgleich des Sensors leicht möglich. Außerdem werden ausschließlich bekannte Her­ stellungsverfahren der Halbleitertechnik eingesetzt. Durch den eingesetzten Dom (Glob-Top) wird das Sensorelement wirksam von Umwelteinflüssen und auftretenden mechanischen Spannungen abgeschirmt. Das Einsatzspektrum wird durch den beliebig wählbaren Winkel stark erweitert, und die kon­ struktive Integration in das System bedeutend vereinfacht.
Weitere vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteran­ sprüchen beschrieben. So wird im Patentanspruch 2 vorgeschlagen, Be­ stückungs- und Montageebene in einem Winkel zwischen 10° und 15° zuein­ ander anzuordnen. Der Winkel zwischen 10° und 15° ist durch die Konstruk­ tion des Sensors bedingt. Die Verspannungen durch das Umspritzen werden dadurch klein gehalten. Erst die Kombination von Dom und vorgeschlagener Konstruktion des Sensors ermöglicht den Einsatz der Spritztechnik.
Die weiteren Vorteile der Erfindung liegen darin, daß mit der erfindungs­ gemäßen Anordnung auch Beschleunigungen gemessen werden können, die nicht senkrecht oder parallel zur Montageebene der Anordnung verlau­ fen. Zudem kann die Anordnung in zwei verschiedenen Einbau lagen ver­ baut werden, ohne daß Änderungen an der Konstruktion des Sensors vor­ genommen werden müssen. Die Montagemöglichkeit in zwei Ebenen er­ möglicht eine wirtschaftliche Optimierung der Logistik und erweitert das Einsatzspektrum.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist nachstehend ausführlich erläu­ tert und anhand der Figuren dargestellt.
Es zeigen
Fig. 1 eine Draufsicht und zwei Seitenansichten der erfindungsge­ mäßen Anordnung zur Beschleunigungsmessung,
Fig. 2 einen Schnitt durch die Anordnung nach Fig. 1,
Fig. 3 der zur erfindungsgemäßen Anordnung gehörende Träger,
Fig. 4a die erfindungsgemäße Anordnung, wobei die Hauptempfind­ lichkeitsachse senkrecht zur Montageebene verläuft und
Fig. 4b die erfindungsgemäße Anordnung, wobei die Hauptempfind­ lichkeitsachse parallel zur Montageebene verläuft.
Die Fig. 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Anord­ nung, bestehend aus einem Gehäuse 1, einem Träger 2 mit Anschlußbein­ chen 3, mit ersten Befestigungsblechen 4 und zweiten Befestigungsblechen 5. Das Gehäuse 1 besteht vorzugsweise aus einem technischen Kunststoff und wird durch ein bekanntes Mouldverfahren hergestellt. Der metallene Träger 2 besteht aus einer bekannten Kupfer- oder Eisenlegierung, die hohe elektrische und thermische Leitfähigkeit und genügend hohe mechanische Festigkeit aufweist. Die verwendete Legierung muß außerdem mittels eines Stanzwerkzeuges bearbeitbar und gut lötbar und bondbar sein.
Eine erste Montageebene 18 zum Einbau der Anordnung, vorzugsweise in das Chassis eines Kraftfahrzeuges, wird durch die Anschlußbeinchen 3 und die ersten Befestigungsbleche 4 gebildet, eine zweite Montageebene 19 durch die Anschlußbeinchen 3 und die zweiten Befestigungsbleche 5.
Fig. 2 zeigt den inneren Aufbau der erfindungsgemäßen Anordnung. Auf einer um einen beliebigen Winkel α, beispielsweise zwischen 10° und 15°, zur Montageebene 18 geneigten Bestückungsebene 20, gebildet durch den Träger 2, der vom Gehäuse 1 umschlossen ist, sind ein Beschleunigungssen­ sorelement 6 und eine nachgeschaltete Auswerteeinheit 7 angeordnet. Die Größe des Winkels α hängt hierbei vom Aufbau des verwendeten Beschleu­ nigungssensorelements 6 ab. Das Beschleunigungssensorelement 6 weist zu seinem Schutz beim Mouldvorgang einen Dom (Glob-Top) 8 auf, der aus ei­ ner elastischen Kunststoffmasse, wie beispielsweise Silikon, besteht. Bei der Auswerteeinheit 7 handelt es sich um einen anwendungsspezifischen Inte­ grierten Schaltkreis (ASIC). Die Befestigung von Beschleunigungssensorele­ ment 6 und Auswerteeinheit 7 auf dem Träger 2 erfolgt mittels eines leit­ fähigen oder isolierenden Klebstoffes oder durch Chipbonden, so daß eine elektrisch und thermisch leitfähige Verbindung zustande kommt.
Die elektrische Verbindung zwischen Beschleunigungssensorelement 6 und Auswerteeinheit 7 bzw. zwischen Auswerteeinheit 7 und den Anschlußbein­ chen 3 erfolgt mittels Bonddrähten 9, die aus einer leitfähigen Metallegie­ rung auf Basis von Gold oder Aluminium bestehen. Die Anschlußbeinchen 3 weisen wie die ersten Befestigungsbleche 4 eine J-förmige Gestalt auf und werden daher auch als J-Wings bezeichnet. Sie werden mit Leitbahnen 10 bzw. metallenen Kontaktflächen 11 einer Leiterplatte 12 verlötet, wobei die Befestigungsbleche 4 zusätzlich zur Befestigung der Anordnung für die elek­ trische Verbindung beispielsweise zum Bezugspotential dienen.
Für die Messung einer Beschleunigung senkrecht bzw. parallel zur Montage­ ebene 18 muß die Empfindlichkeitsachse senkrecht bzw. parallel zur Monta­ geebene 18 liegen. Dies wird durch geeignete Wahl des Winkels α erreicht. Ist die Empfindlichkeitsachse in Richtung des Pfeiles 13a geneigt, dann kön­ nen durch die zur Leiterplatte 12 um den Winkel α geneigten Anordnung des Beschleunigungssensorelements 6, bei dem es sich vorzugsweise um ein bekanntes piezoresistives Widerstandselement in Verbindung mit einer seis­ mischen Masse handelt, aufgrund von sich ergebenden Nebenempfindlich­ keitsachsen 13b und 13c auch Beschleunigungen gemessen werden, die nicht senkrecht zur ersten Montageebene 18 verlaufen.
Die Fig. 3 zeigt den zum Aufbau der erfindungsgemäßen Anordnung ver­ wendeten Träger 2 mit einer Positionierungsmarkierung 14 und Transport­ löchern 15. Eine Fläche 16 wird später mit einem Beschleunigungssensor­ element und eine Fläche 17 mit einer Auswerteeinheit bestückt. Weiterhin weist der Träger 2 noch nicht freigeschnittene Anschlußbeinchen 3 und noch nicht umgebogene Befestigungsbleche 4 und 5 auf. Die Befestigungs­ bleche 4 lassen sich auch als Anschlußbeinchen nutzen, wenn sie durch Frei­ schneiden vom übrigen Träger 2 galvanisch getrennt werden.
Aus den Fig. 4a und 4b geht hervor, daß die Anordnung in zwei verschiede­ nen Einbaulagen montiert werden kann, ohne Änderungen am Aufbau, bei­ spielsweise am Gehäuse 1, vornehmen zu müssen.
Um für Beschleunigungen sensibilisiert zu werden, die vorwiegend in Pfeil­ richtung 13b senkrecht zur ersten Montageebene 18 wirken, werden zur Befestigung der Anordnung auf der Leiterplatte 12 nur die Anschlußbein­ chen 3 und die ersten Befestigungsbleche 4 verwendet, wie aus Fig. 4a her­ vorgeht. Die Anschlußbeinchen 3 und die ersten Befestigungsbleche 4 bil­ den hierbei die erste Montageebene 18.
Um dagegen eine Hauptempfindlichkeitsachse gemäß einer Pfeilrichtung 21b senkrecht zur zweiten Montageebene 19 zu erhalten, werden die An­ schlußbeinchen 3 und die zweiten Befestigungsbleche 5 auf der Leiterplatte 12 verlötet. Die Anschlußbeinchen 3 und die zweiten Befestigungsbleche 5 bilden hierbei die zweite Montageebene 19. Bei geeigneter Wahl des Win­ kels α (Fig. 2) können aber auch Beschleunigungen detektiert werden, die gemäß Pfeilrichtung 21b bzw. 21c parallel bzw. senkrecht zur Montageebe­ ne 19 wirken.
Die erfindungsgemäße Anordnung zur Beschleunigungsmessung findet ihre Verwendung hauptsächlich in Kraftfahrzeugen zur Auslösung von Insassen­ schutzsystemen, wenn aufgrund einer Fahrsituation Gefahr für die Insassen besteht. Die Anordnung kann in zwei verschiedenen Einbaulagen montiert werden, ohne Änderungen am Aufbau vornehmen zu müssen. Durch die zu den Montageebenen nicht parallele Anordnung des Beschleunigungssensor­ elements können auch Beschleunigungen detektiert werden, die nicht senk­ recht zu einer Montageebene verlaufen, insbesondere Querbeschleunigun­ gen.

Claims (13)

1. Anordnung zur Beschleunigungsmessung, bestehend aus einem Gehäuse (1), einem Beschleunigungssensorelement (6) und einem eine Bestückungs­ ebene (20) für das Beschleunigungssensorelement (6) definierenden Träger (2), mit Anschlußbeinchen (3) zur Erzeugung wenigstens einer Montageebe­ ne (18, 19) für das Gehäuse (1), dadurch gekennzeichnet, daß die Be­ stückungsebene (20) in einem Winkel (α) zur Montageebene (18) angeordnet ist.
2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Winkel (α) zwischen 10° und 15° liegt.
3. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (2) erste Befestigungsbleche (4) aufweist, wobei die Anschlußbeinchen (3) mit den ersten Befestigungsblechen (4) eine erste Montageebene (18) bil­ den.
4. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (2) zweite Befestigungsbleche (5) aufweist, wobei die Anschlußbeinchen (3) mit den zweiten Befestigungsblechen (5) eine zweite Montageebene (19) bil­ den.
5. Anordnung nach Anspruch 1, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Träger (2) eine Auswerteeinheit (7) angeordnet ist.
6. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Be­ schleunigungssensorelement (6) ein piezoresistives Element verwendet wird.
7. Anordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß als Auswer­ teeinheit (7) ein anwendungsspezifischer Schaltkreis (ASIC) verwendet wird.
8. Anordnung nach Anspruch 1, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Anschlußbeinchen (3) J-förmig ausgeformt sind (J-Wing).
9. Anordnung nach Anspruch 1, 3, 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (2) aus einer Aluminiumlegierung besteht.
10. Anordnung nach Anspruch 1, 3, 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (2) aus einer Eisenlegierung besteht.
11. Anordnung nach Anspruch 1 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Beschleunigungssensorelement (6) und die Auswerteeinheit (7) mittels Bonddrähten (9) miteinander oder mit dem Träger (2) verbunden sind.
12. Anordnung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Bond­ drähte (9) aus Gold oder einer Goldlegierung bestehen.
13. Anordnung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Bond­ drähte (9) aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung bestehen.
DE19637079A 1996-09-12 1996-09-12 Anordnung zur Beschleunigungsmessung Expired - Lifetime DE19637079C2 (de)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19637079A DE19637079C2 (de) 1996-09-12 1996-09-12 Anordnung zur Beschleunigungsmessung
CN97197726A CN1230256A (zh) 1996-09-12 1997-09-04 加速度测量装置
EP97943831A EP0925508A1 (de) 1996-09-12 1997-09-04 Anordnung zur beschleunigungsmessung
KR1019997002092A KR20000036081A (ko) 1996-09-12 1997-09-04 가속 측정 장치
US09/254,720 US6112594A (en) 1996-09-12 1997-09-04 Acceleration measurement device
PCT/EP1997/004810 WO1998011442A1 (de) 1996-09-12 1997-09-04 Anordnung zur beschleunigungsmessung
JP10513220A JP2001500611A (ja) 1996-09-12 1997-09-04 加速度測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19637079A DE19637079C2 (de) 1996-09-12 1996-09-12 Anordnung zur Beschleunigungsmessung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE19637079A1 true DE19637079A1 (de) 1998-06-10
DE19637079C2 DE19637079C2 (de) 2000-05-25

Family

ID=7805371

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19637079A Expired - Lifetime DE19637079C2 (de) 1996-09-12 1996-09-12 Anordnung zur Beschleunigungsmessung

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6112594A (de)
EP (1) EP0925508A1 (de)
JP (1) JP2001500611A (de)
KR (1) KR20000036081A (de)
CN (1) CN1230256A (de)
DE (1) DE19637079C2 (de)
WO (1) WO1998011442A1 (de)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10058986A1 (de) * 2000-11-28 2002-06-06 Siemens Ag Körperschallsensorvorrichtung für ein Fahrzeug
DE10346860A1 (de) * 2003-10-09 2005-05-04 Conti Temic Microelectronic Sensor zur Sensierung/Erfassung von Beschleunigungs- und Körperschallsignalen, insbesondere geeignet für Unfallschutzeinrichtungen in einem Fahrzeug
DE102004004792A1 (de) * 2004-01-30 2005-08-18 Siemens Ag Sensorkopf
DE102006015676A1 (de) * 2006-04-04 2007-06-14 Siemens Ag Elektronisches Bauteil und elektronisches Steuergerät, insbesondere zur Verwendung in Kraftfahrzeugen
DE102006030849B4 (de) * 2006-07-04 2009-03-12 Continental Automotive Gmbh Sensorbaugruppe und Verfahren zum Herstellen einer Sensorbaugruppe

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6115261A (en) * 1999-06-14 2000-09-05 Honeywell Inc. Wedge mount for integrated circuit sensors
JP4174979B2 (ja) * 2001-07-13 2008-11-05 松下電工株式会社 加速度センサ
WO2003046479A1 (en) * 2001-11-29 2003-06-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Angular velocity sensor
CA2366030A1 (en) * 2001-12-20 2003-06-20 Global E Bang Inc. Profiling system
US20070121423A1 (en) * 2001-12-20 2007-05-31 Daniel Rioux Head-mounted display apparatus for profiling system
JP2003227844A (ja) * 2002-02-04 2003-08-15 Pioneer Electronic Corp センサ装置及び移動体用電子機器
JP2004264053A (ja) * 2003-02-10 2004-09-24 Tokyo Electron Ltd 加速度センサ及び傾斜検出方法
DE10345632B4 (de) * 2003-09-29 2006-01-05 Siemens Ag Anordnung mit einem Sensor
CN1879007B (zh) * 2003-11-12 2010-09-08 精工爱普生株式会社 振动式陀螺仪
DE102004018623A1 (de) * 2004-04-16 2005-11-03 Wabco Gmbh & Co.Ohg Verfahren zum Betrieb eines Sensors
NO20041830A (no) * 2004-05-04 2005-10-17 Fm Equipment As Måleinstrument
DE102005040169A1 (de) * 2005-08-25 2007-03-01 Robert Bosch Gmbh Höhenvariabel einbaubarer Drehzahlsensor
JP4595779B2 (ja) * 2005-10-12 2010-12-08 株式会社デンソー 角速度センサ
JP5622347B2 (ja) * 2006-08-09 2014-11-12 セイコーエプソン株式会社 慣性センサ装置
JP2010002427A (ja) * 2006-08-09 2010-01-07 Epson Toyocom Corp 慣性センサ、慣性センサ装置及びその製造方法
DE102007005630B4 (de) * 2007-02-05 2019-08-08 Infineon Technologies Ag Sensorchip-Modul und Verfahren zur Herstellung eines Sensorchip-Moduls
EP1968365B1 (de) * 2007-03-08 2009-05-27 Delphi Technologies, Inc. Leiterplatte mit einem winkelförmigen Stanzgitter bestückt
US8256288B2 (en) * 2008-12-16 2012-09-04 Seiko Epson Corporation Sensor device
US8359920B2 (en) * 2009-05-15 2013-01-29 Lockheed Martin Corp. Gravity sensing instrument
DE102009047710A1 (de) * 2009-12-09 2011-06-16 Robert Bosch Gmbh Multimodulsensor
US9075078B2 (en) * 2010-09-28 2015-07-07 Infineon Technologies Ag Microelectromechanical accelerometer with wireless transmission capabilities
US8991253B2 (en) 2010-09-28 2015-03-31 Infineon Technologies Ag Microelectromechanical system
KR20140009799A (ko) * 2012-07-13 2014-01-23 에스케이하이닉스 주식회사 전자 소자의 패키지 및 제조 방법
DE102013212053A1 (de) * 2013-06-25 2015-01-08 Robert Bosch Gmbh Leiterplatte mit einem schwingungsentkoppelten elektronischen Bauelement
US9261981B2 (en) * 2014-05-09 2016-02-16 Htc Corporation Portable electronic device and rotation detection method thereof
US9612251B2 (en) * 2014-09-30 2017-04-04 Meng Liang Chen G-force measurement system with a horizontally deviated accelerometer

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3915069C2 (de) * 1989-05-09 1992-11-26 Leopold Kostal Gmbh & Co Kg, 5880 Luedenscheid, De
DE9309918U1 (de) * 1993-07-03 1993-12-02 Mannesmann Kienzle Gmbh Halter für Beschleunigungssensoren
EP0665438A1 (de) * 1994-02-01 1995-08-02 Ic Sensors, Inc. Senkrecht montierbarer Beschleunigungsmesser-Chip
EP0675363A2 (de) * 1994-03-31 1995-10-04 Delco Electronics Corporation Beschleunigungsmessanordnung

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0481806A1 (de) * 1990-10-19 1992-04-22 Lucas Industries Public Limited Company Montageanordnung für Bauelemente
DE4322034A1 (de) * 1992-08-06 1994-02-10 Deutsche Aerospace Kontaktierung und Verkapselung von integrierten Schaltungsmodulen
JPH07191055A (ja) * 1993-12-27 1995-07-28 Hitachi Ltd 静電容量式加速度センサ
US5554806A (en) * 1994-06-15 1996-09-10 Nippondenso Co., Ltd. Physical-quantity detecting device
DE9415052U1 (de) * 1994-09-16 1994-11-03 Mannesmann Kienzle Gmbh Beschleunigungsgeber
US5866818A (en) * 1995-11-30 1999-02-02 Matsushita Electric Works, Ltd. Acceleration sensor device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3915069C2 (de) * 1989-05-09 1992-11-26 Leopold Kostal Gmbh & Co Kg, 5880 Luedenscheid, De
DE9309918U1 (de) * 1993-07-03 1993-12-02 Mannesmann Kienzle Gmbh Halter für Beschleunigungssensoren
EP0665438A1 (de) * 1994-02-01 1995-08-02 Ic Sensors, Inc. Senkrecht montierbarer Beschleunigungsmesser-Chip
EP0675363A2 (de) * 1994-03-31 1995-10-04 Delco Electronics Corporation Beschleunigungsmessanordnung

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10058986A1 (de) * 2000-11-28 2002-06-06 Siemens Ag Körperschallsensorvorrichtung für ein Fahrzeug
DE10058986B4 (de) * 2000-11-28 2006-01-05 Siemens Ag Körperschallsensorvorrichtung für ein Fahrzeug
DE10346860A1 (de) * 2003-10-09 2005-05-04 Conti Temic Microelectronic Sensor zur Sensierung/Erfassung von Beschleunigungs- und Körperschallsignalen, insbesondere geeignet für Unfallschutzeinrichtungen in einem Fahrzeug
DE102004004792A1 (de) * 2004-01-30 2005-08-18 Siemens Ag Sensorkopf
DE102006015676A1 (de) * 2006-04-04 2007-06-14 Siemens Ag Elektronisches Bauteil und elektronisches Steuergerät, insbesondere zur Verwendung in Kraftfahrzeugen
DE102006030849B4 (de) * 2006-07-04 2009-03-12 Continental Automotive Gmbh Sensorbaugruppe und Verfahren zum Herstellen einer Sensorbaugruppe

Also Published As

Publication number Publication date
WO1998011442A1 (de) 1998-03-19
US6112594A (en) 2000-09-05
EP0925508A1 (de) 1999-06-30
JP2001500611A (ja) 2001-01-16
DE19637079C2 (de) 2000-05-25
CN1230256A (zh) 1999-09-29
KR20000036081A (ko) 2000-06-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19637079A1 (de) Anordnung zur Beschleunigungsmessung
DE19521712B4 (de) Vorrichtung zum Erfassen einer physikalischen Größe
EP0494143B1 (de) Vorrichtung zur messung mechanischer kräfte und kraftwirkungen
DE3801514A1 (de) Beschleunigungssensor und verfahren zu dessen herstellung
EP0977979B1 (de) Verfahren zum herstellen einer sensorbaugruppe sowie sensorbaugruppe
DE19520004A1 (de) Beschleunigungssensor
DE102006015676A1 (de) Elektronisches Bauteil und elektronisches Steuergerät, insbesondere zur Verwendung in Kraftfahrzeugen
EP0710843A1 (de) Kapazitiver Beschleunigungssensor
DE19626083C2 (de) Sensor-Bauelement
DE10154231A1 (de) Nachweiseinheit für die Belegung eines Kraftfahrzeugsitzes durch einen Passagier und damit ausgerüsteter Kraftfahrzeugsitz
DE4428124B4 (de) Beschleunigungssensor
DE19620459B4 (de) Halbleiter-Beschleunigungsmesser und Verfahren zur Bewertung der Eigenschaften eines Halbleiter-Beschleunigungsmessers
DE19747001C2 (de) Dehnungsmeßstreifen sowie ein mit diesen Dehnungsmeßstreifen hergestellter mechanisch-elektrischer Wandler
EP0261153B1 (de) Beschleunigungsaufnehmer
WO2007054519A1 (de) Sensor, sensorbauelement und verfahren zur herstellung eines sensors
EP0712005A2 (de) Piezoelektrischer Beschleunigsaufnehmer
DE19843471B4 (de) Druckerkennungsvorrichtung
DE3814949C1 (de)
DE112014002924T5 (de) Mit Harz vergossene Sensorvorrichtung
DE19755399A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Abstützen eines Sensors in einem Fahrzeug
DE112018005685T5 (de) Durchflussmesser
DE4341662C2 (de) Beschleunigungssensor
DE3742385A1 (de) Beschleunigungsempfindliches elektronisches bauelement
EP0907309B1 (de) Gehäuse mit Einrastmitteln an einer Montagegrundfläche und Verfahren zur Montage
DE19813941A1 (de) Mikromechanischer Beschleunigungssensor

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: TEMIC TELEFUNKEN MICROELECTRONIC GMBH, 90411 NUERN

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: CONTI TEMIC MICROELECTRONIC GMBH, 90411 NUERNBERG,

8320 Willingness to grant licences declared (paragraph 23)
R071 Expiry of right