DE19608667C2 - Einrichtung zur Abformung eines Mikrostruktursubstrates - Google Patents
Einrichtung zur Abformung eines MikrostruktursubstratesInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Abformung eines
Mikrostruktursubstrates im Reaktionsgußverfahren.
Aus der WO 94-08 263 A1 ist ein Verfahren zur Herstellung eines
optischen Deckelbauteiles für eine integrierte optische
Schaltung bekannt. Das optische Bauelement wird in einen
Formstempel eingelegt. Durch ein Spritzguß- oder Spritz
prägeverfahren wird um das optische Bauelement herum eine
aushärtbare Flüssigkeit in eine gewünschte Form gebracht und
ausgehärtet. Anschließend wird das umgossene optische Bau
element entformt.
In der nicht vorveröffentlichten DE 44 34 832 A1 ist zur Herstellung
eines integrierten optischen Deckelbauteiles ein trogförmi
ger Behälter vorgesehen, der mit seiner Öffnung nach unten
auf einen Formstempel gesetzt wird. In den Innenraum des
trogförmigen Behälters wird eine flüssige Reaktionsgußmasse
eingefüllt, die durch Erwärmen verfestigt wird. Anschließend
wird das Deckelbauteil entformt.
Mikrostrukturierte Reaktionsgußkörper weisen im allgemeinen
Abscherdefekte auf, deren Ursache auf eine bei der Entfor
mung vorhandene Verspannung zwischen dem Formeinsatz und dem
Gußkörper zurückzuführen ist. Das Auftreten dieser Verspan
nung ist auf eine zeitliche Temperaturveränderung des
Kunststoff-Formeinsatz-Verbundes zwischen dem Zeitpunkt der
Formformation und dem Zeitpunkt der Formtrennung zurückzu
führen, da der Kunststoff im Vergleich zur Metallform einen
unterschiedlichen Temperaturausdehnungskoeffizienten hat.
Der im Reaktionsguß auftretende Schrumpf beeinflußt die
Formbildung des Gußkörpers negativ durch das Auftreten von
Schrumpfhohlraümen.
Aus der DE 43 23 430 A1 ist ein Verfahren zur Herstellung
von Kunststoffteilen bekannt, bei dem ein wärmehärtender
Kunststoff bei Reaktionstemperatur oder Aushärtungstempera
tur aus der Form entfernt wird. In dieser Druckschrift ist
jedoch die Ausgestaltung der Gußform nicht angegeben.
Bisher wurden Mikrostrukturen hauptsächlich im Spritzguß
verfahren hergestellt. Zur Bewältigung obiger Nachteile
wurde für den Spritzguß das sogenannte Variothermverfahren
entwickelt. Im Spritzguß sind eine Reihe für optische
Anwendungen sehr interessante Materialien (quervernetzte
Polymere, auch sehr teuere halogenierte Spezialmonomere) aus
technischen oder kommerziellen Gründen nicht verarbeitbar.
Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, eine Ein
richtung zu schaffen, mit der die gegossenen Mikrostruk
tursubstrate in zuverlässiger Weise von der Formkavität
getrennt werden können, ohne daß die Qualität der Mikro
struktursubstrate durch den Trennvorgang beeinträchtigt
wird.
Zur Lösung dieser Aufgabe ist erfindungsgemäß eine Einrich
tung zur Abformung eines Mikrostruktursubstrates aus Kunst
stoff im Reaktionsgußverfahren vorgesehen, bestehend aus:
einer Formkavität und mindestens einem Angußblock, welcher
mittels einer kraftaufbringenden Einheit gegen die Form
kavität gepreßt werden kann, einer Rahmenstruktur für die
Gußmasse, welche auf der der Formkavität zugewandten Seite
fixiert ist und mit dem Angußblock während des Gießens
verbunden ist, einer Entformeinrichtung, welche so ausge
bildet ist, daß eine schlagartige, scherungsfreie Trennung
des Mikrostruktursubstrats von der Formkavität bei Reak
tionstemperatur erreichbar ist.
Die erfindungsgemäße Einrichtung gestattet die Abformung von
insbesondere im Reaktionsgußverfahren hergestellten Mikro
strukturen, ohne daß die bisherigen Nachteile, wie Abscher
defekte oder Fadenbildungen auftreten. Die Mikrostrukturen,
die mit der Einrichtung nach der Erfindung hergestellt
werden können, weisen eine hohe Planarität auf. Abformfehler
lassen sich sehr gering halten. Durch eine kraftaufbringende
Einheit, insbesondere einen Federmechanismus, dessen Feder
kräfte höher sind als die zur Formtrennung notwendigen
Kräfte, lassen sich
Mikrostruktursubstrate schlagartig und rechtwinklig,
insbesondere bei der Reaktionstemperatur der Gußmasse, von
einer Formkavität trennen.
Wenn der Angußkanal im Angußblock im Bereich seines zur
Rahmenstruktur weisenden Endes im Sinne einer
Durchmesserverkleinerung verengt ist, hält der Angußblock
das Mikrostruktursubstrat nach der Polymerisation fest.
Somit muß keine zusätzliche Halteeinrichtung für das
Mikrostruktursubstrat bei der Trennung vorgesehen sein.
Durch das Verlagern des Schwundes der Gußmasse bei der
Polymerisation in die Angußkanäle entstehen im Substrat
keine Störungen wie Blasen oder sonstige
Schrumpferscheinungen. Die bei der Polymerisation in den
Angußkanälen entstandenen Polymerreste können auf einfache
Weise ausgestanzt oder ausgebohrt werden.
Wird für den Angußblock ein Material mit geringer
Wärmekapazität gewählt, kann der zeitliche Verlauf des
Wärmeflusses so gesteuert werden, daß die Wärmefronten auf
ebenen Flächen von unten nach oben laufen und damit eine
sedimentartige Polymerisation ausgehend von der
mikrostrukturierten Oberfläche erzielt wird.
Anhand der Zeichnungen werden Ausführungsbeispiele der
Erfindung näher erläutert. Es zeigen
Fig. 1 eine Ansicht einer Einrichtung nach der Erfindung,
Fig. 2 einen Niederhalter im Schnitt
Fig. 3 einen Schnitt durch eine Formkavität, den mit
Gußmasse gefüllten Gußrahmen sowie einen Angußblock und
Fig. 4 ein Mikrostruktursubstrat auf einem Angußblock sowie
ein Werkzeug zur Trennung von Substrat und Angußblock
Fig. 1 zeigt eine Ansicht einer Einrichtung nach der
Erfindung. Auf einer Bodenplatte 8 ist eine Formkavität 1 in
Form eines Nickelbleches oder Nickel-Kobaltbleches fixiert,
welches jene Mikrostrukturen als Negativmaske trägt, die auf
ein Mikrostruktursubstrat 6 positiv abgedrückt werden
sollen. Eine solche Formkavität 1 wird üblicherweise auf
galvanischem Wege über einen mikrostrukturgeätzten
Siliciumwafer von einer Maske hergestellt. Über dieser
Formkavität befinden sich Rahmenstrukturen 2 für die
Gußmasse (vergleiche auch Fig. 3 und Fig. 4) in Form von
flachen Halterahmen. Über den Rahmenstrukturen 2 befinden
sich bei der Ausgestaltung nach Fig. 1 mehrere
nebeneinander angeordnete Angußblöcke 3, die jeweils einen
Angußkanal 4 aufweisen. Bei der alternativen Ausgestaltung
nach Fig. 3 ist nur ein Angußblock 3 vorgesehen, der im
Schnitt dargestellt ist. Der Angußblock 3 beziehungsweise
die Angußblöcke bestehen vorzugsweise aus Stahl. Bei dieser
Ausbildung wird eine hohe Standzeit erreicht. Bei einem
Material mit niedriger Wärmekapazität, zum Beispiel
Kunststoff, kann, wie zuvor ausgeführt, der Wärmefluß
gesteuert werden. Die Angußkanäle 4 dienen als Reservoir für
die Gußmasse in Form von Prepolymeren oder monomerhaltiger
Stoffen, beispielsweise PMMA. Die Angußkanäle sind bezüglich
der jeweils zugehörigen Rahmenstruktur 2 so angeordnet, daß
der Schwund der Gußmasse ausschließlich in diesen
Angußkanälen 4 auftritt. Der Angußblock 3 beziehungsweise
die Angußblöcke werden mitsamt den beispielsweise mittels
Schrauben und Gewinden 15 daran fixierten Halterahmen 2
mittels eines Niederhalters 5 beispielsweise über einen
Kniehebel-Federmechanismus als kraftaufbringende Einheit
während des Gießens gegen die Formkavität 1 gepreßt und
abgedichtet. Eine konstante Preßkraft ist natürlich auch mit
anderen Mitteln zu erreichen, zum Beispiel durch
pneumatische, hydraulische, mechanische und/oder elektrische
Vorrichtungen. Der Niederhalter 5, im Schnitt in Fig. 2
dargestellt, läßt sich über ein Zwischenstück 11 von einem
Kniehebel 12 senkrecht nach unten drücken. In dieser
Stellung wird der Kniehebel 12 für den Gießvorgang
arretiert. Der Kniehebel 12 ist in der Mitte einer
Deckplatte 13 angeordnet, die über zwei Haltestangen 9 mit
der Bodenplatte 8 starr verbunden ist. In arretierter
Stellung preßt der Kniehebel 12 über seine senkrecht in der
Deckplatte 13 geführte Druckstange 14 den Angußblock/die
Angußblöcke 3 mitsamt den darunter befestigten
Rahmenstrukturen 2 gegen die Formkavität 1. Das
Niederdrücken des Niederhalters 5, der über die
Haltestangen 9 in senkrechter Richtung geführt ist, erfolgt
gegen die Federkraft von zwei Druckfedern 7, die ebenfalls
über die Haltestangen 9 geführt sind.
Die Gußmasse, das heißt das Prepolymer, wird über eine
Spritze 16 jeweils in ein Reservoir - Ausgußkanäle 4 - unter
Druck eingebracht. Nach Verteilung der flüssigen Gußmasse in
der Rahmenstruktur 2 wird die Polymerisation eingeleitet
durch Aufheizen der Bodenplatte 8 durch ein Heizsystem und
damit auch der Gußmasse. Je nach der Zusammensetzung der
Gußmasse erfolgt die Polymerisation bei Reaktionstemperatur
zwischen 30°C bis 300°C und damit eine Verfestigung zu einem
Mikrostruktursubstrat 6. Die Entformung erfolgt schlagartig
durch Lösen des Kniehebel-Federmechanismus. Durch die
Rückstellkräfte der Druckfedern 7 wird der Angußblock 3
mitsamt der daran befestigten Rahmenstruktur/en 2, in der
sich die polymerisierte Gußmasse verfestigt hat, schlagartig
senkrecht nach oben abscherungsfrei und fadenfrei von der
Formkavität 1 noch bei Reaktionstemperatur getrennt. Eine
Zwischenkühlung wie bei herkömmlichen Einrichtungen ist
daher nicht notwendig. Durch die Verengung 16 der
Angußkanäle 4 oder eine andersartige Hinterschneidung im
Bereich ihrer zur Rahmenstruktur 2 weisenden Enden kann das
polymerisierte und von der Formkavität 1 abgeformte
Mikrostruktursubstrat 6 sich nicht aus der Rahmenstruktur 2
und von dem Angußblock lösen, da die oberhalb der
Verengungen gelegenen Polymerreste das
Mikrostruktursubstrat 6 in der Rahmenstruktur 2 und dem
Angußblock halten. Fig. 4 zeigt ein
Mikrostruktursubstrat 6, welches vom Angußblock 3 noch
gehalten wird, bevor es durch ein rahmenartiges Werkzeug 17
vom Angußblock 3 getrennt wird. Als Werkzeug 17 kann ein
ausgestanztes Aluminiumplättchen verwendet werden (siehe
Pfeile in Fig. 4).
Das Trennen des Mikrostruktursubstrates 6 vom Angußblock 3
kann auch durch Anbohren der Schrumpfreste bis in den
Bereich der Verengungen hinein erfolgen. Etwaige dann noch
verbleibende Unebenheiten können weggesägt oder
weggeschliffen werden.
Die Befestigung der Formkavität 1 auf der Bodenplatte 8 kann
bei Verwendung eines Nickelbleches als Formkavität
magnetisch erfolgen. Natürlich kann diese Befestigung auch
mechanisch, zum Beispiel durch Punktschweißen oder durch
Verkleben erreicht werden. Die magnetische Fixierung der
Formkavität 1 hat den Vorteil, daß sie gegen ein Verbiegen
geschützt ist.
Eine Modifizierung läßt sich dadurch erreichen, daß im
Gegensatz zum in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel
die Druckfedern 7 nicht auf der Bodenplatte 8 aufgesetzt
werden, sondern auf den Außenbereichen der Formkavität 1.
Beim Niederdrücken des Kniehebelarms wird dann automatisch
die Formkavität 1 gegen die Bodenplatte 8 gedrückt. Damit
beim Lösen des Kniehebel-Federmechanismus die Formkavität 1
nicht mit nach oben abhebt, kann sie vorzugsweise im Bereich
des Angußblockes 3 durch Punktschweißen oder durch andere
vorgenannte Fixierungen mit der Bodenplatte 8 verbunden
sein.
Mit der Einrichtung nach der Erfindung lassen sich zum
Beispiel optische Wellenleiter-Bauelemente herstellen, die
hohen Dämpfungsanforderungen entsprechen, das heißt keine
Blasenbildung, Abscherdefekte oder Fadenbildungen aufweisen.
Die Rahmenstruktur 2 kann entweder vom
Mikrostruktursubstrat 6 entfernt werden oder auch am
Mikrostruktursubstrat 6 verbleiben, insbesondere wenn sie
aus Kunststoff besteht und weitere Technologieschritte dies
erfordern.
Claims (10)
1. Einrichtung zur Abformung eines
Mikrostruktursubstrates (6) aus Kunststoff im
Reaktionsgußverfahren, bestehend aus:
- - einer Formkavität (1) und mindestens einem Angußblock (3), welcher mittels einer kraftaufbringenden Einheit gegen die Formkavität (1) gepreßt werden kann,
- - einer Rahmenstruktur (2) für die Gußmasse, welche auf der der Formkavität (1) zugewandten Seite fixiert ist und mit dem Angußblock (3) während des Gießens verbunden ist,
- - einer Entformeinrichtung (5, 7, 12), welche so ausgebildet ist, daß eine schlagartige, scherungsfreie Trennung des Mikrostruktursubstrates (6) von der Formkavität (1) bei Reaktionstemperatur erreichbar ist.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
ein Kniehebel-Federmechanismus vorgesehen ist, mittels
dessen der gegen die Federkraft mindestens einer
Druckfeder (7) auf die Formkavität (1) gepreßte
Angußblock (3) beim Lösen durch die Rückstellkraft der
Druckfeder (7) mitsamt des abgeformten
Mikrostruktursubstrates (6) von der Formkavität (1)
senkrecht und scherungsfrei getrennt werden kann.
3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
die Druckfeder (7) auf der Formkavität (1) zum Niederhalten
derselben aufgesetzt ist.
4. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß der Angußkanal (4) beziehungsweise die
Angußkanäle bezüglich der Rahmenstruktur (2) so angeordnet
ist/sind, daß er/sie als Reservoir für die Gußmasse
dient/dienen und der Schwund der Gußmasse ausschließlich in
diesem Reservoir auftritt.
5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
sich der Angußkanal (4) im Bereich seines zur
Rahmenstruktur (2) weisenden Endes verengt oder eine
andersartige Hinterschneidung aufweist.
6. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß die Formkavität (1) auf einer
Grundplatte (8) fixiert ist.
7. Einrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
die Grundplatte (8) ein Heizsystem zum Erwärmen der Gußmasse
auf Reaktionstemperatur trägt.
8. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß die Formkavität (1) aus einem
Nickelblech oder Nickel-Kobaltblech besteht.
9. Verwendung der Einrichtung nach einem der
Ansprüche 1 bis 8, für Prepolymere oder monomerhaltige
Stoffe als Gußmassen, die bei Temperaturerhöhung
polymerisieren.
10. Verwendung der Einrichtung nach einem der
Ansprüche 1 bis 8 zur Herstellung von optischen
Wellenleiter-Bauelementen.
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