DE1960121B2 - Vorrichtung zur Halterung von HaIbleiterelernenten - Google Patents
Vorrichtung zur Halterung von HaIbleiterelernentenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Halterung von Halbleiterelementen beim Bestücken von
Leiterteilsirukmren zur Herstellung von Halbleitcr-Kleingleichrichtern,
die als platten-, leisten- oder bandförmiger !solierstoffträgerkörper mit durchgehenden
Aussparungen zur Aufnahme der Halbleiterelemente ausgebildet ist.
Es sind Halbleiter-Kleingleichrichter vorgeschlagen worden, deren Leiterteile in größerer Anzahl aus einer
aus bandförmigem Leitermaterial erzielten, ebenen, geometrischen Struktur hergestellt werden und mit
vorbestimmten, einander räumlich geeignet zugeordneten Flächenabschnitten eine klammerförmige Haltcrung
zur Aufnahme und Kontaktierung jeweils eines Halbleiterelements bilden.
In F i g. 1 ist eine solche in ihrer Ausbildung durch
die gewünschte Gleichrichterschaltung bestimmte Leiterteilstruklur mit zwischengefügten Halblcitcrcle-
»5 menten schematisch dargestellt. Der Abschnitt 12 des
Leiterteils 11 überlappt das benachbarte großflächige Leiterteil 13 und bildet mit diesem eine klammerförmige
Halterung für ein Halbleiterelement 14. Mit 15 ist die Kunststoffumhüllung der Leiterteilstruktur bezeichnet.
und die Hilfsstege 16 und 17 dienen zur vorteilhaften
Fertigung solcher Anordnungen.
Bei der Einzelbestückung der aus einer derartigen Leiterteilstruktur gebildeten, klammerförmigen Halterungen
mit je einem Halbleiterelement können jedoch verschiedene Schwierigkeiten den Verfahrensablauf
zur Herstellung von Kleingleichrichtern beeinträchtigen und einen zusätzlichen Fertigungsaufwand verursachen.
So kann schon eine geringfügige Verbiegung der einem Halbleiterelement zugeordneten Leiterteile deren
Klammerwirkung aufheben und dadurch die gewünschte Fixierung der Halbleiterelemente ausschalten.
Weiterhin können die Halbleiterelemente bei der vorzugsweise durch Tauchlöten erfolgenden Kontaktierung
mit ihren Leitungsanschlüssen beim Eintauchen in das Lötbad infolge ungenügenden Federdrucks aus
ihrer Halterung herausgespült werden. Außerdem ist das Zwischenfügen der Halbleiterelemente und ihre justierung
zwischen den Leiterteilabschnitten mit einem für eine rationelle Fertigung unerwünschten Zeitaufwand
verbunden.
Der Erfindung lag die Aufgabe zugrunde, Schwierigkeiten zu vermeiden, die beim Einfügen von Halbleiterelementen
zwischen zugeordnete, eine klammerförmige Halterung bildende Leiterteile im Zusammenhang
mit dem Justieren und Lötkontaktieren der Halbleiterelemente mit diesen Leiterteilen auftreten, sowie einen
wirtschaftlicheren Verfahrensablauf zur Bestückung von Leiterteilstrukluren mit Halbleiterelementcn und
zu deren Weiterverabeitung zu erzielen.
Die Lösung der Aufgabe besteht in einer Vorrichtung der eingangs erwähnten Art mit den kennzeichnenden
Merkmalen, daß sie aus einem Kunststoff besteht, der gegenüber den bei der Lötkontaktierung der
Halbleiterelemente auftretenden Beanspruchungen beständig ist, und in ihrer Dicke an die aufzunehmenden
Halbleiterelemente angepaßt ist, daß die Aussparungen in einer gegenseitigen räumlichen Zuordnung angebracht
sind, die durch die schaltungstechnisch vorgege-
bene und erforderliche Lage der Halbleiterelemente in den Leiterteilstrukturen bestimmt ist, und daß zwischen
der Halterungsfläche der Aussparungen und der Mantelfläche der Halbleiterelemente eine deren Halterung
gewährleistende, elastische Zwischenschicht vorgesehen ist.
Aus der deutschen Patentanmeldung
L 9335 VIII c/21g ist eine Trockengleichrichteranordnung
bekannt, die aus einer oder mehreren, vorzugsweise
in bestimmter Schallung elektrisch verbundenen Trockenglcichrichterplattcn besteht und zu Meßzwekken
dient. Dabei sind die Gleichrichterplatten und deren Leiterteile in angepaßt ausgebildeten Aussparungen
einer Isolierstoffplatte untergebracht und verschaltet. Bei der Herstellung werden die entsprechend bemessenen
Leiterteile ebenfalls in die zugenörigen Aussparungen eingelegt und kontaktieri, jeweils gesondert
für jede lsolierstoffplattc. Derartige Anordnungen sind jedoch zur wirtschaftlichen Bestückung einer ebenen,
bandförmigen Leitertciistruktur mit Gleiehrichterelenientcn nicht geeignet.
Weiter sind in der französischen Patentschrift 14 32 457 Brückengleichrichteranordnungen beschrieben,
bei denen in einen mit durchgehenden Öffnungen versehenen, plattenförmigen Isolierstoffträgerkörper
Wechselstromleiterteile in der Mittelebene des Trägerkörpers eingeführt sind und die Öffnungen liidial
durchsetzen, bei denen in jeder Öffnung ein Paar Gleichrichterelemente so angebracht sind, daß ein
Gleichrichte-element mit positiver Elektrode und das andere mit negativer Elektrode an dem zwischen beiden
befindlichen Leiterteil anliegt, und bei denen auf den freien Außenflächen der Gleichrichterclemcntc
Kühlbautcilc und Befestigungsteile angebracht sind, die gleichzeitig zur Stromleitung dienen. Die Gleichrichterelemente
sind durch Druck kontaktieri und durch die äußeren Leiterteile in den Öffnungen fixiert. Zum
gleichzeitigen Zwischenfügen mehrerer Gleichrichterelemente zwischen Kontaktstellen einer bandförmigen
Leiterteilstruktur können derartige Anordnungen nicht verwendet werden.
An Hand der in den F i g. 2 bis 6 dargestellten Ausführungsbeispicli;
und Anordnungen werden Aufbau und Einsatz des Gegenstands der Erfindung aufgezeigt
und erläutert. F i g. 2 zeigt perspektivisch eine erfindungsgemäße
Vorrichtung zur Aufnahme von in F i g. 3 im Schnitt dargestellten Halbleiterelementcn. In den
F i g. 4 und 5 sind weitere Ausführungsformen der Vorrichtung für Gleichrichterschaltungen mit drei bzw. vier
Halbleiierelementen dargestellt. F i g. 6 zeigt die An-Ordnung
des Gegenstands der Erfindung in der in F i g. 1 dargestellten Leiterteilstruktur für eine Einphasen-Brückenschallung.
Für gleiche TeiL sind in allen Figuren gleiche Bezeichnungen gewählt.
In F i g. 2 ist eine rechtcckförmige Platte 1 mit
Durchbohrungen 2 dargestellt, die bezüglich ihrer gegenseitigen räumlichen Zuordnung mit den durch die
gewünschte Gleichrichterschaltung vorgegebenen Halbleiterelementen übereinstimmen. Die Dicke der
Platte 1 ist vorzugsweise gleich oder kleiner als die Dicke der vorgesehenen Halbleiterelemcnte, um deren
einwandfreie Kontaktierung mit ihren zugeordneten Leiterteilabschnittcn zu gewährleisten und ihre Flächenausdehnung
richtet sich nach dem für die jeweilige Gleichrichterschaltung bestimmten Bereich der Leiterteilstruktur.
Der Durchmesser der Durchbohrungen 2 wird außer durch denjenigen der zur Aufnahme vorgesehenen
Halbieiterelemente noch durch die vorzugsweise auf deren Mantelfläche aufgebrachte elastische
Zwischenschicht bestimmt. Die zum Verbleib in der Leiterteilstruktur vorgesehenen, erfindungsgemäße
Vorrichtung besteht aus einem Kunststoff, der auch gegenüber den bei der Lötkontaktierung der Halbieiiertnbletten
auftretenden Beanspruchungen beständig ist, vorzugsweise aus Silikonharz- oder Epoxidharz-Preßmassen
oder aus Phenolharzen mit auch den elektrischen Anforderungen genügenden Eigenschaften.
An Stelle von Durchbohrungen kann die Vorrichtung auch durchgehende Aussparungen mit beliebig rundem
oder vieleckigem Querschnitt aufweisen.
F i g. 3 zeigt im Schnitt den an sich bekannten Aufbau
der zur Bestückung der erfindungsgemäßen Vorrichtung vorgesehenen Halbleiterelemente. Die Halbleiterscheibe
4 ist beidseitig mit Kontaktplatten 5 aus thermisch und elektrisch gut leitendem Material mit
einer Wärmedehnzahl, dre angenähert derjenigen des Halbleitermaterials entspricht, fest verbunden und an
der Mantelfläche wenigstens im Bereich des Austritts des pn-Übergangs mit einem Schutzlack 6 abgedeckt,
der zur Stabilisierung und Konservierung der Sperreigenschaften der Halbieiterelemente dient und vorzugsweise
gleichzeitig die elastische Zwischenschicht zur Halterung der Halbieiterelemente in den durchgehenden
Aussparungen der Vorrichtung bildet. Zu diesem Zweck besteht der Schutzlack aus einein geeigneten,
elastischen Kunststoff, beispielsweise aus einem Silikon-Kautschuk.
Diese Halbieiterelemente sind je nach der vorgegebenen Flächenausdehnung jeweils mit einem die elastische
Zwischenschicht betreffenden, weitgehend gleichen Außendurchmesser hergestellt und nach dem Einbringen
in die angepaßten Aussparungen der Vorrichtung infolge Haftreibung in diesen hinreichend gehalten.
Für einen Durchmesser von beispielsweise 3,4 mm liegt der zugehörige Bohrungsdurchmesser etwa bei 3,1
bis 3,2 mm. j*'
Zur Verwendung von Halbleiterelementen mit einem Oberflächenschutzlack, welcher sich nicht auch gleichzeitig
zur Halterung in der erfindungsgemäßen Vorrichtung eignet, kann die Halterungsfläche der durchgehenden
Aussparungen der Vorrichtung vor dem Einbringen der Halbieiterelemente mit einer geeigneten
elastischen Zwischenschicht versehen sein.
Die F i g. 4 und 5 zeigen in Draufsicht jeweils eine für Kleingleichrichter mit drei bzw. vier Halbleiterelemcpten
3 geeignete Vorrichtung 1, die bezüglich ihrer Formgebung und bezüglich der Anordnung der Aussparungen
den jeweils vorgesehenen Leiterteilstrukturen angepaßt ausgebildet ist.
Die vorzugsweise durch Pressen hergestellte Halte- \ ·
>rrichtung kann je nach gewünschter Gleichrichteranordnung auch leislenförmig ausgebildet sein. Zur rationellen
Herstellung einer Vielzahl von Halbleiter-Kleingleichrichtern kann die Vorrichtung auch eine der
Gliederung der vorgesehenen Leiterteilstrukturen entsprechende, bandförmige periodische Struktur bilden.
Diese zur Erstellung erfindungsgemäßer Vorrichtungen vorgesehene Struktur kann mit rasterförmig in Zeilen
und Spalten angeordneten, durchgehenden Aussparungen versehen sein, die in einer durch die gewünschte
Schaltungsanordnung bestimmten Auswahl und in durch die Kontaktstellen der Leiterteilstrukturen bestimmter
gegenseitiger räumlicher Zuordnung mittels mechanisch oder automatisch arbeitender Vorrichtungen
mit Halbleiterelementen bestückt werden.
Dies kann in geeignetem Verfahrenstakt erfolgen,
und danach können die bestückten Vorrichtungen in entsprechender Schrittfolge in die Leiterteilstrukturen
eingebracht und weiteren Verfahrensschritten zur Kontaktierung und Einkapselung der Halbleiterelcmente
unterworfen werden.
In F i g. 6 ist die Anordnung der erfindungsgemäßen Vorrichtung in der in F i g. 1 schematisch dargestellten
und für eine Einphascn-Brückenschaltung vorgesehenen Leiterteilstruktur aufgezeigt. Die in ihrer Flächenausdehnung
angepaßte, mit starker unterbrochener Linie dargestellte Vorrichtung 1 ist von der durchgehenden
Leiterteil-Längskante her zwischen die klammcrförmigen Halterungen in entsprechender Zuordnung
und bis zum Anschlag an die beispielsweise durch Kröpfen überlappend verlaufenden Leiterteilstreifen 12
eingefügt und liegt flächenhaft an einer Seite der in einer Ebene liegenden Lciterteilabschnitte 11,13 an. die
zur Ableitung der Verlustleistungswärme großflächig ausgebildet sind.
Um nicht durch übermäßige Abdeckung dieser Leitertcilabschnitte das Temperaturverhalten der Anordnung
/u beeinträchtigen, kann die Vorrichtung zwischen den Halbleitcrclcmcntcn wenigstens eine in sich
geschlossene oder aber von den Randzonen her verlaufende Ausparung aufweisen. Durch die klammerförmigen
Halterungen und durch den Anschlag an den gekröpften Leiterteilstreifen 12 ist die Vorrichtung zur
Durchführung weiterer Vcrfahrcnsschrillc mit den Halbleiterelcmcnten ausreichend fixiert.
Die Vorteile der erfindungsgcmiißen Vorrichtung bestehen
darin, daß deren Bestückung mit Halbleiterelementen im Vergleich zu derjenigen der klammerförmigen
Halterungen der Leiterteilstrukturen einen wesentlich geringeren Zeitaufwand erfordert, daß wenigstens
alle Halbleiterelemenie jeweils eines für eine vorgegebene
Gleichrichtcrschaltung vorgesehenen Leiterteilbereichs gleichzeitig eingefügt und in vorbestimmter
räumlicher Zuordnung gehalten werden können, und daß die richtige Lage und die richtige Halterung jedes
Halbleiterelements auch bei der Durchführung weiterer Verfahrensschrittc zur Herstellung von Kleingleichrichtern
gewährleistet ist.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (8)
1. Vorrichtung zur Halterung von Halbleiierclementen
beim Bestücken von Leiterteilstrukturen zur Herstellung von Halbleiter-Kleingleichrichtern,
die als platten-, leisten- oder bandförmiger Isolierstoffträgerkörper mit durchgehenden Aussparungen
zur Aufnahme der Halbleiterelemente ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet,
daß sie aus einem Kunststoff besteht, der gegenüber
den bei der Lötkontaktierung der Halbleiterelemente (3) auftretenden Beanspruchungen
beständig ist. und in ihrer Dicke an die aufzunehmenden Halbleiterelemente (3) angepaßt
ist.
daß die Aussparungen (2) in einer gegenseiiigen räumlichen Zuordnung angebracht sind,
die durch die schaltungstechnisch vorgegebene und erforderliche Lage der Halbleiterelemente
(3) in den Leiterteilstrukturen bestimmt ist, und daß zwischen der Halierungsfläche der Aussparungen
(2) und der Mantelfläche der Halbleiterelemente eine deren Halterung gewährleistende,
elastische Zwischenschicht vorgesehen ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die elastiche Zwischenschicht vor dem Einbringen der Halbleiterelemente (3) in die vorgesehenen
Aussparungen (2) auf der Mantelfläche der Halbleiterelemente (3) aufgebracht ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die elastische Zwischenschicht vor
dem Einbringen der Halbleiterelemente (3) in die vorgesehenen Aussparungen (2) auf die Halterungsfläche
der Aussparungen (2) aufgebracht ist.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche I bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die elastische Zwischenschicht
ein zur Stabilisierung der Sperreigenschaften des Halbleiterelements (3) dienender
Schutzlack ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die durchgehenden Aussparungen
(2) runden oder vieleckigen Querschnitt aufweisen.
6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der Kunststoff aus Silikonharz- oder Epoxidharz-Preßmassen oder aus Phenolharzen besteht.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß zur Ermöglichung
einer mechanisierten Fertigung von Halbleiter-Kleingleichrichtern die Aussparungen (2) in dem
Kunststoffträgerkörper (1) rasterfönnig in Zeilen und Spalten angeordnet sind und einer periodische
Struktur bilden.
8. Verfahren zur Bestückung von Leiterteilstrukturen mit Halbleiterelementen mittels einer Vorrichtung
nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die mit einer durch die Schaltungsanordnung
bestimmten Anzahl von Halbleiterelementen versehene Vorrichtung zwischen Leiterteilen
der aus bandförmigem Leitermaterial herausgeabeiteten Leiterteilstruktur, die zum Zwischenfügen
und Fixieren wenigstens eines Halbleiterelements jeweils gegenseitig geeignet zugeordnet sind,
eingefügt und gehaltert und in dieser Anordnung weiteren Verfahrensschritten zur Kontaktierung
und Einkapselung der Halbleiterelemente unterworfen wird.
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Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4413308A (en) * | 1981-08-31 | 1983-11-01 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Printed wiring board construction |
US4735671A (en) * | 1983-01-31 | 1988-04-05 | Xerox Corporation | Method for fabricating full width scanning arrays |
US4690391A (en) * | 1983-01-31 | 1987-09-01 | Xerox Corporation | Method and apparatus for fabricating full width scanning arrays |
US5043296A (en) * | 1988-03-15 | 1991-08-27 | Siemens Aktiengesellschaft | Method of manufacturing LED rows using a temporary rigid auxiliary carrier |
US5746460A (en) * | 1995-12-08 | 1998-05-05 | Applied Materials, Inc. | End effector for semiconductor wafer transfer device and method of moving a wafer with an end effector |
US6267423B1 (en) | 1995-12-08 | 2001-07-31 | Applied Materials, Inc. | End effector for semiconductor wafer transfer device and method of moving a wafer with an end effector |
US6293749B1 (en) | 1997-11-21 | 2001-09-25 | Asm America, Inc. | Substrate transfer system for semiconductor processing equipment |
US6068441A (en) * | 1997-11-21 | 2000-05-30 | Asm America, Inc. | Substrate transfer system for semiconductor processing equipment |
EP0977240A1 (de) | 1998-07-30 | 2000-02-02 | IMEC vzw | System, Verfahren und Vorrichtung Zur Bearbeitung von Halbleitern |
US6113056A (en) * | 1998-08-04 | 2000-09-05 | Micrion Corporation | Workpiece vibration damper |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3166372A (en) * | 1961-09-29 | 1965-01-19 | Malco Mfg Company Inc | Method and apparatus for connector orientation |
US3555660A (en) * | 1968-10-30 | 1971-01-19 | Western Electric Co | Method of and apparatus for transferring articles from a workholder to a handling rack |
US3574919A (en) * | 1969-04-17 | 1971-04-13 | Western Electric Co | Methods of and apparatus for assembling articles |
US3616510A (en) * | 1969-06-23 | 1971-11-02 | Alpha Metals | Preform loader |
-
1969
- 1969-11-29 DE DE1960121A patent/DE1960121B2/de not_active Withdrawn
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1970
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Also Published As
Publication number | Publication date |
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JPS4922782B1 (de) | 1974-06-11 |
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FR2068718B1 (de) | 1973-02-02 |
CH531792A (de) | 1972-12-15 |
DE1960121A1 (de) | 1971-06-03 |
ES386622A1 (es) | 1973-03-16 |
US3708851A (en) | 1973-01-09 |
GB1330528A (en) | 1973-09-19 |
SE360950B (de) | 1973-10-08 |
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---|---|---|
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