DE1955254C - Verfahren zur Herstellung eines elektrisch leitfähigen, metallischen Überzugs aus einem Edelmetall und alkali-armen Aluminosilicatglas auf einer Oberfläche eines Keramikkörpers - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines elektrisch leitfähigen, metallischen Überzugs aus einem Edelmetall und alkali-armen Aluminosilicatglas auf einer Oberfläche eines Keramikkörpers

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DE1955254C
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George Rolland Youngstown N. Y. CoIe (V.StA.)
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EIDP Inc
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EI Du Pont de Nemours and Co
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Description

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Bei der Vereinigung keramischer Materialien mit- insbesondere Stpjffe wie Feldspat mit Kaliumper-
aneinder oder mit Metall ist es schwierig, ein Binde- manganat vorgesehen. Die deutsche Patentschrift
material aufzufinden, das genügend eng an der 869 314 behandele lötfähige Metallüberzüge auf kera-
Keramikoberfläche haftet. mischen Körpern, wobei die Überzugsmassen naben
Als Hartlötmetall wird gewöhnlich eine Legierung s Magnesiumsilicat enthaltenden Gläsern Metalle, insauf Silbergrundlage, die im Bereich von 600 bis 96O0C besondere Eisen, enthalten sollen,
schmilzt, verwendet, Der Metallisierungsüberzug des Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist ein ver-Keramikmaterials muß während des Hochtemperatur- bessertes Verfahren zur Herstellung von elektrisch Hartlötvorganges haften und darf beim Abkühlen leitfähigen metallischen Überzügen auf der Oberfläche nicht durch thermische Spannungen reißen. Für io von Keramikkörpern, welche das Hartlöten mit Silberelektronische Zwecke werden hartgelötete Verbin- Kupfer-Legierungen in Wasserstoff erlauben. Eine düngen mit Aluminiumoxid oder Berylliumoxid ver- weitere Aufgabe ist es, das vorher beschriebene Hartwendet. Während das Hartlöten bei hoher Temperatur lötverfahren mit Molybdän-Mangan-Legierungen zu gewöhnlich ein stark korrosives Flußmittel erfordert, zu vereinfachen.
um die hartzulötenden Flächen zu reinigen und ein 15 Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur richtiges Fließen der Hartlötlegierung zu unterstützen, Herstellung eines elektrisch leitfähigen, metallischen wird bei elektronischen Zwecken zur Vermeidung Überzugs aus einem Edelmetall und alkaliarmen korrosiver Rückstände unter Weglassung des korro- Aluminosilicatglas auf einer Oberfläche eines Keramiksiven Flußmittels gearbeitet, wobei man anstatt Fluß- körpers, bei dem der Überzug auf den Keramikkörper mittel einen Ofen mit reduzierender Atmosphäre an- ao aufgetragen und bei hohen Temperaturen gebrannt wendet. Die reduzierende Atmosphäre entfernt Be- wird, das dadurch gekennzeichnet ist, daß die Überschlag und Oberflächenoxid und fördert auch die zugsmasse einen Feststoffgehalt von 90 bis 99% an Benetzung des Metalls und metallisierten Keramik- Edelmetall und 1 bis 10% an alkaliarmem Aluminomaterials durch die Hartlötlegierung. silicatglas aus 45 bis 65 % an SiO2, 10 bis 25 % an
Ein in der Elektroniktechnik im großen Umfang 25 AI2O3, 5 bis 15% an MgO, 2 bis 12% an CaO, 0,5 bis angewandtes System arbeitet mit dem hitzebeständigen 4% an Na2O, 0 bis 5% an BaO, 0 bis 5% an B2O3 Metall Molybdän unter Zusatz von Mangan oder und 0 bis 4% an K2O hat und man den Körper und anderem hitzebeständigen Metall oder Oxid (wie in die aufgetragene Masse auf eine Temperatur von den USA.-Patentschriften 2 667 432, 2 667 427 und mindestens ungefähr 9000C, bei welcher das Glas das 3 023 492 beschrieben). Dieses systemhitzebeständige 30 Edelmetall und den Oberflächenteil des Keramik-Metall wird auf den Aluminiumoxid-Keramikkörper körpers benetzt, erhitzt.
in einer reduzierenden Atmosphäre, d. h. Wasserstoff- Die hartlötbaren Metallisierungsmassen gemäß der atmosphäre, bei ungefähr 1400 bis 15000C gebrannt, Erfindung ergeben als Verbesserungen (a) hartlötbare wobei sich eine feste Bindung zwischen dem Molybdän- Metallisierungen, die sich bei niedrigen Temperaturen Mangan-Film und dem Aluminiumoxid einstellt. 35 (z. B. unter 14000C) brennen lassen, (b) Metalli-Dann wird galvanisch auf das Molybdän-Mangan eine sierungen, die sich in gewöhnlichen Atmosphären Nickelschicht und häufig auch hierauf Kupfer oder brennen lassen und keine Anwendung einer nichtGold aufgebracht. Diese zusätzlichen Schichten er- oxydierenden Atmosphäre fordern, und bzw. oder geben eine wesentliche Erleichterung der nächsten (c) verbesserte Metallisierungen, die selbst hartlötbar Stufe, in welcher die Vereinigung mit den gewünschten 40 sind und mit denen somit die Stufen der galvanischen Metallteilen mittels einer Silber-Kupfer-Hartlötlegie- Behandlung und anschließenden Schleif- oder Ätzrung hergestellt wird. Wenn man kleine, getrennte behandlung unnötig werden.
Metallisierungsbereiche benötigt, folgt auf die galva- Vorzugsweise enthält das Edelmetall in der Metalli-
nische Behandlung zur Ausbildung des elektrischen sierungsmasse gemäß der Erfindung mindestens 50%
Endabstandes eine Photoätzung oder mechanische 45 Platin mit einer Oberfläche im Bereich von 0,05 bis
Schleifbehandlung. Die Hartlötung erfolgt in einem 5 m2/g. Das Aluminosilicatglas liegt vorzugsweise in
Ofen mit reduzierender Atmosphäre, um eine Oxy- feinteiliger Form vor.
dation der Metallteile zu verhindern und ein Fließen Die Grundlelemente gemäß der Erfindung werden
der geschmolzenen Hartlötlegierung (F. 78O0C) auf von einem oder mehreren Edelmetallen oder Legie-
den zu vereinigenden Bereichen zu fördern. 50 rungen derselben und einer Glasfritte gebildet, wobei
Aus der deutschen Patentschrift 888 668 sind diese auf einer Keramikunterlage an Luft einbrennbar
metallische Überzüge auf keramischen Unterlagen sind. Darüber hinaus müssen die Edelmetalle und die
bekannt, wobei die Metalle, darunter gegebenenfalls Glasfritte aneinander und an der Keramikunterlage in
auch Edelmetalle, in Form feinster Pulver oder Lö- oxydierenden wie auch reduzierenden Atmosphären
sungen mit einem alkaliarmen Glasur- oder Flußpulver 55 (z. B. beim Brennen in Luft und Wasserstoff) stark
in Mengen von etwa 5 bis 40% vermischt und nach zu haften vermögen. Der Metallisierungs-Verbundfilm
dem Auftragen auf die keramischen Unterlagen bei muß auch durch herkömmliche Hartlötlegierungen
einer Temperatur von über 1000° C eingebrannt werden. (z. B. Ag-Cu-Legierung) benetzbar sein, ohne jedoch
Diese Überzugsmassen enthalten nur etwa 5 bis 40% durch diese gelöst zu werden, um als hartlötbarer
an Metallen. Sie sind zum festen Verbinden von 60 Überzug wirken zu können.
Röhren gedacht, bei denen es im wesentlichen auf Die in den hartlötbaren Massen gemäß der Er-
die Anpassung der Ausdehnungskoeffizienten zwischen findung einsetzbaren Metalle sind auf Edelmetalle
Glasur und Scherben ankommt. Auch die deutsche begrenzt. Diese Metalle unterliegen keiner destruktiven
Patentschrift 736 133 befaßt sich mit vakummdichten Oxydation durch Einwirkung hoher Temperatur an
Verbindungen zwischen Körpern aus keramischen 65 Luft. Die Metalle müssen von der geschmolzenen
Werkstoffen und Metall, wobei auf der keramischen Hartlötlegierung benetzt werden, ohne jedoch einem
Unterlage als Zvvischenchicht eine solche aus silicat- zu kräftigen Angriff durch diese zu unterliegen. Zu
reichen Substanzen verwendet wird. Hierfür sind diesen Metallen gehören, Platin, Palladium, Gold,
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Silber, Rhodium, Ruthenium, Osmium, Iridium und Zur Herstellung der in den Beispielen eingesetzten
Mischungen und Legierungen derselben. Ein sehr gut Glasmasse wurde eine Charge der die vorgesehenen
geeignetes Metall stellen entgastes Platin, grobes Platin Metalloxide und deren Mengenanteile liefernden Zu-
oder stickstofffreies Platin dar, sammensetzung geschmolzen: Die Chargenbestand-
Das Glas muß einen hohen Erweichungspunkt 5 teile, nämlich 57 g SiO8, 1,71 g Na8CO3, 5,5 g CaO,
besitzen, der notwendigerweise nicht unter.der Hartlot- 12 g MgO, 7,12 g H3BO3 und 20,5 g AI8O3, wurden
temperatur, aber auch nicht über dem Schmelzpunkt gemischt und in einen Tiegel eingegeben. Das Erhitzen
der beigemischten Metalle liegt. Ferner maß das Glas, der Charge auf 164O0C lieferte ein im wesentlichen
um mit Kerarnikunterlagen verträglich zu sein, einen homogen fluides Glas. Das geschmolzene Glas wurde
geringen bis mittleren Wärmeausdehnungskoeffizienten io durch Eingießen in Wasser gefrittet. Die Fritte wurde
aufweisen. In geschmolzener Form muß das Glas die dann 16 Stunden kugelgemahlen, abfiltriert und ge-
Keramikoberfläche und die beigemischten Edelmetalle trocknet. Diese Arbeitsweise führte zu einem Glas mit
benetzen. Wesentliche Mengen an Schwermetalloxiden einem Gehalt von 57% an SiO8, 1% an NaO2, 5,5%
dürfen in dem Glas nicht vorliegen, da solche Oxide an CaO, 12% an MgO, 4% an B8O3 und 20,5% an
dafür anfällig sind, in Wasserstoff einer Reduktion 15 Al2O3.
zu unterliegen und zu einem Verlust an Haft- und Als Edelmetall wurde das durch Entgasen von
Kohäsionseigenschaften des Glases zu führen. Als grobem Platinpulver (1 bis 2 Mikron) erhaltene Pulver
für diese Zwecke geeignet haben sich alkaliarme verwendet, das eine Oberfläche von ungefähr 0,2 m2/g
Aluminosilicatgläser erwiesen, die im wesentlichen besaß.
aus 43 bis 65% an SiO8, 10 bis 25% an Al2O3, 5 bis 20 Zur Herstellung verschiedener Pasten wurden die
15% an MgO, 2 bis 12% an CaO, 0,5 bis 4% an folgenden Bestandteile gemischt:
Na2O, O bis 5% an BaO, O bis 5% an B,O3 und O bis .. c t Df . . . , , . . . Q<0.
4 % an K2O bestehen. Andere Gläser, wie "die typischen A> Entgastes Pt (wie oben beschrieben) .... 95 %
Borsilicat-Metalldichtungsmaterialien, führen nicht zu Jw l &? ? hydriertes Kolophonium,
den gewünschten Ergebnissen, sondern liefern Metalli- *5 48 \ *f u x clVo ' ]f ' ^omatische Naph-
sie:un;en, die während des Hartlötens Adhäsion ver- _. ™a' 6 /° Athylcellulose) 5 J0
lje en B) Glasfritte (wie oben) 65%
Das Verfahren gemäß der Erfindung, bei dem ein Träger II (10% Äthylcellulose, 90 %0-Ter-
festhaftender, elektrisch leitfähiger, hartlötbarer Me- pmeol) 35 /0
tallüberzug auf einer Keramikoberfläche ausgebildet 30 C) Entgastes Pt 85 J0
wird, umfaßt zwei alternative Ausführungsformen. irasfntte ;?/<>
Im einen Falle werden die Edelmetalle und das Glas !rager 1 . 1U/O
in den richtigen Anteilen mit einem viscosen Binde- D' Entgastes Pt 87,2 J0
mittel miteinander vermischt, als Oberzug auf eine Sr.as T te ^'L',0
Keramikunterlage aufgetragen und zur Ausbildung 35 _. ^ra8er l · · ''' J0
einer haftenden Metallisierung gebrannt. Für die h> ™%&sX&s Pt 88,5 J0
Erfindung kritisch ist die richtige Ausgewogenheit r,lasfntte Ληοι
zwischen Glas und Metall. Bei zu geringem Glas- _ Träger II .... 1U,U /0
gehalt (d. h. unter 1%) ist die Haftung schlecht, und F> Entgaste Legierung (50% Pt, 25% Pd,
bei zu hohem Glasgehalt (d. h. über 10%) ergibt die 40 2^ '° ?u' 8' J.a
geschmolzene Hartlötlegierung keine richtige Be- Jf „sfntte -Wo
netzung der Metallisierungsfläche. Bei der anderen Trager II IU I0
Ausführungsform trägt man zuerst mit einer zweck- . I1 entsprechenden, mit einem viscosen Bindemittel zu- B e 1 s ρ 1 e 1 1 bereiteten Paste eine Schicht des Glases auf, worauf 45 Zur Erzeugung gebrannter Drucke in einer 4x4-auf die Glasanfangsschicht eine Schicht der Edel- Anordnung von 0,25 χ 0,25-cm-Quadraten auf Alumetalle und des Glases aufgetragen wird. Die Glas- miniumoxid-Unterlagen wurde die Glasfritte-Paste B schicht und die Glas-Edelmetall-Schichten können im Siebdruck (200-Maschen-Sieb; nach der U.S. Sieve nacheinander oder gleichzeitig gebrannt werden. Series entsprechend einer lichten Maschenweite von
Die Verhältnisse von Metall zu Glas sind somit für 5^ 0,074 mm) auf eine Aluminiumoxid-Unterlage (94%
die Zwecke der Erfindung kritisch. Im allgemeinen Aluminiumoxid) von 2,5 χ 2,5 cm und 0,6 cm Dicke
mischt man 1 bis 10 Gewichtsprozent an Glas mit aufgetragen, 10 Minuten bei 1100C getrocknet und
90 bis 99 Gewichtsprozent an Edelmetall(en). Wenn 4 Minuten an Luft bei 125O0C gebrannt und auf die
jedoch auf dem Keramikmaterial vor dem Auftragen vorgebrannte, glasige Schicht im Siebdruck (2C0-
der Hartlötmasse eine Glasschicht ausgebildet wird, 55 Maschen-Sieb) die Platinpaste A aufgetragen, 10 Mi-
ist es nicht notwendig, ih der hartlötbaren Masse nuten bei 1100C getrocknet und 4 Minuten an Luft
Glas einzusetzen, und auch diese Arbeitsweise liegt bei 125O0C gebrannt.
im Rahmen der Erfindung. Vorzugsweise jedoch Mit dem metallisierten Aluminiumoxid wurden
legt man in der hartlötbaren Masse selbst dann Glas durch Hartlöten 0,04 cm breite Streifen aus Fe-M Co-
vor, wenn vor dem Metallisieren eine Glasschicht auf- 60 Legierung (Kovar-Metall) verbunden, wobei als
getragen wird. Ein bevorzugter Bereich von Metall Hartlöt-Füllmetall die herkömmliche, eutektische
zu Glas reicht von 1 bis 6% an Glas und 94 bis 99% Legierung aus 72% Ag und 28% Cu diente und die
an Edelmetallen). Teile mit vorgeformter Folie aus der Hartlötlegierung
Die folgenden Beispiele, in denen wie auch in der zusammengefügt und 2 Minuten 15 Sekunden in einen
übrigen Beschreibung sich alle Teil-, Verhältnis- und 65 Ofen mit Wasserstoffatmosphäre von 8300C ein-
Prozentangaben für die Materialien oder Komponenten gegeben wurden. Die Haftfestigkeit des Hartlotes
auf das Gewicht beziehen, dienen der weiteren Er- wurde dann durch Aufbiegen der Streifen rechtwinklig
läuterung der Erfindung. zur Ebene der Metallisierung und Losziehen derselben
mit einem Festigkeitsprüfer der Bauart Chatillon geprüft. Das Versagen der Bindung trat an der Metall-Glas-Grenzfläche bei örtlichem, muscheligem Bruch der glasigen Schicht ein. Die Festigkeit war als gut zu beurteilen; als durchschnittliche Abhebefestigkeit wurden 0,54 kg aufgezeichnet.
Beispiel 2
Zur Bildung von Drucken in einer 4 X 4-Anordnung von 0,23 cm-Quadraten wurde die Glasfritte-Paste B im Siebdruck (200-Maschen-Sieb) auf eine Aluminiumoxid-Unterlage (96% Aluminiumoxid) von 2,5 χ 2,5cm und 0,06 cm Dicke aufgetragen und bei HO0C getrocknet, wobei dieses Glas zunächst ungebrannt blieb, und auf die glasige Schicht im Siebdruck (200-Maschen-Sieb) die Platin-Glas-Paste C aufgetragen und 10 Minuten bei HO0C getrocknet, worauf beide Schichten zusammen 4 Minuten an Luft bei 12500C gebrannt wurden.
Mit dem metallisierten Aluminiumoxid wurden wie in Beispiel 1 Streifen aus der Fe-Ni-Co-Legierung hartverlötet und auf ihre Haftung geprüft. Dabei ergab sich eine ausgezeichnete Haftfestigkeit von 0,86 kg.
Beispiel 3
Die Arbeitsweise von Beispiel 2 wurde mit der Abiinderung wiederholt, daß die Glasschicht doppelt aufgedruckt wurde, wobei zunächst eine Glasschicht aufgedruckt und getrocknet und dann die zweite auf die erste Schicht aufgedruckt und getrocknet wurde. Schließlich erfolgte zuoberst ein Aufdruck der Platin-Glas-Paste und ein gemeinsames Brennen aller Schichten. Die Haftfestigkeit betrug 0,90 kg.
Beispiele 4 bis 7
Die Beispiele 4 bis 7 sind nach den Beispielen 1 bis 3 entsprechenden Arbeitsweisen durchgeführt worden, wobei diese weiteren Beispiele in der folgenden Tabelle unter Nennung der jeweils angewandten Artbeisweise und besonderer Aufführung von Abweichungen zusammengefaßt sind.
Tabelle
Hart
lötbare
Glas
unter
Auf Brenn Mi
Bei·
Bfttfal
Masse schicht druck
folge
bedingungen nu
«J. UCJ wie im ten
Bei 0C 4
Paste D keine spiel 4
4 Paste D Paste B 2 1250 4
Paste E Paste B 2 1250 10
5 Paste E Paste B 1 1250 10
6 Paste E Paste B 2 950 6
Paste E Paste B 2 1000 6
Paste F Pasite B 2 1100
7 2 1200
Haftfestig keit
0,59 0,90 0,86 0,54 0,81 0,99 0,59 Rechtecken erfolgt, Dann wurde der gesamte Aufbau 15 Minuten in Wasserstoff bei HO0C gebrannt; zusätzlich wurden einige Aufbauten 15 Minuten an Luft bei 10200C gebrannt.
Als Haftfestigkeits-Werte ergaben sich bei den in Wasserstoff gebrannten Probon 0,27 kg, bei den an Luft gebrannten 0,23 kg. Diese Haftfestigkeiten sind als gut zu betrachten, wobei diese Werte auf Grund der Unterschiede in der Größe der metallisierten Pads ίο mit den in den früheren Beispielen erhaltenen nicht direkt vergleichbar sind. Dieses Ergebnis zeigt deutlich, daß die hartlötbaren Massen gemäß der Erfindung sowohl in Wasserstoff als auch in Luft gebrannt werden können und dabei vergleichbare Ergebnisse is liefern.
Gewöhnlich wird man die hartlötbaren Massen gemäß der Erfindung zur Bildung einer Überzugsbzw. Streichmasse oder Paste für die Auftragung auf Keramikunterlagen in einem inerten, flüssigen Träger ao dispergieren, ohne daß dies jedoch eine Bedingung darstellt. Der Anteil an Träger in bezug auf die Feststoffe kann in Abhängigkeit von der Art und Weise, in welcher die Masse oder Paste aufzutragen ist, und der Art des Trägers recht verschieden gewählt werden. Im allgemeinen wird man zur Bildung einer Überzugsmasse oder Paste der gewünschten Konsistenz mit 1 bis 96 Gewichtsprozent Feststoff (Metalle und Glas) und 4 bis 99 Gewichtsprozent Träger arbeiten.
Als Träger kann jede zweckentsprechende Flüssigkeit Verwendung finden, wobei man vorzugsweise eine Flüssigkeit einsetzt, die in bezug auf das Metallpulver inert ist. So kann man als Träger Wasser oder verschiedene organische Flüssigkeiten, mit oder ohne Harzbindemittel, Dickungsmittel und/oder Stabilisatoren, und/oder andere übliche Zusatzmittel verwenden. Beispiele für organische Flüssigkeiten für die Zwecke der Erfindung sind die höheren Alkohole, Ester von Alkoholen, z. B. die Acetate und Propionate,' die Terpene, wie Pine Oil, α- und /3-Terpineol u. dgl.,' und Lösungen von Harzbindemitteln, wie PoIymethacrylaten niederer Alkohole, oder Lösungen von Äthylcellulose und Lösungsmittel in Art von Pine Oil und des Monobutyläthers von Äthylenglykolmonoacetat (BuIyI-O-CH2CH2-OOCH3). Ein bevorzugter Träger für die Zwecke der Erfindung besteht aus hydriertem Kolophonium, Äthylcellulse, Naphtha hohem Flammpunkts und Leuchtöl. Der Träger kann zur Förderung eines raschen Erstarrens nach dem Auftragen flüchtige Flüssigkeiten enthalten oder von diesen gebildet werden; der Träger kann auch Wachse, thermoplastische Harze oder ähnliche Materialien enthalten, die thermofluid sind, so daß die trägerhaltige Masse bei erhöhter Temperatur auf einen relativ kalten Keramikkörper aufgetragen werden kann und hierauf unmittelbar erstarrt.
Beispiel 8
Die Glasfritte-Paste B wurde im Siebdruck auf eine Aluminiumoxid-Unterlage aufgetragen und 10 Minuten bei 110°C getrocknet und hierauf auf die Glasschicht eine Plalinpaste mit einem Gehalt von 87% an entgastem Platin, 3% an der zuvor beschriebenen Glas- 65 frilte und 10% an Träger II im Siebdruck aufgetragen und 15 Minuten bei 300°C getrocknet, wobei der Aufdruck in Form einer Doppelreihe von 0,06 χ 0,1-cm-

Claims (2)

  1. Patentansprüche:
    1· yerfahren zur Herstellung eines elektrisch leitfähigen, metallischen Überzugs aus einem Edelmetall und alkaliarmen Aluminosilicatglas auf einer Oberfläche eines Keramikkörpers, bei dem der Überzug auf den Keramikkörper aufgetragen und bei hohen Temperaturen gebrannt wird, d a d u r c h g e k e η η ζ e i c h η e t, daß die Überzugsmasse einen Feststoffgehalt von 90 bis 99% an Edelmetall und 1 bis 10% an alkaliarmem Aluminosilicatglas aus 45 bis 65% an SiO„, 10 bis
    25% an Al2O3, 5 bis 15% an MgO, 2 bis 12% an CaO, 0,5 bis 4% an Na2O, 0 bis 5% an BaO. 0 bis 5% an B2O3 und 0 bis 4% an K2O hat und man den Körper und die aufgetragene Masse auf eine Temperatur von mindestens ungefähr 90O0C, bei welcher das Glas das Edelmetall und den Oberflächenteil des Keramikkörpers benetzt, erhitzt.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man auf die Oberfläche zunächst mindestens eine Schicht des Glases und dann auf diese das Edelmetall, vorzugsweise in Form einer das Edelmetall zusammen mit dem Glas enthaltenden Masse, aufträgt und erhitzt.
    3. Mittel zur Durchführung des Verfahrens gemäß Anspruch 1 und 2, gekennzeichnet durch einen Feststoffgehalt an Edelmetall von 90 bis 99% u"d an alkaliarmem Aluminosilicatglas von 1 bis 10%, wobei das Glas im wesentlichen aus 45 bis 65% an SiO2, 10 bis 25% an Al2O3, 5 bis 15% an MgO, 2 bis 12% an CaO, 0,5 bis 4% an Na2O, O bis 5% an BaO, O bis 5% an B9O3 und O bis 4% an K2O besteht.
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