DE19540331A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Begasen eines Behandlungsraumes mit Rückgewinnung des Begasungsmittels - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft Verfahren und Vorrichtungen zum Begasen eines Behandlungsraumes, in dem von Schädlingen befallene Güter oder Kunstgegenstände oder Lebensmittel eingebracht oder eingelagert oder aufgestellt sind, wobei der Behandlungsraum weitgehend gegen Gasverlust abgedichtet wurde, so daß ein Behandlungsgas eingeleitet werden kann und nach entsprechender Einwirkzeit das restliche, verbliebene Behandlungsgas zurückgewonnen, in einem Lagerbehälter gespeichert und erneut eingesetzt oder mittels des Speicherbehälters zu anderen Behandlungsräumen transportiert und in diese zur Schädlingsbekämpfung entlassen wird.

Vorratsläger, Mühlen sowie Museen und Kirchen beherbergen häufig von Schädlingen befallene Güter, die Vorratsgüter oder Kunstgegenstände, wie Orgeln, Kanzeln, Altäre etc. sein können. Dabei kann der diese Güter beherbergende Raum hinreichend gasdicht versiegelt werden oder die Gegenstände werden in spezielle Folienkäfige oder Zelte oder Hüllen eingebracht und mit Behandlungsgasen, wie Inertgasen oder toxischen Behandlungsgasen beaufschlagt. Nach ausreichender Einwirkzeit der Behandlungsgase werden die Behandlungsräume gelüftet. Ein derartiges Verfahren ist im Artikel von G. Binker, Bausubstanz, Heft 7/8, 8. Jahrgang, S. 50-52, 1992 beschrieben. In der Offenlegungsschrift DE 44 01 338 A1 wird das Gas Sulfurylflurid nach der Einwirkzeit chemisch umgewandelt und die Umwandlungsprodukte mit einem Gaswäscher neutralisiert und aufgefangen, so daß Sulfurylfluorid nicht in die Umwelt gelangen kann.

In der Offenlegungsschrift DE 30 11 300 A1 ist ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Ableiten von bei Störfällen aus einem Lagerbehälter austretenden Gasen angegeben. Das austretende Gas wird mittels einer Kältequelle aus flüssigem Kohlendioxid unter seinem Siedepunkt abgekühlt und im flüssigen Aggregatzustand in einem Auffangbehälter geleitet. Es handelt sich hierbei um ein Verfahren, das speziell für aus Lagerbehältern austretende Gase entwickelt wurde. In der Sonderbeilage 1993 "Chemie-Anlagen und Verfahren" ist ein Artikel von J. Waldeck mit dem Titel "Umweltfreundlich und sauber" auf den Seiten 8/10 aufgeführt, wie Abluftströme von kondensierbaren Lösemitteln befreit werden können. Der genaue Wiedereinsatz der Lösemittel ist jedoch nicht beschrieben.

Ziel der Erfindung war es deshalb ein Verfahren vorzuschlagen, bei dem ein Begasungsmittel in einem Behandlungsraum eingeleitet wird und nach entsprechender Einwirkzeit das Behandlungsgas so abgeleitet wird, daß es größtenteils wieder zurückgewonnen wird und erneut eingesetzt werden kann.

Erfindungsgemäß ist die Aufgabe dadurch gelöst, daß nach der Einwirkzeit des Begasungsmittels das Begasungsmittel/Luft-Gemisch aus dem Behandlungsraum so abgeleitet wird, daß es von der Luft unzersetzt abgetrennt wird, in einem Behälter gesammelt oder verdichtet wird, der Behälter transportabel ist und sich zu einem anderen Einsatzort bzw. Behandlungsraum sicher transportieren läßt und das Behandlungsgas aus dem Behälter in einen anderen von Schädlingen befallenen, abgedichteten Behandlungsraum verdampft wird. In bevorzugter Ausgestaltung der Erfindung wird das Behandlungsgas, das Sulfurylfluorid und/oder Carbonylsulfid und/oder Methyljodid oder ein anderes toxisches Begasungsmittel ggf. in Kombination mit Kohlendioxid sein kann, aus dem Behandlungsraum mittels einer Fördereinheit, z. B. Ventilator oder Absauggebläse herausgesaugt und das herausgesaugte Behandlungsgas/Luft-Gemisch durch einen Vorkühler geleitet, der z. B. mit flüssigem Stickstoff gekühlt sein kann, wodurch sich in erster Linie das in der Luft enthaltene Wasser abscheidet. Das größtenteils vom Wasser befreite Behandlungsgas/Luft-Gemisch wird dann in einem mit z. B. flüssigen Stickstoff gekühlten Kondenser geleitet, wobei dieser Kondenser so stark durch z. B. flüssigen Stickstoff abgekühlt wird, daß das Behandlungsgas von den gasförmigen in den flüssigen Zustand übergeht und so von der Luft abgetrennt wird. Auch eine Abtrennung von Kohlendioxid ist möglich.

Im Kondenser wird das Begasungsmittel (Behandlungsgas) auskondensiert und als Flüssigkeit aufgefangen. Die Abkühlung des Behandlungsgas/Luft-Gemisches muß soweit erfolgen, daß die Konzentration des Behandlungsgases, genauer die Konzentration des Begasungsmittels, im Abluftstrom so niedrig liegt, daß ein gefahrloses Ableiten des Reingasstromes bzw. Abluftstromes in die Umgebung möglich ist. Dies läßt sich durch Verwendung von flüssigem Stickstoff als Kühlmedium bei z. B. -196°C erreichen. Das verflüssigte Begasungsmittel kann dann im Kondenser als Lagerbehälter zwischengelagert, transportiert und von dort aus ggf. erneut in Druckgas-Flaschen abgefüllt werden. Es kann auch gezielt einer Entsorgung zugeführt werden. Vorteilhafterweise wird es jedoch im Kondenser als Zwischenlagerbehälter zu einem anderen Einsatzort transportiert und kann dann erneut als Begasungsmittel in einen Behandlungsraum zur Schädlingsbekämpfung eingesetzt werden. Es ist jedoch auch möglich, das verflüssigte Begasungsmittel solange in dem Kondenser aufzubewahren, bis es im Behandlungsraum erneut angewendet werden soll, wenn der Behandlungsraum mehrmals begast werden müßte. Regelmäßige Begasungen sind vor allem im Mühlenbereich und in der Lagerhaltung wegen des häufig auftretenden Schädlingsbefalls von Nöten. In bevorzugter Ausgestaltung der Erfindung ist der Kondenser bzw. der Lagerbehälter mit einer Überdrucksicherung ausgestattet und der Behälter ist kälteisoliert. Im übrigen ist er bevorzugt druckstabil ausgebildet. Wenn der Druck im Kondenser zu stark ansteigen würde, so läßt sich die Gasphase des Begasungsmittels über einen Kühler leiten, der die Gasphase des Begasungsmittels erneut in die flüssige Phase überführt und das auskondensierte Begasungsmittel kann dann in den Vorratsbehälter zurückgeleitet werden. Als Kühlmittel eignet sich besonders flüssiger Stickstoff da dieser umweltneutral und ungiftig ist.

Bei der Absaugung des Behandlungsgas/Luft-Gemisches aus dem Behandlungsraum kann es passieren, daß die Kühlleistung des Stickstoffs nicht ausreicht, um die Begasungsmittelkonzentration im Abluftstrom so weit zu erniedrigen, daß z. B. die gesetzlichen Auflagen eingehalten werden, also daß der Abluftstrom nach Durchlaufen des Kondensers noch zu hohe Begasungsmittelkonzentrationen aufweist. Es könnte dann entweder die Kühlleistung des Kondensers erhöht werden oder aber in bevorzugter Ausgestaltung der Erfindung kann der Abluftstrom in einer Art Kreislaufführung wieder in den Behandlungsraum zurückgeführt werden. Somit ist gewährleistet, daß die Umgebungsluft außerhalb des Begasungsraumes nicht mit dem Begasungsmittel belastet wird. In bevorzugter Ausgestaltung der Erfindung kann der Abluftstrom des Kondensers so geführt werden, daß der noch kalte Abluftstrom des Rohgasstrom den Ansaugstrom aus dem Behandlungsraum vorkühlt, um zumindest die Feuchtigkeit aus dem Ansaugstrom, vom Behandlungsraum kommend, auszugefrieren bzw. auszukondensieren. Dies läßt sich z. B. mit einem Wärmetauscher erreichen. Damit der in den Behandlungsraum zurückgeführte Abluftstrom keinen Kälteschaden im Behandlungsraum erzeugt, kann er nach Durchlaufen des Wärmetauschers zusätzlich noch erwärmt werden und es ist auch möglich den Abluftstrom vor Einleiten bzw. Zurückleiten in den Behandlungsraum zusätzlich über einen Filter laufen zu lassen, der andere, störende Stoffe oder Schadstoffe oder evtl. Zersetzungsprodukte des Begasungsmittels herausfiltert.

Das vorgeschlagene Verfahren eignet sich für alle gängigen Begasungsmittel, insbesondere für halogenierte Kohlenwasserstoffe, wie Methylbromid oder Methyljodid, für Sulfurylfluorid, Cabonylsulfid, Phosphorwasserstoff, Blausäure, Ethylenoxid, Kohlendioxid und Mischungen hieraus.

Weitere Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen und der nachfolgend aufgeführten Beschreibung:
Ein Behandlungsraum (1) beherbergt von Schädlingen befallene Güter (2), die z. B. Altäre, Orgeln, Gestühle etc. in Kirchen sein können. Der Behandlungsraum (1) wird gegen Gasverlust weitgehend abgedichtet und ein Begasungsmittel, z. B. Sulfurylfluorid eingeleitet. Nach entsprechender Einwirkzeit wird das Sulfurylfluorid/Luft-Gemisch über den Ansaugstutzen (3) nach Öffnen des Ventils (4) über das Steuergerät (28) durch die Fördereinheit, z. B. Ventilator (5), abgesaugt und in einen Vorkühler (7), der ein Wärmetauscher sein kann, eingeleitet, bzw. die Absaugleitung (6) durch den Wärmetauscher geführt. Im Vorkühler (7) kann das auskondensierte Wasser der Luftfeuchte aufgefangen und entsprechend ausdrainiert werden. Der Wärmetauscher läßt sich mittels kaltem Stickstoff oder flüssigem Stickstoff aus einem Vorratsbehälter (17) nach Öffnen der Ventile (38) und (18) (siehe Fig. 1) über die Zufuhrleitung (30) kühlen. Das größtenteils vom Wasser befreite Sulfurylfluorid/Luft-Gemisch wird dann nach Öffnen des Ventils (10) in den Kondenser (44) eingeleitet. Dieser Kondenser oder Kondensator oder Hauptkühler ist bevorzugt so ausgestattet, daß definierte Kondensationstemperaturintervalle eingehalten und partielle, unerwünschte Tiefsttemperaturen verhindert werden. Die Gefahr von Vereisungen ist somit ausgeschlossen. Es ist jedoch auch möglich, den Kondenser im Wechselsystem mit einem zweiten Kondenser redundant zu betreiben, falls ein Hauptkühler vereisen sollte. Die Abkühlung kann nach einem Jouleprozeß oder Glaserprozeß oder IFM-Prozeß stattfinden. Der Hauptkühler wird in bevorzugter Ausgestaltung der Erfindung mit dem gleichen Vorratsbehälter an Stickstoff (17) nach Öffnen des Ventils (38) und Schließen des Ventils (18) über die Kühlleitungen (19), ggf. im Kreislaufsystem, abgekühlt. Der Hauptkühlblock ist mit (14) gekennzeichnet und der Auffangbehälter (44) weist eine kälteisolierte Wandung (13) auf. Das Kondensat (21) des verflüssigten Begasungsmittels Sulfurylfluorid entsteht dadurch, daß das gasförmige Sulfurylfluorid im Luftgemisch über den Kühler (14) auskondensiert wird und aus dem Kühlstutzen (12) tropft. Der Abluftstrom, der überwiegend von Sulfurylfluorid oder ganz von Sulfurylfluorid befreit ist, kann nach Öffnen des Ventils (15) über den Abluftstutzen (16) ins Freie geleitet werden. Es ist jedoch auch möglich, den Abluftstutzen (16) durch das Ventil (15) abzusperren und den Abluftstrom über den Stutzen (20) nach Öffnen des Ventils (11) über die Abluftleitung (9) in den Behandlungsraum (1) zurückzuführen. In bevorzugter Ausgestaltung der Erfindung wird der Abluftstrom so mittels der Leitung (9) geführt, daß der noch kalte Abluftstrom den Wärmetauscher (7) durchläuft und das aus dem Behandlungsraum angesaugte Sulfurylfluorid/Luft-Gemisch in der Leitung (6) vorkühlt. Eine optimale Kälteausnutzung bzw. Energieausnutzung ist somit möglich. Die Ventile (10) und (11) lassen sich über das Steuergerät (28) bzw. mit der Steuerleitung (29) regeln. Der von Sulfurylfluorid ganz oder teilweise befreite Abluftstrom wird z. B. mittels der Fördereinheit (41) in den Behandlungsraum (1) zurückgeführt. In manchen Fällen ist die Fördereinheit (5) ausreichend, so daß auf eine weitere Fördereinheit (41) verzichtet werden kann. Der Abluftstrom läßt sich auch über einen Luftverdampfer oder über ein Heizgerät (33) zusätzlich auf eine gewünschte Temperatur erwärmen und zusätzlich durch einen Gasfilter (36) leiten, der evtl. Zersetzungsprodukte oder Umweltschadstoffe zurückhält. In bevorzugter Ausgestaltung der Erfindung handelt es sich hierbei um eine verdünnte Lauge. Die Temperatur des Abluftstromes läßt sich über den Temperaturfühler (34) messen, über die Meßleitung (35) an das Steuergerät (28) übertragen und dieses regelt dann das Heizgerät (33) entsprechend z. B. nach der Raumtemperatur des Behandlungsraumes (1) ein. Das Steuergerät (28) kann auch sämtliche in Fig. (1) eingezeichneten Ventile steuern. Der Abluftstrom strömt dann über den Stutzen (37) in den Behandlungsraum (1) ein und kann erneut über den Stutzen (3) angesaugt und dem Kondensationsprozeß erneut unterworfen werden und zwar so lange, bis das Sulfurylfluorid vollständig auskondensiert ist und im Kondenser (44) aufgefangen ist bzw. bis der Behandlungsraum (1) kein Sulfurylfluorid mehr enthält. Nach Beendigung des Sulfurylfluorid- Rückgewinnungsprozesses werden dann die Ventile (10) und (11) geschlossen und der Kondenser (44) läßt sich dann zu einem anderen Behandlungsraum (1) transportieren. In bevorzugter Ausgestaltung der Erfindung ist der Kondenser mobil, z. B. auf einem Anhänger oder Fahrzeug untergebracht. Der Kondenser (44) besitzt in bevorzugter Ausgestaltung der Erfindung eine Sicherheitseinrichtung, dahingehend, daß evtl. bei Druckanstieg Sulfurylfluorid über das Ventil (15) und die Leitung (16) in einen Kondenser (39) geführt wird, wo gasförmiges Sulfurylfluorid verflüssigt wird, und zwar bevorzugt mit der gleichen Stickstoffquelle (17) wie in Fig. (1). Dieses Verfahren ist in Fig. 2 gezeigt. Das verflüssigte Sulfurylfluorid läßt sich dann nach Öffnen des Ventils (45) über die Leitung (46) in den Kondenser (44) zurückleiten. Am neuen Behandlungsraum (1) angekommen, kann nun über die Leitung (22) nach Öffnen des Ventils (23) über den Ablaßstutzen (24) flüssiges Sulfurylfluorid entnommen werden, in dem z. B. der Stutzen (24) über eine Steckkupplung (40) oder Schraubkupplung etc. an einen Einleitschlauch (37) angeschlossen wird. Es ist möglich, das Sulfurylfluorid durch einen Verdampfer (33) zu verdampfen, so daß gasförmiges Sulfurylfluorid den Filter (36) durchströmt, der dem Sulfurylfluorid evtl. vorhandene Verunreinigungen entzieht. Das Sulfurylfluorid läßt sich zusätzlich falls notwendig mit der Fördereinheit (41) über den Ablaßstutzen (42) in den neuen Behandlungsraum (1) zur Behandlung der schädlingsbefallenen Güter (2) einleiten. Die Temperatur des Sulfurylfluorids läßt sich an dem Temperaturfühler (34) vom Steuergerät (28) erfassen, somit ist ausgeschlossen, daß das kalte Sulfurylfluorid Schäden an den Gütern, z. B. Kunstwerken (2) im Behandlungsraum (1) erzeugt. Die Erfindung hat den weiteren Vorteil, daß sich über das ggf. zusätzliche Heizgerät (27) und den Heizstab (25) Sulfurylfluorid im Kondenser (44) direkt verdampfen läßt und bei geschlossenem Ventil (23) direkt über das Ventil (15) bzw. die Abluftleitung (16) gasförmig entnehmen läßt. Auch hierbei ist es möglich, den Sulfurylfluoridgasstrom ggf. über die Einheiten (33), (36) und (41) zu leiten, falls dies erforderlich sein sollte; das Ventil (15) ist dabei geschlossen. Das Entnahmeverfahren ist in Fig. 3 dargestellt.

Claims (27)

1. Verfahren und Vorrichtung zur Schädlingsbekämpfung in einem weitgehend gasdichten Behandlungsraum, z. B. abgedichtete Mühle, Vorratsraum, Museum, Kirchenraum, Folienkäfig, Zelt, Hülle, an von Schädlingen befallenen Gütern, z. B. Lebensmittel, Vorräte oder Kunstgütern, Kanzeln, Orgeln, Altäre, Museumsexponate, Skulpturen und Figuren, durch Einleiten eines Behandlungsgases und Ableiten des Behandlungsgas/Luft-Gemisches nach ausreichender Einwirkzeit aus dem Behandlungsraum, dadurch gekennzeichnet, daß das Gas unzersetzt von der Luft abgetrennt wird und in wenigstens einem Behälter gesammelt und/oder transportiert und/oder einer erneuten Nutzung oder Entsorgung zugeführt wird.

2. Verfahren und Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Behandlungsgas durch einen Kondensations- und/oder Adsoptions- und/oder Permeationsprozeß abgetrennt wird.

3. Verfahren und Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die teilweise vom Behandlungsgas befreite Luft in den Behandlungsraum (1) zurückgeleitet wird.

4. Verfahren und Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ableitung des Behandlungsgas/Luft-Gemisches aus dem Behandlungsraum (1) über einen Vorkühler (7) oder Wärmetauscher (7) erfolgt, der das Behandlungsgas/Luft-Gemisch abkühlt und dessen Luftfeuchtigkeit verringert, bevorzugt Wasser entzieht oder kondensiert oder ausgefriert.

5. Verfahren oder Vorrichtung nach Anspruch 1 oder einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das auskondensierte Behandlungsgas in einen Kondenser oder Kondensator oder Hauptkühler (44) oder Auffangbehälter gelagert, zwischengelagert, transportiert oder aus diesen wieder freigesetzt wird.

6. Verfahren oder Vorrichtung nach Anspruch 1 oder einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das von der Luft abgetrennte Behandlungsgas in Druckgasflaschen- oder Druckgasbehältern abgefüllt wird.

Abspruch 7. Verfahren oder Vorrichtung nach Anspruch 1 oder einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Behandlungsgas Sulfurylfluorid und/oder Carbonylsulfid und/oder Methyljodid und/oder Kohlendioxid/Sulfurylfluorid- und/oder Carbonylsulfid/Kohlendioxid- und/oder Methyljodid/Kohlendoxid-Mischungen oder ein anderes toxisches Begasungsmittel ggf. im Gemisch mit Kohlendioxid ist.

8. Verfahren nach Anspruch 1 oder Anspruch 3 oder einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die teilweise vom Behandlungsgas befreite Luft vor dem Zurückleiten in den Behandlungsraum (1) über den Wärmetauscher (7) geführt wird und dabei das vom Behandlungsraum (1) kommende Behandlungsgas/Luft-Gemisch vorkühlt.

9. Verfahren oder Vorrichtung nach Anspruch 1 oder einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die teilweise vom Behandlungsgas befreite Luft vor dem Zurückleiten in den Behandlungsraum (1) mittels des Heizgerätes oder Wasserbadanwärmers (33) erwärmt und/oder durch den Filter (36) geleitet wird.

10. Verfahren oder Vorrichtung nach Anspruch 1 oder einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Filter (36) ein Gaswäscher ist, in dem das in den Behandlungsraum (1) zurückgeleitete Behandlungsgas/Luft-Gemisch durch eine verdünnte Lauge und/oder Aktivkohle geleitet wird.

11. Verfahren oder Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Gaswäscher einen Wasser-Kondensatabscheider nachgeschaltet enthält.

12. Verfahren oder Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß dem Behandlungsgas/Luft-Gemisch vor dem Eintritt in den Kondenser oder Kondensator oder vor der Abtrenneinheit (44) Kohlendioxid ganz oder teilweise entzogen wird.

13. Verfahren oder Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Kohlendioxid durch Amine oder Laugen abgetrennt wird und ggf . . durch Erwärmen oder Ansäuern wieder freigesetzt und wieder als Behandlungsgas oder als Behandlungsgaszusatz genutzt werden kann.

14. Verfahren oder Vorrichtung nach Anspruch 1 oder einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das von der Luft abgetrennte Behandlungsgas durch Erwärmen oder Entfernen der Kühlquelle (17) oder durch Verdampfen in den gleichen oder bevorzugt in einen weiteren Behandlungsraum (1) entlassen wird.

15. Verfahren oder Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß das von der Luft abgetrennte Behandlungsgas vorher in der Abtrenneinheit (44) oder in dem Kondenser (44) oder in einem Transportbehälter transportiert wird.

16. Verfahren oder Vorrichtung nach Anspruch 1 oder einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Abkühlung bzw. Kondensation des Behandlungsgases mittels eines Inertgases erfolgt.

17. Verfahren oder Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Abkühlung oder Kondensation des Behandlungsgases mittels flüssigem Stickstoff erfolgt.

18. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß über einen Ansaugstutzen (3) oder Schlauch oder Leitung nach Öffnen des Ventils (4) mittels der Fördereinheit (5) Behandlungsgas aus dem Behandlungsraum (1) über die Gasleitung (6) abgesaugt werden kann und die Gasleitung (6) in einen Vorkühler oder Wärmetauscher (7) geführt wird und nach Öffnen des Ventils (10) in den Hauptkühler (44) geführt wird, und das verflüssigte Behandlungsgas in einem Auffangbehälter aufgefangen werden kann.

19. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß vom Auffangbehälter oder Hauptkühler (44) eine weitere Gasleitung (9) wegführt, in der ein Wärmetauscher (33) und/oder ein Gasfilter (36) ggf. enthalten ist und die Gasleitung (9) in den Behandlungsraum (1) mündet, wobei in der Gasleitung (9) eine Fördereinheit (41) eingebracht sein kann.

20. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Gasleitungen (6) und (9) in einen Wärmetauscher (7) zur Wärme bzw. Kälteübertragung geführt werden.

21. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Kondenser oder Kondensator oder die Abtrenneinheit (14) sich im Auffangbehälter (44) befinden und daß der Auffangbehälter ein Sicherheitsventil (15) und/oder eine Ablaßleitung (22) und/oder eine Heizeinrichtung (25) und/oder die Absperrventile (10) und (11) in den Gasleitungen (6) und (9) aufweist.

22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß das Sicherheitsventil (15) in eine Gasleitung (16) zwischen Auffangbehälter (44) und Kühleinrichtung (39) eingebracht ist.

23. Vorrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Kühleinrichtung (39) aus dem Auffangbehälter (44) entweichendes Behandlungsgas kondensieren und bevorzugt das verflüssigte Behandlungsgas über die Leitung (46) in den Auffangbehälter zurückleiten kann.

24. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß im Auffangbehälter (44) kondensiertes Behandlungsgas über die Gasleitungen (22), (24) und (37) in den Behandlungsraum (1) geleitet wird und bevorzugt zuvor das kondensierte Behandlungsgas mittels des Wärmetauschers (33) bzw. Nacherwärmers (33) verdampft und ggf. durch den nachgeschalteten Filter (36) geleitet wird.

25. Verfahren und Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das kondensierte Behandlungsgas mittels der Heizeinrichtung (25) und/oder mittels eines über die Leitung (9) einströmenden Inertgases und/oder durch Verdampfung aus dem Auffangbehälter (44) in die Leitung (22) und/oder Leitung (16) gedrückt wird.

26. Verfahren und Vorrichtung nach Anspruch 1 oder einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Auffangbehälter (44) mobil ist oder mobil installiert ist.

27. Verfahren und Einrichtungen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie die wesentlichen Merkmale der Fig. 1-3 und der Beschreibung enthalten.