DE19535984C2 - Verfahren zum Herstellen einer Mehrschichtkeramikkomponente - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen einer Mehrschichtkeramikkomponente, die einen Kondensator einschließt, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Ein derartiges Verfahren ist beispielsweise aus der DE 40 32 181 A1 bekannt.

Im allgemeinen wird ein Mehrschichtkeramikkondensator durch folgende Schritte hergestellt:

Zuerst wird eine Keramikgrünschicht aus einem Keramik­ schlicker geformt. Danach wird eine leitfähige Paste mittels eines Verfahrens, wie z. B. Siebdrucken, zum Bilden einer in­ neren Elektrode auf die Keramikgrünschicht aufgebracht. Dann wird eine Mehrzahl derartiger Keramikgrünschichten, die mit inneren Elektroden versehen sind, aufeinander gestapelt und entlang der Richtung der Dicke unter Druck gesetzt, um ein Laminat zu erhalten. Dann wird das erhaltene Laminat ge­ brannt, um einen gesinterten Keramikkörper zu liefern. Nach­ folgend werden externe Elektroden auf beiden Endoberflächen des gesinterten Körpers gebildet. Fig. 6 zeigt einen exem­ plarischen Mehrschichtkondensator 30, der auf diese Art und Weise erhalten wird.

Wie aus Fig. 6 offensichtlich ist, ist eine Mehrzahl innerer Elektroden 32a bis 32g in dem Mehrschichtkeramikkondensator 30 angeordnet, um durch die Schichten des gesinterten Kör­ pers miteinander zu überlappen. Die elektrostatische Kapazi­ tät des Mehrschichtkeramikkondensators 30 ist durch die Dicken der Schichten des gesinterten Körpers, die zwischen den inneren Elektroden 32a bis 32g gehalten sind, die über­ lappenden Bereiche der inneren Elektroden 32a bis 32g, die einander durch die Schichten des gesinterten Körpers gegen­ über liegen, und die dielektrische Konstante der dielektri­ schen Keramiken, die die Schichten des gesinterten Körpers bilden, bestimmt.

Im allgemeinen weisen die Schichten des gesinterten Körpers, die zwischen den inneren Elektroden 32a bis 32g gehalten sind, bemerkenswert kleine Dicken von 5 µm bis 50 µm auf. Bei dem vorher genannten Verfahren hat daher eine leichte Schwankung der Dicken der Keramikgrünschichten eine bemer­ kenswerte Schwankung der elektrostatischen Kapazität zur Folge. Um eine gewünschte elektrostatische Kapazität in dem Mehrschichtkeramikkondensator zu realisieren, ist es daher notwendig, die Dicken der verwendeten Keramikgrünschichten mit einer hohen Genauigkeit zu steuern.

Bei der momentanen Herstellung des Mehrschichtkeramikkonden­ sators werden andererseits leitfähige Strukturen (Muster) zum Bilden der inneren Elektroden auf einer Muttergrün­ schicht vorgesehen, wobei die Mutter-Keramikgrünschicht, die mit den leitfähigen Strukturen versehen ist, danach zur Ver­ besserung der Massenproduktivität in vorgeschriebenen Abmes­ sungen ausgestanzt wird, wobei eine Mehrzahl der gestanzten Keramikgrünschichten miteinander gestapelt wird, um ein Mut­ terlaminat zu erhalten. Danach wird das Mutterlaminat ent­ lang seiner Dicke geschnitten, wodurch Laminate für jeweili­ ge Mehrschichtkeramikkondensatoren erhalten werden.

Im allgemeinen wird die vorher genannte Keramikgrünschicht durch eine Abstreichmesser-Beschichtungsvorrichtung (doctor blade coater) oder ein Walzenbeschichtungsverfahren (roll coater method) geformt, um eine längliche Figur aufzuweisen. Bei einer derartigen länglichen Keramikgrünschicht, die bei dem vorher genannten Verfahren geformt wird, tendiert die Dicke jedoch dazu, abhängig von der Formungsgeschwindigkeit oder der Viskosität des verwendeten Keramikschlickers zu dispergieren, wobei eine partielle Dispersion der Dicke nicht vernachlässigbar ist.

Wenn ein Mehrschichtkeramikkondensator gemäß dem herkömmli­ chen Verfahren hergestellt wird, ist es daher unmöglich, ei­ ne Dispersion der elektrostatischen Kapazität in den erhal­ tenen Keramikgrünschichten zu vermeiden. Um eine solche Dis­ persion der elektrostatischen Kapazität zu verhindern, wird daher im allgemeinen das folgende Verfahren verwendet:

Nachdem die Keramikgrünschichten, die mit inneren Elektroden zum Bilden der elektrostatischen Kapazität versehen sind, aufeinander gestapelt sind, wird ferner unter Berücksichti­ gung der Dispersion der elektrostatischen Kapazität, die in dem Laminat bewirkt sein kann, zum Einstellen der elektro­ statischen Kapazität eine zusätzliche Keramikgrünschicht auf das Laminat gestapelt, wodurch die notwendige elektrostati­ sche Kapazität realisiert wird.

Bei einem solchen Verfahren des zusätzlichen Stapelns der weiteren Keramikgrünschicht, die mit der Elektrode zum Ein­ stellen der elektrostatischen Kapazität versehen ist, sind jedoch die Herstellungsschritte verkompliziert, da die zu­ sätzliche Keramikgrünschicht, die mit einer Elektrode zum Einstellen der elektrostatischen Kapazität versehen ist, hergestellt werden muß, d. h. eine Elektrodenstruktur zum Einstellen der elektrostatischen Kapazität ist zusätzlich zu den Elektrodenstrukturen, die die inneren Elektroden bilden, erforderlich.

Außerdem können sich die Dicken der Keramikgrünschichten mit der Zeit beträchtlich ändern, was eine Dickeschwankung von mehreren Mikrometern zur Folge hat. Wenn vor dem Stapeln nach dem Formen der Keramikgrünschichten ein bestimmter Zeitbetrag erforderlich ist, ist es notwendig, die Laminat­ struktur als Reaktion auf die Schwankung der Dicken der Ke­ ramikgrünschichten zu ändern, um die gewünschte elektrosta­ tische Kapazität zu realisieren. Folglich wird das Verfahren des Bildens der Elektrodenstruktur zum Einstellen der elek­ trostatischen Kapazität dazu tendieren, einen Fehler zwi­ schen den entworfenen und den tatsächlichen elektrostati­ schen Kapazitäten zu bewirken.

Demgemäß ist es die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zum Herstellen einer Mehrschichtkeramikkomponente, die einen Kondensator in derselben einschließt, zu schaffen, das eine gewünschte elektrostatische Kapazität mit einer ho­ hen Genauigkeit durch relativ einfache Schritte realisieren kann, ohne komplizierte zusätzliche Schritte des Herstellens von Kera­ mikgrünschichten, die mit leitfähigen Platten versehen sind, um die elektrostatische Kapazität einzustellen, und das Sta­ peln solcher Keramikgrünschichten miteinander zu erfordern.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Patentanspruch 1 gelöst.

Gemäß einem umfassenden Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zum Herstellen einer Mehrschichtkeramik­ komponente, die einen Kondensator in derselben einschließt, geschaffen, das folgende Schritte aufweist: Befördern einer länglichen Keramikgrünschicht entlang ihrer longitudinalen Richtung und Messen der Dicke der länglichen Keramikgrün­ schicht, während dieselbe befördert wird, Bilden einer inne­ ren Elektrode auf der länglichen Keramikgrünschicht, Aus­ stanzen der länglichen Keramikgrünschicht in Keramikgrün­ schichten vorgeschriebener Abmessungen und Stapeln der ge­ stanzten Keramikgrünschichten miteinander bis zu einer An­ zahl, die bezugnehmend auf den gemessenen Wert der Dicke der länglichen Keramikgrünschicht erhalten wird, Unterdruckset­ zen der gestapelten Keramikgrünschichten entlang der Dicke­ richtung zum Bilden eines Laminats und Erhalten eines gesin­ terten Keramikkörpers durch Brennen des Laminats.

Bei dem Verfahren des Herstellens einer Mehrschichtkeramik­ komponente, die einen Kondensator in derselben einschließt, gemäß der vorliegenden Erfindung wird die längliche Keramik­ grünschicht entlang ihrer longitudinalen Richtung befördert, derart, daß die Schritte des Messens der Dicke, des Bildens einer inneren Elektrode und des Ausstanzens der länglichen Keramikgrünschicht durchgeführt werden, und die gestanzten Keramikgrünschichten unmittelbar miteinander gestapelt wer­ den. Daher kann ein Laminat erhalten werden, bei dem durch eine Schwankung der Dicke der Keramikgrünschichten, die mit der Zeit bewirkt wird, kein Einfluß ausgeübt wird.

Nachdem die tatsächliche Dicke der länglichen Keramikgrün­ schicht gemessen ist, werden die Keramikgrünschichten mit­ einander gestapelt, bis zu der Anzahl, die als Reaktion auf den Wert der Dicke erhalten wird, wodurch eine gewünschte elektrostatische Kapazität zuverlässig realisiert werden kann.

Selbst wenn die Dicke der länglichen Keramikgrünschicht dis­ pergiert, ist es deshalb möglich, eine Mehrschichtkeramik­ komponente, die einen Kondensator mit einer gewünschten elektrostatischen Kapazität einschließt, mit einer hohen Ge­ nauigkeit zuverlässig herzustellen.

Vorzugsweise wird die Dicke der länglichen Keramikgrün­ schicht in einer Mehrzahl von Abschnitten gemessen, derart, daß die Anzahl der Keramikgrünschichten, die miteinander ge­ stapelt werden sollen, mit einer höheren Genauigkeit be­ stimmt werden kann. Folglich kann eine Mehrschichtkeramik­ komponente, die einen Kondensator mit einer gewünschten elektrostatischen Kapazität einschließt, noch zuverlässiger hergestellt werden.

Gemäß einem spezifischen Aspekt der vorliegenden Erfindung wird die Dicke der länglichen Keramikgrünschicht vorzugswei­ se zumindest in der Mitte einer Region gemessen, die mit der inneren Elektrode versehen ist. Noch bevorzugter wird die Dicke der länglichen Keramikgrünschicht nicht nur in der Mitte, sondern an Positionen der longitudinalen Enden oder an Eckabschnitten der Region gemessen, die mit der inneren Elektrode versehen ist. Folglich ist es möglich, die Anzahl der Keramikgrünschichten, die miteinander gestapelt werden sollen, auf der Basis der Dicke der länglichen Keramikgrün­ schicht an dem mittleren Abschnitt der Region, die mit der inneren Elektrode versehen ist, welche die elektrostatische Kapazität beachtlich beeinflußt, zu bestimmen, indem die Dicke zumindest in der Mitte der Region, die mit der inneren Elektrode versehen ist, gemessen wird. Wenn die Dicke der länglichen Keramikgrünschicht an den Positionen der longitu­ dinalen Enden oder an den Eckpositionen der Region, die mit der inneren Elektrode versehen ist, gemessen wird, wie oben beschrieben wurde, kann die Anzahl der Keramikgrünschichten, die miteinander gestapelt werden sollen, exakter bestimmt werden.

Gemäß einem bestimmten bevorzugten Aspekt der vorliegenden Erfindung, wird die Dicke der länglichen Keramikgrünschicht mittels eines berührungslosen Meßverfahrens gemessen. Folg­ lich kann die Dicke der länglichen Keramikgrünschicht ohne weiteres und zuverlässig gemessen werden, ohne den Schritt des Beförderns derselben zu beeinflussen. Hinsichtlich eines derartigen berührungslosen Meßverfahrens kann beispielsweise ein Meßverfahren, das eine Strahlung verwendet, verwendet werden. Bei dem Meßverfahren, das eine Strahlung verwendet, wird die längliche Keramikgrünschicht mit der Strahlung be­ strahlt, derart, daß die Dicke derselben aus der zugeführten Strahlungsmenge und der Menge der angeregten oder durchge­ lassenen Strahlung, die als das Ergebnis der Bestrahlung er­ halten wird, bestimmt werden kann. Wenn die Dicke der läng­ lichen Keramikgrünschicht durch die Bestrahlung gemessen wird, wie oben beschrieben wurde, ist es notwendig, die Dicke vor der Bildung der inneren Elektrode zu messen. An­ dernfalls kann die Dicke der länglichen Keramikgrünschicht nicht korrekt gemessen werden, da die innere Elektrode ein Metall enthält.

Das Verfahren des Bestimmens der Anzahl der Keramikgrün­ schichten, die miteinander gestapelt werden sollen, auf der Basis der Dicke der länglichen Keramikgrünschicht, die auf die vorher genannte Art und Weise gemessen wird, kann vor­ zugsweise durch eine zentrale arithmetische Verarbeitungs­ einheit durchgeführt werden, die mit einer Dickenmeßeinheit zum Messen der Dicke der länglichen Keramikgrünschicht ver­ bunden ist, und als Reaktion auf die Dicke ein elektrisches Signal erzeugt. Jedoch muß keine derartige arithmetische Verarbeitungseinheit verwendet werden, sondern die Anzahl der Keramikgrünschichten, die miteinander gestapelt werden sollen, kann unmittelbar als Reaktion auf den gemessenen Wert der Dicke der länglichen Keramikgrünschicht bestimmt werden, indem vorher die Beziehung zwischen der Dicke der länglichen Keramikgrünschicht und der Anzahl der Keramik­ grünschichten, die miteinander gestapelt werden sollen, er­ halten wird.

Wie hierin beschrieben wurde, führt das Verfahren des Her­ stellens einer Mehrschichtkeramikkomponente, die einen Kon­ densator einschließt, gemäß der vorliegenden Erfindung ein­ fach die Reihe der Schritte des Messens der Dicke der läng­ lichen Keramikgrünschicht, des Bildens der inneren Elektrode und des Ausstanzens der länglichen Keramikgrünschicht durch, während die längliche Keramikgrünschicht entlang ihrer lon­ gitudinalen Richtung befördert wird, wodurch der Kondensator mit einer gewünschten elektrostatischen Kapazität mit einer hohen Genauigkeit ohne eine Reduzierung der Arbeitseffizienz erhalten werden kann.

Die Anzahl der Keramikgrünschichten, die miteinander gesta­ pelt werden sollen, wird bezugnehmend auf die Dicke der tat­ sächlich beförderten länglichen Keramikgrünschicht einge­ stellt, wodurch eine Dispersion der elektrostatischen Kapa­ zität beachtlich reduziert werden kann, und die gewünschte elektrostatische Kapazität mit einer hohen Genauigkeit rea­ lisiert werden kann. Folglich ist es möglich, eine Disper­ sion der elektrostatischen Kapazität des Kondensators in der Mehrschichtkeramikkomponente extrem zu reduzieren.

Ferner ist bei einem speziellen Aspekt der vorliegenden Er­ findung die Mehrschichtkeramikkomponente, die einen Konden­ sator in derselben einschließt, ein Mehrschichtkeramikkon­ densator, bei dem äußere Elektroden jeweils auf Endoberflä­ chen des gesinterten Keramikkörpers gebildet sind.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich­ nungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 ein schematisches Blockdiagramm zum Darstellen der Herstellungsschritte gemäß einem Ausführungsbei­ spiel der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 eine partiell fragmentierte Draufsicht, die eine Keramikgrünschicht zeigt, auf die innere Elektroden gedruckt sind;

Fig. 3 eine Schnittansicht, die ein Mutterlaminat zeigt, das durch das Stapeln von Keramikgrünschichten, auf die innere Elektroden gedruckt sind, miteinander gebildet ist;

Fig. 4 eine Schnittansicht, die einen gesinterten Keramik­ körper für einen unabhängigen Mehrschichtkondensa­ tor zeigt;

Fig. 5 eine Schnittansicht, die einen Mehrschichtkondensa­ tor zeigt, der gemäß dem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung erhalten wird; und

Fig. 6 eine Schnittansicht zum Darstellen eines herkömmli­ chen Mehrschichtkondensators.

Fig. 1 ist ein schematisches Blockdiagramm zum Darstellen eines wesentlichen Teils eines Verfahrens des Herstellens eines Mehrschichtkeramikkondensators gemäß einem Ausfüh­ rungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.

Wie in Fig. 1 gezeigt ist, wird eine geformte längliche Ke­ ramikgrünschicht 9 von einer Walze 1 zu einer Aufnahmewalze 8 geführt. Die Keramikgrünschicht 9 ist auf der Walze 1 auf­ gewickelt.

Die längliche Keramikgrünschicht 9 wird von der Walze 1 ge­ liefert und zu der Walze 8 befördert, während eine Schicht­ dickenmeßeinheit 2, ein Innenelektrodendrucker 3, ein Trock­ nungsofen 4 und eine Schichtstanzeinheit 7 zwischen den Wal­ zen 1 und 8 angeordnet sind. Die Schichtstanzeinheit 7 stanzt die längliche Keramikgrünschicht 9 in Keramikgrün­ schichten vorgeschriebener Abmessungen aus, derart, daß die gestanzten Keramikgrünschichten in einer Form 6 miteinander gestapelt werden. Nachdem die Keramikgrünschichten der vor­ geschriebenen Abmessungen ausgestanzt sind, wird der ver­ bleibende Teil der länglichen Keramikgrünschicht 9 von der Walze 8 aufgenommen. Die Schichtdickenmeßeinheit 2 und die Schichtstanzeinheit 7 sind durch eine zentrale arithmetische Verarbeitungseinheit 5 elektrisch miteinander verbunden.

Das Verfahren des Herstellens eines Mehrschichtkeramikkon­ densators gemäß diesem Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nun konkreter beschrieben.

Zuerst wird die längliche Keramikgrünschicht 9 auf die Walze 1 gewickelt. Die längliche Keramikgrünschicht 9 wird mittels einer Abstreichmesser-Beschichtungsvorrichtung, einem Walz­ beschichtungsverfahren oder einem anderen, ähnlichen, be­ kannten Verfahren geformt. Die längliche Keramikgrünschicht 9 kann alternativ auf einem Basisfilm aus PET (Polyethylen- Terephthalat) oder dergleichen gebildet werden.

Die längliche Keramikgrünschicht 9 wird entlang ihrer longi­ tudinalen Richtung befördert und der Schichtdickenmeßeinheit 2 zugeführt. Die Schichtdickenmeßeinheit 2 gemäß diesem Aus­ führungsbeispiel ist angepaßt, um die längliche Keramikgrün­ schicht 9 mit einer Strahlung zum Messen der Dicke der läng­ lichen Keramikgrünschicht 9 aus dem Verhältnis der zugeführ­ ten Strahlungsmenge zu der angeregten oder durchgelassenen Strahlungsmenge, die als das Ergebnis der Bestrahlung erhal­ ten wird, zu messen. Die Schichtdickenmeßeinheit 2 mißt die Dicke der länglichen Keramikgrünschicht 9. Der gemessene Wert wird der zentralen arithmetischen Verarbeitungseinheit 5 geliefert, wie nachfolgend beschrieben wird, um die Anzahl der Keramikgrünschichten zu bestimmen, die miteinander ge­ stapelt werden sollen, wobei die Schichtstanzeinheit 7 ge­ steuert wird, um die längliche Keramikgrünschicht 9 in die Keramikgrünschichten der vorgeschriebenen Abmessungen auszu­ stanzen, die wiederum miteinander gestapelt werden.

Die Schichtdickenmeßeinheit 2 kann statt der, die eine Strahlung verwendet, alternativ durch eine beliebige Einheit gebildet sein, solange dieselbe die Dicke der länglichen Ke­ ramikgrünschicht messen kann, während diese befördert wird, ohne einen Teil derselben zu extrahieren. Beispielsweise kann die Einheit 2 durch eine Mikrometerlehre gebildet sein, die Meßvorrichtungen gegen beide Oberflächen der länglichen Keramikgrünschicht 9 drückt, um die Dicke derselben zu mes­ sen.

Die längliche Keramikgrünschicht 9 wird vorzugsweise inter­ mittierend zwischen den Walzen 1 und 8 bewegt, derart, daß die Dicke derselben gemessen wird, während sie angehalten ist. Während eines solchen Anhaltens können innere Elektro­ den auf der länglichen Keramikgrünschicht 9 gebildet werden, wie später beschrieben wird. Folglich kann die Dicke der länglichen Keramikgrünschicht 9 jedesmal gemessen werden, wenn innere Elektroden gebildet werden, wodurch verhindert wird, daß die Zeit zum Durchführen der Schritte durch das Vorsehen einer zusätzlichen Zeit zum Messen der Dicke erhöht wird.

Die Strahlung, die zum Messen der Dicke verwendet wird, ist als Reaktion auf das Material und die Dicke der länglichen Keramikgrünschicht 9 wahlweise eine X-Strahlung (Röntgen-Strahlung), eine γ-Strahlung oder eine β-Strahlung. Speziell wenn die längliche Keramikgrünschicht 9 auf einem Basisfilm gebildet ist, wird die Strahlung vorzugsweise von der X-Strahlung oder der γ-Strahlung erzeugt, die kaum durch das Material für den Basisfilm, usw., beeinflußt wird.

Danach wird die längliche Keramikgrünschicht 9, die der Mes­ sung ihrer Dicke unterworfen wurde, dem nächsten Schritt des Bildens der inneren Elektroden zugeführt, derart, daß der Innenelektrodendrucker 3 durch Siebdrucken eine leitfähige Paste 10 auf die längliche Keramikgrünschicht 9 aufbringt. Folglich wird die leitfähige Paste 10 in einer vorgeschrie­ benen Struktur (siehe Fig. 2) auf die längliche Keramikgrün­ schicht 9 gedruckt.

Danach wird die längliche Keramikgrünschicht 9, die mit der leitfähigen Paste 10 beschichtet ist, in den Trocknungsofen 4 eingeführt und in demselben getrocknet. Die Trocknungsbe­ dindungen, die abhängig vom Typ eines Lösungsmittels, das für die leitfähige Paste 10 verwendet ist, variiert werden, sind im allgemeinen geeignet, in den Bereichen von etwa 70° bis 150°C und von 30 Sekunden bis 10 Minuten eingestellt.

Danach wird die längliche Keramikgrünschicht, die mit den inneren Elektroden versehen ist, entlang der Abschnitte, die mit den inneren Elektroden versehen sind, mittels der Schichtstanzeinheit 7 in vorgeschriebene Abmessungen ausge­ stanzt. Wenn die längliche Keramikgrünschicht 9 auf einem Basisfilm gebildet ist, kann nur die längliche Keramikgrün­ schicht 9 ausgestanzt werden. Danach werden die gestanzten Keramikgrünschichten beispielsweise mittels eines Saugkopfs der Schichtstanzeinheit 7 vakuumgesaugt, entlang des Pfeils in Fig. 1 bewegt und in der Form 6 miteinander gestapelt. Der verbleibende Teil der länglichen Keramikgrünschicht 9 wird von der Walze 8 aufgenommen.

Der Schritt des Ausstanzens der länglichen Keramikgrün­ schicht 9 und des Stapels der gestanzten Keramikgrünschich­ ten miteinander wird durch das Ausstanzen der länglichen Ke­ ramikgrünschicht 9 in Schichten vorgeschriebener Abmessungen bis zu einer Anzahl, die in der zentralen arithmetischen Verarbeitungseinheit 5 bestimmt wird, und das Stapeln der gestanzten Schichten miteinander durchgeführt. Folglich kann eine gewünschte Kapazität mit einer hohen Genauigkeit er­ reicht werden.

Es sei angenommen, daß die mittlere Dicke der länglichen Ke­ ramikgrünschicht 9 bezüglich einer gewünschten Dicke von 10,0 µm um 1 µm auf 11,0 µm erhöht ist, wobei die erreichte Kapazität um etwa 10% reduziert ist. In diesem Fall kann die Anzahl der Keramikgrünschichten, die mit inneren Elektroden versehen sind, die miteinander gestapelt werden sollen, um 10% erhöht werden, um die überlappenden Bereiche der inneren Elektroden, die von den dielektrischen Keramikschichten ge­ halten sind, um 10% zu erhöhen, um die gewünschte Kapazität mit einer hohen Genauigkeit zu erreichen.

Um ferner die gewünschte Kapazität genau zu erreichen, kann eine Kapazitätskorrektur durchgeführt werden, indem die überlappenden Bereiche der inneren Elektroden, die von den dielektrischen Keramikschichten des Mehrschichtkondensators gehalten werden, partiell geändert werden. Eine derartige Kapazitätskorrektur des Änderns der überlappenden Bereiche wird durchgeführt, indem die längliche Keramikgrünschicht 9, die mit bezüglich ihren normalen Positionen leicht verscho­ benen inneren Elektroden versehen ist, ausgestanzt wird, und die gestanzten Keramikgrünschichten miteinander gestapelt werden, wodurch die überlappenden Bereiche der inneren Elek­ troden, die von den dielektrischen Keramikschichten gehalten werden, verändert werden.

Danach werden die gestapelten Keramikgrünschichten, die im allgemeinen mit einer Anzahl von inneren Elektroden versehen sind, entlang der Dickerichtung unter Druck gesetzt, um ein Mutterlaminat 11, das in Fig. 3 gezeigt ist, zu erhalten. Dann wird das Mutterlaminat 11 entlang seiner Dicke ge­ schnitten, um Laminate für unabhängige Mehrschichtkeramik­ kondensatoren zu erhalten. Jedes Laminat wird gebrannt, um einen gesinterten Keramikkörper 12 zu erhalten, der in Fig. 4 gezeigt ist. Bei diesem gesinterten Körper 12 sind innere Elektroden 10a bis 10g durch Backen der leitfähigen Paste 10 gebildet. Ferner sind äußere Elektroden 13a und 13b, die in Fig. 5 gezeigt sind, auf Endoberflächen 12a und 12b des ge­ sinterten Körpers 12 durch Aufbringen und Backen einer leit­ fähigen Paste und/oder durch Plattieren gebildet. Ein Mehr­ schichtkeramikkondensator 14, der auf die vorher genannte Art und Weise erhalten wird, kann eine gewünschte Kapazität mit einer hohen Genauigkeit erreichen.

Obwohl die Dicke der länglichen Keramikgrünschicht bei dem vorher genannten Ausführungsbeispiel gemessen wird, bevor die inneren Elektroden gedruckt werden, kann die Meßgenauig­ keit vorzugsweise verbessert werden, indem die Messung not­ wendigerweise vor jedem Drucken der inneren Elektroden durchgeführt wird. Wenn die Dicke der länglichen Keramik­ grünschicht jedoch wenig dispergiert, kann die Dicke dersel­ ben nur bei jedem zweiten oder dritten Drucken gemessen wer­ den. In diesem Fall kann die Anzahl, wie oft die Dicke der länglichen Keramikgrünschicht gemessen wird, reduziert wer­ den.

Obwohl die Dicke der länglichen Keramikgrünschicht an einer willkürlichen Position gemessen werden kann, wird dieselbe vorzugsweise in einem Mittelabschnitt der Regionen, die mit den inneren Elektroden versehen sind, welche in Fig. 2 durch einen Pfeil A gezeigt ist, gemessen. Die Dicke der längli­ chen Keramikgrünschicht wird vorzugsweise an dem mittleren Abschnitt A der Regionen, die mit den inneren Elektroden versehen sind, gemessen, so daß die Dicke mit einer hohen Genauigkeit in den Regionen, die mit den inneren Elektroden versehen sind, gemessen werden kann, welche die elektrosta­ tische Kapazität beachtlich beeinflußt.

Zusätzlich zu dem mittleren Abschnitt A der Regionen, die mit den inneren Elektroden versehen sind, wird die Dicke vorzugsweise an Positionen an beiden longitudinalen Enden der Regionen, die mit den inneren Elektroden versehen sind, gemessen, wie durch Pfeile B und C in Fig. 2 gezeigt ist, oder an Eckpositionen D bis G derselben. Die Anzahl der Po­ sitionen zum Messen der Dicke der länglichen Keramikgrün­ schicht ist vorzugsweise erhöht, derart, daß die Dicke mit einer hohen Genauigkeit gemessen werden kann. Um die Opera­ tion zum Berechnen der Anzahl der Keramikgrünschichten, die miteinander gestapelt werden sollen, bezüglich der Dicke zu vereinfachen, ist die Anzahl der gemessenen Positionen je­ doch vorzugsweise reduziert.

Wenn die Dicke der länglichen Keramikgrünschicht durch eine Strahlung gemessen wird, wie oben beschrieben wurde, muß die Dicke vor dem Drucken der inneren Elektroden gemessen wer­ den, da die inneren Elektroden ein Metall enthalten.

Claims (8)

1. Verfahren des Herstellens einer Mehrschichtkeramikkom­ ponente (14), die einen Kondensator in derselben ein­ schließt, mit folgenden Schritten:
Bilden von inneren Elektroden (10) auf einer länglichen Keramikgrünschicht (9);
Ausstanzen der länglichen Keramikgrünschicht (9) in ke­ ramische Grünschichten vorgeschriebener Abmessungen und Stapeln der gestanzten Keramikgrünschichten miteinander bis zu einer Anzahl, die bezugnehmend auf einen gemes­ senen Wert der Dicke der länglichen Keramikgrünschicht (9) erhalten wird;
Unterdrucksetzen der gestapelten Keramikgrünschichten entlang der Dickenrichtung zum Bilden eines Laminats (11); und
Erhalten eines gesinterten Keramikkörpers (12) durch Brennen des Laminats (11),
gekennzeichnet durch folgende Schritte vor dem Bilden der inneren Elektroden (10):
Befördern der länglichen Keramikgrünschicht (9) entlang ihrer longitudinalen Richtung und Messen der Dicke der länglichen Keramikgrünschicht (9), während dieselbe befördert wird.

2. Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der länglichen Keramikgrünschicht an ei­ ner Mehrzahl von Abschnitten derselben gemessen wird.

3. Verfahren gemäß Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­ net, daß die Dicke der länglichen Keramikgrünschicht (9) zu­ mindest an einem Mittelabschnitt (A) einer Region, die mit der inneren Elektrode (10) versehen ist, gemessen wird.

4. Verfahren gemäß Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der länglichen Keramikgrünschicht (9) an beiden longitudinalen Enden (B, C) der Region, die mit der inneren Elektrode (10) versehen ist, gemessen wird.

5. Verfahren gemäß Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der länglichen Keramikgrünschicht (9) an Eckabschnitten (D, E, F, G) der Region, die mit der in­ neren Elektrode (10) versehen ist, gemessen wird.

6. Verfahren gemäß einem beliebigen der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der länglichen Keramikgrünschicht (9) mittels eines berührungslosen Meßverfahrens gemessen wird.

7. Verfahren gemäß Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das berührungslose Meßverfahren angepaßt ist, um die längliche Keramikgrünschicht (9) mit einer Strah­ lung zu bestrahlen, um die Dicke aus der zugeführten Strahlungsmenge und der angeregten oder durchgelassenen Strahlungsmenge, die nach der Bestrahlung gemessen wird, zu bestimmen.

8. Verfahren gemäß einem beliebigen der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Mehrschichtkeramikkomponente (14), die einen Kondensator in derselben einschließt, ein Mehrschicht­ keramikkondensator ist, und daß das Verfahren ferner einen Schritt des Bildens äußerer Elektroden (13a, 13b) jeweils auf Endoberflächen des gesinterten Keramikkör­ pers (12) einschließt.