DE19534535A1

DE19534535A1 - Koordinatenmeßmaschine

Info

Publication number: DE19534535A1
Application number: DE19534535A
Authority: DE
Inventors: Winfried Dr Fugmann
Original assignee: Leitz Messtecknik GmbH
Current assignee: Hexagon Metrology GmbH
Priority date: 1995-09-18
Filing date: 1995-09-18
Publication date: 1997-03-20
Anticipated expiration: 2015-09-19
Also published as: EP0763708A2; US5909939A; EP0763708B1; EP0763708A3; DE19534535C2; DE59609743D1

Description

Die Erfindung betrifft eine Koordinatenmeßmaschine, bestehend aus einer fest angeordneten Grundplatte einer damit verbundenen Aufnahme des auszumessenden Werkstückes, aus einem zur Grundplatte beweglich gelagerten Tastkopf sowie einer Versorgungs-, Steuer- und Auswerteeinrichtung.

Zum Anfahren eines Meßpunktes, beispielsweise auf einem Werkstück, in den kartesischen Koordinatenrichtungen bestehen die sogenannten 3-D-Koordinatenmeßmaschinen aus einem Stativ, dem Tastsystem, einer vorzugsweise separat angeordneten Versorgungs- und Steuereinheit und einem Aus werterechner. Das Stativ hat die Aufgabe, das Tastsystem relativ zum Werkstück meßbar zu bewegen. Diese Aufgabe wird nach dem Stand der Technik durch drei senkrecht auf einan derstehende Linearachsen gelöst, von denen entweder zwei bei Koordinatenmeßmaschinen mit bewegtem Meßtisch oder drei bei Koordinatenmeßmaschinen mit feststehendem Meßtisch meß technisch und konstruktiv aufeinander aufbauen.

Das Werkstück läßt sich aber auch, wie in der DE-OS 44 03 901 A1 beschrieben worden ist, mit einem Gerät antasten, das von einem Gelenkarm-Roboter abgeleitet ist.

Die bekannten Bewegungsmittel einer Koordinatenmeßma schine nach der eingangs beschriebenen Art sind aufwendig. Denn jede Achse für die Verschiebung des Tastkopfes in ei ner Koordinatenrichtung enthält einen Antrieb, ein Maß stabsystem und eine Führung. Die Aufgabe der Führung ist es, Geradheits- und rotatorische Abweichungen bei Verschie bung des Tasters zu verhindern oder reproduzierbar und da mit maschinenbedingt korrigierbar zu gestalten, und zwar mit einer sehr hohen Genauigkeit und unter allen zulässigen Temperatur- und Belastungsbedingungen. Beispielsweise muß bei einer Koordinatenmeßmaschine in Portalbauweise mit ei ner Meßlänge von einem Meter in allen drei Achsen die rota torische Führungsgenauigkeit jeder Achse weit unter 0,5 Se kunden liegen, um eine Meßgenauigkeit im Bereich von 2 µm erreichen zu können. Aufgrund dieser Anforderungen liegt der größte Teil der Herstellungskosten einer Achse der Ko ordinatenmeßmaschine in der Führung und nicht im Antrieb oder dem Maßstabsystem.

Mit den verfügbaren Meßmitteln ist bei den bekannten Koordinatenmeßmaschinen die Aufnahme von rotatorischen Ab lauffehlern nur bis zu einer Genauigkeit von etwa 0,3 Se kunden möglich. Andererseits können Positionsfehler bis zu einer Genauigkeit von etwa 0,5 µm gemessen werden. Bei ei ner Koordinatenmeßmaschine mit großem Meßvolumen wird daher die erreichbare geometrische Genauigkeit oft durch die Auf nahmegenauigkeit der rotatorischen Abweichungen begrenzt.

Bei den bekannten Koordinatenmeßmaschinen mit ruhendem Meßtisch bauen alle drei Achsen, das heißt die X-, Y- und Z-Achse bei der Verschiebung des Tastkopfes aufeinander auf, das heißt, alle Elemente der dritten Achse (Z-Achse) müssen von der zweiten Achse (Y-Achse) mitbewegt werden, und alle Elemente der zweiten Achse (Y-Achse) und der dritten Achse (Z-Achse) müssen von der ersten Achse (X-Achse) mitbewegt werden.

Bei Meßmaschinen mit bewegtem Meßtisch bauen nur zwei Achsen, nämlich die Y- und die Z-Achse, aufeinander auf, zusätzlich muß jedoch das Werkstück mit Hilfe des das Werk stück tragenden Tisches in der X-Achse bewegt werden.

In beiden Fällen sind bei den Koordinatenmeßmaschinen, welche den Tastkopf in den kartesischen Koordinatenrich tungen verschieben, große Massen zu bewegen, was eine Koordinatenmeßmaschine konventioneller Bauweise teuer und langsam macht.

Die drei linearen Achsen einer zum Stand der Technik gehörenden Koordinatenmeßmaschine ermöglichen es jedoch, mit einer relativ einfachen Steuerung eine zu sich selbst parallele Verschiebung des Tastkopfes zu erreichen. Soll, wie etwa bei optischer Antastung oder auch bei bestimmten mechanischen Meßaufgaben der Tastkopf gedreht werden, so ist eine Dreh-Schwenkeinrichtung erforderlich, die zusätz liche Ungenauigkeiten, Kosten- und Steuerungsaufwand verur sacht, auch wenn oft nur ein geringer Schwenkbereich wirk lich erforderlich ist.

Jede Linearachse einer Koordinatenmeßmaschine erfor dert eine sorgfältige Paralleljustage von Führung, Antrieb und Maßstab sowie Hilfskonstruktionen, wie etwa einen Schutz der Führungsflächen gegen Verschmutzung, ferner rei bungsarme Schlauch- und Kabelführungen.

Die Gelenkarm-Meßmaschinen nach der DE-OS 44 03 901 A1 haben keine Linearachsen und vermeiden damit einen Teil des vorgenannten prinzipbedingten Aufwandes. Jedoch bauen auch bei dieser Bauart alle Achsen aufeinander auf, was zu rela tiv großen zu bewegenden Massen führt, insbesondere wenn ein aufwendiger Tastkopf eingesetzt werden soll. Thermische oder durch Lastwechsel bedingte Verbiegungen der Arme wir ken sich auf die Genauigkeit der Messung aus. Die Auflösung verfügbarer Drehgeber ist für eine Genauigkeit im µm-Bereich nicht ausreichend. Koordinatenmeßmaschinen in Gelenkarm-Bauart sind hinsichtlich ihrer Leistungsfähigkeit daher noch weit von den beschriebenen Koordinatenmeßmaschi nen konventioneller Bauart entfernt.

Das der Erfindung zugrunde liegende technische Problem besteht darin, eine Koordinatenmeßmaschine anzugeben, wel che von ihrem Grundaufbau einfach und preiswert herstellbar ist, darüber hinaus jedoch die gewünschte Meßgenauigkeit und -geschwindigkeit gewährleistet.

Diese Aufgabe wird durch das kennzeichnende Merkmal des Anspruches 1 gelöst.

Dadurch, daß jetzt der Tastkopf von einem Körper ge tragen wird, der als gewichtsmäßig relativ leichtes Rah mengestell ausgebildet sein kann, und vorteilhaft wenig stens ein Punkt des Körpers mittels in der Länge und/oder den Winkeln verstellbarer Beine in vorgegebenen Fixpunkten mit der das Werkstück tragenden Grundplatte gelenkig ver bunden ist, ist es möglich, den vom Körper getragenen Tast kopf im Meßbereich der Koordinatenmeßmaschine beispiels weise allein durch Veränderung der Länge der Beine an jeden beliebigen Ort zu fahren. Aus der gemessenen Länge der Bei ne kann ein Rechner leicht die Position der Tastspitze des Tastkopfes ermitteln und in kartesischen Koordinaten angeben.

Ein starrer Körper im Raum besitzt sechs Freiheits grade, nämlich drei translatorische und drei rotatorische Freiheitsgrade.

Um die Lage des Tastkopfes eindeutig festzulegen, sind daher sechs einschränkende Bedingungen notwendig.

Deshalb hat es sich als vorteilhaft erwiesen, sechs Beine vorzusehen, von denen jedoch nicht alle in ihrer Länge verstellbar sein müssen. Mindestens drei der Beine müssen aber gelenkig und längenverstellbar sein.

Die Beine brauchen im Ausgangszustand nicht gleiche Länge aufzuweisen. Vorteilhaft wird man die Beine jedoch in gleicher Bauart ausbilden, um diese in Serienfertigung her stellen zu können.

Sechs Beine lassen sich in bekannter Weise in einer Hexapoden-Bauart anordnen.

Regelmäßige Hexapoden-Bauarten sind grundsätzlich aus den Veröffentlichungen der Zeitschrift "Spektrum der Wissenschaft" vom Mai 1991, Seiten 18 bis 22 sowie aus der Zeitschrift "Schweizer Maschinenmarkt", Nr. 17/1995, Seiten 26 bis 29 bekannt. Bei derartigen auf einer Grundplatte und einer starren Gehäusekonstruktion in Leichtbauweise aufbauenden Körpern geht man davon aus, daß ein Dreieck und die darauf basierenden Körper, zum Beispiel Tetraeder, Oktaeder oder Ikosaeder, dann, wenn sie nur an den Ecken belastet werden, die größte Steifigkeit aufweisen. Demgemäß weist die in der Zeitschrift "Spektrum der Wissenschaft" vom Mai 1991 vorgesehene Hexapoden-Bauart sechs regelmäßig angeordnete Beine auf, welche dazu dienen, den Hauptspiegel eines Spiegelteleskopes für astronomische Zwecke zu tragen und der Erddrehung nachzuführen. Dieser geplante Spiegel soll wenigstens einen Durchmesser von 12 in aufweisen und ist deshalb gewichtsmäßig sehr schwer. Die für seine Lagerung vorgesehene Hexapoden-Bauart ist deshalb einzig und allein darauf ausgelegt, einen gewichtsmäßig schweren Gegenstand zu tragen und nachzuführen.

Dasselbe gilt für die im Maschinenbau angestrebte Technik, die Hexapoden-Bauart bei einer Werkzeugmaschine vorzusehen. Auch hier soll die Hexapoden-Bauart gestatten, gewichtsmäßig sehr schwere Teile tragen und verschieben zu können.

Gemäß der Erfindung ist die Hexapodenbauart nur ein Sonderfall. Von den Beinen wird nur ein relativ leichtes Rahmengestell getragen, das seinerseits den Tastkopf trägt. Bei der erfindungsgemäßen Verstellung des Tastkopfes und des mit diesem verbundenen Tasters kommt es deshalb nur darauf an, mit einfachen Mitteln den Taster des Tastkopfes so zu bewegen, daß er mit µm-Genauigkeit auf den Meßpunkt des Werkstückes gefahren wird.

Weitere Einzelheiten der Erfindung können den Unteran sprüchen entnommen werden.

Auf der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Er findung dargestellt, und zwar zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung zur Erläute rung der Wirkungsweise;

Fig. 2 eine schematische Darstellung der Koordina tenmeßmaschine;

Fig. 3 eine Einzelheit der Fig. 1.

Gemäß Fig. 1 sind auf einer Grundplatte (1) in den Punkten (A, B, C) Kugelgelenke (3a, 3b und 3c) vorgesehen, in denen Beine (2a, 2b und 2c) allseitig drehbar gelagert sind. Die Beine (2a, 2b, 2c) laufen in einem Punkt (D) zusammen oder in seiner unmittelbaren Nähe. Sie sind jeweils gelenkig im Bereich des Punktes (D) miteinander verbunden. Die Beine (2a, 2b, 2c) weisen die Längen L₁, L₂ und L₃ auf.

Wird der Punkt (D), welcher den Tastkopf (6) der Fig. 2 tragen kann, nach (D′) verschoben, wandert das Bein (2a) in die Lage (2a′), das Bein (2b) in die Lage (2b′) und das Bein (2c) in die Lage (2c′). Damit diese Lageänderung des Punktes (D) nach (D′) möglich ist, müssen sich die Längen der Beine (2a, 2b, 2c) ändern. Die Länge L₁ des Beines (2a) ändert sich um den Betrag dL₁, die Länge des Beines (2b) ändert sich um den Betrag dL₂ und die Länge des Beines (2c) ändert sich um den Betrag dL₃.

Diese Längenänderungen der Beine (2a, 2b, 2c) können, wie noch zu zeigen sein wird, bewußt erzeugt werden, um den im Punkt (D) angelenkten Tastkopf (6) nach (D′) zu verla gern.

Eine solche Verlagerung kann aber auch grundsätzlich von Hand oder durch andersartige Mittel durchgeführt wer den.

In jedem Fall ist es erforderlich, die Längenänderung der Beine (2a, 2b, 2c) zu erfassen.

Die bei der Verlagerung des Punktes (D) nach (D′) erfolgenden Winkeländerungen der Beine in den Anlenkpunkten (A, B, C) auf der Grundplatte (1) oder im Punkt (D) eines Körpers (4) (Fig. 3) sind hierbei dann ohne Bedeutung, wenn die Längenänderungen dL₁, dL₂, dL₃ meßbar sind, da die Lage eines jeden Punktes im Raum durch drei Koordinaten bestimmt wird, hier also durch die Längen der Beine (2a, 2b, 2c) in ihrer Ausgangslage in den Punkten (A, B und C) auf der Grundplatte (1) und bei Verlagerung des Punktes (D) nach (D′).

Anstelle der Längenänderungen können aber auch Winkeländerungen der Beine zur Grundplatte für die Bestimmung der Lageänderung des Punktes (D) nach (D′) verwendet werden.

Gemäß Fig. 3 sind die Beine, wie für das Bein (2a) ge zeigt, ausfahrbar ausgebildet. Auf der Grundplatte (1) ist im Punkt (A) mittels eines Kugelgelenks (25) das Bein (2a) allseitig schwenkbar gelagert. Das Bein besteht aus einem zylinderförmigen Teil (26), in dem ein Kolben (27) ver schiebbar gelagert ist. Der Kolben (27) trägt eine Kolben stange (28). Die Kolbenstange (28) ist mittels eines Kugel gelenks (29) an dem noch zu beschreibenden Körper (4) der Fig. 2 befestigt. Der Körper (4) kann, so wie es für den Punkt (D) in Fig. 1 gezeigt wurde, in den drei kartesischen Koordinatenrichtungen verschoben werden. Das Bein (2a) än dert hierbei seine Winkelneigung zur Grundplatte (1) und auch zum Körper (4) (Fig. 1), außerdem aber auch seine Länge L₁ mit Bezug auf die Mittelpunkte der Kugeln (25 und 29) der Kugelgelenke in den Punkten (A und D).

Beispielsweise mit Hilfe eines Hydraulikmittels, wel ches über die Leitung (30) in den zylinderförmigen Teil (26) gedrückt wird, kann die Längenänderung des Beines (2a) gesteuert werden und damit die Verlagerung des Körpers (4).

Eine Lagerung und Steuerung des Beines (2a), wie in Fig. 3 beschrieben, ist für jedes der drei Beine (2a, 2b und 2c) der Fig. 1 vorgesehen.

Um die Größe der Längenänderung des Beines (2a) aus einer Normalstellung heraus zu erfassen, trägt der zylin derförmige Teil (26) einen Maßstab (31). Auf dem Maßstab (31) kann mittels eines Ableseindex (32), welcher über eine Stange (33) mit der Kolbenstange (28) im Punkt (E) verbun den ist, die Längenänderung des Beines (2a) abgelesen wer den. Die Ausfahrgröße der Kolbenstange (28) und damit die Längenänderung dL₁ des Beines (2a) entspricht der Verschie bungsgröße des Kolbens (27) und damit der Kolbenstange (28) des Körpers (4) im Anlenkpunkt des Kugelgelenks (29).

Die in Fig. 3 schematisch dargestellte Erfassung der Längenänderung dL₁ kann mit modernen Mitteln sensorisch er folgen und beispielsweise als Wert in eine nicht darge stellte Meß- und Steuereinrichtung eingegeben werden.

Für jedes der drei Beine (2a, 2b, 2c) ist in der Fig. 1 eine entsprechende Einrichtung vorgesehen.

Aus den gemessenen Längenänderungen der Beine (2a, 2b, 2c) kann damit die Lage des Punktes (D) rechnerisch ermit telt werden oder umgekehrt durch Steuerungsmittel, welche die Kolben (26) geeignet verschieben, ein bestimmter Punkt, in Fig. 1 zum Beispiel der Punkt (D′), angefahren werden.

Fig. 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel der Koordinaten meßmaschine, bei dem auf der Grundplatte (1) sechs Beine (2a, 2b, 2c, 2d, 2e, 2f) vorgesehen sind. Je zwei Beine sind in dem Bereich der Punkte (A′, B′, C′) auf der Grund platte (1) in benachbarten Kugelgelenken, wie in Fig. 3 für das Bein (2a) dargestellt, angeordnet. Die Lager je zweier Beine liegen dicht beieinander, was jedoch nicht zwingend ist. Von jedem Punktbereich (A′, B′, C′) geht damit ein Beinpaar (2a, 2b; 2c, 2d; 2e, 2f) aus. Eines der Beine jedes Paares ist zu einem Eckbereich (A′′) des Körpers (4) geführt, das andere Bein (2b) des Paares zum Eckbereich (B′′) des Körpers (4). Die im Bereich (B′) gelagerten Beine (2c und 2d) sind derart angeordnet, daß das Bein (2c) im Bereich des Punktes (B′′) mit dem Körper (4) verbunden ist und das Bein (2d) im Bereich des Punktes (C′′) mit diesem Körper.

Eine entsprechende Anordnung ist für das Beinpaar (2e, 2f) getroffen, indem eines der Beine, nämlich das Bein (2e), mit dem Körper (4) im Bereich des Punktes (C′′) ver bunden ist und das andere Bein (2f) mit dem Körper (4) im Bereich des Punktes (A′′).

Der Körper (4) bildet ein aus Stangen (35a, 35b und 35c) bestehendes dreieckförmiges Rahmengestell. Die Stangen (35a, 35b, 35c) sind fest miteinander verbunden. Sie tragen einen Ausleger (5), an dem der Tastkopf (6) befestigt ist. Durch Änderung der Länge der Beine (2a bis 2f) kann ein auf der Grundplatte (1) angeordnetes Werkstück (8) in einem Meßpunkt angetastet werden.

Die Längenänderungen dL der Beine (2a bis 2f) werden rechnerisch erfaßt und in die Lage (X, Y, Z) der Tastspitze (6a) umgerechnet sowie zur Steuerung der Bewegung des Kör pers (4) und des Tastkopfes (6) verwendet.

Bei der beschriebenen Ausbildung kommt es im wesentli chen darauf an, daß die Anlenkpunkte der Beine auf der Grundplatte und dem Körper (4) einen konstanten Abstand voneinander aufweisen und stets beibehalten, das heißt, daß sich die Mittelpunkte der Kugeln der Kugelgelenke nicht gegeneinander verschieben. Ferner kommt es darauf an, daß sich die Länge der Beine (2a bis 2f) nicht unkontrollierbar ändert, weil dann ein angeschlossener Rechner eine Fehllage des Punktes (D) und damit der Tastspitze (6a) ermittelt. Die Grundplatte (1) besteht deshalb aus einem thermisch unempfindlichen Material und weist eine Stärke auf, daß Verbiegungen und Längenausdehnungen der Grundplatte (1) ausgeschlossen sind.

Grundsätzlich können aber auch Meßeinrichtungen vorge sehen sein, welche ständig die Lage der Anlenkpunkte der Beine an der Grundplatte (1) im Bereich der Punkte (A′, B′ und C′) kontrollieren und eventuelle Lageabweichungen der art umrechnen, daß an den Meßwerten Korrekturen angebracht werden können. Das gleiche gilt für die in den Bereichen (A′′, B′′, C′′) auf dem Körper (4) angelenkten Beine.

Damit die Bewegungseinrichtung für den Taster, beste hend aus den Beinen (2a bis 2f) und dem Körper (4), nicht verschmutzt und auch gegen thermische Einflüsse weitgehend abgeschirmt ist, kann über dieser Bewegungseinrichtung ein Gehäuse (7) angeordnet sein.

Für Transportzwecke kann die Grundplatte (1) aus meh reren Teilen bestehen, die dann jedoch am Meßort wieder zu sammenzusetzen sind (nicht dargestellt).

Um keine ungewollten Längenänderungen der Beine (2) durch Erschütterungen oder dergleichen zu bewirken, ist die Grundplatte (1) gemäß Fig. 2 auf Dämpfungselementen (9), beispielsweise hydraulisch arbeitenden Stoßdämpfern, an geordnet.

Die Steuerung (nicht dargestellt in Fig. 2) rechnet die Längenänderung der Beine in die vom Bediener gewünsch ten Koordinaten um und ermöglicht damit eine Bewegung des Tastkopfes entlang kartesischer Koordinatenachsen bei Aus lenkung eines Steuerhebels. Der Anschluß an den Aus werterechner erfolgt wie bei konventionellen Koordinaten meßmaschinen.

Die erreichbare Genauigkeit kann durch eine rechneri sche Korrektur der geometrischen Abweichungen gesteigert werden.

Anstelle einer Längenänderung der Beine oder eines der Beine kann aber auch die Ermittlung der Änderung der Winkellage wenigstens eines Beines treten (nicht dargestellt).

Die Koordinatenmeßmaschine kann mit ihren Beinen (2a, 2b, 2c, 2d, 2e, 2f) auf einer Grundplatte (1a) angeordnet werden. Die Grundplatte (1a) ist in senkrechter Lage neben der Grundplatte (1) angeordnet. Das Werkstück (8) ist auf der Grundplatte (1) angeordnet.

Bezugszeichenliste

1 Grundplatte
1a Platte
2 Beine
2a, 2b, 2c, längenverstellbare Beine
2a′, 2b′, 2c′ geänderte Lagen der Beine (2a, 2b, 2c)
2d, 2e, 2f längenverstellbare Beine
3a, 3b, 3c Kugelgelenke
4 Körper
5 Ausleger
6 Tastkopf
6a Tastspitze
7 Gehäuse
8 Werkstück
9 Dämpfungselemente
25 Kugelgelenke
26 zylinderförmiger Teil
27 Kolben
28 Kolbenstange
29 Kugelgelenke
30 Leitung
31 Maßstab
32 Ableseindex
33 Stange
35a, 35b, 35c Stangen
L₁, L₂, L₃ Ausgangslängen der Beine (2a, 2b 2c)
dL₁, dL₂, dL₃ Längenänderungen der Beine (2a, 2b, 2c)
A, B, C Anlenkpunkte
A′, B′, C′ Anlenkbereiche der Beine auf der Grundplatte (1)
A′′, B′′, C′′ Anlenkbereiche der Beine am Körper (4)
D Verbindungsstelle der Beine (2a, 2b, 2c)
D′ verlagerter Punkt (D)
E Verbindungspunkt

Claims

1. Koordinatenmeßmaschine mit einer Aufnahme für das auszumessende Werkstück, einem zur Aufnahme des Werkstückes bewegbaren Tastkopf und einer Versorgungs-, Steuer- und Auswerteeinrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß an einer Grundplatte (1) an wenigstens drei fest vorgesehenen Punkten (A, B, C) allseitig schwenkbar gelagerte Beine (2a, 2b, 2c) angeordnet sind, welche mit ihren freien Enden allseitig drehbar an einem den Tastkopf tragenden Körper (4) befestigt sind, daß die Beine geneigt zueinander ange ordnet sind und die Länge der wenigstens drei Beine (2a, 2b, 2c) und/oder ihre Neigungen zur Grundplatte (1) verstellbar sind.

2. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch ge kennzeichnet, daß die Grundplatte (1) wenigstens sechs in ihrer Länge verstellbare, den Körper (4) tragende Beine (2a bis 2f) aufweist.

3. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 2, dadurch ge kennzeichnet, daß drei Beinpaare (2a, 2b; 2c, 2d; 2e, 2f) auf der Grundplatte (1) angelenkt sind, derart, daß die Anlenkpunkte jedes Beinpaares (2a, 2b; 2c, 2d; 2e, 2f) in benachbarten Bereichen (A′, B′, C′) auf der Grundplatte liegen und am verschiebbaren, den Tastkopf tragenden Körper (4) in Bereichen (A′′, B′′, C′′) der Drehpunkt eines Beines eines jeden Paares benachbart zu dem Drehpunkt eines Beines eines Nachbarpaares angeordnet ist (Hexapodenform).

4. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch ge kennzeichnet, daß der von den Beinen (2a bis 2f) getragene Körper (4) aus einem Rahmengestell (35a, 35b, 35c) besteht.

5. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 4, dadurch ge kennzeichnet, daß das Rahmengestell (35a, 35b, 35c) drei eckförmig ausgebildet ist und die Drehpunktbereiche (A′′, B′′, C′′) der Beine in den Eckpunkten des Rahmengestelles gelagert sind.

6. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch ge kennzeichnet, daß der Körper (4) einen den Tastkopf (6) tragenden Ausleger (5) aufweist.

7. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 6, dadurch ge kennzeichnet, daß der Ausleger (5) an einer Ecke des Rahmengestelles (35a, 35b, 35c) vorgesehen ist.

8. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 7, dadurch ge kennzeichnet, daß der Ausleger (5) vom Rahmengestell (35a, 35b, 35c) wegweist.

9. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 7, dadurch ge kennzeichnet, daß der Ausleger (5) in den vom Rahmengestell (35a, 35b, 35c) und den Beinen (2a bis 2f) umschlossenen Raum weist.

10. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundplatte (1) mit der Werkstück aufnahme identisch ist.

11. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundplatte (1) mehrteilig ausge bildet ist.

12. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundplatte (1) auf Dämpfungsele menten (9) angeordnet ist.

13. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundplatte (1) in sich steif und gegen thermische Einflüsse unempfindlich ausgebildet ist.

14. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Koordinatenmeßmaschine Sensoren aufweist, welche die Lage der Anlenkpunkte (A′, B′, C′) der Beine auf der Grundplatte (1) erfassen und Lageänderungen dieser Anlenkpunkte der Meß- und Steuereinrichtung mittei len.

15. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Anlenkungsmittel der Beine (2a bis 2f) auf der Grundplatte (1) und am Körper (4) aus reibungsarmen, spielfreien Kugelgelenken bestehen.

16. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Kugelgelenke als Luftlager, hydrau lische Lager, Gleit- oder Wälzlager oder dergleichen ausge bildet sind.

17. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Anlenkungsmittel der Beine durch Biegeelemente gebildet sind.

18. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Anlenkungsmittel sowohl aus Luftlagern, hydraulischen Lagern, Gleit- oder Wälzlagern oder dergleichen bestehen, als auch aus Biegeelementen.

19. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundplatte (1), die Beine (2a bis 2f) und der den Tastkopf (6) tragende Körper (4) in einem Gehäuse (7) angeordnet sind, aus dem der den Meßkopf (6) tragende Ausleger (5) herausragt.

20. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Beine (2a bis 2f) baugleich sind.

21. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Länge der Beine (2a bis 2f) hydrau lisch, pneumatisch oder elektromotorisch mit Hilfe einer Spindel, eines Linearmotors oder dergleichen längenver stellbar ist.

22. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jedes längenverstellbare Bein ein Maß stabsystem (31, 32) trägt, auf dem die Länge des Beines be zogen auf die Anlenkpunkte an der Grundplatte (1) und am Körper (4) ablesbar oder abtastbar ist.

23. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Beine (2a bis 2f) die Ausfahrlänge erfassende Sensoren tragen.

24. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an den Anlenkpunkten der Beine an der Grundplatte (1) und/oder am Körper (4) Winkelmeßsysteme vorgesehen sind, die die Neigungswinkel der Beine (2a bis 2f) relativ zu der Grundplatte (1) oder dem Körper (4) erfassen.

25. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Beine Belastungs- und/oder Temperatursensoren tragen.

26. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für die Erfassung der Lage des den Tastkopf (6) tragenden Körpers (4) oder des Tastkopfes selbst ein von den Beinen unabhängiges Meßsystem vorgesehen ist.

27. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Bein in seinem Ausgangszustand eine andere Länge als die übrigen Beine aufweist.

28. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eines der Beine eine unveränderbare vorgegebene Länge und/oder Lage aufweist.

29. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Anlenkpunkte der Kugelgelenke auf der Grundplatte (1) versetzbar ausgebildet sind.

30. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die die Beine tragende Grundplatte (1) in waagerechter, senkrechter oder raumschräger Lage (1a) neben, hinter oder über der Werkstückaufnahme angeordnet ist.

31. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundplatte (1) mit der Werkstück aufnahme über Verbindungselemente starr verbunden ist.

32. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungselemente Teile der Koor dinatenmeßmaschine oder Teile zu anderen Maschinen oder Verbindungselemente zum Aufstellraum, wie dessen Decke, Wände oder dergleichen sind.

33. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundplatte (1) aus mehreren, zueinander in einem Winkel stehenden, starr miteinander verbundenen Teilen besteht, und daß jedes der Teile wenigsten eines der Beine trägt.

34. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Beine paarweise so angeordnet sind, daß ihre Richtungen in einem ausgezeichneten Teil des Meßvolumens nahezu ein Orthogonalsystem bilden.

35. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Steigerung der Meßgenauigkeit eine in der Steuereinrichtung ausgeführte rechnerische Korrektur der Längenmessung der Beine (2) und gegebenenfalls weiterer geometrischer Abweichungen der Meßwerte überlagerbar ist, und daß die Ermittlung der Größe der einzelnen Korrekturen der Abweichungen an den einzelnen Elementen, wie Beinen (2) und/oder Ausleger (5) im Meßbetrieb an einem speziellen Werkstück erfolgt.