DE19506763A1 - Verfahren zum Löten bestückter Leiterplatten und dergleichen - Google Patents

Verfahren zum Löten bestückter Leiterplatten und dergleichen

Info

Publication number
DE19506763A1
DE19506763A1 DE19506763A DE19506763A DE19506763A1 DE 19506763 A1 DE19506763 A1 DE 19506763A1 DE 19506763 A DE19506763 A DE 19506763A DE 19506763 A DE19506763 A DE 19506763A DE 19506763 A1 DE19506763 A1 DE 19506763A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
soldering
plasma
circuit boards
process gas
vol
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19506763A
Other languages
English (en)
Inventor
Ernst Dr Ing Wandke
Hans Isler
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
EPM Handels AG
Linde GmbH
Original Assignee
EPM Handels AG
Linde GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by EPM Handels AG, Linde GmbH filed Critical EPM Handels AG
Priority to DE19506763A priority Critical patent/DE19506763A1/de
Publication of DE19506763A1 publication Critical patent/DE19506763A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3489Composition of fluxes; Methods of application thereof; Other methods of activating the contact surfaces
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K3/00Tools, devices, or special appurtenances for soldering, e.g. brazing, or unsoldering, not specially adapted for particular methods
    • B23K3/06Solder feeding devices; Solder melting pans
    • B23K3/0646Solder baths
    • B23K3/0653Solder baths with wave generating means, e.g. nozzles, jets, fountains
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K35/00Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting
    • B23K35/22Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting characterised by the composition or nature of the material
    • B23K35/36Selection of non-metallic compositions, e.g. coatings, fluxes; Selection of soldering or welding materials, conjoint with selection of non-metallic compositions, both selections being of interest
    • B23K35/3612Selection of non-metallic compositions, e.g. coatings, fluxes; Selection of soldering or welding materials, conjoint with selection of non-metallic compositions, both selections being of interest with organic compounds as principal constituents
    • B23K35/3618Carboxylic acids or salts
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K35/00Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting
    • B23K35/22Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting characterised by the composition or nature of the material
    • B23K35/38Selection of media, e.g. special atmospheres for surrounding the working area
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23GCLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
    • C23G5/00Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2101/00Articles made by soldering, welding or cutting
    • B23K2101/36Electric or electronic devices
    • B23K2101/42Printed circuits

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Löten bestückter Leiterplatten und dergleichen, bei dem die Leiterplatten oder sonstigen Bauteile in eine gegen die Umgebung gasdicht abgeschlossene Kammer eingebracht und aus dieser später wieder hinausbefördert werden, wobei in der Kammer eine Erwärmung, die Verlötung und eine Abkühlung der Leiterplatten zumindest bis zur Lotverfestigung erfolgen, und bei dem der Lötvorgang bei Niederdruck und unter einem zu einem Plasma angeregten Prozeßgas ausgeführt wird.
Der Einsatz von elektronischen Baueinheiten, die in Form von Leiterplatten mit ein­ steckbaren, aufsetzbaren oder oberflächenmontierbaren elektronischen Bauelementen (= Surface Mounted Devices = SMDs), die abschließend zu verlöten sind, gestaltet werden, erfährt einen ständigen Zuwachs. Zur Herstellung dieser Baueinheiten sind geeignet vorbereitete Leiterplatten mit den entsprechenden Bauelementen zu be­ stücken, diese sind in Vorbereitung auf den Lötvorgang gegebenenfalls mit einem Klebstoff oder einer Lotpaste zu fixieren und schließlich sind die Leiterplatten und die Bauteile durch einen Lötvorgang fest und leitfähig miteinander zu verbinden.
Dieser Lötvorgang wird heute zum einen in gängiger Weise mit Wellenlötanlagen aus­ geführt, bei denen Lot durch eine oder mehrere, die Leiterplatten von unten berühren­ den Lotwellen auf entsprechende Bereiche aufgebracht wird und so die entsprechen­ den Teile verlötet werden. Zum anderen ist bei mit Lotpaste, Lot-preforms oder auch Lotdepots aufgebrachten Bauteilen lediglich ein Aufschmelzen des Lotanteils der Paste oder der Lot-preforms zu bewirken (Reflowlöten).
In beiden Fällen sind allerdings für eine gute Qualität der Lötverbindung Flußmittel anzuwenden. Entweder werden diese - im Falle der Wellenlötung - vor dem eigent­ lichen Lötvorgang aufgebracht, oder es enthält die angewendete Lotpaste oder Lot­ preform sowohl Lot als auch Flußmittel. Die Flußmittel dienen dem Lötprozeß vor allem insofern, als sie die die Lötung beeinträchtigende Metalloxidschicht auf dem Werkstück zerstören sowie eine Oxidation der beteiligten Metalle beim Lötvorgang verhindern. Zudem wird die Oberflächenspannung des verflüssigten Lots vermindert. Flußmittel sind also multifunktional und dementsprechend aus einer Vielzahl von Substanzen zusammengesetzt. Nach dem Lötvorgang verbleiben jedoch Rückstände der Flußmittel auf den Leiterplatten, die zu nachteiligen Konsequenzen führen. Dazu gehören die Verringerung des Isolationswiderstandes zwischen auf der Leiterplatte befindlichen Leiterbahnen oder die vorschnelle Korrosion der Leiterbahnen. Deshalb sind die Flußmittelrückstände zu entfernen. Dies wird bekanntermaßen durch eine Reinigungs­ behandlung der Platten mit FCKWs oder CKWs nach dem Lötvorgang erreicht. Die Anwendung der eben genannten und in bekannter Weise umweltschädigenden Stoffe - FCKW-Ozon-Problematik - soll jedoch heute minimiert oder gänzlich vermieden werden.
In einer neueren Vorgehensweise wird die Notwendigkeit von Flußmitteln dadurch zumindest herabgesetzt, daß der Verlötung der Platinen eine Vorbehandlung derselben mit einem Niederdruck-Plasma vorgeschaltet wird, wobei das Plasma aus einem Prozeßgas unter Mikrowellenanwendung und/oder Glimmentladung erzeugt wird (siehe DE-PS 39 36 955).
Ebenso ist es aus jüngerer Zeit bekannt, den Lötvorgang selbst (sowohl Reflow- als auch Wellenlöten) unter einer zu einem Plasma angeregten Niederdruckatmosphäre auszuführen (siehe z. B. DE-OS 42 25 378). Das Plasma führt dabei zur Reinigung und Aktivierung der betreffenden, zu verlötenden Oberflächen, so daß mit flußmittelfreien Loten gearbeitet werden kann. Für die oben angesprochenen Plasmabehandlungen werden üblicherweise Prozeßgase zugrunde gelegt, die O₂, N₂, H₂, CF₄ und derglei­ chen sowie gegebenenfalls auch Edelgase enthalten. Bei stark verunreinigten Leiterplatten oder Flachbaugruppen und üblichen Plasmen treten jedoch insbesondere bei flußmittelfreien Lötvorgängen Mängel im Lötergebnis auf, die auf eine unzureichende Vorbereitung der Lötpartner durch das Plasma schließen lassen.
Der hier vorgestellten Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Lötverfahren der eingangs geschilderten Art zu gestalten, das den geschilderten Mangel abstellt.
Diese Aufgabe wird gemäß vorliegender Erfindung dadurch gelöst, daß dem Prozeßgas vor der Plasmaanregung oder/und dem aus dem Prozeßgas erzeugten Plasma in einem Umfang von bis zu 10 Vol.-% säurenhafte Aktivatoren wie Ameisensäure oder Zitronensäure zugemischt werden und mit dieser Mischung die Plasmaeinwirkung durchgeführt wird.
Durch die Hinzufügung der Aktivatoren zu den üblichen, beim Löten eingesetzten Plasmabehandlungsgasen wird eine verstärkte Reinigungs- und Aktivierungswirkung an den Oberflächen der zu verlötenden Teile erzielt. So können unter Anwendung der aktivierenden Beigaben auch stark mit öligen oder oxidischen Schichten bedeckte Lötpartner erfolgreich verlötet werden. D.h. die relevanten Oberflächen der Lötpartner werden beim vorschlagsgemäßen Vorgehen so weit von Beschichtungen befreit, daß Lot die entsprechenden Stellen gut benetzen und fehlerfrei verbinden kann. Dies wird zudem in einer, für einen kontinuierlichen Produktionsprozeß, geeignet kurzen Zeit erreicht.
Die bevorzugten Aktivatoren wie Ameisensäure und Zitronensäure besitzen in der genannten Zumischung die erforderliche Aggressivität. Besonders geeignet sind hierbei insbesondere Konzentrationen von 0,5 bis 5 Vol.-% Säureanteil im Prozeßgas, die besonders vorteilhaft in einem Prozeßgasgemisch aus
0,5 bis 20 Vol.-% Sauerstoff,
80 bis 0,5 Vol.-% Wasserstoff und
20 bis 80 Vol.-% eines FKW-gases (CF₄, C₂F₆, . . . ) oder SF₆ zum Einsatz kommen.
Im folgenden wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung in Verbindung mit der anliegenden Figur näher erläutert.
Die Figur zeigt eine erfindungsgemäße Durchlauf-Wellenlötanlage, die unter Nieder­ druck und mit Plasmabildung arbeitet (Plasma-Reflowlöten ist selbstverständlich mit einer analog aufgebauten Anlage ausführbar). Diese Anlage weist zunächst eine Eintrittsschleuse 3, eine Haupt- oder Anlagenkammer 4 mit Zulauftunnel 26, Lötstation 34 und Auslauftunnel 51 sowie eine, nur in Teilen sichtbare, Austritts­ schleuse 7 auf. Eine Transporteinrichtung 44, beispielsweise ein Umlaufkettentransport mit Haltefingern, ist in der Anlagenkammer 4 angeordnet, wobei diese in Längsrichtung mit einer Steigung von ca. 3 bis 10° durchquert wird.
Bezüglich der Längsausdehnung der Anlagenkammer 4 etwa in deren Mittelteil ist von unten ein Lotbad 48 luftdicht angeschlossen, wobei darin eine Einrichtung 42 zur Aus­ bildung einer Lotwelle 41 vorhanden ist. Vor dem Lotbad 48 im zugehörigen Zulauf­ tunnels 26 ist in der gezeigten Anlage unterhalb des Leiterplattentransports 44 eine Heizeinrichtung 28, beispielsweise ein elektrischer Widerstandsheizleiter, zur An­ wärmung der zu verlötenden Baugruppen vorgesehen. Oberhalb der Transport­ einrichtung für die Leiterplatten ist im gleichen Anlagenbereich eine Sendeantenne 21 zur Abstrahlung elektromagnetischer Wellen für die Plasmaanregung des Prozeßgases angeordnet (z. B. ein Hochfrequenz-Sender mit ca. 40 kHz und mit zumindest etwa 500 Watt und vorzugsweise bis zu 3000 Watt Leistung). Ebenfalls im Zulaufteil 26 der Anlagenkammer 4 ist im gezeigten Beispiel eine Zuleitung 27 plaziert, die andererseits an eine Prozeßgas liefernde Gasflasche 29 sowie an eine-Säuredampf liefernde Verdampfereinheit 18 angeschlossen ist. Sowohl in der abführenden Leitung der Verdampfereinheit 18 als auch in der der Gasflasche 29 ist ein Durchflußmesser 20 installiert. In Wirkverbindung mit der Gaszufuhr 27 steht eine im Auslaufteil 51 der Anlagekammer 4 angeordnete Absaugleitung 52. Aufgrund dieser Anordnung von Gaszu- und abfuhr wird in der Hauptkammer 4 der gezeigten Anlage eine Gasströmung vom Kammereintritt zum Kammeraustritt ausgebildet.
Im übrigen ist die vor der Anlagenkammer 4 gasdicht vorgeschaltete Schleuse 3 mit ihrer Schleusenkammer 15, ihren Schleusentüren 11 und 12, ihrem Beförderungsmittel 13 und ihrer Evakuierungsleitung 14 im einzelnen aufzuführen, ebenso wie die aus­ gangsseitig angeschlossene Austrittsschleuse 7, die exakt entsprechende Elemente aufweist und die deshalb nur unvollständig gezeigt ist.
Der Funktionsablauf ist nun wie folgt:
Zur Ausführung von Lötungen ist zunächst einerseits eine verfahrensgemäß geeignete Transportgeschwindigkeit für die mit 10 gekennzeichneten Leiterplatten in der Kammer 4 einzustellen (etwa 1,5 bis 2,2 m/min), während andererseits die für die Plasmabildung notwendigen Bedingungen herzustellen sind. Diese sind im einzelnen beispielsweise der DE-OS 42 25 378 entnehmbar (z. B. Niederdruck von 0,5 bis 10 mbar, 1000 Watt Sendeleistung).
Die Leiterplatten 10 werden dann gruppenweise in die Schleuse 3 eingefahren, die Außentür 11 geschlossen und die Evakuierung der Schleusenkammer 15 über die Abzugsleitung 14 eingeleitet. Dabei wird zunächst in der Schleusenkammer 15 ein Druckniveau von etwa 0,1 bis 1 mbar (= 10 bis 100 Pa) angesteuert, wobei schließlich ein Druckausgleich mit der Lötanlagenkammer 4 und der dortigen Atmosphäre hergestellt wird, welche sich vorzugsweise auf einem Druckniveau von 1 bis 5 mbar befindet.
Nach erfolgtem Druckausgleich - beispielsweise durch Öffnen einer Verbindung zwi­ schen Schleusenkammer 15 und Hauptkammer 4 - öffnet sich die innere Schleusentür 12 der Eintrittsschleuse 3, worauf die in der Schleuse befindlichen Leiterplatten nach­ einander an den Umlaufkettentransport 44 in der Hauptkammer 4 übergeben werden. Diese Transporteinrichtung befördert die Leiterplatten im weiteren durch den Zulauf­ bereich 26 in der Hauptkammer 4 der Lötanlage, wobei die bodenseitige Heizeinrich­ tung 28 ein Vorwärmen der Leiterplatten auf ein für den eigentlichen Wellenlötvorgang vorteilhaftes Niveau von ca. 90 bis 130°C bewirkt. Die oberhalb der Transport­ einrichtung 44 angeordnete Hochfrequenz-Sendeantenne 21 arbeitet nunmehr mit 40 kHz und 1000 Watt Leistung. Mit dieser Sendeleistung wird aus dem über die Zuleitung 27 zugeführten Prozeßgas-Aktivatorgas-Gemisch, das vorteilhaft ein Gemisch aus
0,5 bis 20 Vol.-% Sauerstoff,
80 bis 10 Vol.-% Wasserstoff und
20 bis 80 Vol.-% eines FKW-gases (CF₄, C₂F₆, . . . ) oder SF₆
sowie 0,5 bis 5 Vol.-% Ameisensäuredampf ist,
ein Plasma gebildet. Das Plasma verbreitet sich aufgrund der ausgangseitigen Anordnung des Abzugs 52 in der gesamten Hauptkammer 4.
Die gasförmige Ameisensäure wird dabei von der Verdampfungseinheit 18 produziert und geeignet dosiert in Leitung 27 eingeführt, in welche die übrigen Prozeßgas­ bestandteile bereits aus der Gasflasche 29 eingespeist wurden. Bei einem Prozeß­ gasbedarf von beispielsweise 1000 Liter pro Stunde (mittelgroße Lötanlagen) sind gemäß der Erfindung etwa 5 bis 50 Liter Ameisensäuredampf pro Stunde bereitzu­ stellen und dem Ausgangsgasgemisch zuzumischen. Die erforderlichen Mengen an gasförmiger Säure sind also relativ gering und können daher einfach durch geeigne­ tes Erwärmen entsprechend gefüllter und nachzufüllender Behältnisse bereitgestellt werden, wobei eine vom Innendruck abhängige Wärmezufuhr zu diesen Behältnissen eine besonders günstige Möglichkeit zur bedarfsgerechten Erzeugung der erforder­ lichen Dampfmenge ist. Die Wirkung eines derartigen Plasmas besteht im allgemei­ nen darin, daß unter seiner Einwirkung ein ausgezeichnet fließfähiges, gut spalt­ gängiges und fein benetzendes Lot erhalten wird und daß andererseits auch die - vor dem Lotauftrag - noch freiliegenden, zu verlötenden Flächen günstig für den Lötprozeß vorbereitet werden (Fett-Abreinigung und Aktivierung durch Entfernung der Oxide). Die erfindungsgemäß zugemischte Ameisensäure liefert dabei eine beträcht­ liche Verstärkung der ja auch beim Ausgangsgemisch vorhandenen Reinigungs- und Aktivierungsfähigkeit. Insgesamt ergibt sich mit der hier beschriebenen Vorgehens­ weise jedoch ein unter verschiedensten ungünstigen Voraussetzungen noch funktionierender, qualitativ hochwertiger und flußmittelfrei ausführbarer Lötprozeß.

Claims (5)

1. Verfahren zum Löten bestückter Leiterplatten und dergleichen, bei dem die Leiterplatten oder sonstigen Baugruppen in eine gegen die Umgebung gasdicht abgeschlossene Kammer eingebracht und aus dieser später wieder hinaus­ befördert werden, wobei in der Kammer gegebenenfalls eine Vorerwärmung, die Verlötung und eine Abkühlung des flüssigen Lots zumindest bis zur Verfestigung erfolgen, und bei dem der Lötvorgang bei Niederdruck und unter Einwirkung eines zu einem Plasma angeregten Prozeßgases ausgeführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß dem Prozeßgas vor der Plasmaanregung oder/und dem aus dem Prozeßgas erzeugten Plasma in einem Umfang von bis zu 10 Vol.-% säurenhafte Aktivatoren zugemischt werden und mit dieser Mischung die Plasmaeinwirkung durchgeführt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Aktivatoren kurzkettige Carbonsäuren (biologisch abbaubar) verwendet werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Aktivatoren Ameisensäure, Essigsäure, Apfel-, Wein- oder Zitronensäure eingesetzt werden.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß 0,5 bis 5 Vol.-% Aktivator zugemischt wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein Prozeßgasgemisch aus
0,5 bis 20 Vol.-% Sauerstoff,
80 bis 0,5 Vol.-% Wasserstoff und
20 bis 80 Vol.-% eines FKW-gases (CF₄, C₂F₆, . . . ) oder SF₆ angewandt wird.
DE19506763A 1995-02-27 1995-02-27 Verfahren zum Löten bestückter Leiterplatten und dergleichen Withdrawn DE19506763A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19506763A DE19506763A1 (de) 1995-02-27 1995-02-27 Verfahren zum Löten bestückter Leiterplatten und dergleichen

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19506763A DE19506763A1 (de) 1995-02-27 1995-02-27 Verfahren zum Löten bestückter Leiterplatten und dergleichen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE19506763A1 true DE19506763A1 (de) 1996-08-29

Family

ID=7755132

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19506763A Withdrawn DE19506763A1 (de) 1995-02-27 1995-02-27 Verfahren zum Löten bestückter Leiterplatten und dergleichen

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE19506763A1 (de)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000073009A1 (en) * 1999-06-02 2000-12-07 Speedline Technologies, Inc. Closed loop solder wave height control system
DE102004019610A1 (de) * 2004-04-22 2005-11-17 eupec Europäische Gesellschaft für Leistungshalbleiter mbH Verfahren zum Erzeugen von Lötverbindungen in elektrischen Baugruppen und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens
EP1902807A1 (de) * 2006-09-20 2008-03-26 Linde Aktiengesellschaft Lötverfahren und Vorrichtung zum Dampfphasenlöten mit einer gesteuerten Dampfphasen-Material-Aufbringvorrichtung
EP1920865A1 (de) * 2006-11-09 2008-05-14 Linde Aktiengesellschaft Vorrichtung und Verfahren zum Wellenlöten
WO2008055572A1 (de) * 2006-11-09 2008-05-15 Linde Aktiengesellschaft Vorrichtung und verfahren zum wellenlöten
EP1865760A3 (de) * 2006-06-08 2009-11-25 centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG Lötverfahren
WO2013057252A2 (de) 2011-10-21 2013-04-25 Asscon Systemtechnik-Elektronik Gmbh Vorrichtung zum löten
CN116252015A (zh) * 2023-05-16 2023-06-13 四川省钢构智造有限公司 一种新型桥桁架焊接机器人

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000073009A1 (en) * 1999-06-02 2000-12-07 Speedline Technologies, Inc. Closed loop solder wave height control system
DE102004019610A1 (de) * 2004-04-22 2005-11-17 eupec Europäische Gesellschaft für Leistungshalbleiter mbH Verfahren zum Erzeugen von Lötverbindungen in elektrischen Baugruppen und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens
EP1865760A3 (de) * 2006-06-08 2009-11-25 centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG Lötverfahren
EP1902807A1 (de) * 2006-09-20 2008-03-26 Linde Aktiengesellschaft Lötverfahren und Vorrichtung zum Dampfphasenlöten mit einer gesteuerten Dampfphasen-Material-Aufbringvorrichtung
EP1920865A1 (de) * 2006-11-09 2008-05-14 Linde Aktiengesellschaft Vorrichtung und Verfahren zum Wellenlöten
WO2008055572A1 (de) * 2006-11-09 2008-05-15 Linde Aktiengesellschaft Vorrichtung und verfahren zum wellenlöten
WO2013057252A2 (de) 2011-10-21 2013-04-25 Asscon Systemtechnik-Elektronik Gmbh Vorrichtung zum löten
CN116252015A (zh) * 2023-05-16 2023-06-13 四川省钢构智造有限公司 一种新型桥桁架焊接机器人
CN116252015B (zh) * 2023-05-16 2023-07-14 四川省钢构智造有限公司 一种新型桥桁架焊接机器人

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69307266T2 (de) Trockenflussverfahren- und Vorrichtung
EP0427020B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Verarbeitung von zu verlötenden Fügepartnern
EP0631713B1 (de) Verfahren zum verlöten von leiterplatten unter niederdruck
DE60132089T2 (de) Vorrichtung zur behandlung von gasen miitels plasma
DE2010471C3 (de) Verfahren zum Aufbringen von Flußmittel und zum Verlöten von Werkstücken aus Aluminium oder Aluminiumlegierungen und in diesem Verfahren hergestellte Wärmetauscher
DE3808182C2 (de)
DE4022401A1 (de) Verfahren zur oberflaechenbehandlung eines substrats
DE2845757A1 (de) Ionennitrierhaertungsverfahren
DE19506763A1 (de) Verfahren zum Löten bestückter Leiterplatten und dergleichen
DE2647088B2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von Oberflächen
EP0557756B1 (de) Verfahren zum Verlöten von Leiterplatten
EP0445174B1 (de) Verfahren und vorrichtung zum reinigen von gegenständen
AT411693B (de) Elektrochemisches verfahren zum reinigen von oberflächen metallischer werkstücke
DE102005011887A1 (de) Verfahren zum Reinigen von Oberflächen
DE2845756A1 (de) Ionenitrierhaertungsverfahren
DE3936955C1 (en) Plasma treating conductor plates for electronic elements - with process gas e.g. oxygen, hydrogen, fluoro-(chloro)-hydrocarbon, etc. before soldering
EP1972405B1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Vorbehandlung von elektronischen Bauelementen vor dem Löten
DE3936516C2 (de) Verfahren zum Zersetzen von halogenierten organischen Verbindungen sowie Vorrichtungen zu dessen Durchführung
EP0492095B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Verarbeitung von elektronischen Flachbaugruppen, insbesondere mit Bauelementen bestückten Leiterplatten
DE3914722A1 (de) Verfahren zum auftragen von keramischen material
AT504466B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur entfettung von gegenständen oder materialien mittels oxidativer radikale
EP1865760B1 (de) Lötverfahren
DE69203851T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur entfernung von verunreinigungen.
DE19521750A1 (de) Verfahren zur Oberflächenbehandlung oxidierbarer Metalle
DE4128596A1 (de) Verfahren zur herstellung eines bandleiterlasers

Legal Events

Date Code Title Description
8139 Disposal/non-payment of the annual fee