DE1942455C3 - Verfahren zum Herstellen mehrschichtiger Leiterbahnen - Google Patents
Verfahren zum Herstellen mehrschichtiger LeiterbahnenInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen mehrschichtiger Leiterbahnen
für Halbleiterschaltungen, wobei auf einem Halbleitergrundkörper mit in diesem angeordneten
Halbleiterbauelementen mit Platin-Kontaktflecken eine Isolatorschicht derart aufgebracht wird, daß mindestens
eine Seite des Halbleitergmndkörpers mit Ausnahme der Kontaktflecken von der Isolatorschicht abgedeckt
ist, und wobei auf die Isolatorschicht und die Platin-Kontaktflecken zuerst eine Titanschicht, dann
eine Platinschicht und schließlich eine Goldschicht aufgebracht wird.
Aus »Bell Laboratories Record«, Oktober-November 1966, S. 299 bis 303, und aus »The Western Electric
,o Engineer«, Dezember 1967, S. 3 bis 15, ist es bekannt
(vgl. auch OE-PS 2 59 014 und OE-PS 2 64 590), Leiterbahnen oder Beam-Leads in einer Schichtfolge
von Titan-Platin-Gold auf einen Silizium-Halbleitergrundkörper aufzubringen. Dabei wird so vorgegangen,
!5 daß nach der Beendigung der Diffusionsprozesse im
Halbleitergrundkörper aus Silizium auf diesen eine Nitrid passivierte Schicht von etwa 1000 bis 1500 Ä
Stärke oder eine Siliziumdioxidschicht (OE-PS 2 59 014 und OE-PS 2 64 590) aufgebracht wird. Anschließend
werden Kontaktlöcher bis zum Silizium geätzt, und dann wird die Scheibe ganzflächig mit einer PJatinschicht
bestäubt. Durch eine kurzzeitige Temperaturbehandlung bildet sich in den Kontaktlöchern Platinsilicid.
Die Platinschicht wird abgeätzt Dabei wird das Platinsilicid in den Kontaktlöchern nicht angegriffen.
Dann wird auf dem Halbleitergrundkörper ganzflächig Titan und Platin durch Sputtern aufgebracht. Mit einer
Fotomaskierung werden anschließend die Platin-Leiterbahnen freigeätzt, während Titan für die Kontaktierung
der goldgalvanischen Verstärkung zurückbleibt. Nachdem noch schließlich das Titan abgeätzt worden ist,
kann der Halbleitergrundkörper für die Trennätzung der einzelnen Systeme präpariert werden.
Sperrschicht, um das Gold von Titan und vom Silizium fernzuhalten. Die Maskierung wird mit Fotolack
durchgeführt. Schwierigkeiten bereitet dabei die Goldgalvanik, die für feine Strukturen, die etwa in einer
Größenordnung von 5 μπι liegen, nur schwer durchzu-
führen ist. Weiterhin ist das chemische Ätzen von Platin schwer reproduzierbar.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren anzugeben, das die oben
aufgezeigten Schwierigkeiten umgeht. Vor allem soll es aber ermöglicht werden, auch sehr feine Strukturen der
Gold-Leiterbahnen herzustellen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß auf die Goldschicht eine chemisch leicht zu ätzende,
metallische Maskierungsschicht aufgetragen wird, daß die metallische Maskierungsschicht mit Ausnahme der
gewünschten Leiterbahnstruktur chemisch weggeätzt wird, daß die Goldschicht und die Platinschicht
anschließend außerhalb der Leiterbahnstruktur durch Kathodenzerstäubung weggeätzt werden, und daß dann
5,5 die restliche auf der Leiterbahnstruktur verbliebene
Maskierungsschicht sowie die außerhalb der Leiterbahnstruktur befindliche Titanschicht chemisch weggeätzt
werden.
Die chemisch leicht zu ätzende, metallische Maskierungsschicht ermöglicht die Herstellung sehr feiner Goldleiterbahnen. Vorteilhaft ist dabei die Verwendung reaktiver Materialien mit möglichst kleiner Zerstäubungsrate zur Maskierung beim Ionenätzen.
Die chemisch leicht zu ätzende, metallische Maskierungsschicht ermöglicht die Herstellung sehr feiner Goldleiterbahnen. Vorteilhaft ist dabei die Verwendung reaktiver Materialien mit möglichst kleiner Zerstäubungsrate zur Maskierung beim Ionenätzen.
6s wird zur Maskierung Aluminium oder Titan oder
Molybdän verwendet. Weiterhin kann auch Chrom, Tantal, Hafnium, Zirkonium, Vanadium oder Wolfram
aufgebracht werden. Die Zerstäubungsraten dieser
Maskierungsmaterialien sind etwa zwei- bis dreimal kleiner als die von Gold oder Platin. Dieser Unterschied
kann in einer weiteren Ausbildung der Erfindung durch Zugaben von Stickstoff oder Sauerstoff zum Zerstäubungsgas
Argon vor allem bei Gleichstromzerstäubung noch erhöht werden.
Weiterhin ist es vorteilhaft, auf die Goldschicht zunächst eine zweite Platinschicht, und dann erst die
Maskierungsschicht aufzubringen. Die Platinschicht vermeidet eine direkte Berührung des Materials der
Maskierungsschicht mit der Goldschicht. Dies hat sich für das nachfolgende chemische Ätzen der Maskierungsschicht
als zweckmäßig erwiesen.
Die Erfindung wird anhand eines Ausführungsbeispiels nach der Figur, in der ein Halbleitergrundkörper
mit der erfindungsgemäßen Schichtfolge im Querschnitt dargestellt ist, erläutert
Auf einem Halbleitergrundkörper 1, der vorzugsweise aus Silizium besteht und der eine Nitrid passivierte
Randschicht 2 aufweist, in dem Einzelbauelemente oder Schaltkreise angeordnet sind — beispielsweise Dioden
11 — und in dem sich in der Figur nicht dargestellte Ritzbahnen befinden, werden Platin-Silicid-Kontakte 3
auf folgende Weise hergestellt: Nach Ätzung der Kontaktfenster 4 wird Platin aufgestäubt. Dann wird das
Platin außerhalb der Kontaktflecken S abgeätzt.
Mit einer Mehrtarget-Hochfrequenz-Kathodenzerstäubungsapparatur wird dann in einer Folge ohne das
Vakuum zu unterbrechen eine etwa 1000 A dicke
Titanhaftschicht 6, eine etwa 1500 A dicke Platin-Sperrschicht 7, um Gold vom Titan und Silizium fernzuhalten,
eine 5000 bis 10 000 A dicke Goldschicht 8 als Leitmaterial, um die später durch Ionenätzung zu
bildenden Leiterbahnen hinreichend niederohmig zu machen, eine zweite etwa 500 A dicke Platinschicht 10,
um das Gold vom Maskierungsmaterial fernzuhalten und schließlich eine etwa 3000 Ä starke Maskierungsschicht 9 aus Aluminium, Titan oder Molybdän für das
nachfolgende Ionenätzen der Leiterbahnen aufgestäubt. Die hier angegebenen Schichtdicken haben sich als
vorteilhaft erwiesen. Das Aufbringen der zweiten Metallschicht 10 ist nicht unbedingt erforderlich. Es hat
sich jedoch gezeigt, daß es dann vor allem zweckmäßig ist, wenn für die Maskierungsschicht Aluminium oder
Titan verwendet wird.
. Nach dem Aufbringen dieses vier- bzw. fünfschichtigen Metallfilms wird auf bekannte Art und Weise
mittels Fototechnik die Leiterbahnstruktur für das gesamte Bauelement in die Maskierungsschicht 9
chemisch geätzt Da die Maskierungsschicht 9 sehr dünn ist sind Strukturen unter 4 um leicht herzustellen.
, ο Unter Ausnutzung der Maskierungsschicht wird dann
der Halbleiterkörper in einer Kathodenzerstäubungsapparatur ionengeätzt Hierbei werden die Goldschicht 8
und die Platinschicht 7 und die zweite Platinschicht 10 außerhalb der Maskierungsstruktur abgetragen. Zweckmäßigerweise
fügt man dem Zerstäubungsgas Argon etwa 5 % Stickstoff oder Sauerstoff zu. Dadurch kann
der Unterschied in den Zerstäubungsraten zwischen Gold und Platin einerseits und dem Maskierungsmaterialien
Aluminium oder Titan oder Molybdän andererseits von einem Faktor zwei oder drei bis zu einem
Faktor 10 erhöht werden. Das verwendete Vakuum beträgt vorzugsweise etwa 10-3Torr.
Als Maskierungsmaterial, das vorzugsweise mit einer Kathodenzerstäubungsapparatur im Vakuum aufgebracht
wird, ist auch die Verwendung von Chrom, Tantal, Hafnium, Zirkonium, Vanadium oder Wolfram
zweckmäßig.
Es werden also reaktive, chemisch leicht zu ätzende Materialien zur Maskierung verwendet Die Zugabe von
Stickstoff oder Sauerstoff zum Zerstäubungsgas Argon verkleinert die Sputterrate des Maskierungsmaterials.
Die verbliebene Maskierungsschicht aus Aluminium oder Titan oder Molybdän oder einem der anderen
angegebenen Materialien und die Haftschicht aus Titan werden, letztere außerhalb der Leiterbahnstruktur,
anschließend in bekannter Weise chemisch abgeätzt
Das beschriebene Verfahren läßt sich besonders vorteilhaft bei einem Halbleitergrundkörper aus Silizium
anwenden. Der Halbleitergrundkörper kann jedoch auch aus einem anderen geeigneten Material, wie
beispielsweise Germanium, bestehen.
Claims (9)
1. Verfahren zum Herstellen mehrschichtiger Leiterbahnen für Halbleiterschaltungen, wobei auf
einem Halbleitergrundkörper mit in diesem angeordneten Halbleiterbauelementen mit Platin-Kontaktflecken
eine Isolatorschicht derart aufgebracht wird, daß mindestens eine Seite des
Halbleitergrundkörpers mit Ausnahme der Kontaktflecken von der Isolatorschicht abgedeckt ist, und
wobei auf die Isolatorschicht und die Platin-Kontaktflecken zuerst eine Titanschicht, dann eine
Platinschicht und schließlich eine Goldschicht aufgebracht wird, dadurch gekennzeichnet,
daß auf die Goldschicht eine chemisch leicht zu ätzende, metallische Maskierungsschicht aufgetragen
wird, daß die metallische Maskierungsschicht mit Ausnahme der gewünschten Leiterbahnstruktur
chemisch weggeätzt wird, daß die Goldschicht und die Platinschicht anschließend außerhalb der Leiterbahnstruktur
durch Kathodenzerstäubung weggeätzt werden und daß dann die restliche, auf der
Leiterbahnstruktur verbliebene Maskierungsschicht sowie die außerhalb der Leiterbahnstruktur befindliche
Titanschicht chemisch weggeätzt werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Maskierungsschicht eine Titanschicht
verwendet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Maskierungsschicht eine Aluminiumschicht
verwendet wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Maskierungsschicht eine Molybdänschicht,
eine Chromschicht, eine Hafniumschicht, eine Zirkoniumschicht, eine Vanadiumschicht, eine
Wolframschicht oder eine Tantalschicht verwendet wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß vor der chemisch
leicht zu ätzenden, metallischen Maskierungsschicht auf die Gold.schicht eine zweite Platinschicht
aufgebracht wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Maskierungsschicht durch Kathodenzerstäubung im Vakuum
aufgebracht wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Kathodenzerstäubung in einer
Atmosphäre aus einem Gas, welches zu 95 % aus Argon und zu 5 % aus Stickstoff besteht, bei einem
Druck von etwa 10~3 Torr durchgeführt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß die Kathodenzerstäubung in einer Atmosphäre aus einem Gas, welches zu 95 % aus
Argon und zu 5 % aus Sauerstoff besteht, bei einem Druck von etwa 10~3 Torr durchgeführt wird.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß als Halbleitergrundkörper
Silizium verwendet wird.
Priority Applications (9)
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Publications (3)
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DE1942455B2 DE1942455B2 (de) | 1977-05-26 |
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