DE1938993A1 - Messeinrichtung zum Vermessen von Laengen und Winkeln - Google Patents
Messeinrichtung zum Vermessen von Laengen und WinkelnInfo
- Publication number
- DE1938993A1 DE1938993A1 DE19691938993 DE1938993A DE1938993A1 DE 1938993 A1 DE1938993 A1 DE 1938993A1 DE 19691938993 DE19691938993 DE 19691938993 DE 1938993 A DE1938993 A DE 1938993A DE 1938993 A1 DE1938993 A1 DE 1938993A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- track
- dark
- fields
- scanning
- field
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims 2
- SXAMGRAIZSSWIH-UHFFFAOYSA-N 2-[3-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]-1,2,4-oxadiazol-5-yl]-1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C1=NOC(=N1)CC(=O)N1CC2=C(CC1)NN=N2 SXAMGRAIZSSWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 claims 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 3
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 241000669003 Aspidiotus destructor Species 0.000 description 1
- 101100400378 Mus musculus Marveld2 gene Proteins 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004581 coalescence Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000003760 hair shine Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 238000012549 training Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
Ing. (grad.) Heinz Junghardt ' 1938 9S3
Meßeinrichtung zum Vermessen von Längen und Winkeln.
Die Erfindung betrifft eine Meßeinrichtung zum Vermessen von
Längen und Winkeln, bei welcher Maßstabspuren mit einer
Abtasteinrichtung abgetastet werden.
Ließ einrichtung en dieser Art sind bekannt, bei, denen eine .Maßstabspur
m Dunkel-Hellfelder eingeteilt ist. nierbei xst es
ierner bekannt das Strich-ZLückeverhältnis in einem Teilungsintervall von einem Dunkel-iiellield zum nächsten Dunkel-Hellfeld
in einer bestamra-üen Größe veränderlich zu gestalten. Bei einer
anderen Dekannten Meßeinrichtung sind die Maßstabspuren als
dreieckförnigsbzw. keilförmige Teilungsintervalle ausgeführt.
Diese bekannten lvießeinrichtungen haben den Wachteil, daß
Ließxenler durch TOilungsunsauberkeiten, Maßstabverschmutüung,
Verkippung und Abstandsänderung dos. Abtastsystema sehr stark
eingehen, d.h. die iViefieiiirXcntuiigen sind nur mit erheblichen
Hiin3cnräui:ungon verwendbar. Außerdem entstehen elektrische
■rrepporiaif-nalo, die wieder etwas zurückspringen, d.h.. für eine
v/eitere elektronische Auswertung mehrdeutig sind. Das Auxlichtpriuüxp
mit schrägem Lichteinfall liei'ert Dex Dreiecken mit
kleiner- Grundlinie, d*h. bei kleinen TeilunsDintervallen,
optische Verzerrungen. Bei größeren Teilungsintervallen, die dreieckförraig bzw. keilförmig ausgeführt sind,, muß jedoch für
den keilfor/aigen Anstieg eine oehr hoho Genauigkeit gefordert
Der vorlio^oncion ,Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine
I.Ioßoixirichbunrj der oben genannten Art .zum Vermessen von Längen
und V/inkoln zu schaffen, bei wolchpr 'eyontuoll vorhnndono
TGilungsuiisauberkeiten, Maßütabvorachniut&ungon., Vorkippungea
109813/0709 BAD Or,g,NAu
und Abstandsänderungen nur einen sehr geringen Einfluß auf die
Meßgenauigkeit ausüben. Gemäß der Erfindung wird das dadurch
erreicht, daß alle Felder eines Teilungsintervalles die gleiche
Breite haben und daß sie mit verschiedener- Lichtdurchlässigkeit
bzw. ReflexLonsfähigkeit ausgeführt sind, wobei die Abtastplatte
zur lichteloktrischen Abtastung so ausgeführt ist, daß sie pro
Spur ein oder zwei (oder mehrere) transparente Abtastfenster
enthält, die um einen bestimmten Teil des Teilungsintervalles, mei3t 90° (1 Teilungsintervall = 360°) zueinander versetzt sind,
wobei die Breite eines Abtastfensters gleich oder kleiner als die Breite eines Feldes ist.
Eine vorteilhafte Ausgestaltung des Erfindungsgedankens besteht darin, daß die Felder eines Teilungsintervalles auf der Maßstab—
spur in an sich bekannter Weise in Dunkel-Hellfelder eingeteilt sind, daß die Dunkel-Hellfelder eines Teilungsintervalles als
Strichgruppenfelder ausgebildet sind, die in der ganzen Spur eine gleichbleibende Feldbreite haben, daß die Dunkel-HeIIfeider
in einer Feldbreite ein gleichbleibendes Strich-ZLückeverhältnis haben, daß die Anzahl der Dunkel-Hellfelder in allen Feldbreiten
der ganzen Spur konstant ist.und daß die Summe der Breite eines
Dunkelfeldes und des dazugehörigen Hellfeldes in der ganzen Spur konstant ist, wobei die Breite der Abtastfenster mindestens
das zweifache ganzzahlige Vielfache der Summe eines Dunkelfeldes
und des dazugehörigen Hellfeldes aber kleiner oder gleich einer Strichgruppenfeldbreite ist.
Durch diese Breiten-Anpassung entstehen bei der Abtastung eindeutige
nicht zurückspringende Treppen-Spannungs-Signale.
Eine andere Methode, um die verschiedenen Lichtdurchlässigkoiten
bzw. die Eeflexionsfähigkeiten der Felder eines Teilungsintervalles
herzustellen, besteht erfindungsgemäß darin, daß die Folder eine Anzahl von Hell- bzw. Dunkelflächen mit unterschiedlicher
goometrischor Form enthalten. .,/'■-
Wenn mit Hilfe der neuen Meßeinrichtung Winkel vermessen werden
sollen, wird gemäß einem weiteren Merkmal der Erfindung d^e
'■ 109813/0709 . . BAD of,,GINÄL
Maßstabspur teilkreisförmig ausgebildet. ., .
j.n besonderen rällen kann es von Vorteil sein, die Abtastung
nicht optxsch-elektronisch, sondern kapazitiv oder induktiv
oder aui andere Art durchzuführen. ·' . //.
iüin Merkmal der Erfindung besteht auch noch darin', daß bezüglich·
der ir'hasenlage der zu unterteilenden Signale der Vorteil der
elektronischen, analogen Vervielfachung für die vermessung von
Längen und Winkeln größerer Teilungsxntervalle ausgenutzt werden
kann. Bekanntlich Desteht der vorteil der elektronischen,
analogen Vervielfachung unter anderem· darin, daß die geschaltenen
öignalilanken die mi.t dem i'ehler der Teilung lauien, zwar ungenau
sitzen können, aber ein Zusammenlauxen der oignalrlanken dabei
nicht möglich ist. Da sämtliche von den Abtaststellen kommenden Signale zur bildung von summe η-Signalen benutzt werden, ist
bei verwendung der erfindungsgemäßen Meßeinrichtung auch eine
eventuelle Fehlerkorrektur durch Änaerung des spannungs-Teilerverhältnisses
der elektronischen, analogen Vervielfacher-Schaltuog
leicht durchführbar.
ifeJine interessante Anwendung der .arrindung ergibt sich im Werkzeugmaschinenbau.
Hier wird bei Verwendung der elektronischen, analogen Vervielfachung das sichere Abtasten von wiaßstabspuren
und Teilkreisspuren mit größeren xeilungsintervallen. erst
möglich, woüöi optiSch-elektronische Längen- und Winkelmeßeinrichtuugen,
die auch zur automatischen jrositionieruug und
Steuerung verv/endet werden köuaeu., oenutzt v/erden,
in Bezug auf die Teilungsherstellung iür einen Maßstab oder-Teilkreis
mit mehr er eu Spuren hat die .Erfindung den Vorteil, daßdas
entsprechende .b'eld nur in einer maximal vorkommenden Lange
als Original hergestellt werden muß und dann für sämtliche -._„_^
Spuren (z.B. Spur 9, 12 oder 15 in Fig. 4) als Kopieroriginal,
falls das Kopierverfahren verwendet wird, angewandt werden
kann. Es muß nur mit einer entsprechenden Maske in der Länge so abgedeckt worden, daß die Feldbreite der Spur entsteht, da
in allen Spuren die gleichen Felder vorkommen» Dies bedeutet eine erhebliche Einsparung an Teilungsoriginalen^
109813/0709
19389S3
Die Erfindung löst gleichzeitig die Aufgabe, ein codiertes
Längen- und Winkelmeßsystem mit elektronischer, analoger Vervielfachung zu schaffen, welches auch für Längen und für
Winkel mit größeren Teilungsintervallen verwendet werden kann, wobei Maßstabspuren oder Teilireisspuren eingespart werden
können. Es wird dabei die Abtastmeßeinrichtung sehr viel kleiner als bei Verwendung eines üblich codierten Dual-Maßstabes, und
man spart Abtastelemente und Vorverstärker ein. . Werden die Felder eines Teilungsintervalles als Strichgruppenfelder
ausgebildet, so betragen die Anforderungen an die Genauigkeit der Striche und Lücken bei den 10/um - Rasterstufen,
wie in Fig. 4 ausgeführt, ca. - 2-3 /um. Die
Anforderungen können bei den Maßstab- und Teilkreisspuren mit größeren Teilungsintervallen - 4 - 3 /um betragen, wobei
man dann evt. auf z.B. 20/um Rasterstufen übergeht, d.h. statt
8 Stufen nur 4 Stuf en Änderung bekommt, wenn das Abtastfenster von einer Strichgruppen-Feldbreite in die nächste wandert.
Eine vorteilhafte Anwendung der Erfindung besteht weiterhin darinjSie für Regel-und Steuerzwecke, z.B. für die Ausbildung
eines Schiebers oder einer Dosiereinrichtung o.a. zu verwenden, wobei bestimmte Dosier- oder Steuerstufen durch die Verwendung
der Merkmale der Erfindung erreicht werden·
Die Erfindung ist in den Patentansprüchen gekennzeichnet und
in· der Beschreibung in Verbindung mit den Zeichnungen erläutert.
Im einzelnen zeigts
Fig. 1 Eine vereinfachte perspektivische Ansicht einer
Ausführungsform der Erfindung im Auf lichtverfahren,
109 8 13/0709
1938983
ü'ig. 2 eine vereinfachte perspektivische Ansicht einer '
Ausführungsförm der Erfindung im Durchlichtverf ahren,
wobei. 2 Spuren mit gleichem 'feilungsintervall nebeneinander
liegen,
Fig. 3 eine vergrößerte Darstellung mehrerer Strichgruppenieider
mit dem dazugehörigen Treppen-Signal, n
Fig. 4 ein Ausführungs-B ei spiel in codierter jjorm, welches
einen Maßstab zeigt, der in den feineren Spuren den Dual-Code enthält und in den Spuren mit'deu größeren
Teilungsintervallen die Anwendung der Strichgruppenfelder
zeigt, .
Ji'ig. 5 ein ü'eld eines Tei lung sinterval Ie s auf der Maßstabspur,
welches eine Anzahl von Dunkelflächen mit unterschiedlicher geometrischer J'orm enthält,
Pig. 6 elektrische Signalformen des Ausführungs-Jjeispieles
zur Darstellung der Wirkungsweise der Meßeinrichtung.
in Fig. 1 stellt 1 eine Lichtquelle dar, deren Licht durch
einen Kondensor 2 parallel unter einem bestimmten Einfallswinkel auf einen reflektierenden Maßstab 3 mit einer Abtastplatte
4 leuchtet. Die Abtastplatte 4 enthält Abtastfenster
4a, deren Zahl sich nach der Anzahl der abzutastenden Spuren
richtet. Die elektrischen Signale werden an den .fhotozellen
5 mit der Bezeichnung 1 1 (0°) und S 2 OQ0) abgenommen.
in i'ig. 2 stellt 1 die Lichtquelle dar, deren Licht durch
den Kondensor 2 parallel und senkrecht auf einen teiltransparenten Maßstab 3 mit einer dahinter befindlichen Abtastplatte
4 leuchtet. Di© Abtastfenster 4 a mit den dahinter
befindlichen ü'otozellen 5 sind in Fig. 2 für B 1 (O0J in
einer Spur gezeigt und tür E 2 (90°) in der danebenliegenden
Spur, wobei beide Spuren gleiche* 'feilungsintervalls besitzen.
10 981 3/07U9
In Fig. 5 sind mehrere Strichgruppenfelder 7% 81 V 9f gezeigt,
wobei das Strich-Zliückeverhältnis eines Dunkelfeldes
7 und des dazugehörigen" Hellfeldes 8 aus der anliegenden --Tabelle
1 zu entnehmen ist. Zur Erklärung der Tabelle wird
auf Fig. A" verwiesen. In dieser Figur sind die feineren Spuren, nämlich Spur O, Spur 3 und Spur 6 im Dual-Code ausgeführt.
Die übrigen Spuren, nämlich Spur 9, Spur 12 und Spur .15 sind erfindungsgemäß ausgeführte Da es für die !Praxis ratsam
ist, daß die Abtastpunkte nahe beieinander liegen, werden ab einem bestimmten Teilungsintervair z.B. für 0° und für 78,7ίλ
je eine Maßstabspur angebracht, so daß irgendwelche Veränderungen,
z.B. Veränderungen durch Schwankungen der Lichtquelle, sich auf jede ,Photozelle in gleicherweise auswirken.
Die feineren Spuren, nämlich Spur 0, 3 "und 6, können dabei im Gegentakt-, die gröberen im Eintakt-Verfahren abgetastet
werden. Beim Eintakt-Verf ahren wird z.B. durch, eine Referenz-Elementregelung,
für die eine vollreflektierende bzw. transparente Referenzspur vorgesehen ist, das Treppensignal symmetrisch
in Null Volt gezogen, d.h. die positive und negative Halbwelle haben gleiche Amplitude. Bei den zwei nebeneinander
liegenden Spuren ( Spuren 12 bzw. Spuren 15) mit gleichem Teilungsintervall ist hier nicht 90^ Phasenunterschied gewählt,
sondern 7&t7!? , Der Bezugspunkt ist jeweils der Nullpunkt
des codierten Maßstabes. Ein Phasenunterschied von 90° wird durch entsprechende Verrückung der Abtastfenster in der Abtastplatte
erreicht. Die Spuren 9» 12 und 15 bestehen aus Teilungsintervalie.n
T , welche je einer Signalperiode von 560° entsprechen. In Fig. 4 ist das Teilungsintervall T nur in Spur
voll eingezeichnet. Die Signale der in Fig. 4 nicht dargestellten
Spuren ■(■ Spuren 1,2,4,5»7»8,10,11,13,14) werden durch
die elektronische, analoge Vervielfachung erreicht.
Jedes Teilungsintervall T ist in Strichgruppenfelder 11, 2«..... ,
... 16*» 16'... 2·, 1» eingeteilt, deren Anzahl sich jiach ^
der gewünschten elektronischen, analogen Vervielfachung richtet.,
Im Beispiel der Fig„ 4 enthält jedes Teilungsintervall jeder
109813/0709
SAD ORIGINAL
| 11 | ,25V | N-Signal |
| 56 | ,25° | ti |
| 101 | ,25° | It |
Spur 32 Strichgruppenfelder, die für eine elektronische, analoge Verachtfachüng erforderlich sind, isine elektronische,
analoge Verachtfachüng ist notwendig, da die Meßauflösung der
zwei einzusparenden Maßstab- bzw· Teilkreisspuren, z.B. Spur und 11.3a elektronisch erfolgt und zwar durch Meßäuflösungs-Vervierfachung
der anschließend gröberen Spur, z.B. Spur 12. Zum eindeutigen Vor- und Eückwärtszählen sind dazu die folgenden
8 Signale notwendig, die in 4 voreilende (Y) und 4 nacheilende Signale aufgeteilt sind:
348,75°(-11,25°; V-Signal
33,75° ■"'.■■■
78*75° 146,25° " 123,75° "
Nach einem bekannten Verfahren schaltet eine passende Logik
zur Auswertung der Signale je nach Meßrichtung entweder auf die 4 a-Signale, oder auf die 4 V-Signale.
Bei dieser Meßauf lösung s-Vervierf achung, z. ±$.. der Spur 12,
werden die dazu erforderlichen digitalen Signale 0°, 45°,
90° und 135° durch 'die Logik erhalten. '
Wird ein anderer elektronischer, analoger Vervielfachungsgrad gewünscht, so erreicht man das durch eine proportionale
Änderung der An&ßhl der Strichgruppenfelder in einem Teilungsintervall T. J7ür die feinste Spur (Spur O) wurden im .Beispiel
der Figur 4 als Auflösung 20 *xm/ 20yum gewählt, wobei diese
Auflösung noch elektronisch durch Vervielfachung erhöht werden
kann. Die Strichgruppenfelder 1·, 2»...β 16», 16'....2% 1« in
eiaem Teilungsintervall ΐ enthalten je nach Spur eine verschiedene
Anzahl von Dunkel- Hellfeldern 7 bzw. 8. In jj'igur 3
sind die Strichgruppenfelder der Spur 9 dargestellt, sie enthalten
je 4 Dunkel- Hellfelder. Die in Figur 4 ferner dargestellten
Spuren 12 und 15 enthalten 32 bzw. 256 Dunkel- Hellfelder
in einem Strichgruppenfeld.
1098 13/070 9
Sie sind aus räumlichen Gründen in Fig. 4 nur teilweise eingezeichnet,
jedoch aus der Tabelle 1 ersichtlich· In Tabelle 1 sind die Angaben für die Spuren 91 12 und 15
enthalten, jrür alle 3 Spuren gelten die in der tabelle 1 in
den ersten 4 Spalten angegebenen Werte. Für jedes Strichgruppenfeld ist in der 2. Spalte der Tabelle 1 die Breite des Dunkelfeldes
7 und in der 3· Spalte die Breite des zugehörigen Hellfeldes 8. angegeben. Die 4e Spalte der Tabelle 1 enthält
die Reflexion bzw. Lichtdurchlässigkeit in %. Das Strich-/Lückeverhältnis
bzw. Dunkelfeld-/Hellfeldverhältnis kann aus den Werten der Spalten 2 und 3 der Tabelle 1 errechnet werden, jür
die Spuren 9» 12 und 15 sind in Tabelle 1 die Feldbreiten 6
und die Anzahl der Dunkel-Hellfelder angegeben, ü'ig. 5 zeigt ein jreld eines Teilungsintervalles T auf der
Maßstabspur, welches eine Anzahl von Dunkelflächen 9 mit unterschiedlicher geome. trischer Form enthält. Die Lichtdurchlässigkeit
bzw. Eeflexionsfahigkext dieses Feldes hängt vom Verhältnis der Dunkelflächen 9 zur Hellfläche des jreldes
ab. Die Wirkungsweise eines nach Fig. 5 aufgebauten jreldes
ist die gleiche wie die eines mit Strichgruppen aulgebauten ireldes gemäß Fig. 3.
Statt der Anbringung von Dunkel ι eidern 7 bzw. 9 auf einer
transparenten oder reflektierenden Grundfläche (Fig. 3 bzw. 5J
ist es auch möglich, transparente oder reflektierende Hellfelder aui' einer Dunkelfläche anzuordnen.
txls B*ispi'e.f
Fig. 6 zeig-j^die 4 digitalen N-Signale und die 4 digitalen
V-Signale, die durch das Triggern der 8 analogen Signale
». von der Spur 12 im Aiull-Volt jaereich entstehen.
Darunter sind die digitalen signale der vorhandenen Spuren •&T&* Spur 9 und Spur 12 gezeigt, sowie die durch die Logik
geschalteten Signale der eingesparten öpuren 10 und 11.
1098 13/0709
|
Strich-
-Md |
Dunkel·
feld (7) |
Hell-
Md (Θ) (urn |
"Reflexion
Lichtrkmk |
Spur 9 |
DunJcel-Het If elder
Anzahl |
Spur 12 |
Ounkct-Hellfclder
jcFeldhreikß) Anzahl . |
Spur 15 |
Dunkd-HeJJfelder
je Feld breitete) Anzahl |
|
| 460 | 0 | 0 | A&SiirVniten OMOmm | ¥ | Abtasrfensters i'Zwmrn | 32 | /tbfiffjffnifers 4M>rnm | 256 | ||
| 2' | 450 | 40 | 6,25 |
Feldbreite
(6) mm |
M |
Feldbreite
(6) mrn |
H |
Feldbreite
(6) mrn |
Il | |
| j' | 4+0 | 20 | 12,50 | 0,640 | Il | 5,12O | Il | 40,960 | H | |
| ¥' | 13O | 30 | 1&75 | Il | Il | Il | Il | /I | Il | |
| «θ α» |
5' | 120 | 40 | 25e0 | Il | Il | Il | η | Ii | Il |
| ο ο m |
6' | 410 | SO | 31,25 | Il | Il | H | η | Il | /I |
| 7' | 4OO | 60 | 37,50 | Ji | I/ | Il | ti | Il | Il | |
| β1 | 90 | 70 | 43,75 | Il | Il | /I | η | II | If | |
| 9* | 80 | 80 | 50,0 | M | Il | Il | Il | Il | " | |
| iOf | 70 | 90 | 56,25 | Il | ff | Il | n | Il | Il | |
| ff9 | 60 | 4OO | 62,50 | Il | H | Il | H | Il | η | |
| 42* | 50 | 110 | 66,75 | Il | Il | /i | Il | Il | a | |
| fr | 40 | 420 | 75,0 | Il | U | Il | H | Il | η | |
| ff | 30 | 130 | ai.isr | H | B | Il | Il | U | Il | |
| 45' | 20 | 4HJ | 87,50 | Il | It | a | H | Il | U | |
| 16' | 40 | 450 | 93,75 | Il | It | Il | II | Il | Il | |
| Il | Il | H | ||||||||
| Il | Il | /I |
Claims (9)
- Patentanspruch e(1. Meßeinrichtung zum Vermessen von. .Längen und Winkeln, bei welcher Maßstabspuren mit einer Abtasteinrichtung abgetastet werden, dadurch gekennzeichnet, daß alle Felder Cz.B. 13f, 14», 15', 16f) eines Teilungsintervalles (T) die gleiche Breite haben und daß sie mit verschiedener Lichtdurchlässigkeit bzw. .Reilexiousfähigkeit ausgeführt sind, wobei die Abtastplatte (4; zur lichtelektrischen Abtastung so ausgeführt ist, daß sie pro Spur ein oder zwei (,oder mehrere; transparente Abtastfenster (4 a; enthält, die um einen bestimmten Teil des Teilungsintervalles, meist 90 C 1 Teilungsintervall = 360° ) zueinander versetzt sind, wobei die .breite eines Abtastfensters (4 a) gleich oder kleiner als die ureite ^6; eines ueldes (z.B. 13*, 14», 15% 16») ist.
- 2. Meßeinrichtuiig nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß die ü'elder (,z.B. 71 , 8f, 9') eines Teilungsintervalles (T; auf der Maßstabspur in an sich bekannter Weise in Dunkel-Hellfelder «,7, 8; eingeteilt sind, daß die Dunkel-Hellfelder (7i 8; eines Teilungsintervalles ^T; als Strichgruppenfelder (z.B. 7f» 81» 9*) ausgebildet sind, die in der ganzen Spur eine gleichbleibende Feldbreite ^6; haben, daß die Dunkel-Hel If elder (7» 8; in einer Feldbreite (,6; ein gleichbleibendes Strich-ZLückeverhältnis haben, daß die Anzahl der Dunkel-Hellfelder (.7, 8; in allen Feldbreiten 1,6J der ganzen Spur konstant ist und daß die Summe der jsreite eines Dunkelfeldes (7) und des dazugehörigen üellieldes ^8; in der ganzen Spur konstant ist, wobei die Breite der AbtastXenster (4a; mindestens das zweifache ganzzahlige Viellache der Summe eines Dunkelfeldes ^7; und des dazugehörigen Hellfeldes (8), aber kleiner oder gleich eiuer ütrichgruppen-feidbreite (6; ist.
- 3. Meßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die verschiedenen Lichtdurchläsoigkeiten bzw. Reflexions-109813/0709 BA0 ÖRiGINALfähigkeiten der JB'elder (z.B. 71» 81» 9* usw.; eines Teilungsintervalles (T) auf der Maßstabspur dadurch hergestellt werden, daß die Felder (z.B. 71» 8*, 9* usw.) eine Anzahl von Hell- bzw. Dunkelflächen (9) mit unterschiedlicher geometrischer Jj'orm enthalten·
- 4. Meßeinrichtung nach Anspruch 1 bis ^»dadurch gekennzeichnet, daß für die Vermessung von Winkeln die Maßstabspur teilkreisförmig ausgebildet ist·
- >· Meßeinrichtung nach Anspruch Ibis4·, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtastung nicht optisch-elektronisch, sondern kapazitiv oder induktiv erfolgt·
- 6. Meßeinrichtung nach Anspruch 1δ&5» dadurch gekennzeichnet, daß die Anzahl der jjelder (z.B. 1f, ... 16*) in .einem Teilungsintervall entsprechend der gewünschten elektronischen, analogen Yervielfachung erhöht bzw. erniedrigt wird.
- y. Meßeinrichtung für ein codiertes Meßsystem in VerDindung mit der elektronischen, analogen Vervielfachung von Abtastsignalen nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Maßstab oder Teilkreis in den reineren Spuren in einem beliebigen Code ausgeführt ist, wobei die Spuren mit größefen Teilungsintervallöu in einer bestimmten, der gewünschten elektronischen, analogen Vervielfachung entsprechenden Phasenverschiebung zum Nullpunkt des codierten Systems stehen.
- 8. Meßeinricntung nach Anspruch 7» dadurch gekennzeichnet, daß die lemste Spur und die elektronische, analoge Vervieli^aSfefinaSKi^SrSSSÄt^rä1· «e^n«** Auflösuug /Und rür die gewünschte Meßlänge eine entsprechende Anzahl von apuren gewählt wird.
- 9. Einrichtung nach Anspruch 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß sie für Kegel- und Steuerzwecke, z.B. für die Ausbildung eines Schiebers oder einer Dosiereinrichtung, verwendet wird.1098Ί3/0709Leerseite
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19691938993 DE1938993C (de) | 1969-07-31 | Mehrspurige codierte Langen oder Winkelmeßeinrichtung | |
| FR7028254A FR2053357B1 (de) | 1969-07-31 | 1970-07-30 | |
| GB3720970A GB1325045A (en) | 1969-07-31 | 1970-07-31 | Length or angle measurement apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19691938993 DE1938993C (de) | 1969-07-31 | Mehrspurige codierte Langen oder Winkelmeßeinrichtung |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE1938993A1 true DE1938993A1 (de) | 1971-03-25 |
| DE1938993B2 DE1938993B2 (de) | 1972-07-06 |
| DE1938993C DE1938993C (de) | 1973-02-08 |
Family
ID=
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB1325045A (en) | 1973-08-01 |
| FR2053357B1 (de) | 1973-04-27 |
| DE1938993B2 (de) | 1972-07-06 |
| FR2053357A1 (de) | 1971-04-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3417176C2 (de) | Photoelektrische Meßeinrichtung | |
| EP1222471B1 (de) | Gebersystem mit einem beschleunigungsgeber und einem positionsgeber | |
| DE2218824B2 (de) | Verfahren zum Messen der Verschiebung einer Elektrode eines Differentialkondensators relativ zu den anderen Elektroden | |
| DE2320762B2 (de) | Durchprojektionsschirm sowie verfahren zu seiner herstellung | |
| DE3332463A1 (de) | Nichtabbildendes system zur feststellung des einfallswinkels einer strahlung | |
| DE1962099A1 (de) | Durchlaessiges Indexgitter | |
| DE2707081A1 (de) | Optische zahlensegmentanzeige | |
| DE102007024593A1 (de) | Maßstab für eine Positionsmesseinrichtung und Positionsmesseinrichtung | |
| EP0395844A2 (de) | Positionsmesseinrichtung mit Referenzmarken | |
| DE2934454A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum fotoelektrischen positionieren eines gegenstandes unter verwendung einer registermarke | |
| DE3305921A1 (de) | Optische vorrichtung zur erzeugung einer sinusfoermigen wellenform mit einem niedrigen anteil an harmonischen | |
| EP2559010B1 (de) | Sensor zur prüfung von wertdokumenten | |
| DE2315471A1 (de) | Stellungsgeber fuer elektrische nachfuehreinrichtungen bei registriersystemen | |
| EP0541829B1 (de) | Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale | |
| DE69529452T2 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Messen von Abmessungen eines Abtastlichtpunktes | |
| DE19503959B4 (de) | Fotomaske zur Herstellung eines Mikromusters einer Halbleitervorrichtung | |
| DE2613594B2 (de) | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der begrenzung des von einem kraftfahrzeug-scheinwerfer ausgestrahlten lichtbuendels | |
| DE1938993A1 (de) | Messeinrichtung zum Vermessen von Laengen und Winkeln | |
| EP1321743A1 (de) | Längenmesssystem, bei dem ein Massstab relativ zur Position von beabstandeten Längesensoren bewegt wird | |
| DE4018834A1 (de) | Vorrichtung zur unterscheidung zwischen gegensinnigen bewegungsrichtungen eines teils | |
| DE19621523A1 (de) | Vorrichtung zur Gewinnung von oberwellenfreien Signalen | |
| DE1938993C (de) | Mehrspurige codierte Langen oder Winkelmeßeinrichtung | |
| DE3143270C2 (de) | Vorrichtung zum kontaktlosen Messen der Länge von bewegten Gegenständen | |
| CH617006A5 (en) | Device for length measurement. | |
| DE2230853C3 (de) | Linienschreiber |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) |