DE1938993C - Mehrspurige codierte Langen oder Winkelmeßeinrichtung - Google Patents

Description

jidoch für den keilförmigen Anstieg eine sehr hohe Genauigkeit gefordert werfen.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zu-Ie, eine Meßvorrichtung der obengenannten Art

Vermessen von Längen una Winkeln zu ffen, bei welcher eventuell vorhandene Teilunssimsauberkeiten, Maßstabverschmutzungen, Verkip-Ifpungen und Abstandsänderungen nur einen sehr gelingen Einfluß auf die Meßgenauigkeit ausüben Mit !Vorrichtungen der aufgeführten Art, bei denen jedes iTeflungsintervall in Abtastfelder gleicher Breite Ipjsünterteilt ist und jedes dieser Abtastfelder eine gleich-""■Ääßige, jedoch gegenüber den benachbarten Abtastlleldern unterschiedliche Lichtdurchlässigkeit bzw penexionsfähigkeit aufweist und die Breite der durch Hinen Abtastspalt bestimmten aktiven Fläche einer Äbtasteinheit gleich oder kleiner als die B«..site eines Abtastfeldes ist, wirf die gestellte Aufgabe erfindungsgemäß und dadurch gelöst, daß die Dunkel-Hell-Felder in Strichgruppen zu einem Abtastfeld zu- ao saniiDcHgefaßt sind, daß jeweils in einem Abtastfeld das Dunkel-Hell-Feldverhältnis und die Anzahl der Dunkel-Hell-Felder in allen Abtastfeldem einer Spur sowie die Summe der Breite der Dunkel-Hell-Felder konstant ist und daß die Breite der Abtastspalte as kleiner oder gleich einer Abtastfeldbreite ist.

Durch die Breitenanpassung der Abtastspalte entstehen bei der Abtastung eindeutige nicht zurückspringende Treppenspannungssignale. Die Maßstabbzw Teilkreisspur hat dabei in einem Teilungsinter- vall gleiche TeUungssymmetrie. Dagegen besteht bei der Betrachtung derjeniger Abtastfelder, die mit Strichgruppen ausgeführt sind, erfindungsgemäß diese Teilungssymmetrie nicht, da das Verhältnis der Brciie des Dunkelfeldes zu der des Hellfeldes zwar innerhalb eines Abtastfeldes konstant, aber von einem zum anderen Abtastfeld hin variabel ist. Diese Feststellung gilt natürlich nicht für zwei Abtastfelder in einem Teilungsintervall, die mit 5O°/o Reflexionsfähigkeit bzw. Lichtdurchlässigkeit ausgeführt sind.

Zur Erzielung verschiedener Lichtdurchlässigkeit bzw. Reflexionsfähigkeit der einzelnen Abtastfelder können Hell- bzw. Dunkelflächen unterschiedlicher geometrischer Form vorgesehen sein.

Wenn mit Hilfe der neuen Meßvorrichtung Winkel vermessen werfen sollen, kann die Maßstabspur teilkreisförmig ausgebildet werfen.

In besonderen Fällen kann es von Vorteil sein, die Abtastung nicht optisch-elektronisch, sondern kapazitiv oder induktiv oder auf andere Art durchzu- führen.

Bezüglich der Phasenlage der zu unterteilenden Signale kann der Vorteil der elektronischen, analogen Vervielfachung für die Vermessung von Längen und Winkeln größerer Teilungsintervalle ausgenutzt werden. Bekanntlich besteht der Vorteil der elektronischen analogen Vervielfachung unter anderem darin, daß die geschalteten Signalflanken, die mit dem Fehler der Teilung laufen, zwar ungenau sitzen können, aber ein Zusammenlaufen der Signalflanken dabei nicht möglich ist Da sämtliche von den Abtaststellen kommenden Signale zur Bildung von Summensignalen benutzt werfen, ist bei Verwendung der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung auch eine eventuelle Fehlerkorrektur durch Änderung des Span- nungs-Teilerverhältnisses der elektronischen analogen Vervielfacherschaltung leicht durchführbar.

Eine interessante Anwendung der Erfindung ergibt

sich im Werkzeugmaschinenbau. Hier wird bei Verwendung der elektronischen analogen Vervielfachung das sichere Abtasten von Maßslabspuren und Tejlkreisspuren mit größeren Teilungsintervallen erst möglich, wobei optisch-elektronische Längen- und Winkelmeßvorrichtungen, die auch zur automatischen Positionierung und Steuerung verwendet werfen können, benutzt werden.

In bezug auf die Teilungshersteüung für eaien Maßstab oder Teilkreis mit mehreren Spuren hat die Erfindung den Vorteil, daß das entsprechende Abtastfeld nur in einer maximal vorkommenden Länge als Original hergestellt werden muß and dann für sämtliche Spuren (z. B. Spur 9,12 oder 15 in Fig. 4) als KopieroriginaL falls das Kopierverfahren verwendet wird, angewandt werfen kann. Es muß nur mit einer entsprechenden Maske in der Länge so abgedeckt werfen, daß die Abtastfeldbreite der Spur entsteht, da in allen Spuren die gleichen Abtastfelder vorkommen. Dies bedeutet eine erhebliche Einsparung an Teilungsoriginalen.

Die Erfindung löst gleichzeitig die Aufgabe, ein codiertes Längen- und Winkelmeßsystem mit elektronischer analoger Vervielfachung zu schaffen, welches auth für Längen und für Winkel mit großeien Teilungsintervallen verwendet werfen kann, wobei Maßstabspuren oder Teilkreisspuren eingespart werfen können. Es wirf dabei die Abtastvorrichtung sehr viel kleiner als bei Verwendung eines üblich codierten Dual-Maßstabes, und man spart Abtastelemente und Vorverstärker ein.

Werfen die Abtastfelder eines Teilungsintervalls als Strichgruppen-Abtastfelder ausgebildet, so betragen die Anforderungen an die Genauigkeit der Striche und Lücken bei den Ιθ-μΐη-Rasterstufen, wie in Fig. 4 ausgeführt, etwa ±2 bis 3μη». Die Anforderungen können bei den Maßstab- und Teilkreisspuren mit größeren Teilungsintervallen ± 4 bis 5 μΐη betragen, wobei man dann auf z.B. 20-^-Rasterstufen übergeht, d. h. statt acht Stufen nur vier Stufen Änderung bekommt, wenn der Abtastspalt von einer Strichgruppen-Abtast-Feldbreite in die nächste wandert.

Eine vorteilhafte Anwendung der Erfindung besteht weiterhin darin, sie für Regel- und Steuerzwecke, z. B. für die Ausbildung eines Schiebers oder einer Dosiereinrichtung od. ä. zu verwenden, wobei bestimmte Dosier- oder Steuerstufen durch die Verwendung der Merkmale der Erfindung erreicht werfen.

Die Erfindung ist in den Patentansprüchen gekennzeichnet und in der Beschreibung in Verbindung mit den Zeichnungen erläutert. Im einzelnen zeigt

Fig. 1 eine vereinfachte perspektivische Ansicht einer Ausführungsform der Erfindung im Auflichtverfahren,

Fig. 2 eine vereinfachte perspektivische Ansicht einer Ausführungsform der Erfindung im Durchlichtverfahren, wobei zwei Spuren mit gleichem Teilungsintervall nebeneinanderliegen,

Fig. 3 eine vergrößerete Darstellung mehrerer Strichgruppen-Abtastfelder mit dem dazugehörigen Treppensignal,

Fig. 4 ein Ausführungsbeispiel in codierter Form, welches einen Maßstab zeigt, der in den feineren Spuren den Dualcode enthält und in den Spuren mit den größeren Teilungsintervallen die Anwendung der Strichgruppen-Abtastfelder zeigt.

Fig. 5 ein Abtastfeld eines Teilungsintervalis auf wendig, da die Meßauflösüng der zwei einzusparen der Maßstabspur, welches eine Anzahl von Dunkel- den Maßstab- bzw. Teilkreisspuren, z. B. Spur K flächen mit unterschiedlicher geometrischer Form und .11«.' i^a elektronisch erfolgt, und zwar durch Meß enthält^ : auflösungs-Vervierfachung der anschließend grobe

Fig. 6 elektrische Signalformen des Ausführungs- 5 ren Spur, z.B. Spur 12. Zum eindeutigen Vor- um beispieles zur Darstellung des Wirkungskreises der Rückwärtszählen sind dazu die folgenden acht Signal« Meßeinrichtung. notwendig, die in vier voreilende (V) und vier nach

In F i g. 1 stellt 1 eine Lichtquelle dar, deren Licht eilende (N) Signale aufgeteilt sind:
durch einen Kondensor 2 parallel unter einem bestimmten Einfallswinkel auf einen reflektierenden ίο ,,-»/-όχτο- ι ,„-_Μ, ,,,.„.,,.,
Maßstab3 mit einer Abtastplatte 4 leuchtet. Die Ab- JJ-Jf" ^-Signal 348,75° (-11,25 ) V-Signa

tastplatte 4 enthält Abtastspalte 4a, deren Zahl sich 56,25 N-Signa 33,75 V-Signa

nach der Anzahl der abzutastenden Spuren richtet. JHJo S1^f^ ^ϊ"?⁸"^

Die elektrischen Signale werden an den Fotozellen 5 ¹⁴⁶·^{25 N}"^Sl8^nal

mit der Bezeichnung El (0°) und El (90) abge- 15
nommen. Nach einem bekannten Verfahren schaltet ein(

In Fig. 2 stellt 1 die Lichtquelle dar, deren Licht passende Logik zur Auswertung der Signale je nacl durch den Kondensor 2 parallel und senkrecht auf Meßrichtung entweder auf die vier N-Signale oder au einen teiltransparcnten Maßstab 3 mit einer dahinter die vier V-Signale.

befindlichen Abtastplatte 4 leuchtet. Die Abtastspalte ao Bei dieser Meßauf.ösungs-Vervierfachung, z.B. de Aa mit den dahinter befindlichen Fotozellen 5 sind in Spur 12, werden die dazu erforderlichen digitalen Si Fig. 2 für El (0°) in einer Spur gezeigt und für El gnale 0°, 45°, 90 und 135° durch die Logik er (90 ) in der danebenliegenden Spur, wobei beide halten.
Spuren gleiche Teilungsintervalle besitzen. Wird ein anderer elektronischer, analoger Verviel

In Fig. 3 sind mehrere Strichgruppcn-Abtastfel- 35 fachungsgrad gewünscht, so erreicht man das durcl der, T, 8', 9' gezeigt, wobei das Strich-Lücke-Ver- eine proportionale Änderung der Anzahl der Strich hältnis eines Dunkelfeldes 7 und des dazugehörigen gruppen-Abtastfelder in einem Teilungsintervall T Hellfeldes 8 aus der Tabelle zu entnehmen ist. Zur Für die feinste Spur (Spur 0) wurden im Beispiel de Erklärung der Tabelle wird auf F i g. 4 verwiesen. In F i g. 4 als Auflösung 20 μήι/20 μπι gewählt, wöbe dieser Figur sind die feineren Spuren, nämlich Spur 0, 30 diese Auflösung noch elektronisch durch Verviel Spur 3 und Spur 6 im Dualcode ausgeführt. Die übri- fachung erhöht werden kann. Die Strichgruppen-Ab gen Spuren, nämlich Spur 9, Spur 12 und Spur 15 tastfeider 1', 2'... 16', 16'... 2', Γ in einem Tei· sind erfindungsgemäß ausgeführt. Da es für die Praxis lungsintervall T enthalten je nach Spur eine verschic ratsam ist, daß die Abtastpunkte nahe beieinander- dene Anzahl von Dunkel-Hell-Feldern 7 bzw. 8. Ii liegen, werden ab einem bestimmten Teilungsintervall 35 Fig. 3 sind die Strichgruppen-Abtastfelder der Spur« z. B. für 0° und für 78,75° je eine Meßstabspur an- dargestellt, sie enthalten je vier Dunkel-Hell-Felder gebracht, so daß irgendwelche Veränderungen, z. B. Die in Fig. 4 ferner dargestellten Spuren 12 und If Veränderungen durch Schwankungen der Lichtquelle, enthalten 32 bzw. 256 Dunkel-Hell-Felder in einen sich auf jede Fotozelle in gleicher Weise auswirken. Strichgruppen-Abtastfeld.

Die feineren Spuren, nämlich Spur 0, 3 und 6, kön- 40 Die Strichgruppen-Abtastfelder sind aus räum nen dabei im Gegentakt-, die gröberen im Eintakt- liehen Gründen in F i g. 4 nur teilweise eingezeichnet verfahren abgetastet werden. Beim Eintaktverfahren jedoch aus der Tabelle ersichtlich,
wird z. B. durch eine Referenz-Elementregelung, für In der Tabelle sind die Angaben für die Spuren 9

die eine volireflekrjerende bzw. transparente Referenz- 12 und 15 enthalten. Für aiie drei Spuren gelten die spur vorgesehen ist, das Treppensignal symmetrisch 45 in der Tabelle in den ersten vier Spalten angegebener in 0 Volt gezogen, d. h., die positive und negative Werte. Für jedes Strichgruppen-Abtastfeld ist in dei Halbwelle haben gleiche Amplitude. Bei den zwei zweiten Spalte der Tabelle die Breite des Dunkelfei nebeneinanderliegenden Spuren (Spuren 12 bzw. Spu- des 7 und in der dritten Spalte die Breite des zugehö ren 15) mit gleichem TeilongsintervaU ist hier nicht gen Heilfeldes 8 angegeben. Die vierte Spalte dei 90° Phasenunterschied gewählt, sondern 78,75°. Der 50 Tabelle enthält die Reflexion bzw. Lichtdurchlässig Bezugspunkt ist jeweils der Nullpunkt des codierten keit in Prozenten. Das Strich-Lücke-Verhältnis bzw Maßstabes. Ein Phasennnterschied von 90° wird Dunkelfeld-Heüfeld-Verhältnis kann aus den Werter durch entsprechende Verrückung der Abtastspalte in der Spalten 2 and 3 der Tabelle errechnet weiden der Abästplane erreicht. Die Sparen 9, 12 and 15 Für die Sparen 9, 12 and 15 sind ia der Tabelle die bestehen ans TeBanseiallen T, weiche je einer 55 AbtastfeJdbreiten 6 and die Anzahl der Dunkel-Hell Signalperiode von 360° entsprechen. In Fig-4 ist das Felder angegeben.

TeilungsintervallT nor in Spar9 voll eingezeichnet. Fig. 5 zeigt ein Abtastfeld does Teilungsinter

Die Signale der in Fig.4 nicht dargestellten Sparen vails T auf der Maßstabspur, welches eine Anzahl !Sparen 1, 2,4, S, 7,8,10,11,13, 14) werden durch von Dunkelflächen 9 mit unterschiedfichef geometridie elektronische, analoge Vervielfachung erreicht «o scher Form enthält. Die LichnJnrchlässigkeit bzw

Jedes Teüungsintervan F ist in Strichgnippen-Ab- Reflexionsfähigkeit dieses Abtasffeides hängt von tastfelder l',&... 16*, W... Z', Y eigeteit, deren Verhältnis der Dunkelflächen 9 znr Heflfläcne des Anzahl sich nach der gewünschten elektronischen, Abtastfeldes ab. Die Wirkungsweise eines nach Fig. S analogen Vervielfacming richtet. Im Beispiel der aufgebauten Abtasffeides ist die gleiche wie die eine! Fig. 4 enthält jedes TeJlungshrtervafl jeder Spar 65 nwt Strichgrappen aufgebauten Abtastfeldes gemät 32 Stricftgrappen-Afotasdteldcr, die für eine dektro- Fig. 3.

tusche, analoge Veracach erforderlich sind. Statt der Anbringung von Dmuceifeldern 7 bzw. 9

Eine elektronische, analoge Verachtfachtmg ist not- auf einer transparenten oder reflektierenden Grund-

fläche (Fig. 3 bzw. 5) ist es auch möglich, transparente oder reflektierende Hellfelder auf einer Dunkelfläche anzuordnen.

F i g. 6 zeigt als Beispiel die vier digitalen N-Signale und die vier digitalen V-Signale, diie durch das Trig-

gerii im O-Volt-Bereich von den acht analogen Signalen der Spur 12 entstehen. Darunter sind die digitalen Signale der vorhandenen Spuren, Spur 9 und Spur 12, gezeigt sowie die durch die Logik geschalteten Signale der eingesparten Spuren 10 und 11.

	Dunkel	Hell	Reflexion	Spur9	Dunkel-Hell- Felder je Feldbreite (6)	Spur 12	Dunkel-Heil- Felder je Feldbreite (6)	Spur 15	Dunkel-HeU- Felder je Feldbreite (6)
Strich	feld (7)	feld (8)	bzw.	Breite des Abtastspaltes	Anzahl	Breite des Abtastspaltes	Anzahl	Breite des Abtastspaltes	Anzahl
gruppen	μητ	μητ	Lichtdurch lässigkeil	0,640 mm	4	1,280 mm	32	1,280 mm	256
Abtast feld Nr.:	160	0	V.	Feld breitete)	4	Feld breite (6)	32	Feld breite (6)	256
	150	10	0	mm	4	mm	32	mm	256
1'	140	20	6,25	0,640	4	5,120	32	40,960	256
2'	130	30	12,50	0,640	4	5,120	32	40,960	256
3'	120	40	18,75	0,640	4	5,120	32	40,960	256
4'	110	50	25,0	0,640	4	5,120	32	40,960	256
5'	100	60	31,25	0,640	4	5,120	32	40,960	256
6'	90	70	37,50	0,640	4	5,120	32	40,960	256
T	80	80	43,75	0,640	4	5,120	32	40,960	256
8'	70	90	50,0	0,640	4	5,120	32	40,960	256
9'	60	100	56,25	0,640	4	5,120	32	40,960	256
10'	50	110	62,50	0,640	4	5,120	32	40,960	256
11'	40	120	68,75	0,640	4	5,120	32	40,960	256
12'	30	130	75,0	0,640	4	5,120	32	40,960	256
13'	20	140	81,25	0,640	4	5,120	32	40,960	256
14'	10	150	87,50	0,640	5,120	40,960
15'			93,75	0,640	5,120	40,960
16'			0,640	5,120	40,960

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

1. die Beleuchtungseinrichtung mit den Problemen der

   Patentanspruch: gleichmäßigen Anslenchfnng steigen, der Aufwand an

   Abtast-Elementen und Vorverstärkern vergrößert sich

   Mehrspurige codierte Längen- oder Winkel- usw., d.h. das ganze Meßsystem wird größen
   nieBeinrichtung mit Strichteilungen konstanten 5 Für viele Anwendungsgebiete möchte man aber Strichabstandes, jedoch variablen Strich-Lücke- das Meßsystem möglichst klein ausführen. Um solche Verhältnisses (Verhältnis der Breite eines Dunkel- Meßsysteme in bezug auf die Maßstabsbreite bzw. feldes zu der eines Hellfeldes) und einem Ab- auf den Teilkreisdurchmesser, d. h. auch die Abtasttastspalt mit der Breite des Strichabstandes oder einrichtung zu verkleinern, ist es bekannt, bestimmte eines ganzzahligen Vielfachen hiervon, nach io Spuren nicht auszuführen und die fehlenden Signale Patent 1930976, dadurch gekennzeich- der nicht vorhandenen Spuren mittels elektronischer, net, daß die Dunfcel-Hell-Felder (7,8) in Strich- analoger Vervielfachung in einer Phasenteilerschalgruppen zu einem Abtastfeld (z. B. 13', 14'. 15'. tung von den Signalen der ausgeführten Spuren zu 16^ zusammengefaßt sind, daß jeweils in eiaem erzeugen. Die Anforderuagen an die Teilungen dieser Abtastfeld (z. B. 13', 14', 15', 160 das Dunkel- 15 ausgeführten Spuren bestehen darin, daß eindeutige Hell-Feldverhältais und die Anzahl der Dunkel- sinusähnliche, dreieckfönnige bzw. treppenförmige Heil-Felder (7, 8) in allen Abtastfeldern (z. B. Signale abgenommen werden können.
   13', 14', 15', 160 ^emer Spur sowie die Summe der Meßvorrichtungen dieser Art zum Vermessen Breite der Dunkel-Hell-Felder (7, 8) konstant ist kleinerer Längen sind bekannt Dabei ist ferner be- und daß die Breite der Abtasfepalte (4a) kleiner 90 kannt, die Maßstabspuren dieser Meßvorrichtungen oder gleich einer Abtastfeldbreite (6) ist. in Dunkel-Hell-Felder einzuteilen und dabei inner

   halb eines Teilungsintervalles das Strich-Lücke-Verhältnis von einem Dunkel-Hell-Feld zum nächsten

   Dunkel-Hell-Feld in einer bestimmten Größe ver-

   »5 änderlich zu gestalten. Bei einer anderen bekannten Ausführungsart sind die einzelnen Maßstabspuren mit dreieckförmigen bzw. keilförmigen Teilungsinter-

   Die Erfindung betrifft eine mehrspurige codierte vallen ausgeführt. Eine weitere Meßvorrichtung beLängen- oder Winkelmeßeinrichtung mit Strichtei- kannter Art besteht aus einem Codemaßstab im Duallungen konstanten Strichabstandes, jedoch variablen 30 code und einer Abtasteinrichtung, bei der die Abtast-Strich-Lücke-Verhältnisses (Verhältnis der Breite platte mit passenden Teilungsintervallen zum Maßeines Dunkelfeldes zu der eines Hellfeldes) und einem stab ausgeführt ist. Ein Teilungsintervall des Maß-Abtastspalt mit der Breite des Strichabstandes oder Stabes besteht dabei aus einem Dunkel-Hell-Feld, bei eines ganzzahligen Vielfachen hiervon, nach Patent dem das Dunkelfeld die gleiche Breite wie das HeIl-1930 976. Die Erfindung hat eine weitere Ausgestal- 35 feld hat, besitzt also gleiche Teilungssymmetrie. Sotung der Erfindung nach dem Hauptpatent zum Ge- bald die Breite dieses Dunkel-Hell-Feldes die Breite genstand und bezweckt insbesondere eine verbesserte der aktiven Abtasteinheit (Fotozelle) überschreitet, Teilungsausführung, die verhältnismäßig leicht mit entstehen Abtastsignale, die nicht mehr elektronisch der erforderlichen Genauigkeit herstellbar ist und analog vervielfacht werden können,
   die sich betriebssicher abtasten läßt. 40 I_n einer Vorrichtung, welche zur Bestimmung der

   Eingeteilt werden Vorrichtungen zum fotoelek- Fehlausrichtung zwischen zwei ähnlichen übereintrischen Vermessen von Längen und Winkeln in in- andergelagerten Objekten oder deren Bildern dient, krementale Längen- und Winkelmeßsysteme (inkre- ist es bekannt, die Flächen der Objekte mit verändermentale Drehgeber) und codierte Längen- und Win- Hcher Transparenz auszuführen. Dies geschieht bei kelmeßsysteme (Code-Drehgeber), auch absolute 45 der bekannten Vorrichtung dadurch, daß Teile von Meßsysteme genannt. Bei den inkrementalen Meß- Segmentflächen mit willkürlich angeordneten Dunkelsystemen sind die Spuren der Maßstäbe bzw. Teil- und Hellflächen versehen sind. Diese bekannten Vorkreise im Dunkel- und Hellfelder eingeteilt, wobei richtungen können zur Bestimmung der Fehlausrich-Dunkel- und Hellfeld (Strich und Lücke) gleich breit tung von ähnlichen Objekten und eventuell noch zur sind. Bei der Messung wird jeder Meßwert durch 50 groben Winkelbestimmung verwendet werden, sind Zählen der einzelnen Impulse ermittelt. aber nicht für die fotoelektrische Vermessung von

   Bei den codierten Meßsystemen kann die abzu- Längen geeignet.

   tastende Maßstab- bzw. Teilkreisspur in einem be- Die bekannten Meßvorrichtungen haben den Nach-

   liebigen Code (z. B. im Dual-Code) ausgeführt sein. teil, daß Meßfehler durch Teilungsunsauberkeiten, Jeder Meßwert ist einer bestimmten Stelle der Teilung 55 Maßstabversschmutzung, Verkippung und Abstandszugeordnet, d. h. verschlüsselt. Es liegt auf der Hand, änderung des Abtastsystems sehr stark eingehen, d. h. daß alle Störungen, die bei inkrementalen Meß- die Meßvorrichtungen sind nur mit erheblichen Einsystemen zu Fehlzählungen führen können, wie etwa schränkungen verwendbar. Außerdem entstehen bei elektrische oder magnetische Störimpulse, Vibra- einzelnen Meßvorrichtungen elektrische Treppentionen, Überschreitung der Grenzgeschwindigkeit, 60 signale, die wieder etwas zurückspringen, d.h. für kurzzeitiger Netzausfall usw., bei codierten Systemen eine weitere elektronische Auswertung mehrdeutig die Meßgenauigkeit nicht beeinträchtigen. Das Meß- sind. Andere Meßvorrichtungen dieser Art können system liefert auch nach vorangegangenen Störungen, nicht zum Vermessen größerer Längen verwendet ebenso wie unmittelbar nach dem Einschalten, den werden. Das Auflichtprinzip mit schrägem Lichteinrichtigen Meßwert. 65 fall liefert bei Dreiecken mit kleinerer Grundlinie,

   Bei einem codierten Längen-Meßsystem steigt mit d. h. bei kleinen Teilungsintervallen, optische Verzunehmender Meßlänge die Anzahl der Spuren, d. h., Zerrungen. Bei größeren Teilungsintervallen, die der Maßstab wird immer breiter, die Anforderung an dreieckförmig bzw. keilförmig ausgeführt sind, muß