DE1938993B2 - Mehrspurige codierte laengen- oder winkelmesseinrichtung - Google Patents

Description

jedoch für den keilförmigen Anstieg eine sehr hohe sich im Werkzeugmaschinenbau. Hier wird bei Ver-

Gentiuigköit gefordert werden, wendvtng der elektronischen analogen Vervielfachung

Der vorliegenden Erfindung lip$>t die Aufgabe zu- das sichere Abtasten von Maßstabspuren und TdI-

gnincle, eine Meßvorrichtung der obengenannten Art kreisspuren mit größeren Teilungsintervallen erst

zum Vermessen von Längen und Winkeln zu 5 möglich, wobei optisch-elektronische Längen- und

schallen, bei welcher eventuell vorhandene Tcilungs,- Winkelmeßvorrichtungen, die auch zur automatischen

unsauberkeiten, Maßstabverschmutzungen, Verkip- Positionierung und Steuerung verwendet werden

pungen und Abstandsänderungen nur einen sehr ge- können, benutzt werden.

ringen Einfluß auf die Meßgenauigkeit ausüben. Mit In bezug auf die Teilungsherstellung fllr einen Vorrichtungen der aufgeführten Art, bei denen jedes io Maßstab oder Teilkreis mit mehreren Spuren hat die Tcilungsintervall in Abtastfelder gleicher Breite Erfindung den Vorteil, daß das entsprechende Abunterteilt ist und jedes dieser Abtastfelder eine gleich- tastfeld nur in einer maximal vorkommenden Länge mäßige, jedoch gegenüber den benachbarten Abtast- als Original hergestellt werden muß und dann für feldern unterschiedliche Lichtdurchlässigkeit bzw. sämtliche Spuren (z. B. Spur 9, 12 oder 15 in F i g. 4) Rcllexionsfähigkeit aufweist und die Breite der durch 15 als Kopieroriginal, falls das Kopierverfahren verwencincn Abtastspalt bestimmten aktiven Fläche einer det wird, angewandt werden kann. Es muß nur mit Abtasteinheit gleich oder kleiner als ά\ν Breite eines einer entsprechenden Maske in der Länge so abge-Abtastfeldes ist, wird die gestellte Aufgabe erfin- deckt werden, daß die Abtastfeldbreite der Spur entdungsgemäß und dadurch gelöst, daß die Dunkel- steht, da in allen Spuren die gleichen Abtastfelder Heil-Felder in Strichgruppen zu einem Abtastfeld zu- 20 vorkommen. Dies bedeutet eine erhebliche Einspasammengefaßt sind, daß jeweils in einem Abtastfeld rung an Teilungsoriginalen.

das Dunkel-Hell-Feldverhältnis und die Anzahl der Die Erfindung löst gleichzeitig die Aufgabe, ein

Dunkel-Hell-Felder in allen Abtastfeldcm einer Spur codiertes Längen- und Winkelmeßsystem mit elek-

sowie die Summe der Breite der Dunkel-Hell-Felder ironischer analoger Vervielfachung zu schaffen,

konstant ist und daß die Breite der Abtastspalte 25 welches auch für Längen und für Winkel mit größe-

klciner oder gleich einer Abtastfeldbreite ist. ren Teilungsintervallen verwendet werden kann, wo-

üurch die Breitenanpassung der Abtastspalte ent- bei Maßstabspuren oder Teilkreisspuren eingespart stehen bei der Abtastung eindeutige nicht zurück- werden können. Es wird dabei die Abtastvorrichtung springende Treppenspannungssignale. Die Maßstab- sehr viel kleiner als bei Verwendung eines üblich bzw. Teilkreisspur hat dabei in einem Teilungsinter- 30 codierten Dual-Maßstabes, und man spart Abtastelevall gleiche Teilungssymmetrie. Dagegen besteht bei mente und Vorverstärker ein.
der Betrachtung derjeniger Abtastfelder, die mit Werden die Abtastfelder eines Teilungsintervalls Strichgruppen ausgeführt sind, erfindungsgemäß diese als Strichgruppen-Abtastfelder ausgebildet, so be-Teilungssymmetrie nicht, da das Verhältnis der tragen die Anforderungen an die Genauigkeit der Breite des Dunkelfeldes zu der des Hellfeldes zwar 35 Striche und Lücken bei den ΙΟ-μηι-Rasterstufen, wie innerhalb eines Abtastfeldes konstant, aber von einem in Fig. 4 ausgeführt, etwa +2 bis 3 μΐη. Die Anforzum anderen Abtastfeld hin variabel ist. Diese Fest- derungen können bei den Maßstab- und Teilkreisstellung gilt natürlich nicht für zwei Abtastfelder in spuren mit größeren Teilungsintervallen ± 4 bis 5 μχη einem Teilungsintervall, die mit 50 °/o Reflexionsfähig- betragen, wobei man dann auf z.B. 20^m-Rasterkeit bzw. Lichtdurchlässigkeit ausgeführt sind. 40 stufen übergeht, d. h. statt acht Stufen nur vier Stufen

Zur Erzielung verschiedener Lichtdurchlässigkeit Änderung bekommt, wenn der Abtastspalt von einer

bzw. Reflexionsfähigkeit der einzelnen Abtastfelder Strichgruppen-Abtast-Feldbreite in die nächste wan-

können Hell- bzw. Dunkelflächen unterschiedlicher dert.

geometrischer Form vorgesehen sein. Eine vorteilhafte Anwendung der Erfindung beWenn mit Hilfe der neuen Meßvorrichtung Winkel 45 steht weiterhin darin, sie für Regel- und Steuervermessen werden sollen, kann die Maßstabspur teil- zwecke, z. B. für die Ausbildung eines Schiebers oder kreisförmig ausgebildet werden. einer Dosiereinrichtung od. ä. zu verwenden, wobei

In besonderen Fällen kann es von Vorteil sein, die bestimmte Dosier- oder Steuerstufen durch die VerAbtastung nicht optisch-elektronisch, sondern kapa- wendung der Merkmale der Erfindung erreicht zitiv oder induktiv oder auf andere Art durchzu- 50 werden,
führen. Die Erfindung ist in den Patentansprüchen gekenn-

Bezüglich der Phasenlage der zu unterteilenden Si- zeichnet und in der Beschreibung in Verbindung mit gnale kann der Vorteil der elektronischen, analogen den Zeichnungen erläutert. Im einzelnen zeigt
Vervielfachung für die Vermessung von Längen und F i g. 1 eine vereinfachte perspektivische Ansicht Winkeln größerer Teilungsintervalle ausgenutzt 55 einer Ausführungsform der Erfindung im Auflichtwerden. Bekanntlich besteht der Vorteil der elektro- verfahren,

nischen analogen Vervielfachung unter anderem Fig. 2 eine vereinfachte perspektivische Ansicht darin, daß die geschalteten Signalflanken, die mit einer Ausführungsform der Erfindung im Durchlichtdem Fehler der Teilung laufen, zwar ungenau sitzen verfahren, wobei zwei Spuren mit gleichem Teilungskönnen, aber ein Zusammenlaufen der Signalflanken 60 intervall nebeneinanderliegen,

dabei nicht möglich ist. Da sämtliche von den Abtast- Fig. 3 eine vergrößerete Darstellung mehrerer

stellen kommenden Signale zur Bildung von Sum- Strichgruppen-Abtastfelder mit dem dazugehörigen

mensignalen benutzt werden, ist bei Verwendung der Treppensignal,

erfindungsgemäßen Meßvorrichtung auch eine even- F i g. 4 ein Ausführungsbeispiel in codierter Form,

tuelle Fehlerkorrektur durch Änderung des Span- 65 welches einen Maßstab zeigt, der in den feineren

nungs-Teilerverhältnisses der elektronischen analogen Spuren den Dualcode enthält und in den Spuren mit

Vervielfacherschaltung leicht durchführbar. den größeren Teilungsintervallen die Anwendung der

Eine interessante Anwendung der Erfindung ergibt Strichgruppen-Abtastfelder zeigt,

F i g. 5 ein Abtastfeld eines Teilungsintervalls auf wendig, da die Meßauflösung der zwei einzusparender Maßstabspur, welches eine Anzahl von Dunkel- den Maßstab- bzw. Teilkreisspuren, z. B, Spur 10 flächen mit unterschiedlicher geometrischer Form und 11, ja elektronisch erfolgt, und zwar durch Meßenthält, auflösungs-Vervierfachung der anschließend gröbe-

Fig. 6 elektrische Signalformen des Ausführungs- 5 ren Spur, z.B. Spur 12. Zum eindeutigen Vor- und

beispieles zur Darstellung des Wirkungskreises der Rückwärtszählen sind dazu die folgenden acht Signale

Meßeinrichtung. notwendig, die in vier voreilende (V) und vier nach-

In F i g. 1 stellt 1 eine Lichtquelle dar, deren Licht eilende (N) Signale aufgeteilt sind: durch einen Kondensor 2 parallel unter einem bestimmten Einfallswinkel auf einen reflektierenden io _11nw.,.. , „._Q _,_o , ,...„.,... Maßstab 3 mit einer Abtastplatte 4 leuchtet. Die Ab- H^⁵° N-f}gna 348,75° (-11,25°) V-Signal tastplatte 4 enthält Abtastspalte 4a, deren Zahl sich . ⁵^. ^|S^na 33,75 V-Signa nach der Anzahl der abzutastenden Spuren richtet. }01,25° N-Signa 78,75° V-Signal Die elektrischen Signale werden an den Fotozellen 5 ¹⁴⁶>²⁵ N-Signal 123,75 V-Signal mit der Bezeichnung El (0°) und El (90°) abge- 15
nommen. Nach einem bekannten Verfahren schaltet eine

In F i g. 2 stellt 1 die Lichtquelle dar, deren Licht passende Logik zur Auswertung der Signale je nach

durch den Kondensor 2 parallel und senkrecht auf Meßrichtung entweder auf die vier N-Signale oder auf

einen teiltransparenten Maßstab 3 mit einer dahinter die vier V-Signale.

befindlichen Abtastplatte 4 leuchtet. Die Abtastspalte 20 Bei dieser Meßauflösungs-Vervierfachung, z.B. der

4 a mit den dahinter befindlichen Fotozellen 5 sind in Spur 12, werden die dazu erforderlichen digitalen Si-

Fig. 2 für £1 (0°) in einer Spur gezeigt und für El gnale 0°, 45°, 90° und 135° durch die Logik er-

(90°) in der danebenliegenden Spur, wobei beide halten.

Spuren gleiche Teilungsintervalle besitzen. Wird ein anderer elektronischer, analoger Verviel-

In Fig. 3 sind mehrere Strichgruppen-Abtastfel- 25 fachungsgrad gewünscht, so erreicht man das durch

der, 7', 8', 9' gezeigt, wobei das Strich-Lücke-Ver- eine proportionale Änderung der Anzahl der Strich-

hältnis eines Dunkelfeldes 7 und des dazugehörigen gruppen-Abtastfelder in einem Teilungsintervall T.

Hellfeldes 8 aus der Tabelle zu entnehmen ist. Zur Für die feinste Spur (Spur 0) wurden im Beispiel der

Erklärung der Tabelle wird auf F i g. 4 verwiesen. In F i g. 4 als Auflösung 20 μΐη/20 μΐη gewählt, wobei

dieser Figur sind die feineren Spuren, nämlich Spur 0, 30 diese Auflösung noch elektronisch durch Verviel-

Spur 3 und Spur 6 im Dualcode ausgeführt. Die übri- fachung erhöht werden kann. Die Strichgruppen-Ab-

gen Spuren, nämlich Spur 9, Spur 12 und Spur 15 tastfeider Γ, 2'... 16', 16'... 2', 1' in einem Tei-

sind erfindungsgemäß ausgeführt. Da es für die Praxis lungsintervall T enthalten je nach Spur eine verschie-

ratsam ist, daß die Abtastpunkte nahe beieinander- dene Anzahl von Dunkel-Hell-Feldern 7 bzw. 8. In

liegen, werden ab einem bestimmten Teilungsintervall 35 Fig. 3 sind die Strichgruppen-Abtastfelder der Spur9

z. B. für 0° und für 78,75° je eine Meßstabspur an- dargestellt, sie enthalten je vier Dunkel-Hell-Felder.

gebracht, so daß irgendwelche Veränderungen, z. B. Die in Fig. 4 ferner dargestellten Spuren 12 und 15

Veränderungen durch Schwankungen der Lichtquelle, enthalten 32 bzw. 256 Dunkel-Hell-Felder in einem

sich auf jede Fotozelle in gleicher Weise auswirken. Striehgruppen-Abtastfeld.

Die feineren Spuren, nämlich Spur 0, 3 und 6, kön- 40 Die Strichgruppen-Abtastfelder sind aus räum-

nen dabei im Gegentakt-, die gröberen im Eintakt- liehen Gründen in F i g. 4 nur teilweise eingezeichnet,

verfahren abgetastet werden. Beim Eintaktverfahren jedoch aus der Tabelle ersichtlich,

wird z. B. durch eine Referenz-Elementregelung, für In der Tabelle sind die Angaben für die Spuren 9,

die eine vollreflektierende bzw. transparente Referenz- 12 und 15 enthalten. Für alle drei Spuren gelten dk

spur vorgesehen ist, das Treppensignal symmetrisch 45 in der Tabelle in den ersten vier Spalten angegebener

in 0 Volt gezogen, d. h., die positive und negative Werte. Für jedes Striehgruppen-Abtastfeld ist in dei

Halbwelle haben gleiche Amplitude. Bei den zwei zweiten Spalte der Tabelle die Breite des Dunkelfel-

nebeneinanderliegenden Spuren (Spuren 12 bzw. Spu- des 7 und in der dritten Spalte die Breite des zugehö

ren 15) mit gleichem Teilungsintervall ist hier nicht gen Hellfeldes 8 angegeben. Die vierte Spalte de

90° Phasenunterschied gewählt, sondern 78,75°. Der 50 Tabelle enthält die Reflexion bzw. Lichtdurchlässig

Bezugspunkt ist jeweils der Nullpunkt des codierten keit in Prozenten. Das Strich-Lücke-Verhältnis bzw Maßstabes. Ein Phasenunterschied von 90° wird Dunkelfeld-Hellfeld-Verhältnis kann aus den Wertei

durch entsprechende Verrückung der Abtastspalte in der Spalten 2 und 3 der Tabelle errechnet werden

der Abtastplatte erreicht Die Spuren 9, 12 und 15 Für die Spuren 9, 12 und 15 sind in der Tabelle dl

bestehen aus Teilungsintervallen Γ, welche je einer 55 Abtastfeldbreiten 6 und die Anzahl der Dunkel-Hell

Signalperiode von 360° entsprechen. In F i g. 4 ist das Felder angegeben.

Teilungsintervall T nur in Spur 9 voll eingezeichnet. F i g. 5 zeigt ein Abtastfeld eines Teilungsintel Die Signale der in F i g. 4 nicht dargestellten Spuren vails T auf der Maßstabspur, welches eine Anzah

(Spuren 1, 2, 4, 5, 7, 8, 10, 11, 13, 14) werden durch von Dunkelflächen 9 mit unterschiedlicher geometri

die elektronische, analoge Vervielfachung erreicht βο scher Form enthält. Die Lichtdurchlässigkeit bzw

Jedes Teilungsintervall T ist in Strichgruppen-Ab- Reflexionsfähigkeit dieses Abtastfeldes hängt vor

tastfelder 1', 2'... 16', 16'... 2', 1' eingeteilt, deren Verhältnis der Dunkelflächen 9 zur Hellfläche de

Anzahl sich nach der gewünschten elektronischen, Abtastfeldes ab. Die Wirkungsweise eines nach Fig.

analogen Vervielfachung richtet Im Beispiel der aufgebauten Abtastfeldes ist die gleiche wie die eine

Fig. 4 enthält jedes Teilungsintervall jeder Spur Qj mit Strichgruppen aufgebauten Abtastfeldes gemä

32 Strichgruppen-Abtastfelder, die für eine elektro- F i g. 3.

nische, analoge Verachtfachung erforderlich sind. Statt der Anbringung von Dunkelfeldern 7 bzw.

Eine elektronische, analoge Verachtfachung ist not- auf einer transparenten oder reflektierenden Grünt

fläche (Fig. 3 bzw. 5) ist es auch möglich, transparente oder reflektierende Hellfelder auf einer Dunkelfläche anzuordnen.

Fig. 6 zeigt als Beispiel die vier digitalen N-Signale und die vier digitalen V-Signale, die durch das Trig-

gern im O-Volt-Bereich von den acht analogen Signalen der Spur 12 entstehen. Darunter sind die digitalen Signale der vorhandenen Spuren, Spur 9 und Spur 12, gezeigt sowie die durch die Logik geschalteten Signale der eingesparten Spuren 10 und 11.

	Dunkel	Hell	Reflexion	Spur 9	Dunkel-Hell- Felder je Feldbreite (6)	Spur 12	Dunkel-Hell- Felder je Feldbreite (6)	Spur IS	Dunkel-Hell- Felder je Feldbreite (6)
Strich	feld (7)	feld (8J	bzw.	Breite des Abtastspaltes	Anzahl	Breite des Abtastspaltes	Anzahl	Breite des Abtastspaltes	Anzahl
gruppen	μηι	μηι	Lichtdurch lässigkeit	0,640 mm	4	1,280 mm	32	1,280 mm	256
Abtast feld Nr.:	160	0	»/o	Feld breite (6)	4	Feld breite (6)	32	Feld breite (6)	256
	150	10	0	mm	4	mm	32	mm	256
1'	140	20	6,25	0,640	4	5,120	32	40,960	256
2'	130	30	12,50	0,640	4	5,120	32	40,960	256
3'	120	40	18,75	0,640	4	5,120	32	40,960	256
4'	110	50	25,0	0,640	4	5,120	32	40,960	256
5'	100	60	31,25	0,640	4	5,120	32	40,960	256
6'	90	70	37,50	0,640	4	5,120	32	40,960	256
7'	80	80	43,75	0,640	4	5,120	32	40,960	256
8'	70	90	50,0	0,640	4	5,120	32	40,960	256
9'	60	100	56,25	0,640	4	5,120	32	40,960	256
10'	50	110	62,50	0,640	4	5,120	32	40,960	256
11'	40	120	68,75	0,640	4	5,120	32	40,960	256
12'	30	130	75,0	0,640	4	5,120	32	40,960	256
13'	20	140	81,25	0,640	4	5,120	32	40,960	256
14'	10	150	87,50	0,640	5,120	40,960
15'			93,75	0,640	5,120	40,960
16'			0,640	5,120	40,960

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

1. die Beleuchtungseinrichtung mit den Problemen der

   Patentanspruch: gleichmäßigen Ausleuchtung steigen, der Aufwand an

   Abtast-Elementen und Vorverstärkern vergrößert sich

   Mehrspurige codierte Längen- oder Winkel- usw., d. h, das ganze Meßsystem wird größer,
   meßeinrichtung mit Strichteilungen konstanten 5 Für viele Anwendungsgebiete möchte man aber Strichabstandes, jedoch variablen Strich-Lücke- das Meßsystein möglichst klein ausführen. Um solche Verhältnisses (Verhältnis der Breite eines Dunkel- Meßsysteme in bezug auf die Maßstabsbreite bzw. feldes zu der eines Hellüeldes) und einem Ab- auf den Teilkreisdurchmesser, d.h, auch die Abtasttastspalt mit der Breite des Strichabstandes oder einrichtung zu verkleinern, ist es bekannt, bestimmte eines ganzzahligen Vielfachen hiervon, nach io Spuren nicht auszuführen und die fehlenden Signale Patentanmeldung P 19 30 976.3, d a d u r c h g e - der nicht vorhandenen Spuren mittels elektronischer, kennzeichnet, daß die Dunkel-Hell-Felder analoger Vervielfachung in einer Phasenteilerschal-(7, 8) in Strichgruppen zu einem Abtastfeld (z. B. tung von den Signalen der ausgeführten Spuren zu 13', 14', 15', 16') zusammengefaßt sind, daß je- erzeugen, Die Anforderungen an die Teilungen dieser weils in einem Abtastfeld (z, B. 13', 14', 15', 16') 15 ausgeführten Spuren bestehen darin, daß eindeutige das Dunkel-Hell-Feldverhältnis und die Anzahl sinusähnliche, dreieckförmige bzw. treppenförmige der Dunkel-Hell-Felder (7, 8) in allen Abtast- Signale abgenommen werden können,
   feldern (z. B. 13', 14', 15', 16') einer Spur sowie Meßvorrichtungen dieser Art zum Vermessen

   die Summe der Breite der Dunkel-Hell-Felder kleinerer Längen sind bekannt. Dabei ist ferner be-(7, 8) konstant ist und daß die Breite der Ab- 20 kannt, die Maßstabspuren dieser Meßvorrichtungen tastspalte (4 a) kleiner oder gleich einer Abtast- in Dunkel-Hell-Felder einzuteilen und dabei innerfeldbreite (6) ist. halb eines Teilungsintervalles das Strich-Lücke-Ver

   hältnis von einem Dunkel-Hell-Feld zum nächsten

   Dunkel-He'1-Feld in einer bestimmten Größe ver-

   85 änderlich zu gestalten. Bei einer anderen bekannten Ausführungsart sind die einzelnen Maßstabspuren mit

   Die Erfindung betrifft eine mehrspurige codierte dreieckförmigen bzw. keilförmigen Teilungsinter-Längen- oder Winkelmeßeinrichtung mit Strichtei- vallen ausgeführt. Eine weitere Meßvorrichtung belungen konstanten Strichabstandes, jedoch variablen kannter Art besteht aus einem Codemaßstab im Dual-Strich-Lücke-Verhältnisses (Verhältnis der Breite 30 code und einer Abtasteinrichtung, bei der die Abtasteines Dunkelfeldes zu der eines Hellfeldes) und einem platts mit passenden Teilungsintervallen zum Maß-Abtastspalt mit der Breite des Strichabstandes oder stab ausgeführt ist. Ein Teilungsintervall des Maßeines ganzzahligen Vielfachen hiervon, nach Patent- Stabes besteht dabei aus einem Dunkel-Hell-Feld, bei anmeldung P 19 30 976.3, Die Erfindung hat eine dem das Dunkelfeld die gleiche Breite wie das Hellweitere Ausgestaltung der Erfindung nach der Haupt- 35 feld hat, besitzt also gleiche Teilungssymmetrie. Sopatentanmeldung zum Gegenstand und bezweckt ins- bald die Breite dieses Dunkel-Hell-Feldes die Breite besondere eine verbesserte TeÜungsausführung, die der aktiven Abtasteinheit (Fotozelle) überschreitet, verhältnismäßig leicht mit der erforderlichen Genauig- entstehen Abtastsignale, die nicht mehr elektronisch keit herstellbar ist und die sich betriebssicher abtasten analog vervielfacht werden können,
   läßt. 40 in einer Vorrichtung, welche zur Bestimmung der

   Eingeteilt werden Vorrichtungen zum fotoelek- Fehlausrichtung zwischen zwei ähnlichen übereintrischen Vermessen von Längen und Winkeln in in- andergelagerten Objekten oder deren Bildern dient, krementale Längen- und Winkelmeßsysteme (inkre- ist es bekannt, die Flächen der Objekte mit verändermentale Drehgeber) und codierte Längen- und Win- licher Transparenz auszuführen. Dies geschieht bei kelmeßsysteme (Code-Drehgeber), auch absolute 45 der bekannten Vorrichtung dadurch, daß Teile von Meßsysteme genannt. Bei den inkrementalen Meß- Segmentflächen mit willkürlich angeordneten Dunkelsystemen sind die Spuren der Maßstäbe bzw. Teil- und Hellflächen versehen sind. Diese bekannten Vorkreise im Dunkel- und Hellfelder eingeteilt, wobei richtungen können zur Bestimmung der Fehlausrich-Dunkel- und Hellfeld (Strich und Lücke) gleich breit tung von ähnlichen Objekten und eventuell noch zur sind. Bei der Messung wird jeder Meßwert durch 50 groben Winkelbestimmung verwendet werden, sind Zählen der einzelnen Impulse ermittelt. aber nicht für die fotoelektrische Vermessung von

   Bei den codierten Meßsystemen kann die abzu- Längen geeignet.

   tastende Maßstab- bzw. Teilkreisspur in einem be- Die bekannten Meßvorrichtungen haben den Nach-

   liebigen Code (z.B. im Dual-Code) ausgeführt sein. teil, daß Meßfehler durch Teilungsunsauberkeiten, Jeder Meßwert ist einer bestimmten Stelle der Teilung 55 Maßstabversschmutzung, Verkippung und Abstandszugeordnet, d. h. verschlüsselt. Es liegt auf der Hand, änderung des Abtastsystems sehr stark eingehen, d. h. daß alle Störungen, die bei inkrementalen Meß- die Meßvorrichtungen sind nur mit erheblichen Einsystemen zu Fehlzählungen führen können, wie etwa schränkungen verwendbar. Außerdem entstehen bei elektrische oder magnetische Störimpulse, Vibra- einzelnen Meßvorrichtungen elektrische Treppentionen, Überschreitung der Grenzgeschwindigkeit, 60 signale, die wieder etwas zurückspringen, d.h. für kurzzeitiger Netzausfall usw., bei codierten Systemen eine weitere elektronische Auswertung mehrdeutig die Meßgenauigkeit nicht beeinträchtigen. Das Meß- sind. Andere Meßvorrichtungen dieser Art können system liefert auch nach vorangegangenen Störungen, nicht zum Vermessen größerer Längen verwendet ebenso wie unmittelbar nach dem Einschalten, den werden. Das Auflichtprinzip mit schrägem Lichteinrichtigen Meßwert. 65 fall liefert bei Dreiecken mit kleinerer Grundlinie,

   Bei einem codierten Längen-Meßsystem steigt mit d. h. bei kleinen Teilungsintervallen, optische Verzunehmender Meßlänge die Anzahl der Spuren, d. h., Zerrungen. Bei größeren Teilungsintervallen, die der Maßstab wird immer breiter, die Anforderung an dreicckförmig bzw. keilförmig ausgeführt sind, muß