DE2934454A1 - Verfahren und vorrichtung zum fotoelektrischen positionieren eines gegenstandes unter verwendung einer registermarke - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum fotoelektrischen positionieren eines gegenstandes unter verwendung einer registermarke

Info

Publication number
DE2934454A1
DE2934454A1 DE19792934454 DE2934454A DE2934454A1 DE 2934454 A1 DE2934454 A1 DE 2934454A1 DE 19792934454 DE19792934454 DE 19792934454 DE 2934454 A DE2934454 A DE 2934454A DE 2934454 A1 DE2934454 A1 DE 2934454A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
output signal
detectors
positioning
receives
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19792934454
Other languages
English (en)
Other versions
DE2934454C2 (de
Inventor
Tatsunosuke Masuda
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd filed Critical Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Publication of DE2934454A1 publication Critical patent/DE2934454A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2934454C2 publication Critical patent/DE2934454C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D3/00Control of position or direction
    • G05D3/12Control of position or direction using feedback
    • G05D3/14Control of position or direction using feedback using an analogue comparing device
    • G05D3/16Control of position or direction using feedback using an analogue comparing device whose output amplitude can only take a number of discrete values
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically

Description

293U54
Anwaltsakte: P + G 470 Dainippon Screen Selzo
Kennwort: "Registermarke" Kabushiki Kaisha,
Kyoto, Japan
Verfahren und Vorrichtung zum fotoelektrischen Positionieren eines Gegenstandes unter Verwendung einer Registermarke
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum optischen Positionieren eines Gegenstandes, der eine Registerraarke trägt. Die Erfindung betrifft insbesondere ein automatisches, elektrooptisches System zum Positionieren eines Gegenstandes, wie eines Druekfilms oder einer Druckplatte, und zwar durch Erfassen einer Registermarke, die sich hierauf befindet, unter Verwendung fotoelektriseher Elemente.
03001 1/0753
Es wird auf das elektrooptische Positioniersystem verwiesen, das in US-PS 3 544 801 offenbart ist. Gemäß dieser Patentschrift wird ein erster Gegenstand, der eine erste Registermarke hat, in Bezug auf irgendeinen zweiten Gegenstand positioniert, der eine zweite Registermarke trägt, und zwar durch Erfassen der Unterschiede der Ausgangssignale aus einem Fotodetector, der vier fotoelektrische Elemente 1 aufweist, so wie in Figur 1 dargestellt. Jedes dieser Elemente 1 nimmt eine von vier unterteilten Flächen des Fotodetectors ein, und die Elemente sind in Quadranten angeordnet, unterteilt von einem kreuzartigen Element 2. Hierdurch wird dann ein gleiches Ausgangssignal erzeugt, wenn gleiche Bereiche der Elemente 1 gleiche Lichtmengen von einer Lichtquelle auffangen.
Bei diesem Stand der Technik muß man fotoelektrische Elemente verwenden, die dieselben Arbeitscharakteristika haben. Dies ist in der Praxis nicht immer angenehm.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum elektro-optischen Positionieren eines Gegenstandes zu schaffen, wobei die obengenannten Nachteile nicht vorhanden sind, und wobei statt dessen Einfachheit und Zuverlässigkeit gegeben sind sowie eine einwandfreie Arbeitsweise sowie eine wirkungsvolle Positioniermöglichkeit des betreffenden Gegenstandes.
Gemäß der Erfindung wird ein Verfahren zum Positionieren eines Gegenstandes geschaffen, der eine Registermarke aufweist; hierbei ist eines der beiden, also Objekt oder Registermarke, transparent, während das andere opak ist. Hierbei läßt man nun Licht auf ein Paar fotoelektrischer Detectoren fallen, sodann wird das Objekt zwischen das Licht und die Detectoren verbracht und in einer Richtung vorbewegtj diese Bewegung wird dann abgestoppt, wenn das Verhältnis zwischen den Mengen der Registermarke, die jeden der Detectoren bedecken, das durch Messen der Ausgänge der Detectoren erfaßt wird, einen vorbestimmten Wert erreicht.
030011/0753
Um dieses und andere Ziele gemäß der Erfindung zu erreichen, wird ferner, gemäß der Erfindung, ein elektro-optisches System zur Positionierung eines Objektes entlang einer Linie geschaffen; das Objekt ist mit einer Registermarke versehen, die eine andere Lichtdurchlässigkeit als das Objekt hat. Ein solches System umfaßt die folgenden Elemente:
a) Zwei fotoelektrische Detectoren sind derart angeordnet, daß das Objekt an ihnen vorbeibewegt werden kann, um das Licht zu durchschneiden, das auf sie trifft;
b) es ist ein Mittel zum Bewegen des Objektes entlang der Linie nach den Detectoren hin vorgesehen;
c) es sind zwei Differentialverstärker vorgesehen, deren jeder das Ausgangssignal eines der fotoelektrischen Detectoren auffängt und ferner eine Vorspannung empfängt, die den vollen Ausgang ihres fotoelektrischen Detectors dann empfängt, wenn er auf seiner gesamten Fläche Licht auffängt;
d) es ist ein weiterer Differentialverstärker vorgesehen, der die Ausgangssignale von den beiden Differentialverstärkern auffängt und ein positives oder negatives Ausgangssignal erzeugt;
e) es ist ein Komparator vorgesehen, der das Ausgangssignal des weiteren Differentialverstärkers auffängt und von seinem Ausgang abhängend ein Steuer- oder Regelsignal zum Betätigen des Antriebsmittels in der einen oder anderen Richtung erzeugt;
f) ein Pensterkomparator, der ebenfalls das Ausgangssignal des weiteren Differentialverstärkers empfängt und der das Antriebsmittel dann abstoppt, wenn der Wert dieses Ausgangssignales innerhalb eines bestimmten Bereiches ist.
030011/0753
Die Erfindung ist anhand der Zeichnung näher erläutert. Hierin ist im einzelnen folgendes dargestellt:
Fig. 1 zeigt in schematischer Ansicht, wie bereits erwähnt, einen herkömmlichen Fotodetector.
Fig. 2 zeigt in Aufrißansicht einen Detector zum Positionieren eines Gegenstandes gemäß der Erfindung, womit das Prinzip der Erfindung erklärt werden soll.
Fig. 3 stellt eine Aufrißansicht eines anderen Detectors zum Positionieren eines Gegenstandes dar.
Fig. 4 ist eine Aufrißansicht eines Positionierdetectors, der in fünf Stationen dargestellt wird, wenn eine Registermarke über ihn hinweggeht.
Fig. 5 zeigt ein System, das zwei Detectoren gemäß der Erfindung verwendet, zum Positionieren eines Objektes in zwei Dimensionen, wobei das Objekt richtig positioniert ist.
Fig. β zeigt dasselbe System wie die Fig. 5> wobei jedoch das Objekt unrichtig positioniert ist.
Fig. 7 zeigVein System ähnlich jenem gemäß Fig. 5, jedoch unter Verwendung von drei Detectoren, wobei ein Objekt einwandfrei positioniert ist.
Fig. 8 zeigt ein Blockschaltbild eines elektrischen Kreises für ein System gemäß der Erfindung.
In Figur 2 erkennt man einen Detector zum Positionieren eines Objektes. Dieser Detector umfaßt ein erstes fotoelektrisches Element 3, das eine Breite ρ hat(d.h. in Richtung der y-Achse gemessen) . Das Element 3 hat die Form eines Rechteckes mit vier Seiten 3a, 3b, 3c und 3d, die parallel zur x-Achse bzw. y-Achse
030011/0753
verlaufen. Der Detector umfaßt ferner ein zweites fotoelektrisches Element 4 von der Breite q. Dieses Element 4 ist ebenfalls rechteckig und vier Seiten 4a, 4b, 4c und 4d, die ebenfalls parallel zur x-Achse bzw. y-Achse verlaufen. Wie in Figur 2 dargestellt, berührt die Seite 3c das in der Figur rechts befindliche Ende der Seite 4a. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist ρ größer als q.
Die fotoelektrischen Elemente Sl und S2 haben im wesentlichen dieselben Charakteristika, wie beispielsweise Ausgangssignalstärke pro Flächeneinheit.
Von einer in der Figur nicht dargestellten Lichtquelle fällt Licht auf diese fotoelektrischen Elemente. Sodann wird ein Objekt, das einen lichtdurchlässigen Teil mit einer hierauf befindlichen, opaken Registermarke trägt, und das mit dem Bezugszeichen 5 versehen ist, über die Fläche des Detectors derart bewegt, daß dieses Licht verdeckt wird. Wie in Figur 2 dargestellt, behindert die Registermarke 5 in einigen Stellungen den Lichteinfall auf Bereiche in beiden Elementen. Gemäß der Erfindung wird die Bewegung des Objektes dann abgestoppt, wenn das Verhältnis zwischen den beschatteten Bereichen Sl und S2 auf den beiden Elementen 3 und 4 ein gewissen Wert erreicht hat, d.h. wenn das Verhältnis der Höhe der Reduktion der Signalstärke, die von den beiden Detectoren aufgefangen wurde, diesen bestimmten Wert hat.
Dieser bestimmte Wert kann ein einfaches Vielfaches oder ein Bruch sein; falls ρ gleich 2q ist, so ist es zweckmäßigerweise einheitlich.
Wie in Figur 3 gezeigt, ist es nicht notwendig, daß die rechts befindlichen Kanten oder Seiten der Elemente, in y-Richtung gesehen, miteinander fluchten. Die Mindestlänge, über welche sich die Seitenkanten der Elemente berühren sollen, sollte jedoch die Hälfte der Breite der Registermarke sein, falls der bestimmte Wert ein Ganzes ist und falls ρ gleich 2q ist. Ferner sind die Längen der
030011/0753
Elemente (in Richtung der x-Achse gemessen),durch die Bezugszeichen 6 und 7 veranschaulicht, beliebig wählbar; sie werden zweckmäßigerweise derart bemessen, dass die maximale Breite des Erfassungsbereiches des Detectors in x-Richtung liegt.
In Figur 4 sieht man ein weiteres Ausführungsbeispiel dieses Detectors, bei welchem die beiden rechteckigen, fotoelektrischen Elemente 8 und 9 von der gleichen Gestalt sind; sie sind ebenfalls rechteckig, die zweimal so lang wie breit sind. Sie sind ähnlich angeordnet, wie die in Figur 2 dargestellten Elemente.
In diesem Falle wird der die Registermarke 10 tragende Gegenstand bewegt. Die Bewegung wird dann abgestoppt, wenn Sl gleich S2 ist, d.h. wenn das Verhältnis der beschatteten Bereiche gleich 1 ist. Die Bewegung des Gegenstandes gestaltet sich wie folgt: Beschattet die Registermarke 10 nur das Element S, d.h. ist Sl = 0 und S2 positiv, wie in Fig. 4a dargestellt, so wird der Gegenstand gegen Element 8 hin bewegt, d.h. in Plusrichtung der x-Achse in Fig. Wenn Teile von beiden fotoelektrischen Elementen 8 und 9 beschattet sind, d.h. wenn Sl und S2 beide positiv sind, und wenn ferner S2 immer noch größer als Sl ist, so wird der Artikel immer noch in Plusrichtung auf der x-Achse bewegt. Ist jedoch Sl gleich S2, so wie dies in Fig. 4c dargestellt ist, so wird der Gegenstand abgestoppt. Ist jedoch Sl größer als S2, so wird der Gegenstand in Minusrichtung entlang der x-Achse bewegt, wie aus den Figuren 4b und 4e ersichtlich.
Figur 5 veranschaulicht ein System zum Positionieren eines Gegenstandes sowohl in x-Richtung als auch in y-Richtung. Die beiden Detectoren umfassen die Elemente 8, 9, 11 und 12. Sie sind jeweils von der oben beschriebenen Gestalt. Der eine arbeitet in x-Richtung und der andere in y-Richtung. Aufgrund des voraus erläuterten versteht der Fachmann diese Arbeitsweisen. Die Vorrichtung hat jedoch einen Nachteil. Bei zahlreichen Anwendungen lassen sich die Registerlinien I^ sauber ausrichten. Ist jedoch die Ausrichtung variabel, so kann eine derartige Einrichtung nicht zwischen der gewünschten Endposition und einer solchen
030011/0753
Position, wie in Fig. 6 dargestellt, unterscheiden, wobei die Registerlinien gegeneinander geneigt sind. Dies kann unter Umständen wichtig sein.
Um diese Nachteile zu vermeiden, wird gemäß der Erfindung vorgeschlagen, einen oder mehrere Detectoren zu verwenden, die die Elemente 14 und 15 des oben beschriebenen Types umfassen, und so wie in Fig. 7 dargestellt, zusammen mit einer weiteren Registermarke 16. Es versteht sich aufgrund der obigen Erläuterung, daß durch richtiges Betätigen der Antriebsmotoren entlang der x-Riehtung des die Registermarken tragenden Artikels und entlang jeder Kante in y-Richtung die saubere Positionierung klar und sicher über den Artikel durch diese Detectoren gefunden werden kann.
In Figur 8 ist ein elektrischer Kreis für ein automatisch arbeitendes Artikelpositioniersystem gemäß der Erfindung dargestellt. Das System umfaßt drei Differentialkreise 2OX, 2OY und 20Θ, drei Komparatoren 25X, 25Y und 25©> drei Fensterkomparatoren 2βΧ, 2βΥ und 2βθ· und drei Regler 27X, 27Ύ und 27Θ zum Antreiben dreier Motoren 28X, 28Y und 28&, um den Artikel derart zu bewegen, daß er in der X-und in der Y-Richtung positioniert und verdreht wird. Jeder Differentialkreis 2OX, 2OY und 20Θ umfaßt ein Paar Differentialverstärker 21 und 22 für ein Paar fotoelektrische Elemente 8a und 9a, 11a und 12a, oder 14a und 15a sowie einen weiteren Differentialverstärker 23 und einen Inverter 24.
Dieses System läßt sich dann anwenden, wenn die Oberflächenbereiche eines jeden eines Paares von fotoelektrischen Elementen voneinander abweichen. Die Maximalwerte der Ausgangssignale AX und BY der fotoelektrischen Elemente 8a und 9& können verschieden sein, die Maximalwerte der Ausgangssignale AY und BY der fotoelektrischen Elemente 11a und 12a können verschieden sein, und die Maximalwerte der Ausgangssignale AZ und BZ der fotoelektrischen Elemente l4a und 15a können verschieden sein.
03001 1/0753
Es sei darauf verwiesen, daß der Motor für die X-Richtung den Gegenstand insgesamt in X-Richtung bewegt; der Motor für die Y-Richtung bewegt den Artikel insgesamt in Y-Richtung, d.h. er bewegt seine Kanten um denselben Betrag in derselben Richtung, und der sogenannte Θ-Motor bewegt die Y-Kante des Artikels, während die andere Kante fixiert bleibt, von einer geringfügigen Drehung abgesehen, so daß der Artikel leicht verdreht wird.
Bei einigen Ausführungsformen könnte dies dadurch bewirkt werden, daß der Motor für die Y-Richtung zwei Motoreinheiten umfaßt, die beide gemeinsam betätigt werden, während der Motor für die β-Richtung nur einen dieser Motoreinheiten umfaßt. Bei einer weiteren Ausführungsform kann der Motor für die Θ-Richtung eine Motoreinheit sein, die nur eine Kante des Gegenstandes antreibt, die dann bewegt wird, wenn der Motor für die Y-Richtung, der eine Motoreinheit ist, der die andere Kante des Gegenstandes (in Y-Richtung) antreibt, betätigt wird. Derartige Abwandlungen sind jedoch dem Fachmann verständlich.
Die Betätigung des Regel- und Steuersystemes in X-Richtung soll im folgenden beschrieben werden. Die Operationen in Y- und Q-Richtung sind völlig analog und lassen sich aufgrund der vorgehenden Erläuterungen leicht verstehen.
Die Ausgangssignale Ax und Bx der fotoelektrischen Elemente 8a und 9a werden den Differentialverstärkern 21 und 22 jeweils eingegeben, und die Vorspannungen a und b werden den Different!alverstärkern 21 und 22 als Bezugsspannungen eingegeben. Diese Vorspannungen a und b (bias voltages) werden derart eingestellt, daß die Differentialverstärker 21 und 22 dann Nullsignale abgeben, wenn keines der fotoelektrischen Elemente 8a oder 9a von den Registermarken beschattet wird. Deshalb gilt: a = Ax (max) und b = Bx (max).
030011/0753
Auf diese Weise erzeugen die Differentialverstärker 21 und 22 Ausgangssignale, die den beschatteten Bereichen der Elemente 8a und 9a jeweils entsprechen. Diese Ausgangssignale aus den Differentialverstärkern 21 und 22 werden dem Differentialverstärker 23 eingegeben.
Der Differentialverstärker 23 liefert dem Komparator 25X und dem Fensterkomparator 26X ein positives oder ein negatives Ausgangssignal. Komparator 25X erfaßt das positive oder negative Ausgangssignal und gibt ein Regelsignal dem Regler ZfX zum Antreiben des Motors 28x in der gewünschten Richtung, d.h. in Plusrichtung entlang der X-Achse gemäß Figur 7, oder in Minusrichtung entlang der X-Achse, je nachdem Zeichen des Ausgangssignales aus dem Verstärker 23.
Fensterkomparator 26X gibt ferner den Regler 27X ein weiteres Regelsignal zum Anhalten des Motors 2δΧ , wenn der Wert des Ausgangssignales aus dem Differentialverstärker 23 innerhalb eines bestimmten Bereiches liegt, und sendet dieses Signal einem UND-Gatter 29·
Ist ferner die an dem Artikel befestigte Registermarke negativ, so sind die Differentialverstärker 21 und 22 nicht notwendig. Die Schalter Wl und W2 werden daher von den Positionen Cl und ρ auf C2 und η gestellt. In diesem Falle wird das Ausgangssignal von dem Differentialverstärker 23 in dem Inverter 24 vor dem Komparator 25X invertiert, um die richtige Richtung zum Bewegen des markierten Artikels sicherzustellen.
Sind ferner die Oberflächenbereiche und die maximalen Ausgänge des Paares fotoelektrischer Elemente 8a und 9a dieselben, und ist der Abfall des Ausgangs pro beschatteter Fläche demgemäß ebenfalls dieselbe, so sind die Differentialverstärker 21 und 22 nicht erforderlich, und somit wird der Schalter Wl auf die Position c2 verbracht.
10 030011/0753
Wie zuvor erwähnt, ist die Arbeitsweise des Positionierens in Y-Richtung und in Θ-Richtung ähnlich der zuvor beschriebenen Arbeitsweise.
Ist ein Artikel schließlich sauber in allen drei Richtungen ausgerichtet, so liefert das UND-Gatter 29 ein Signal zum Einleiten der nächsten Phase des Arbeitens der Einrichtung, ungeachtet wie diese auch immer sein möge.
03001 1 /0753
Leerseite

Claims (1)

  1. Patentansprüche
    !.!Verfahren zum Positionieren eines Gegenstandes, der eine Registermarke trägt, wobei eines von beiden, also Gegenstand oder Registermarke lichtdurchlässig ist, während das andere opak ist, gekennzeichnet durch die folgenden Verfahrenssehritte:
    a) Man Iä2t Licht auf ein Paar fotoelektrischer Detectoren fallen und bewegt sodann die Gegenstände zwischen das Licht und die Deteetoren in einer Richtung;
    b) die Bewegung wird dann abgestoppt, wenn das Verhältnis zwischen den Mengen der Registermarke, die jeden Detector überdeckt, und die durch Messen der Ausgänge der Detectoren erfaßt wird, einen gewissen vorbestimmten Wert erreicht.
    2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, aai3 die Detectoren im wesentlichen rechtwinklig sind und ungleiche Seitenlängen haben, und da3 sie derart mit den Seiten aneinanderliegen, da3 die kürzere Seite des einen Rechteckes an der längeren Seite des anderen Rechteckes anliegt, mit dieser aber nicht zusammenfällt.
    3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Detectoren doppelt so lang wie breit sind.
    4. Verfahren nach Anspruch 3> dadurch gekennzeichnet, daß der '/orcestimmte Wert Sins beträgt.
    Π3Π01 1 /0753
    Elektro-optisches System zum Positionieren eines Gegenstandes entlang einer Linie, wobei der Gegenstand mit einer Registermarke verseilen ist, die einen anderen Lichtdurchlässigkeitsgrad als der Gegenstand selbst hat, gekennzeichnet durch die folgenden Elemente:
    a) Es sind zwei fotoelektrische Detectoren derart angeordnet, daß der Gegenstand derart über sie hinwegbewegt werden kann, daß er auf diese fallendes Licht schneidet; b") es ist ein Mittel zum Antreiben des Gegenstandes entlang einer Linie zu den Detectoren hin vorgesehen;
    c) es sind zwei Differentialverstärker vorgesehen, deren jeder das Ausgangssignal von einem der fotoelektrischen Detectoren empfängt, und ferner eine Vorspannung auffängt, die dem vollen Ausgang seines fotoelektrischen Detectors dann entspricht, wenn Licht auf seiner gesaraten Fläche einfällt;.
    d) es ist ein weiterer Differentialverstärker vorgesehen, der die Ausgangssignale von den beiden Differentialverstärkern auffängt und ein positives oder negatives Ausgangssignal erzeugt;
    e) es ist ein Komparator vorgesehen, der das Ausgangssignal des weiteren Differentialverstärkers auffängt, und der je nach seinem Vorzeichen ein Steuersignal zum Betätigen der Antriebsvorrichtung in der einen oder anderen Richtung erzeugt;
    f) es ist ein Fensterkomparator vorgesehen, der ebenfalls das Ausgangssignal des weiteren Differentialverstarkers aufnimmt und der die Bewegung der Antriebsvorrichtung dann abstoppt, wenn der Wert dieses Ausgangssignales innerhalb eines vorbestimmten Bereiches liegt.
    01(101 1 /Π753
    Elektrooptisches System stun Positionieren eines Gegenstandes in einer Ebene, wobei der Gegenstand mit einer Registermarke versehen ist, die aus einem χ-Regel-Bereich und einem y-Regel-Bereich besteht, wobei diese. Bereiche andere Liehtdurchlässigkeitsgrade als der Gegenstand selbst haben, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Positioniereinrichtungen vorgesehen sind, und daß jede die folgenden Merkmale umfaßt:
    a) Zwei fotoelektrische Detectoren, die derart angeordnet sind, daß das Objekt geradlinig über sie hinwegbewegt werden kann, so daß' das auf sie fallende Licht geschnitten wird,
    b) es ist ein Antriebsmittel für den Gegenstand oder das Objekt entlang dieser geraden Linie und über die Detectoren hinweg vorgesehen;
    c) es sind zwei Differentialverstärker vorgesehen, deren jeder das Ausgangssignal eines der fotoelektrischen Detectoren auffängt, und der ferner eine Torspannung empfängt, die dem vollen Ausgang ihres fotoelektrischen Detectors dann entspricht, wenn er auf seiner gesamten Fläche licht empfängt;
    d) es ist ein weiterer Differentialverstärker vorgesehen, der die Ausgangssignale von den Differentialverstärkern empfängt und ein positives oder negatives Ausgangssignal erzeugt;
    e) es ist ein Komparator vorgesehen, der das Ausgangssignal des weiteren Differentialverstärkers auffängt, und der je nach seinem Vorzeichen ein Regelsignal zum Antreiben der Antriebsvorrichtung in der einen oder anderen Richtung erzeugt;
    f) es ist ein Pensterkomparator vorgesehen, der ebenfalls das Ausgangssignal des weiteren Differentialverstärkers auffängt und der die Antriebsvorrichtung dann abstoppt, wenn der Wert dieses Ausgangssignales innerhalb eines vorbestimmten Bereiches liegt;
    g) die beiden geraden Linien, entlang welcher dieser beiden Positioniervorrichtungen arbeiten, befinden sich unter einem Winkel zueinander, und der x-Regel-Bereich der Registermarke ist derart gestaltet und angeordnet,
    030011/0753
    daß er mit einer der Positioniereinrichtungen zusammenarbeitet, während der y-Regel-Bereich mit der anderen Positioniereinrichtung zusammenarbeitet.
    7. Elektro-optisches System zum Positionieren eines Gegenstandes in einer Ebene, wobei das Objekt mit einer ersten Registermarke versehen ist, das aus einem x-Regel-Bereich und einem y-Regel-Bereich besteht, und einer zweiten Registermarke, die aus einem y-Regel-Bereich besteht, wobei diese Registermarken einen anderen Lichtdurchlässigkeitsgrad als das Objekt selbst aufweisen, mit einer ersten, einer zweiten und einer dritten Positioniereinrichtung, die jeweils die folgenden Merkmale aufweisen:
    a) Es sind zwei fotoelektrische Detectoren derart angeordnet, daß der Gegenstand derart über sie hinwegbewegt werden kann, daß er auf diese fallendes Licht schneidet;
    b) es ist ein Mittel zum Antreiben des Gegenstandes entlang einer Linie zu den Detectoren hin vorgesehen;
    c) es sind zwei Differentialverstärker vorgesehen, deren jeder das Ausgangssignal von einem der fotoelektrischen Detectoren empfängt, und ferner eine Vorspannung auffängt, die dem vollen Ausgang seines fotoelektrischen Detectors dann entspricht, wenn Licht auf seiner gesamten Fläche einfällt;
    d) es ist ein weiterer Differentialverstärker vorgesehen, der die Ausgangssignale von den beiden Differentialverstärkern auffängt und ein positives oder negatives Ausgangssignal erzeugt;
    e) es ist ein Komparator vorgesehen, der das Ausgangssignal des weiteren Differentialverstärkers auffängt, und der je nach seinem Vorzeichen ein Steuersignal zum Betätigen der Antriebsvorrichtung in der einen oder anderen Richtung erzeugt;
    f) es ist ein Pensterkomparator vorgesehen, der ebenfalls das Ausgangssignal des weiteren Differentialverstärkers aufnimmt und der die Bewegung der Antriebsvorrichtung dann abstoppt, wenn der Wert dieses Ausgangssignales innerhalb eines vorbestimmten Bereiches liegt,
    030011/0753 5
    wobei die geraden Linien, entlang welcher die zweite und die dritte Positioniereinrichtung arbeiten, parallel zueinander liegen, jedoch einen gegenseitigen Abstand aufweisen, und die gerade Linie, entlang welcher die erste Positioniereinrichtung arbeitet, unter einem Winkel zu diesen Linien liegt;
    und wobei ferner der x-Regel-Bereich der ersten Registermarke mit der ersten Positioniereinrichtung zusammenarbeitet, der y-Regel-Bereich der ersten Registermarke mit der zweiten Positioniereinrichtung, und der y-Regel-Bereich der zweiten Registermarke mit der dritten Positioniereinrichtung.
    8. System nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dai3 die beiden Positioniereinrichtungen entlang Linien arbeiten, die rechtwinklig zueinander liegen.
    9. System nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Linien, entlang welcher die erste Positioniereinrichtung arbeitet, und die Linie, entlang welcher die zweite Positioniereinrichtung arbeitet, einen rechten Winkel miteinander bilden.
    Heidenheim, 23.08.79
    DrW/Srö
    03001 1/0753
DE2934454A 1978-08-30 1979-08-25 Vorrichtung zum fotoelektrischen Positionieren eines Gegenstandes unter Verwendung einer Registermarke R Expired DE2934454C2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP53106533A JPS5856402B2 (ja) 1978-08-30 1978-08-30 位置決め用センサ−

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2934454A1 true DE2934454A1 (de) 1980-03-13
DE2934454C2 DE2934454C2 (de) 1982-03-18

Family

ID=14436022

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2934454A Expired DE2934454C2 (de) 1978-08-30 1979-08-25 Vorrichtung zum fotoelektrischen Positionieren eines Gegenstandes unter Verwendung einer Registermarke R

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4370059A (de)
JP (1) JPS5856402B2 (de)
DE (1) DE2934454C2 (de)
FR (1) FR2435081A1 (de)
GB (1) GB2034881B (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3136701C1 (de) * 1981-09-16 1983-04-07 M.A.N.- Roland Druckmaschinen AG, 6050 Offenbach Vorrichtung zum Abtasten von auf Druckgut aufgedruckten,die Lagegenauigkeit des Druckfarbenauftrages charakterisierender Passmarken
DE3142316A1 (de) * 1981-10-24 1983-05-05 Heidelberger Druckmaschinen Ag, 6900 Heidelberg Einrichtung zum regeln der seitlichen lage einer bedruckstoffbahn in rollendruckmaschinen
DE3343206A1 (de) * 1982-12-01 1984-06-07 Canon K.K., Tokio/Tokyo Mit ausrichtungsmarken versehenes blattfoermiges element sowie ausrichtungsvorrichtung fuer dasselbe
EP0147493A1 (de) * 1983-12-28 1985-07-10 International Business Machines Corporation Verfahren und Ausrüstung zur automatischen Ausrichtung eines Objekts bezogen auf eine Referenz

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55138746A (en) * 1979-04-16 1980-10-29 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Automatically matching method and device for image
US4325077A (en) * 1980-05-19 1982-04-13 Gca Corporation Automatic wafer alignment system
JPS583227A (ja) * 1981-06-29 1983-01-10 Fujitsu Ltd チップアライメント方法
JPS58126536A (ja) * 1982-01-25 1983-07-28 Dainippon Printing Co Ltd 印刷版の細線検出装置
JPS58126537A (ja) * 1982-01-25 1983-07-28 Dainippon Printing Co Ltd オフセット印刷機の見当合せ方法
US4518856A (en) * 1982-09-14 1985-05-21 Sheltered Workshop For The Disabled, Inc. Line sensing method and apparatus
DE3323214C1 (de) * 1983-06-28 1984-10-11 Dürkoppwerke GmbH, 4800 Bielefeld Optoelektronische Abtastvorrichtung an einer Naehmaschine
JPS6010730A (ja) * 1983-06-30 1985-01-19 Toshiba Corp 半導体ウエハの位置合わせ方法
US4853880A (en) * 1985-08-23 1989-08-01 Canon Kabushiki Kaisha Device for positioning a semi-conductor wafer
GB8710021D0 (en) * 1987-04-28 1987-06-03 Crosfield Electronics Ltd Monitoring passage of marks on web
US4864415A (en) * 1988-05-04 1989-09-05 Xerox Corporation Slow scan registration self alignment system for raster input scanners
US5107127A (en) * 1990-08-13 1992-04-21 Eastman Kodak Company Method and apparatus for precision location of a perforation
TW359770B (en) * 1997-09-16 1999-06-01 Sanei Giken Co Ltd Photomask and alignment method

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1942304A1 (de) * 1969-07-24 1971-02-25 Signt Ind Holdings Ltd Spielautomat
DE2101555A1 (de) * 1971-01-14 1972-07-27 Siemens Ag Einrichtung zum Regeln der Lage der seitlichen Kante einer bewegten Materialbahn
DE1806450B2 (de) * 1968-10-31 1972-11-09 Siemens AG, 1000 Berlin u. 8000 München Anordnung zur gsteuerten fuehrung einer arbeitsmaschine mit hilfe von laserstrahlen
DE2224083A1 (de) * 1971-05-17 1972-11-30 Canon Kk Photoelektrische Positioniereinrichtung
DE1919991B2 (de) * 1969-04-19 1973-05-10 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Anordnung zur automatischen ausrichtung von zwei aufeinander einzujustierenden objekten

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3486826A (en) * 1965-12-27 1969-12-30 Honeywell Inc Three axis optical alignment apparatus
FR2094473A5 (de) * 1970-06-23 1972-02-04 Asahi Optical Co Ltd
US3718821A (en) * 1971-10-29 1973-02-27 G Vischulis Automatically adjusting photoelectric position detector
US3819273A (en) * 1972-02-14 1974-06-25 Laser Alignment Light target and sensor
US3943359A (en) * 1973-06-15 1976-03-09 Hitachi, Ltd. Apparatus for relatively positioning a plurality of objects by the use of a scanning optoelectric microscope
US3885877A (en) * 1973-10-11 1975-05-27 Ibm Electro-optical fine alignment process
JPS5836333B2 (ja) * 1974-04-16 1983-08-09 イノウエ ヨシオ タシヨクインサツヨウシヨクハン ノ テイイチケンシユツソウチ
US3903363A (en) * 1974-05-31 1975-09-02 Western Electric Co Automatic positioning system and method
JPS5128465A (en) * 1974-09-04 1976-03-10 Hitachi Ltd Kauntaomochiita noizusapuresuhoshiki
US3930150A (en) * 1974-12-23 1975-12-30 Digital Systems Apparatus for determining the centroid of a lighted hole
JPS5352072A (en) * 1976-10-22 1978-05-12 Hitachi Ltd Pattern for alignment

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1806450B2 (de) * 1968-10-31 1972-11-09 Siemens AG, 1000 Berlin u. 8000 München Anordnung zur gsteuerten fuehrung einer arbeitsmaschine mit hilfe von laserstrahlen
DE1919991B2 (de) * 1969-04-19 1973-05-10 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Anordnung zur automatischen ausrichtung von zwei aufeinander einzujustierenden objekten
DE1942304A1 (de) * 1969-07-24 1971-02-25 Signt Ind Holdings Ltd Spielautomat
DE2101555A1 (de) * 1971-01-14 1972-07-27 Siemens Ag Einrichtung zum Regeln der Lage der seitlichen Kante einer bewegten Materialbahn
DE2224083A1 (de) * 1971-05-17 1972-11-30 Canon Kk Photoelektrische Positioniereinrichtung

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3136701C1 (de) * 1981-09-16 1983-04-07 M.A.N.- Roland Druckmaschinen AG, 6050 Offenbach Vorrichtung zum Abtasten von auf Druckgut aufgedruckten,die Lagegenauigkeit des Druckfarbenauftrages charakterisierender Passmarken
DE3142316A1 (de) * 1981-10-24 1983-05-05 Heidelberger Druckmaschinen Ag, 6900 Heidelberg Einrichtung zum regeln der seitlichen lage einer bedruckstoffbahn in rollendruckmaschinen
DE3343206A1 (de) * 1982-12-01 1984-06-07 Canon K.K., Tokio/Tokyo Mit ausrichtungsmarken versehenes blattfoermiges element sowie ausrichtungsvorrichtung fuer dasselbe
EP0147493A1 (de) * 1983-12-28 1985-07-10 International Business Machines Corporation Verfahren und Ausrüstung zur automatischen Ausrichtung eines Objekts bezogen auf eine Referenz

Also Published As

Publication number Publication date
US4370059A (en) 1983-01-25
JPS5856402B2 (ja) 1983-12-14
JPS5533145A (en) 1980-03-08
DE2934454C2 (de) 1982-03-18
FR2435081B1 (de) 1984-02-10
GB2034881A (en) 1980-06-11
GB2034881B (en) 1983-03-02
FR2435081A1 (fr) 1980-03-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2934454A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum fotoelektrischen positionieren eines gegenstandes unter verwendung einer registermarke
DE2120383C2 (de) Einrichtung zum genauen Einstellen zweier in mehrere bestimmte Relativlagen zueinander bewegbarer Teile
CH643959A5 (de) Verfahren und vorrichtung zur automatischen lageerkennung von halbleiterchips.
DE2213171C3 (de) Vorrichtung zum Ausrichten zweier mit Ausrichtungsmustern versehener Gegenstände, insbesondere einer transparenten Maske gegenüber einem HaIbleiterplittchen
DE2934603A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur photoelektrischen positionierung eines gegenstands unter bezug auf eine ausrichtmarkierung
DE2431206A1 (de) Vorrichtung zum optischen lesen einer beugungsspur
DE2950606A1 (de) Vorrichtung zur zonenweisen optoelektronischen messung der flaechendeckung einer druckvorlage
DE3436874C2 (de) Vorrichtung zum automatischen Feststellen der Lage der Bildstege auf einem Umkehrfilm
DE1941057B2 (de) Einrichtung zur selbsttätigen Lage justierung eines Werkstuckes gegenüber einem Bezugspunkt
DE3235453A1 (de) Gleisbehandlungsmaschine
DE2911458A1 (de) Vorrichtung zur erkennung von nicht praeparierten briefmarken
DE2735943C2 (de) Vorrichtung zur Überprüfung der Druckgüte von mehrfarbig bedruckten, in einem Stapel abgelegten Bogen
DE1925937A1 (de) Anordnung zur Kontrolle und UEberwachung der Guete der Oberflaechenbearbeitung
DE3511757A1 (de) Vorrichtung zur bestimmung der position eines eine lichtquelle aufweisenden positionsgebers
DE2829359A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur positionierung von elementen
DE2315366A1 (de) Fotoelektronischer abtastkopf
DE2756954A1 (de) Optisch-elektronische fokussiereinrichtung
DE2627478A1 (de) Einrichtung zum zentrieren eines werkstuecks
DE2234154A1 (de) Manipulator
DE2230853C3 (de) Linienschreiber
DE3501051A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur positionsbestimmung
AT391027B (de) Verfahren zum vermessen der kanten eines holzes im laengstransport und vorrichtung hierfuer
DE1235011B (de) Vorrichtung zur digitalen Anzeige der Winkellage einer sich drehenden Welle
DE2055715B2 (de) Elektrische Kopiersteuerungsvorrichtung für Bearbeitungsmaschinen, insbesondere Brennschneidmaschinen
DE4136089A1 (de) Verfahren zum bestimmen der kristallorientierung in einem wafer

Legal Events

Date Code Title Description
OAP Request for examination filed
OD Request for examination
D2 Grant after examination
8339 Ceased/non-payment of the annual fee