DE1934993A1 - Verfahren zur Abscheidung von Siliziumdioxyd und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens - Google Patents

Description

Unser Zeichen: T 758

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13500 North Central Expressway-Da lias/Texas, V.St.A.

Verfahren zur Abscheidung von Siliziumdioxyd und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

Erfindung betrifft die Herstellung eines Gegenstandes aus Metalloxyd durch Zersetzung von flüchtigen M;tallchloriden und insbesondere die Abscheidung von Metalloxyd auf einem Substrat durch eine in der Gasphase durchgeführte Hydrolyse flüchtiger, wasserfreier Chloride von Metallen der Gruppen III und IV des Periodensystems, beispielsweise Titantetrachlorid, Aluainiumtrichlorid, Siliziumtetrachlorid und Zinntetrachlorid.

Bei der Herstellung gewisser Halbleiterbauelemente wird einkristallines Silizium aus einer Schmelze aus sehr reinem Siliziumgezogen.- Damit das Ausmass der Verunreinigungen verringert wird, die von Schmelztiegel in die in ihm enthaltene Siliziumschaelze eindringen, hat sich die Herstellung des Schaelztiegeis aus sehr reinem geschmolzenem Siliziumdioxyd als vorteilhaft erwiesen. Solche Siliziuadioxydschaelztiegel müssen einen sehr symmetrischen Aufbau und gleichmässige Seitenwände besitzen, damit ein gleichmässiger Zug aus der Siliziumschmelze erzeugt wird.

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Zur Herstellung von Gegenständen aus Siliziuadioxyd sind bisher verschiedene Verfahren entwickelt worden. So ist beispielsweise in der USA-Patentschrift 2 272 342 ein Verfahren beschrieben,uachdem ein durchsichtiger Gegenstand aus Siliziumdioxyd durch Verdampfen von Siliziutntstrachlorid und durch Zersetzen des Dampfes in einer Flamme hergestellt wird. Beim Auftreffen der !"lamme auf einem feuerfesten Kern wird eine Schicht aus Siliziumdioxyd abgeschieden. Das Siliziuffldioxyd wird dann durch Anwendung von V/arme zu einem durchsichtigen Gegenstand gesintert. Ausserdea ist in der USA-Patenxschrift 3. 117 838 die Herstellung fc eines Siliziumdioxydschmelztiegels beschrieben, die dadurch erfolgx, dass eine Gasmischung aus Silan und eines reaktionsfähigen Gas in einem gesundeten Brenner oxydiert wird, damit geschmolzenes 3iliziutadio::yd entsteht, das dann auf eine ^-chlenstoffform gelenlct wird. Die Herstellung eines extrem reinen Silisiumdioxydsehmelztiegels mit der gewünschten gleichmässigen und symmetrischen x'orai unter gleichzeitiger ürzielung einer wirksamen und wirtschaftlichen Siliziuadioxydabscheidung war jedoch mit den bisher entwickelten Verfahren nicht völlig befriedigend.

Nach der Erfindung werden mehrere Brenner um eine .fläche herum angebracht, auf der sich das Oxyd eines flücatigen " Metallchlori'Is abscheiden soll. Jeler der Brenner lenzt Gasströme aus flüchtigem Metallchlorid und aus brennbaren-Rsaktionsgtoffen gegen die Hache. V/enn. die G^sströse gezündet sind, wird daa flüchtige Metallchlorid durch eine in der Gasphase erfolgende Hydrolyse zersetzt und auf der Fläche abgeschieden. Durch ein-3 Reaktion der J'lammenanteile dicht bei der fläche wird ein verbesserter Abscheidungswirkungsgrad erzeugt, so dass eine gleichmassige Abscheidung vcn höchst reinem Metalloxyd auf der fläche entsteht.

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_omQ1NAU

Ausfuhrungsbeispiele der irfindung sind in der Seichnung dargestellt.Darin zeigen:

Pig.1 eine schecatische Darstellung αer Anordnung zur Abscheidung des Ketalloxydgegeηstand es auf einem sich drehenden Dorn,

Pig. 2 eine s'chematische Stirnansicht der Anordnung von

Pig.3 eine teilweise geschnittene Ansicht eines Brenners für die Anordnung von Pig.1,

Fig.έ eine Stirnansicht des Brenners von Pig.3,

Pig.5 eine schecnatische Ansicht einer weiteren Ausführungsfora der Erfindung,

Pig.6 eine Stirnansicht der in Pig.5 dargestellten Anordnung und

Pig.7 eine schematische Stirnansicht einer weiteren Ausführungsfora der Erfindung.

~£s ist zwar hier die Abscheidung von Siliziuadioxyd durch Zerlegung von Silisiumtetraehlorid näher beschrieben, doch können mit diesem Verfahren natürlich auch andere flüchtige * wasserfreie Chloride von Metallen der Öruppen III und IV des Periodensyeteeis vorteilhaft sersetst werden« In der bevorzugten Ausführungäforta der Erfindung wird jedoch SiiiziüEteträchlorid Versetzt, damit gemass der folgenden Gleichung Silisiumdiöxyd entsteht:

+ 2H₂O -> SiOg + 4HCl.

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lh S¹Ig₄I ist eine Anordnung zur* Herstellung eineö sGhaelztiegelu^ dargestellt* LIn aus bestehender Dorn 1Ό ist ällgeüsin gylinürisöh und mit 'eitietö abgerundetem Snäabsöhnitt versehen*

besteht v§rzügö\veise aus ei heia Material wie träpiltj daö einen relativ glossieren WäräeäUs<iehhungi3-feöeffiBiöhten als üäis &u-£ iha ätezü'scheidehäe Siliäiüa*- üiöiyd besitzt»Ssr Jör"n 10 ist auf eitiet? Welle XZ befestigt, die iäit ei&sca &ewindeäfesö?i'aitt H ve rs etieti ist* Der ©€«

H öir Wells 12 ist iß eiöö. Steliffiuttoa? 16 fet-, die stari iäit eiriBffi Träger Verbünden ist* I3äö lilä'e äe£ Welle 12 iöt fflit ch3£ Äüsgäiä^Vjelle eines -

Meters IB y-g¥Mnileh* We&B der Motor ³IS ©iögesöbältet Vrlfd, äröht si'öli Sie Well© 12 -in der vöffl Fffeil tO ängegefeeneß RiöiäMfig» SäSüberhinalis vefa^Säelit U^ Jjreliüög üer Welle XZ als t©l#e der 2u§a'ß&ehV;ir'lcü&g ihres Ureöiadeabsclinitts 14 Si% ÜQ't iitsfesteü ßtölliäiitter 16 eiöe seltlleae ferlangerüsg iia fer t©ffl fieil 22 angegebenen Richtung* ^wisöfcien deffi änäe ä§S Velie 11 und uea? iusgangswetie tes Motors 18 ist •έ'ί'ύ if^rltogoisrlitliSglieu angebracht * öas eine

d Sö¥ö 10 iiaa av»ei Irtnaer 24 und 26 ä&g'öß'Mßgt, die if WtS to er'zeu^ie, ai-e gegen deta sieli äreli'e-«i.ilea gerichtet slat* Wie nööia geiöääer bes-'cbrl©beö-v^iit, al© tlaaiaeö ST u.&t 2© &ls Folge de£

üie iat der &ä@§iteäe i«.reläg tie flaaisgfe ^©raetät^ UM 'es ©£f©lgi

Sieb,

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Über dem Dorn 10 ist eine den Brennern 24 und 26 gegenüberliegende Abzugshau.be 30 angebracht, damit Rauch und unerwünschte Bestandteile abgeführt werden, die sich aus der flamme ergeben. In ?ig.2 ist eine Stirnansicht der in rig.1 dargestellten Anordnung gezeigt, bei der die •Brenner 24 und 26 in einem Winkel 0 zueinander stehen. 3s hat sich gezeigt, dass ein Vänkelbereich zwischen 60 und 120° zu ausgezeichneten Ergebnissen führt, wobei ein Winkel 0 von 90° bei vielen Ausfhrungen der Anordnung bevorzugt ist. G-ewo'hnlich ist die Einstellung eines Winkels 0 bevorzugt, bei dem nur ein kleiner Bjreich 31 vorhanden ist, indem eine Wechselwirkung zwischen Teilen der Flammen dicht an der Oberfläche des Dorns 10 vorliegt.3s hat sich herausgestellt, dass sich bessere Abscheidungswirkung^rade ergeben, wen-η ein solcher Flammenwechselwirkungsbereich vorhanden ist.

In Pig.3 und Fig.4 ist eine lusfiirungsform eines Brenners dargestellt, der zur Durchführung des hier beschriebenen Verfahrens verwendet werden kann. Dazu können aber auch verschiedene andere Arten von Brennern zur Zersetzung eines flüchtigen Metallchlorids verwendet werden.

Nach Fig..3 und Fig. 4 erstreckt sich in Längsrichtung durch den Brenner ein Rohr 32 aus Edelstahl, das einen Durchläse für verdampftes Siliziumtetrachlorid bildet, das in einem Trägergas mitgeführt werden kann. Ein T-Anschluss 33 ist um das Rohr 32 gelegt und mit Hilfe des Verbindungsgliedes 34 abgedichtet. Über einem Rohr 38 aus Edelstahl sitzt ein Befestigungsglied' 36, das eine Dichtung zwischen dem Ende des Rohrs 38 und dem Rohr 32 bildet. Auf diese Weise wird zwischen dem Rohr 32 und dem Rohr 38 eine anga, ringförmige Mantelkammer 40 gebildet. Ein Einlass 42 ■ des T-Anschlusses 33 ist) mit einer Quelle eines Hüllgases,

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in diesen lall Sauerstoff, verbunden, so dass aas Hüllgas in die Mantellcaamer 40 geführt wird. Bei einem tatsächlich ausgeführten Brenner wurden ein R>hr 32 ?Λτ einem Durchmesser von 0,6 cm ( 1/4 inch) und ein Rohr mit einem Durohmesser von 1 ca ( 3/3 inch) verwendet.

Ein ringförmiges Gehäuse 44 bildet um das Rohr 38 eine ringförmige Mischkammer 50. Ein Einlass 52 ist mit einer V/a3serst off quelle verbunden und ein Einlass 54 ist mit einer Sauerstoffquelle verbunden. Ein ringförmiger Gehäuseabschnitt 56 bildet um das Gehäuse 44 eine ringföroige Kühlkammer. Ein Einlass 58 ist.mit einer Quelle eines fe Kühlmittels , beispielsweise Kühlwasser, verbunden, das über einen A uslass 60 wieder ausströmen kann.

Auf dem Ende des Brenners sitzt eine Düsanplatte 62. Wie aus Pig.3 und Pig.4 hervorgeht, besitzt die Düsenplatte 62 ein kreisförmiges Teil mit gebogenen Planschen 64, die eine strömungssitteldiehte Verbindung mit dem Brenner bilden. Las Snde des Rohr3 32 ist sit einer in der Miste gelegenen Düsenöffhung 66 versehen. Das Ende des Rohrs wird von der Lüsenplatte 62 derart aufgenommen, da3S eine ringförmige Mantel öffnung 68 gebildet wird, die konzentrisch us die Düsenöffnung 66 verläuft. Lie Hantel öffnung 63 steht alt der Kantelkaaaer 40 in Verbindung. Der Quer-

" schnitt der Düsenöffnung 56 ist wesentlich kleiner als der Innenquerschnitt ie3 Rohrs 32, so dass aus der Düsen-Öffnung 66 ein Gasstrahl mit einer relativ hohen Ge-

aekwindigkerfc.jg_tröat. I)a.3_^ajiS-4^x-JCanjteJJi££-miag—€3

strömende Gas hüllt den aus der Düsenöffnung 56 strömenden Gasstrahl im wesentlichen ein, äaciit dessin sofortige Reaktion verhindert wird, damit eine Katerialabschsiüung auf der Pläche der Dü3enplatte 62 und so ihr Verstopfen verhindert wird»

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^TJ;n eic Düser.öf fnung '65 sind Ih einer zylindrischer. Anordnung i-iehiere öffnungen 70 symmetrisch angebracht, die alt der Mischkammer 50 in Verbindung stehenι Las in der Nisehkammer 50 enthaltene brennbare Gas strönt aus den öffnungen 70 und reagiert mit d'em aus der Eüsehö'frnüng 66 strömenden Gas» In der bevoSs¹Ugten Brennefäusführüngsforö ^äreh acht Öffnungen 7Ό vorgesehen* Bei dieses, tatsäcnliök ausgefiilirten Brenner erwiesen sich für die, ÜJÜsenc'Sfnung 66 und die ö-ifnungen '70 Durönuesser von 0,16 em '(O₅063 ineii) 02WiO₄IJ e-s (0^0-52 inen) als Torteiliiaft-. Für verseniedene Betriebsbedingungen kennen auch mehrere oder gröesere öffnungen 70 verwendet werden*

Ber Eingangs le it ünl" von drei itr 3 τη urigs tnes sera 7'4* 76 und 7δ wird über eine Seitühg 72 5aüersi;<3ff zugeführt * über eine Lfeitung 80 Vilrd ein Strömiingsinesser 8-2 mit V'ässerstof-f besciilckt» Vor desi -Eintritt In die StröEungsisesser'· weiden der Sauerstoff und der" Wasserstoff getrecEneti An Ausgang jedes •S-srötaunrssiessers sind Afesperror'gane angebracht; -, sit deheh die Strö^ungsTnehgeh bz'^» die G-esöhv.'indigiEeiten des V7esserstoffs und des Sauerstoffs Büf Anordnung geregelt werden kann« Vöa StroBiungsmessef 76 aus \visM feirieie diöökenvörriühtung 86 (bubbler) über eine lieitmig @Φ Säue^stif-f äugöführts Die G-loöIcenvoryiöhtüng ist Sit einet; lehältef versehehj der isit flüssigem SIIiäiüniteträghlö^id vöiseliin i§%»lih "Sif-füBlöhseiSKehT; 88-

it iläiih'in na§ii oben aureii iäi Sil wödü^en Mmgfg äei S'iiiziämtet3?äeh im S&üiligtß^^milgelütetuM^JI&lh ö'beh Üü-r§h SIi Leitung

Die lisitung 90 igt an das Rob.3i--.52 angeBoalöasen» so dass eine "bemessene Strömung des im Saueaistofft^ager'gas mitgeführten verdampften SiliaiumtetraGlilöriös entsteht, ' Über dea Strb'inungsmessei 74 und eir_Ae Leitutig 92 wird auch

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dem-Einlass 42 des T-Anochlusses 33 Sauerstoff zugeführt.-Auf diese Weise- strömt Sauerstoff in die Mantel kanter 40 ur.a in der oben .beschriebenen V.'eise aus der ringförmigen Kantelöffnung 68. Ausserdem wird dem Einlass 54 über eine Leitung 94 Sauerstoff zugeführt, damit er in die Misch-■-■ kanner 50-strömt. Über den Strömungsmesser 82 und eine <^:«·& Leitung 96 wird dem Einlass 52 Wasserstoff zugeführt, '&■*■ der sich in der Kischkaaaer 50 mit dem Sauerstoff aischt.'-Sine Mischung aus brennbarem Gas wird dann von den öffnungen 70 in der beschriebenen Weise nach aussen abgegeben.. Da■ äev Wasserstoff und der Sauerstoff in der kleinen Mischkammer 50 innerhalb des-Brenners gemischt werden, ist ein Zurückschlagen der Flamme bei dem hier beschriebenen Brenner auf das Innere des Brenners selbst beschränkt.

Im Betriebszustand des Brenners von Fig.3 und Fig.4 werden die aus den öffnungen 66, 68 und- 70 austretenden Gasströae gezündet, so dass sie eine heisse Flamme bilden, •die Temperaturen im Bereich von 1500°C/aufweist. Der aus der ringförmigen Mantelöffnung 68 strömende Sauerstoff ist bezüglich des aus der Düsenöffnung 66 austretenden gasförmigen Siliziumtetrachlorids verhältnismässig inert, wodurch sich das Siliziumtetrachlorid nicht unmittelbar vor der Stirnfläche der Düsenplatte62 zersetzt. Dies verhindert die Häufung von Verstopfungen der Brenner—'" öffnungen,Das gasförmige Siliziumtetrachlorid vermischt sich mit der aus den öffnungen 70 tretenden Mischung von Sauerstoff und Wasserstoff erst in einem grös3eren Abstand von der Düsenplatte . In diesem Bereich findet die Yer br ending statt.

Es hat sich gezeigt, dass sich durch aieVerwendung von wenigstens zwei Brennern in der in Fig. 1 dargestellten Art und Weise ein höchst reiner Siliziuadioxyägegenstand her-«"" stellen lässt, der eine ausreichende.Rohfestigkeit besitzt,

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dass er vom Dorn abgehoben und in einem Ofen zu einer weiteren Wärmebehandlung angebracht v/erden kann. In manchen .Füllen hat; es sich jedoch als wünschenswert erwiesen, einen Glasurbrenner zu verwenden, der die Festigkeit des Siliziumdioxydgegenstandes vor seiner Abnahme vom Dorn weiter erhöht. In Fig.5 ist eine Anordnung dargestellt, die mit Ausnahme der Hinzufügung eines Glasurbrenners 100 der Anordnung von Fig.1 gleicht. Die Brenner 24 und 26 arbeiten in der oben beschriebenen Weise zur Abscheidung einer höchst reinen Siliziumdioxydschicht 29, wenn sich der Dorn 10 an den Flammen 27 und 28 vorbeibewegt,

Auf dem Dorn wird abhängig von seiner Rotations- und Translationsgeschwindigkeit ein Silisiumdioxydgegenstand abgeschieden. Die Wandstärke des Gegenstandes kann von einigen Hundertsteln eines Millimeters bis zu mehreren Zentimetern schwanken. Der Glasurbrenner 100 erwärmt Teile des Siliziumdioxydkörpers 29 längs einer Schraubenlinie, wenn sich der Körper seitlich verschiebt, so dass er leicht gesintert wird, damit ihm eine ausreichende Rohfestigkeit verliehen wird, die ein leichteres Abnehmen vom Dorn erlaubt. Dieser Sintervorgang unterstütztauch das Beibehalten der symmetrischen Form der Seitenwände des Siliaiumdioxydkörpers 29.

Aus Fig.5 geht hervor, dass der Glasurbrenner 100 von den Brennern 24 und 26 entfernt dicht beim gekrümmten Ende des Dorns 10 angeordnet ist. Der Glasurbrenner 100 liegt nach Fig.6 auch zwischen den Brennern 24 und 26.

In manchen Fällen ist dieVerwendung von mehr als zwei Brennern erwünscht.Fig.7 zeigt die Verwendung von drei Brennern 102, IO4 und 106, die gegen den sich drehenden Dorn 10 gerichtet sind. Die Winkel- zwischen den Brennern

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können zwar sntsprechend daü gewünschten Betriebsbedingungen variiere werden, doch, ist es ia allgemeinen erwünscht, die Brenner genügend eng- aneinander anzuordnen, so das3 die i?lamcon der benachbarten Brenner dicht bei der iornoberfläche zusaamenwirken, wie durch die Flamnenbereiche 103 und 110 dargestellt ist. £s hat sich gezeigt, dass dieses Zusammenwirken bessere Resultate und einen besseren Abscheidungswirkungsgrad ergibt.

Die Verwendung mehrerer Brenner wird ia den nun folgenden Baispielen beschrieben.

Beispiel 1

üin Graphitdorn mit einem Durchmesser von etwa 13 ca (5 inches) und einer Länge von etwa 15 ca (6 inches) wurde tait Hilfe einer der in Fjg.1 dargestellten Anordnung ähnlichen Anordnung gedreht und verschoben. Der Graphitdorn wurde sit 24 Umdrehungen pro Minute gedreht und ait einer Geschwindigkeit von etwa 2,5 cm (1 inch ) pro Minute an zwei Brennern vorbeibewegt, die beide so konstruiert waren, aie der in ITi~. 3 und ?ig.4 dargestellte Brenner. Vor Beginn des ■''bscheidavorgangs wurde der Dorn leicht vorgeheizt. Bei diesem Beispiel war der Graphit dorn art einer glatten ücbaeht aus Siliziuracarbid überzogen. Die Brenner standen in eiaea 7/inkel von etwa SO⁰ zueinander und waren von sich drehenden Dornen etwa 9 oca (3,5 inches) weit entfernt. In sine auf einer Seaperatur von etwa 54⁰C gehaltene Glocke wurden 0,6 1 Sauerstoff pro Minute zugeführt, aaait in de-a Sauerstoffstroa verdampftes SiliziuQtetrachlorid erseugt wurde. Das der Glocke entströmende Gas wurde direkt äem Mittelrohr eines Brenners zugeführt. Für den zweitea Brenner war eine eigene Glocke vorgesehen. In dea Brenner wurde 1 liter Sauerstoff pro Minute zur Verwendung als Kantelgas in der oben beschriebenen Weise zugeführt. Als das brennbare Gas wurde jedem Brenner pro Minute 5,2 Libar Sauerstoff ν.:Λ 30 Liter V/asserstoff zugeführt, damit sie sieh is Brennsr Bischten.

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Bein Zünden beider Brenner trafen die entstehenden Flamtnen ^:6"ii:e ituiide lang auf den sich drehenden und verschiebenden lorn, lisch der Abscheidung und Kühlung hat sich herausgestellt, dass 257 g äusserst reines Eilisiirauioxyd auf dem !»ort. unter Bildung ei nee gleiehciässigen und symmetrischen ^iliziudclioxydschraelztiegels abgeschieden worden sind. Beic Abkühlen wurde der Schmelztiegel voa Dorn abgenommen unä einer weiteren Behandlung untersogen. Diese Abscheicogesetuvindigieeit von 257 g pro Stunde hat'sich als wesentlich grosser als die sweifache-'bscheidegeschWiudigkeit erwiesen, die sich mit einer gleichartigen Anordnung unter Verwendung eines einzigen Brenners ergibt. Wie oben bereits ausgeführt worden ist, nimct aan an, dass sich das aus der V.'echselwirkung zwischen den ilamaen der zwei Brenner ergibt.

Beispiel· 2

Es wurde eine gleichartige Abscheideanoranung ve ie die ' im Beispiel 1 beschriebene Abscheiäeanordnung nit den gleichen Ströaungsaengenparsoretern verwendet. "Der Abstand/ der Brenner votn Dorn betrag jedoch etwa 10 cm (4 inches), und iä Abstand von etvjs' -f4" ca (5,5' inches)' vom Yorderende des Dorns war ein einzetrrer Glacierbrenner in der in Fig.5 dargestellten V;eis3 in einen ^T.vinkel "von 45° gegen die l·Iorisontal·e angebracht. lie Abscheidung wurde eine Stunde und 50 Minuten lang durchgeführt₅ wonach 495 g höchst reines Siliziumdioxyd auf deca Dorn abgeschieden waren. , , Dies ergab also eine Abscheiäungsgeschwindigkreit von 330 g pro Stunde, die beträchtlich über der erwarteten Rate lag, die auf den Abscheideergebnissen mit einem einzigen Brenner basierte« Der so entstandene Siliaiaiadioxydschmelatiegel· besass eine ausgezeichnete symmetrische Form ohne Sprünge in seinen Seitenwänden.

Patentansprüche

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BAD

Claims (13)

1. Verfahren 2ur airckuon Abscheidung ccj Oxyds eines f;Uch-"eigen, metallischen. .Hements auf ein^m Substrat zur IIer-E-JCa.lung tines Ge^üa^andos nit vorboccimmter For·::.' c::.n;;rch gekennzeichnet, dass aus dem Dampf des flüchtiger., metalIi ^chen Elements mehrere 3^r„..:ur.,.T0i: erzeugt v/er ic-;';, 'las." um Jede der Strömungen eine Strömung aus einen brennbaren Gas erzeugt wird, dass die itrömunge·.". in Rea>tion:^:;cor.:jn zur Z^:rceu^;;;ng mehrerer Plannen ge3ur.det werden, in denen eine.in der Gasphase ablaufende Hydrolyse de:, flüch^igon, metallischen Elements eriolgx, und dass die ?la:.::r,en zur Herstellung einee uegeuGiaiides aus höchst" "reinem O:-:yc aui' das Substrat gelenkt v/erden.
2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, ei;-es zwischen jeder der aus dem Dampf bestehenden Jtx^cniungcn und. der Strömung aus dera"brennbaren Gas eine Strömung aus einem relativ insrten Gas zur Verhinderung der P.taktion zwischen den Strömungen ausserhalb der Reaktionszonen'erzeugt wird.
3. 3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Placxen dicht bei der Oberfläche des Substrats zur Verbesserung des Abscheidungsv.'irkungsgrads in ",iechselv/irl-rung miteinander stehen.
4. 4-. Verfahren nach einem der verhergehenden Ansprüche, daiurcr gekennzeichnet, dass die.!Flammeη in Winkeln zueinander gegen das,Substrat gelenkt werden.
5. 5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurcr gekennzeichnet, dass das flüchtige metallische Element ein Ketallchlcrid ist.

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6. 6. Anordnung zur Durchführung da.^:; Verfuhr^.; ru2h den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekannzeiohnut, dass da.3 Substrat ein Dorn (10) mit eir.er bestimmten Auss^nfarm ist, um den im Abstand mehrere Brenner (24, 2c , 100, 102, 104, 106) angeordnet sind, die jeweils mit Zinrichtungan (66, 70) zur lenkung der GasStrömungen aus dem flüchtigen Metallchlorid und aus dem brennbaren Gas gegen den Dorn (10) versehen sind.
7. 7. Anordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens zwei in einem Winkel im Bereich von 60° bis 120 zueinanderstehende Brenner gegen den Dorn gerichtet sind.
8. 8. Anordnung nach einem der Ansprüche 6 und 7, dadurch gekennzeichnet, dass jeder Brenner (24, 26, 100, 102, 104, 106) ein Gehäuse mit einer Durchführung (32) besitzt, die in einer Düsenöffnung (66) zur Abgabe einer Düsenströmung des flüchtigen Metallchlorids endet, dass j ader Brenner eine erste Kammar (50) zur Aufnahme des brennbaren Gases besitzt, die dicht bei der Durchführung (32) innerhalb des Brern2gehäu3eü verläuft, dass diese erste Kammer (50) symmetrisch um die Düsenöffnung (56) angeordnete Auslassöffnungen (70) zur Abgabe einer um die Busanströmung verlaufenden Strömung aus dem brennbaren Gas besitzt, dass jeder Brenner eine zweite Kammer (40) zur Aufnahme eines bezüglich des flüchtigen >Ietallchiorids relativ inerten Gases zwischen der .Durchführung (32) und der ersten Kammer (50) besitzt und dass diese zweite Kammer (40) eine Xantelöffnung (68) zur Abgabe einer Kanteiströmung aus dem relativ inerten Gas sv/ischen der Düsenströmung und der Strömung aus dem brennbaren Gas besitzt.
9. 9. Anordnung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens zwei Brenner (24, 26) mit ihrenDüsen gegen dan Dorn (10) gerichtet sind.

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10. 10. Anordnung nach si^e.: dar- ^..vjprvL^he 5 Jis 3., da.ia.roh gekennzeichnet, dass der Dorn (10) roiati/ zu .^s;: Brennern (24, 26, 100, 102, 104, iOo) btv;eglica iit.
11. 11. Anordnung nach eines der Ansprüche 6 bis 10, dadurch gskennseichns:, dass α en. Browne j .ι (24, 26, 100, 1C2, 1C4j 106)"gegenüber dicht bei dem Dorn (10) eine Abzugseinrichtung (30) angebracht ist.
12. 12. Anordnung nach einem der Ansprüche 6 bis 11, dadurch gekennzeichnet., dass zur Vrlrm-eanvenaung ein Glasurbrenner (10C) gegen den Dorn (10) gerichtet ist.
13. 13.- Anordnung nach einem· der Ansprüche β bis 12, aadurch gekennseichnet, dass das in die Durchführung (32) eingeführte G-as ein in einj:i (Träger gas mit geführt es gasförmiges Siliaiumtetrachiorid ist, das als Düsenströmung aus der Düsenöffnung (5c) der Durchführung (>2) ausströmt, dass die zweite Kammsr im Brennergehluss eine Xants!kammer (40) zur Aufnahme eines bezüglich des Silisium-tetrachloriäs relativ inerten Gases ist, dass diese 1-IanteLkam-mer (^-O) mit einer ringförmigen, konzentrisch um die Düsenöffnur.g (55) angeordnete.i öffnung (63) zur Abgabe des inertenGaoss in einer kreisförmigen Strömung rund um 5Le Itisanströmung versehen ist, und dass die erste Kammür aus einer um die Kanteikammer (40) angeordneten Mischkammer (50) Dasteht, die Einlass öffnungen (52, 54) für V/asser-jtoff und für Sauerstoff und eine Vielzahl der Auslassöffnungen (70) besitzt, die symmetrisch dicht um die ringförmige öffnung (63) zur Erzeugung von brennbaren, mit dem Siliziumtetrachiorid reagierenden G-asstrcmunge.i versehen ist.

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