DE1934939C3 - Verfahren zum Evakuieren eines Vakuumofens und Vakuumofenanlage zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents
Verfahren zum Evakuieren eines Vakuumofens und Vakuumofenanlage zur Durchführung des VerfahrensInfo
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- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B5/00—Muffle furnaces; Retort furnaces; Other furnaces in which the charge is held completely isolated
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- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
Description
stauberzeugenden Prozeßabschnittes durch Öffnung der Umwegleitung das volle Saugvermögen der angeschlossenen
Pumpe zu nutzen und auf diese Weise das mit ihr bei Gasanfall erreichbare bessere Vakuum
schneller zu erreichen und aufrechtzuerhalten.
Die Erfindung macht von der Tatsache Gebrauch, daß Staub nur bei verhältnismäßig hohem Druck von
der Ofenatmosphäre getragen wird und also in den Absaugstutzen gelangen kann. Nach Erreichen &r.es
bestimmten Gütegrades des Vakuums im Ofen fällt Ίο der etwa von dem behandelten Gut emittierte oder
durch Kondensation aus der Dampfwolke gebildete Staub unter der Wirkung der Schwerkraft zu Boden,
bevor er den zur Pumpe führenden Evakuierungsan-■•chluß
erTeichen kann; dies gilt insbesondere für die größeren Staubpartikeln, die in erster Linie eine
Pumpe beschädigen können.
Ein besonders günstiges Ausführungsbeispiel einer Vakuumofenanlage zur Durchführung der Erfindung
werde an Hand der Fig. 1 und 2 näher beschrieben.
In Fig. 1 bedeutet 1 den Ofenraum, der über den Evakuierungsanschluß 2 mittels der Vakuumpumpe 3
evakuiert werden kann. Zwischen dem Ofenraum und der Pumpe ist in der Evakuierungsleiiung ein als
rohrförmiger Hohlkörper ausgebildetes Filter 4 eingeschaltet, das in dem zu beschreibenden Beispiel
wirksam ist, wenn die von außen durch einen Hebel 5 betätigbare Ventilkiappe 6 das untere Ende des
Filterrohres verschließt. In diesem Falle wird das aus dem Ofenraum dem oberen Teil des Filurgehäuses7
zugeführte siaubbeladene Gas (Luft) gezwungen,
5 fügung.
aus dem
chen Anordnung zegt dicFi t p
^diTÄ""^«, » welcher das
v?nlH 25 IfcgU welches diese abzusperren gestattet.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (1)
1. Verfahren zum Evakuieren eines Vakuumofens, in welchem staubbildende Prozesse durchgeführt
werden sollen, mittels einer Vakuumpumpe und mit einem zwischen dem zu evakuierenden
Ofengehäuse und der Pumpe angeordneten, wahlweise ein- und ausschaltbaren Filter
zum Abfangen des Staubes, dadurch ge-io kennzeichnet, daß die Evakuierung durch
das Staubfilter hindurch zunächst bis zu einem solchen Unterdruck der Ofenatmosphän.· durchgeführt
wird, bei welchem die größeren Staubpartikeln, die in erster Linie die Pumpe gefährden,
von dieser Atmosphäre nicht mehr getragen werden und unter Einwirkung der Schwerkraft zu
Boden fallen, und daß darauf die weitere Evakuierung unter Umgehung des Filters direkt erfolgt.
1. Vakuumofenanlage zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, mit einem evakuierbaren
Ofengehäuse und einer Vakuumpumpe, wobei in der Verbindungsleitung zwischen Ofengehäuse
und Pumpe ein Filter zum Auffangen von bei der Durchführung von Prozessen im Ofenraum anfallendem Staub angeordnet ist und
eine absperrbare Umwegleitung zur wahlweisen Evakuierung des Ofenraumes mit oder ohne Filter
vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß das in einem Filtergehäuse (7) untergebrachte
Filter (4) als rohrförmiger Hohlkörper ausgebildet ist, dessen eine Ende mit dem Ofenraum (1)
in Verbindung steht, und daß eine Ventilklappe (6) mit Betätigungseinrichtung (S) vorgesehen ist,
durch welche das Filterrohr am anderen Ende wahlweise geöffnet oder abgesperrt werden kann,
und daß der Raum (10) zwischen der Außenseite des Filterrohres und dem Filtergehäuse mit der
Vakuumpumpe (3) in Verbindung steht.
45
Die Erfindung betrifft eine Vakuumofenanlage, wobei in der Evakuierungsleitung des Ofens ein Filter
zum Auffangen von bei der Durchführung von Prozessen im Ofen anfallendem Staub angeordnet ist.
Staub fällt oft an beim Schmelzen von Metallen in Form von aus der Dampfwolke oberhalb de"r
Schmelze kondensierenden Metall sowie bei Sinterprozessen. Da solcher Staub die Pumpen beschädigen
kann, z.B. bei rotierenden Pumpen zum 'raschen.55 Verschleiß führen kann, ist es wichtig, Vorkehrungen '
zu treffen, damit er nicht in die Pumpen eindringen kann. Man verwendet zu diesem Zweck bereits Filter,
z. B. aus Glaswolle od. dgl., durch welche das zu reinigende, aus dem Ofen abzupumpende Gas vor Eintritt
in die Pumpe hindurchgeführt wird. Diese Filter sind unvermeidlich mit dem Nachteil verbunden, daß sie
das am Evakuierungsanschluß des Ofens wirksame Saugvermögen der Pumpe erheblich drosseln, die
Evakuierungszeit also verlängern. Das verringerte Saugvermögen führt außerdem zu dem Nachteil, daß
das Vakuum, das im Ofen bei bestimmtem Gasanfall während des Betriebes durch kontinuierliches Pumpen
aufrechterhalten werden kann, verschlechtert wird ζ B. nur mehr 0,1 Torr beträgt anstatt vielleicht
0 01 Torr, wie es ohne Filter erreichbar ware.
Bei einer bekannten Vorrichtung zum Abscheiden feiner Stäube aus verdichteten Casen mittels fester
poröser Filterkörper ist vorgesehen, daß das emlaßseitige
Absperrorgan dicht am Filterbehälter, da, auslaßseitige Absperrorgan dagegen in einer solchen
Entfernung anseordnet ist, daß auf der Reingasseite der Fiherkörper ein zum Spülen erforderliches Gasvolumen
abgesperrt werden kann, wobei der Filterbehälter auf der Staubgasseite ein schnellöffnendes
Abströmventil aufweist, dessen Durchströmquerschnitt so bemessen ist, daß bei geschlossenen Absperrorganen
und geöffnetem Abströmventil auf der Reingasseite ein ausreichender Überdruck entsteht
und für die Dauer der zurr. Ablösen der auf den Fi!- terkörpern abgelagerten Staubschicht benötigten Zeit
aufrechterhalten wird. Hierbei handelt es sich um eine spezielle Anordnung insbesondere für Ferngasleitungen,
welche gestatten soll, den Grad der Verschmutzung des Filters zu überwachen und die Filterkörper
von Zeit zu Zeit zu reinigen. Das Problem der Evakuierung eines Vakuumofenraumes, in welchem
bei der Durchführung von Prozessen Staub anfällt, wird im bekannten Falle nicht berührt.
Bei einem bekannten Verfahren und einer Anlage zum Abscheiden des bei der Stahlentgasung anfallen
den Staubes wurde vorgeschlagen, den bei einem Druck unterhalb von 5 Torr anfallenden pyrophoren
Staub in einem Staubfilter abzuscheiden und in diesem zu inaktivieren. Dabei wurde auch die Verwendung
von mindestens zwei Staubfiltern in Betracht gezogen, wobei eine Umschaltung zwischen den beiden
Filtern erfolgen kann, zu dem Zweck, den in den höheren Druckbereichen anfallenden nichtpyrophoren
Staub in dem einen und den bei einem Druck unterhalb von 5 Torr auftretenden pyrophoren Staub
im anderen Staubfilter abscheiden zu können. Dabei ist stets das eine oder das andere Filter während des
Evakuierungsvorganges eingeschaltet, womit, wie schon erwähnt, unvermeidlich eine starke Drosselung
des Saugvermögens der angeschlossenen Pumpen verbunden ist.
Die Vorteile des Evakuierens durch ein Filter zu erhalten, die erwähnten Nachteile dieses Verfahrens
aber weitgehend auszuschalten, ist das Ziel der vorliegenden Erfindung.
Das erfindungsgemäße Verfahren zum Evakuieren eines Vakuumofens, in welchem staubbildende Prozesse
durchgeführt werden sollen, mittels einer Vakuumpumpe und mit einem zwischen dem zu evakuierenden
Ofengehäuse und der Pumpe angeordneten, wahlweise ein- und ausschaltbaren Filter zum
Abfangen des Staubes, ist dadurch gekennzeichnet, daß die Evakuierung durch das Staubfilter hindurch
zunächst bis zu einem solchen Unterdruck der Ofenatmosphäre durchgeführt wird, bei welchem die
größeren Staubpartikeln, die in erster Linie die Pumpe gefährden, von dieser Atmosphäre nicht mehr getragen
werden und unter Einwirkung der Schwerkraft zu Boden fallen, und daß darauf die weitere Evakuierung
unter Umgehung des Filters direkt erfolgt.
Dieses Verfahren erlaubt die Evakuierung des Ofens, solange bei der Durchführung von Prozessen
Staub in die Evakuierungsleitung gelangt, unter Schutz der Pumpen durch das Filter hindurch durchzuführen,
andererseits aber nach Beendigung des
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH1205668A CH469239A (de) | 1968-08-05 | 1968-08-05 | Vakuumofenanlage |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
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DE1934939C3 true DE1934939C3 (de) | 1974-02-21 |
Family
ID=4379428
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19691934939 Expired DE1934939C3 (de) | 1968-08-05 | 1969-07-10 | Verfahren zum Evakuieren eines Vakuumofens und Vakuumofenanlage zur Durchführung des Verfahrens |
Country Status (5)
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DE (1) | DE1934939C3 (de) |
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GB (1) | GB1201018A (de) |
NL (1) | NL141245B (de) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP0314299B1 (de) * | 1987-09-25 | 1993-06-09 | Ebara Corporation | Methode und Apparat zur Behandlung von Abgas von Halbleiterherstellungsverfahren |
-
1968
- 1968-08-05 CH CH1205668A patent/CH469239A/de unknown
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-
1969
- 1969-07-10 DE DE19691934939 patent/DE1934939C3/de not_active Expired
- 1969-07-23 GB GB3704969A patent/GB1201018A/en not_active Expired
- 1969-07-30 FR FR6926004A patent/FR2015057A1/fr not_active Withdrawn
Also Published As
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CH469239A (de) | 1969-02-28 |
NL6813290A (de) | 1970-02-09 |
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GB1201018A (en) | 1970-08-05 |
FR2015057A1 (de) | 1970-04-24 |
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