DE1934939C3 - Verfahren zum Evakuieren eines Vakuumofens und Vakuumofenanlage zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Verfahren zum Evakuieren eines Vakuumofens und Vakuumofenanlage zur Durchführung des Verfahrens

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DE1934939C3
DE1934939C3 DE19691934939 DE1934939A DE1934939C3 DE 1934939 C3 DE1934939 C3 DE 1934939C3 DE 19691934939 DE19691934939 DE 19691934939 DE 1934939 A DE1934939 A DE 1934939A DE 1934939 C3 DE1934939 C3 DE 1934939C3
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Helmut Dipl.-Ing. Balzers-Maels Vollmer (Liechtenstein)
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Balzers Hochvakuum 6000 Frankfurt GmbH
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Balzers Hochvakuum 6000 Frankfurt GmbH
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    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
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Description

stauberzeugenden Prozeßabschnittes durch Öffnung der Umwegleitung das volle Saugvermögen der angeschlossenen Pumpe zu nutzen und auf diese Weise das mit ihr bei Gasanfall erreichbare bessere Vakuum schneller zu erreichen und aufrechtzuerhalten.
Die Erfindung macht von der Tatsache Gebrauch, daß Staub nur bei verhältnismäßig hohem Druck von der Ofenatmosphäre getragen wird und also in den Absaugstutzen gelangen kann. Nach Erreichen &r.es bestimmten Gütegrades des Vakuums im Ofen fällt Ίο der etwa von dem behandelten Gut emittierte oder durch Kondensation aus der Dampfwolke gebildete Staub unter der Wirkung der Schwerkraft zu Boden, bevor er den zur Pumpe führenden Evakuierungsan-■•chluß erTeichen kann; dies gilt insbesondere für die größeren Staubpartikeln, die in erster Linie eine Pumpe beschädigen können.
Ein besonders günstiges Ausführungsbeispiel einer Vakuumofenanlage zur Durchführung der Erfindung werde an Hand der Fig. 1 und 2 näher beschrieben.
In Fig. 1 bedeutet 1 den Ofenraum, der über den Evakuierungsanschluß 2 mittels der Vakuumpumpe 3 evakuiert werden kann. Zwischen dem Ofenraum und der Pumpe ist in der Evakuierungsleiiung ein als rohrförmiger Hohlkörper ausgebildetes Filter 4 eingeschaltet, das in dem zu beschreibenden Beispiel wirksam ist, wenn die von außen durch einen Hebel 5 betätigbare Ventilkiappe 6 das untere Ende des Filterrohres verschließt. In diesem Falle wird das aus dem Ofenraum dem oberen Teil des Filurgehäuses7 zugeführte siaubbeladene Gas (Luft) gezwungen,
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aus dem
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Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

I 934 Patentansprüche:
1. Verfahren zum Evakuieren eines Vakuumofens, in welchem staubbildende Prozesse durchgeführt werden sollen, mittels einer Vakuumpumpe und mit einem zwischen dem zu evakuierenden Ofengehäuse und der Pumpe angeordneten, wahlweise ein- und ausschaltbaren Filter zum Abfangen des Staubes, dadurch ge-io kennzeichnet, daß die Evakuierung durch das Staubfilter hindurch zunächst bis zu einem solchen Unterdruck der Ofenatmosphän.· durchgeführt wird, bei welchem die größeren Staubpartikeln, die in erster Linie die Pumpe gefährden, von dieser Atmosphäre nicht mehr getragen werden und unter Einwirkung der Schwerkraft zu Boden fallen, und daß darauf die weitere Evakuierung unter Umgehung des Filters direkt erfolgt.
1. Vakuumofenanlage zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, mit einem evakuierbaren Ofengehäuse und einer Vakuumpumpe, wobei in der Verbindungsleitung zwischen Ofengehäuse und Pumpe ein Filter zum Auffangen von bei der Durchführung von Prozessen im Ofenraum anfallendem Staub angeordnet ist und eine absperrbare Umwegleitung zur wahlweisen Evakuierung des Ofenraumes mit oder ohne Filter vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß das in einem Filtergehäuse (7) untergebrachte Filter (4) als rohrförmiger Hohlkörper ausgebildet ist, dessen eine Ende mit dem Ofenraum (1) in Verbindung steht, und daß eine Ventilklappe (6) mit Betätigungseinrichtung (S) vorgesehen ist, durch welche das Filterrohr am anderen Ende wahlweise geöffnet oder abgesperrt werden kann, und daß der Raum (10) zwischen der Außenseite des Filterrohres und dem Filtergehäuse mit der Vakuumpumpe (3) in Verbindung steht.
45
Die Erfindung betrifft eine Vakuumofenanlage, wobei in der Evakuierungsleitung des Ofens ein Filter zum Auffangen von bei der Durchführung von Prozessen im Ofen anfallendem Staub angeordnet ist. Staub fällt oft an beim Schmelzen von Metallen in Form von aus der Dampfwolke oberhalb de"r Schmelze kondensierenden Metall sowie bei Sinterprozessen. Da solcher Staub die Pumpen beschädigen kann, z.B. bei rotierenden Pumpen zum 'raschen.55 Verschleiß führen kann, ist es wichtig, Vorkehrungen ' zu treffen, damit er nicht in die Pumpen eindringen kann. Man verwendet zu diesem Zweck bereits Filter, z. B. aus Glaswolle od. dgl., durch welche das zu reinigende, aus dem Ofen abzupumpende Gas vor Eintritt in die Pumpe hindurchgeführt wird. Diese Filter sind unvermeidlich mit dem Nachteil verbunden, daß sie das am Evakuierungsanschluß des Ofens wirksame Saugvermögen der Pumpe erheblich drosseln, die Evakuierungszeit also verlängern. Das verringerte Saugvermögen führt außerdem zu dem Nachteil, daß das Vakuum, das im Ofen bei bestimmtem Gasanfall während des Betriebes durch kontinuierliches Pumpen aufrechterhalten werden kann, verschlechtert wird ζ B. nur mehr 0,1 Torr beträgt anstatt vielleicht 0 01 Torr, wie es ohne Filter erreichbar ware.
Bei einer bekannten Vorrichtung zum Abscheiden feiner Stäube aus verdichteten Casen mittels fester poröser Filterkörper ist vorgesehen, daß das emlaßseitige Absperrorgan dicht am Filterbehälter, da, auslaßseitige Absperrorgan dagegen in einer solchen Entfernung anseordnet ist, daß auf der Reingasseite der Fiherkörper ein zum Spülen erforderliches Gasvolumen abgesperrt werden kann, wobei der Filterbehälter auf der Staubgasseite ein schnellöffnendes Abströmventil aufweist, dessen Durchströmquerschnitt so bemessen ist, daß bei geschlossenen Absperrorganen und geöffnetem Abströmventil auf der Reingasseite ein ausreichender Überdruck entsteht und für die Dauer der zurr. Ablösen der auf den Fi!- terkörpern abgelagerten Staubschicht benötigten Zeit aufrechterhalten wird. Hierbei handelt es sich um eine spezielle Anordnung insbesondere für Ferngasleitungen, welche gestatten soll, den Grad der Verschmutzung des Filters zu überwachen und die Filterkörper von Zeit zu Zeit zu reinigen. Das Problem der Evakuierung eines Vakuumofenraumes, in welchem bei der Durchführung von Prozessen Staub anfällt, wird im bekannten Falle nicht berührt.
Bei einem bekannten Verfahren und einer Anlage zum Abscheiden des bei der Stahlentgasung anfallen den Staubes wurde vorgeschlagen, den bei einem Druck unterhalb von 5 Torr anfallenden pyrophoren Staub in einem Staubfilter abzuscheiden und in diesem zu inaktivieren. Dabei wurde auch die Verwendung von mindestens zwei Staubfiltern in Betracht gezogen, wobei eine Umschaltung zwischen den beiden Filtern erfolgen kann, zu dem Zweck, den in den höheren Druckbereichen anfallenden nichtpyrophoren Staub in dem einen und den bei einem Druck unterhalb von 5 Torr auftretenden pyrophoren Staub im anderen Staubfilter abscheiden zu können. Dabei ist stets das eine oder das andere Filter während des Evakuierungsvorganges eingeschaltet, womit, wie schon erwähnt, unvermeidlich eine starke Drosselung des Saugvermögens der angeschlossenen Pumpen verbunden ist.
Die Vorteile des Evakuierens durch ein Filter zu erhalten, die erwähnten Nachteile dieses Verfahrens aber weitgehend auszuschalten, ist das Ziel der vorliegenden Erfindung.
Das erfindungsgemäße Verfahren zum Evakuieren eines Vakuumofens, in welchem staubbildende Prozesse durchgeführt werden sollen, mittels einer Vakuumpumpe und mit einem zwischen dem zu evakuierenden Ofengehäuse und der Pumpe angeordneten, wahlweise ein- und ausschaltbaren Filter zum Abfangen des Staubes, ist dadurch gekennzeichnet, daß die Evakuierung durch das Staubfilter hindurch zunächst bis zu einem solchen Unterdruck der Ofenatmosphäre durchgeführt wird, bei welchem die größeren Staubpartikeln, die in erster Linie die Pumpe gefährden, von dieser Atmosphäre nicht mehr getragen werden und unter Einwirkung der Schwerkraft zu Boden fallen, und daß darauf die weitere Evakuierung unter Umgehung des Filters direkt erfolgt.
Dieses Verfahren erlaubt die Evakuierung des Ofens, solange bei der Durchführung von Prozessen Staub in die Evakuierungsleitung gelangt, unter Schutz der Pumpen durch das Filter hindurch durchzuführen, andererseits aber nach Beendigung des
DE19691934939 1968-08-05 1969-07-10 Verfahren zum Evakuieren eines Vakuumofens und Vakuumofenanlage zur Durchführung des Verfahrens Expired DE1934939C3 (de)

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EP0314299B1 (de) * 1987-09-25 1993-06-09 Ebara Corporation Methode und Apparat zur Behandlung von Abgas von Halbleiterherstellungsverfahren

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NL6813290A (de) 1970-02-09
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