DE1930976A1 - Anordnung zum Erzeugen einer Signalkurve - Google Patents

Anordnung zum Erzeugen einer Signalkurve

Info

Publication number
DE1930976A1
DE1930976A1 DE19691930976 DE1930976A DE1930976A1 DE 1930976 A1 DE1930976 A1 DE 1930976A1 DE 19691930976 DE19691930976 DE 19691930976 DE 1930976 A DE1930976 A DE 1930976A DE 1930976 A1 DE1930976 A1 DE 1930976A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
arrangement according
grating
gaps
constant
signal curve
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19691930976
Other languages
English (en)
Other versions
DE1930976C (de
DE1930976B2 (de
Inventor
Schwefel Dipl-Phys Ernst
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority to DE19691930976 priority Critical patent/DE1930976B2/de
Priority to CH834970A priority patent/CH511422A/de
Priority to FR7022309A priority patent/FR2052729A5/fr
Priority to GB2971770A priority patent/GB1319531A/en
Publication of DE1930976A1 publication Critical patent/DE1930976A1/de
Publication of DE1930976B2 publication Critical patent/DE1930976B2/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36Forming the light into pulses
    • G01D5/38Forming the light into pulses by diffraction gratings
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34707Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
    • G01D5/34715Scale reading or illumination devices

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

Anordnung zum Erseugen einer Signalkurve
Die Erfindung betrifft eine Anordnung zu» Erzeugen einer langgestreckten, sich in Abhängigkeit vo» zurückgelegten Weg kontinuierlich ändernden Signalkurve unter Zuhilfenahme einer Teilung, die zu einer nachgeschalteten Abtastvorrichtung Relativbewegungen aueführt*
Ee ist bekannt, zum Erzeugen einer sich kontinuierlich ändernden Signalkurve einen beleuchteten Spalt vorzusehen, der mittels eines gleich großen Abtaetspaltea der nachge— schalteten Abt afc vorrichtung abgetastet wird. Nachteilig bei Anordnungen »it einem rechteckfSraigen Einzelspalt ist, daß zu» Erzeugen einer sehr flachen Signalkurve eine große Baulänge erforderlich wird. Aue diese» Grund· ist ·» «uch nicht möglich, beliebig langgestreckte Signalkurven zu erzeugen. Auch »uß bei diesen Anordnungen der in der Abtastvorrichtung vorgesehene lichtelektrische Aufnehmer so groß ••In, wi» dtr davor li«f«nde Abta«t«p«lt, was bei groStn Abteatspalten besonder« rtörtnd ist. S« ist nÄmllch i»
009852/1248
Hinblick auf den lichtelektrischen Aufnehmer nicht möglich, beliebig große Äbtaetspalte vorzusehen· Großflächige lichtelektrische Aufnehmer sind außerdem teuer und auch mit bekannten technischen Hangeln behaftet.
Zur Vermeidung obiger Nachteile wäre eine Anordnung denkbar, bei der anstelle des rechteckigen Einzelspaltee ein transparenter, dreieckförmiger Spalt in einem nichttrans— parenten TrSgerkörper vorgesehen 1st« Der dreieekförmige Spalt könnte mittels eines Abtastspaltes abgetastet werden, dessen Auedehnung in seiner Verschieberichtung nur ein Bruchteil der Ausdehnung' des langgestreckten dreiackfönni— gen Spaltes sein brauchte*
Kit Anordnungen dieser Art konnten beliebig langgestreckte Signalkurven erzeugt werden* Jedoch ist die Herstellung solcher draieckfSrmiger Spalte »it der entsprechenden Genauigkeit schwierig und aufwendig· Dies trifft insbesondere dann asu, wenn bei Kreisteilungen der Dreiecksspalt in einen kruiom— linig begrenzten Spalt ausartet, Ferner muB, auch bei geradlinigen Tellung«ausführungen, die Ausdehnung des Abtast— epaltes quer sur Verschieberichtung größer als der abentastende Dreiecksspalt an seiner breitesten Stelle sein· Dies kann insbesondere dann, wenn mehrere nebeneinander liegende Spuren wogen Platsmangel dicht gedrängt angeordnet sind, zu. Schwierigkeiten bti der Abtastung führen.
Die Erfindung will diesen Nachteilen begegnen und tint Anordnung der tIngang· genannten Art βchaffen, deren Teilung
BAD ORIQfWAL 009852/1248
verhältnismäßig leicht sowie mit großer Genauigkeit hergestellt werden kann und die darüberhinaus bei günstiger Baulänge die Erzeugung beliebig langgestreckter Signal— kurven ermöglichen soll, ohne daß die Signalkurve von Führungefehlern der Abtastvorrichtung beeinflußt werden kann« Sie Abtastung soll auch dann in einfacher und betriebssicherer Weise möglich sein, wenn mehrere feilungs— spuren in unmittelbarer Nachbarschaft dicht nebeneinander angeordnet sind.
Sie Erfindung löst die gestellte Aufgabe dadurch, daß zum
Erzeugen der Signalkurve eine Gitterteilung mit zu— und abnehmendem Strich—/Lückenverhältnis vorgesehen ist·
Weitere Merkmale der erfindungsgemäßen Anordnung ergeben
sich aus der nachfolgenden Besehreibung In Verbindung mit der Zeichnung, in der eine mögliche Auaführungsform der
Erfindung dargestellt ist· In der Zeichnung zeigt Figur 1 eine nach der Erfindung gestaltete feilung zum Erzeugen langgestreckter Signalkurven,
Figur 2 die Abtastplatte für die erfindungsgemäße feilung, Figur 3 die sich an der erfindungsgemäßen feilung ergebende
Signalkurve,
Figur 4 die erfindungsgemäße feilung einschließlich der
Abtastvorrichtung·
In der Zeichnung 1st ein Ausschnitt «us einer «rfindungsge— mäßen Gitterteilung 1 mit su— und abnehmendem Strich—/Lücken— verhältnis dargestellt. Bei der erfindungsgemXßen feilung " " 00985 27 124 8
8AD ORiGiNAL
kSn&en periodlach «ich wiederholende Hueter Z von Gitter—' teiltmgen ait gleicher Gitterkonetante» jedoch sit rariab— lern Strlohr/fettckenTerhältnis vorgesehen sein.
flit der Bezeichnung "Gitterkonstante" iet Im rorllegenden Falle der Ab a tend zwischen den Kitten aufeinander folgender Strichmarkierungen der feilung 1 gemeint* Ia gezeigten Aus— führungsbeisplel, bei de» an der feilung 1 unterschiedlich breite Striehmarkierungen vorgesehen sind, beträgt die mt Gitterkonatante etwa 5 na. Sie Gitterkonetante ist ia ge— «βigten Auefiihrungebelspiel ia geeaaten Bereich der fellung 1 gleichbleibend·
Die feilung 1 wird mittels einer Abtaetplatte2abgetastet, in der ein Spalt 3 (figur 2) vorgeaehen ist« Die Breite des Abtaetepaites 3 in seiner Versehieberichtung ist genau gleich der Gitterkonetante·
Die Abtastvorrichtung (Figur 4) enthält auch eine Lampe 4 und einen Kondensor 5 sum Beleuchten eines Ausschnittet» der W feilung 1« Die die feilung 1 und den Abtastspelt 3 durch— eetsenden Lichtbündel werden mittels einer Abbildungeoptik auf einen liehtelektrieehen Aufnehmer 7 konzentriert, über dessen Ausgang 9 elektrische Signale abgegeben werden, die B.B. su ReSsweeken oder dgl· hersJnffesogen werden können* Bei BelatlTbewegungea Ton fellung 1 und AbtastTorriehtung ergibt sieh eine langgestreckte, in Abhängigkeit rom surCtak— gelegten Weg kontinuierlich ändernde Signalkurre SX, wie sie in Figur 4 stark rerkleinert angedeutet 1st*
BAD
009852/1?A8
Die Figur 3 zeigt maßstäblich die an der erfindungagemäßen Teilung 1 erzeugte Signalkurve SS mit Signalstufen, die in Abhängigkeit vom Ort der Mitte des Abtastspaltes 3 aufgetragen ist· Man erkennt hieraus einen durch die Erfindung erzielten wesentlichen Vorteil· Der Anstieg und der Abfall der Signalkurve vollsieht sich Jeweils innerhalb eines kurzen Veg&bachnittea, während das Signal in den dazwischen liegenden Abschnitten einen konstanten Vert beibehält· Die Orte des raschen Signalanstieges sind durch die Geometrie der Strich— und Spaltabmesaungen festgelegt und ändern sieh nicht im Gegensatz etwa zu möglichen Veränderungen elektrischer Verte elektronischer Schaltelemente einer Auswerte— schaltung· Wenn ohnehin eine Digitalisierung des gemessenen Vegea beabsichtigt 1st, ist also einem kleinen Bereich in der Umgebung einer bestimmten Position ein ganzer Signal— höhenbereich (von der GrSBe einer Treppenstufe in Figur 3) zugeordnet, innerhalb dessen die Auawertesohaltung einen bestimmten Positionswert anzeigen darf· Dieser Vorteil wird auch und besonders dann wirksam, wann von einer einsigen Spur mehrere phasenversetste Signale abgeleitet und von diesen in bekannter Weise Linearkombinationen gebildet werden· Selbstverständlich ist es auch möglich, statt der in der Zeichnung dargestellten Aueführungeform mit linearem Anstieg der Treppenkurve eine mit einer niehtllnearen ζ·Β· sinuaquadratfSrmig ansteigenden Charakteristik vorzusehen·
Die »rf lndungsgemäS· Anordnung kenn mit besonderem Vorbeil bei digitalen Längen- oder Winkelm«Igeräten mit absolutsr
0 0 9 8 5 2 / 1 2K 8
BAD ORtGfHAL
Auakodierung benutzt werden, bei denen sieh gegenüber den Inkreaentalverfahren der den kodierten Verfahren eigene Yorteil der absoluten Zuordnung von HaSatabposition und Anzeige ergibt·
Bei solchen HeSayeteaen ait absoluter Auskodierung sind aehrere, quer zur Yerschieberichtung nebeneinander liegende Teilungsspuren Yorgesehen, deren Oitterkonstanten in eint« beatiaaten Verhältnis zueinander stehen. In
^ jeder dieser Tellungespuren werden in bekannter Weise mittels zweier Abtastspalte zwei zueinander phasenver— setzte Signale erzeugt. Durch Bildung τοη Linearkoabina— tionen zweier phasenTersehobener, τοη einer einzigen Teilung«spur abgeleiteter Signale (z.B. In bekannter Weise Mittels Widerstandeketten) kann die aittels einer einzigen Teilungsspur erzielbare Auflösung gesteigert werden· Z.B. bei dekadischer Stufung der Oitterkonstanten der Teilungaapuren Jeweils ua den Faktor Zehn· Dies erlaubt, das erwfthnte Verhältnis der Oitterkonstanten
" aufeinander folgender Teilungsspuren größer zu halten, als bei üblichen kodierten HaBatiben. Die gröbsten Teilunge— spuren bei solchen McBsysteaen ait absoluter Auakodierung können entsprechend der in figur 1 gezeigten Teilung Λ alt variablea Strich—/LQeken-verhKltnia ausgebildet sein, ua zu vertretbaren Baullngen zu gelangen· Die erfindungsgealfle Teilung 1 ist überdiea TerhlltniaaftBig laicht ait groier Oenauigkeit heratellbar·
009852/1248
Die Erfindung iat selbstverständlich nicht auf die gezeigte fotoelektrische Abtastung beschränkt, sondern sie ist auch bei kapazitiven, induktiven Abtaatayatemen oder dgl· anwendbar·
009857/1?/<8

Claims (1)

  1. Darf nicht geändert Worden !
    DH.JOHAUHEG HEIDENHAIR 12. Juni 1969
    Ansprüche
    1.) Anordnung xuK Erteugen einer lenggectreckten, sich in Abhängigkeit von eurüekgelegten Weg kontinuierlich ändernden Signelkurve unter Zuhilfenahme einer fei— lung, die zu einer nachgeechelteten Abtsatvorrichtung Relativbewegung^ ausführt, dadurch gekennzeichnet, daß zum Erzeugen der Signalkurve (8K) eine Gitter— teilung (1) »it *u— und »"bnehaendee Strich—/Lücken— verhältnis vorgesehen iot.
    2·) Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, deS cub Erzeugen einer eich kontinuierlich ändernden flachen Signalkunre (SE) periodisch sich wiederholende Muster (X) von Gitterteilungen »it gleicher Gitterkon— stante, jedoch mit ku— und abnehmende« Strich—/Lücken— verhültnia vorgesehen eind.
    J.) Anordnung nach Anspruch 1 und 2% dadurch gekennieich— net, daß die Breite dee Abtaetspaltes (3) in seiner Yersohieberichtung «in genstehlige· Tielfaches der
    009852/1
    Qitterkonstante der Gitterteilung (1) ait variablem Strich—/Lückanverhältnia ist·
    4.) Anordnung nach Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet, daß die Breite des Abtastspaltes (3) genau gleich der Gitterkonstante der Qitterteilung (1) ist·
    5·) Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß durch die geometriechen Abmessungen des Abtastspaltes sowie der Striche und Lücken der Seilungen die Anstiegsflanken der treppenförmigen Signalkurven örtlich festgelegt sind·
    6·) Die Verwendung der Anordnung nach Anspruch 1 bis 5 Insbesondere bei digitalen längen— oder tfinkelmeß— einrichtungen mit absoluter Auskodierung sum Hessen der Lage zweier relativ zueinander beweglicher Objekte·
    009852/1248
    40 Leerseite
DE19691930976 1969-06-19 1969-06-19 Anordnung zum erzeugen einer signalkurve zur laengen oder winkelmessung Pending DE1930976B2 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19691930976 DE1930976B2 (de) 1969-06-19 1969-06-19 Anordnung zum erzeugen einer signalkurve zur laengen oder winkelmessung
CH834970A CH511422A (de) 1969-06-19 1970-06-04 Abtastvorrichtung zur messtechnischen Erfassung von Bewegungen
FR7022309A FR2052729A5 (de) 1969-06-19 1970-06-17
GB2971770A GB1319531A (en) 1969-06-19 1970-06-18 Arrangement for producing a signal curve

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19691930976 DE1930976B2 (de) 1969-06-19 1969-06-19 Anordnung zum erzeugen einer signalkurve zur laengen oder winkelmessung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE1930976A1 true DE1930976A1 (de) 1970-12-23
DE1930976B2 DE1930976B2 (de) 1972-01-05

Family

ID=5737365

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19691930976 Pending DE1930976B2 (de) 1969-06-19 1969-06-19 Anordnung zum erzeugen einer signalkurve zur laengen oder winkelmessung

Country Status (4)

Country Link
CH (1) CH511422A (de)
DE (1) DE1930976B2 (de)
FR (1) FR2052729A5 (de)
GB (1) GB1319531A (de)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2551203A1 (fr) * 1983-08-25 1985-03-01 Lucas Ind Plc Moyens a transducteurs pour la determination de la position d'un moteur
US4531230A (en) * 1981-06-16 1985-07-23 Asea Aktiebolag Optical digitizer/position measuring device
DE3833115A1 (de) * 1987-09-30 1989-04-20 Okuma Machinery Works Ltd Optischer codierer
DE4436784B4 (de) * 1993-10-26 2005-08-18 Carl Zeiss Absolutes Positionsmeßsystem
EP2236990A2 (de) 2009-03-31 2010-10-06 BALLUFF GmbH Positions-/Wegmesssystem
US8179129B2 (en) 2008-10-28 2012-05-15 Balluff Gmbh Position/displacement measuring system with an encoded scale body
US8981766B2 (en) 2011-09-06 2015-03-17 Balluff Gmbh Position/displacement measuring system
EP2183550B2 (de) 2007-08-31 2017-06-28 Pepperl + Fuchs GmbH Induktiver weggeber, kodiereinrichtung und verfahren zum bestimmen einer position eines ersten objekts relativ zu einem zweiten objekt

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE379241B (de) * 1974-01-15 1975-09-29 Aga Ab
FR2436967A1 (fr) * 1978-09-19 1980-04-18 Thomson Csf Procede d'alignement optique de motifs dans deux plans rapproches et dispositif d'alignement mettant en oeuvre un tel procede

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4531230A (en) * 1981-06-16 1985-07-23 Asea Aktiebolag Optical digitizer/position measuring device
FR2551203A1 (fr) * 1983-08-25 1985-03-01 Lucas Ind Plc Moyens a transducteurs pour la determination de la position d'un moteur
DE3833115A1 (de) * 1987-09-30 1989-04-20 Okuma Machinery Works Ltd Optischer codierer
DE4436784B4 (de) * 1993-10-26 2005-08-18 Carl Zeiss Absolutes Positionsmeßsystem
EP2183550B2 (de) 2007-08-31 2017-06-28 Pepperl + Fuchs GmbH Induktiver weggeber, kodiereinrichtung und verfahren zum bestimmen einer position eines ersten objekts relativ zu einem zweiten objekt
US8179129B2 (en) 2008-10-28 2012-05-15 Balluff Gmbh Position/displacement measuring system with an encoded scale body
EP2236990A2 (de) 2009-03-31 2010-10-06 BALLUFF GmbH Positions-/Wegmesssystem
DE102009016663A1 (de) * 2009-03-31 2010-10-07 Balluff Gmbh Positions-/Wegmesssystem
US8274274B2 (en) 2009-03-31 2012-09-25 Balluff Gmbh Position/displacement measuring system
US8981766B2 (en) 2011-09-06 2015-03-17 Balluff Gmbh Position/displacement measuring system

Also Published As

Publication number Publication date
CH511422A (de) 1971-08-15
DE1930976B2 (de) 1972-01-05
FR2052729A5 (de) 1971-04-09
GB1319531A (en) 1973-06-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AT395071B (de) Inkrementales messsystem
DE3417176C2 (de) Photoelektrische Meßeinrichtung
DE1930976A1 (de) Anordnung zum Erzeugen einer Signalkurve
DE19545949A1 (de) Digitales Absolutpositions-Codiergerät und Codierverfahren
DE1962099A1 (de) Durchlaessiges Indexgitter
DE2246660A1 (de) Analog-ditigal-umsetzer
DE4438156A1 (de) Längenmeßsystem
DE4209149A1 (de) Zweidimensionaler optischer kodierer
EP1557646B1 (de) Drehwinkelgeber sowie Verfahren zum Abtasten der Codescheibe eines Drehwinkelgebers
DE3542514C2 (de)
DE4427080A1 (de) Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale
EP0303008B1 (de) Inkrementale Längen- oder Winkelmesseinrichtung
DE2315471A1 (de) Stellungsgeber fuer elektrische nachfuehreinrichtungen bei registriersystemen
EP0541829B1 (de) Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale
DE102009023395B4 (de) Codescheibe für einen Encoder
EP0596535B1 (de) Verfahren zur hochauflösenden Messung von Linear- und Drehpositionen
DE4202560C2 (de) Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale
EP0547270B1 (de) Fotoelektrische Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale
DE6924328U (de) Messeinrichtung.
DE1930976C (de) Anordnung zum Erzeugen einer Signal kurve zur Langen oder Winkelmessung
EP0517690B1 (de) Inkrementales Messsystem
DE1938993C (de) Mehrspurige codierte Langen oder Winkelmeßeinrichtung
EP0479023B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bildung von weg- bzw. winkelabhängigen Signalen, insbesondere für digitale Inkrementallagegeber
DE2030404A1 (de) Codiervorrichtung
DE102004001996A1 (de) Drehwinkelgeber

Legal Events

Date Code Title Description
SH Request for examination between 03.10.1968 and 22.04.1971