DE4209149A1 - Zweidimensionaler optischer kodierer - Google Patents
Zweidimensionaler optischer kodiererInfo
- Publication number
- DE4209149A1 DE4209149A1 DE4209149A DE4209149A DE4209149A1 DE 4209149 A1 DE4209149 A1 DE 4209149A1 DE 4209149 A DE4209149 A DE 4209149A DE 4209149 A DE4209149 A DE 4209149A DE 4209149 A1 DE4209149 A1 DE 4209149A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- grating
- sub
- grid
- grids
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 33
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 21
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft optische Kodierer, und ins
besondere einen optischen Kodierer, der eine zweidimensionale
Verschiebung feststellen kann.
Gegenwärtig werden in Meßinstrumenten und Werkzeugmaschinen
unterschiedliche Arten von Kodierern verwendet, und seit eini
gen Jahren auch besonders bei Geräten der Informationstechnik,
um die relative Verschiebung zwischen zwei Teilen festzustel
len. Optische Kodierer werden insbesondere üblicherweise an
Orten verwendet, an welchen eine berührungslose Verschiebungs
feststellung erforderlich ist.
Die optischen Kodierer weisen einen Aufbau auf, bei welchem
eine Hauptskala und eine Indexskala, die jeweils ein Gitter
aufweisen, auf den jeweiligen Teilen vorgesehen sind, welche
sich relativ zueinander bewegen. Es wird beispielsweise die
Hauptskala mit Licht beleuchtet, welches durch das Gitter der
Indexskala gelangt ist, und das von dem Gitter der Hauptskala
reflektierte oder durch dieses hindurchgelassene Licht wird
von einem Photodetektor ermittelt. Eine Relativverschiebung
zwischen den beiden Teilen wird auf der Grundlage einer Pha
senänderung und anderer Parameter des Nachweissignals ermit
telt.
In dem US-Patent Nr. 50 26 146 ist ein eindimensionaler opti
scher Kodierer mit drei Gittern beschrieben.
Konventionelle allgemeine optische Kodierer können jedoch nur
eine eindimensionale Messung einer linearen Verschiebung oder
einer Drehverschiebung messen. Daher kann ein einziger Kodie
rer nicht die zweidimensionale Verschiebung zwischen zwei
Teilen feststellen.
Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung liegt in der Bereit
stellung einer Lösung für das voranstehend geschilderte, beim
Stand der Technik auftretende Problem, und ein weiterer Vor
teil liegt in der Bereitstellung eines optischen Kodierers,
der einen einfachen Aufbau aufweist, einfach herzustellen ist,
und der den zweidimensionalen Nachweis sowohl sehr kleiner
als auch sehr großer Verschiebungen ermöglicht.
Gemäß der vorliegenden Erfindung weist ein zweidimensionaler
optischer Kodierer mit einem ersten Teil und einem zweiten
Teil, die eine Hauptskala und eine Indexskala einander gegen
überliegend aufweisen, und der eine Relativverschiebung zwi
schen dem ersten Teil und dem zweiten Teil in den Richtungen
einer X-Achse und einer Y-Achse ermitteln kann, folgende Tei
le auf.
Ein erstes, auf der Hauptskala ausgebildetes Gitter, welches
zwei Untergitter aufweist, die mit Gitterlinien versehen sind,
die in der Richtung der X- bzw. Y-Achse angeordnet sind;
ein zweites Gitter, welches in einem zentralen Bereich der Indexskala ausgebildet ist, und ein Untergitter aufweist, das sich entlang der X-Achse erstreckt und mit Gitterlinien ver sehen ist, die in der Richtung der X-Achse angeordnet sind, sowie ein Untergitter, welches sich entlang der Y-Achse er streckt und mit Gitterlinien versehen ist, die in der Rich tung der Y-Achse angeordnet sind;
ein drittes Gitter, welches auf der Indexskala ausgebildet ist, und welches zwei Untergitter aufweist, die außerhalb des entsprechenden Untergitters des zweiten Gitters vorgesehen sind und Gitterlinien aufweisen, die in der Richtung der X- Achse verlaufen, wobei eine Phasendifferenz zwischen den bei den Untergittern existiert, wobei zwei Untergitter außerhalb des entsprechenden Untergitters des zweiten Gitters vorgese hen sind, die Gitterlinien aufweisen, die in der Richtung der Y-Achse verlaufen, wobei eine Phasendifferenz zwischen den beiden Untergittern existiert;
eine an dem zweiten Teil befestigte Lichtquelle;
mehrere an dem zweiten Teil befestigte Photodetektoren, die entsprechend den jeweiligen Untergittern des dritten Gitters angeordnet sind, um Licht zu empfangen, welches von der Licht quelle ausgesandt wurde, durch das zweite Gitter hindurchge langt ist, von dem ersten Gitter reflektiert wurde, und durch das dritte Gitter hindurchgelassen wurde; und
eine Berechnungsschaltung zur Erzeugung von Signalen, welche die relativen Verschiebungen in der Richtung der X- und Y- Achse anzeigen, durch Bearbeitung von Ausgangssignalen der mehreren Photodetektoren.
ein zweites Gitter, welches in einem zentralen Bereich der Indexskala ausgebildet ist, und ein Untergitter aufweist, das sich entlang der X-Achse erstreckt und mit Gitterlinien ver sehen ist, die in der Richtung der X-Achse angeordnet sind, sowie ein Untergitter, welches sich entlang der Y-Achse er streckt und mit Gitterlinien versehen ist, die in der Rich tung der Y-Achse angeordnet sind;
ein drittes Gitter, welches auf der Indexskala ausgebildet ist, und welches zwei Untergitter aufweist, die außerhalb des entsprechenden Untergitters des zweiten Gitters vorgesehen sind und Gitterlinien aufweisen, die in der Richtung der X- Achse verlaufen, wobei eine Phasendifferenz zwischen den bei den Untergittern existiert, wobei zwei Untergitter außerhalb des entsprechenden Untergitters des zweiten Gitters vorgese hen sind, die Gitterlinien aufweisen, die in der Richtung der Y-Achse verlaufen, wobei eine Phasendifferenz zwischen den beiden Untergittern existiert;
eine an dem zweiten Teil befestigte Lichtquelle;
mehrere an dem zweiten Teil befestigte Photodetektoren, die entsprechend den jeweiligen Untergittern des dritten Gitters angeordnet sind, um Licht zu empfangen, welches von der Licht quelle ausgesandt wurde, durch das zweite Gitter hindurchge langt ist, von dem ersten Gitter reflektiert wurde, und durch das dritte Gitter hindurchgelassen wurde; und
eine Berechnungsschaltung zur Erzeugung von Signalen, welche die relativen Verschiebungen in der Richtung der X- und Y- Achse anzeigen, durch Bearbeitung von Ausgangssignalen der mehreren Photodetektoren.
Mit der voranstehenden Konstruktion wird ein Verschiebungs
detektor mit drei Gittern sowohl in der X- als auch in der
Y-Richtung ausgebildet, wodurch der einzige optische Kodie
rer eine Relativverschiebung zwischen der Hauptskala und der
Indexskala sowohl in der X- als auch in der Y-Richtung ermit
teln kann.
Die Erfindung wird nachstehend anhand zeichnerisch dargestell
ter Ausführungsbeispiele näher erläutert, aus welchen sich
weitere Vorteile und Merkmale ergeben. Es zeigt:
Fig. 1 eine Schnittansicht mit einer Darstellung des all
gemeinen Aufbaus eines optischen Kodierers gemäß
einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfin
dung;
Fig. 2 eine Aufsicht mit der Darstellung der Anordnung ei
nes lichtemittierenden Elementes und von Photodetek
toren bei der ersten Ausführungsform;
Fig. 3 eine Aufsicht, welche ein erstes Gitter zeigt, das
auf einer Hauptskala bei der ersten Ausführungsform
vorgesehen ist;
Fig. 4 eine Aufsicht, die ein erstes und ein zweites Gitter
zeigt, welche auf einer Indexskala bei der ersten
Ausführungsform vorgesehen sind;
Fig. 5 das Grundprinzip der Ermittlung der Relativverschie
bung gemäß der Erfindung;
Fig. 6 eine Aufsicht, die ein bestimmtes Beispiel für das
erste Gitter bei der ersten Ausführungsform zeigt;
und
Fig. 7 eine Aufsicht, die ein erstes Gitter zeigt, welches
auf einer Hauptskala bei einem optischen Kodierer
gemäß einer zweiten Ausführungsform vorgesehen ist.
Fig. 1 ist eine vertikale Querschnittsansicht, die den grund
sätzlichen Aufbau eines optischen Kodierers gemäß einer ersten
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Fig. 2 ist
eine Schnittansicht entlang der Linie II-II in Fig. 1.
Wie aus diesen Figuren hervorgeht, sind bei einem optischen
Kodierer 10 eine Hauptskala 12 und eine Indexskala 16 auf ei
nem beweglichen Teil 14 bzw. 18 vorgesehen, um eine Relativ
verschiebung zwischen den Teilen 14 und 18 zu ermitteln.
Bei dem beweglichen Teil 18 sind ein Licht emittierendes Ele
ment 20 und acht Photodetektoren 22a-22h an der Bodenober
fläche der Indexskala 16 befestigt (Fig. 1). Zuleitungsdrähte
von dem Licht emittierenden Element 20 und den Photodetekto
ren 22a-22h sind mit einer Platine 24 mit einer gedruckten
Schaltung verbunden.
Bei dem beweglichen Teil 14 ist ein erstes Gitter 26 auf der
Hauptskala 12 vorgesehen. Wie in Fig. 3 gezeigt ist, nimmt
das erste Gitter 26 eine kreuzartige Form an, wobei das Kreuz
aus vier fünfeckigen Reflexionsgittern (oder Untergittern)
28a-28d besteht. Die Linien der Gitter 28a und 28b sind in
der Y-Richtung angeordnet, und die Linien der Gitter 28c und
28d in der X-Richtung.
Andererseits weist, wie in Fig. 4 gezeigt ist, die Indexskala
16 ein zweites Gitter 30 und ein drittes Gitter 32 auf. Das
zweite Gitter 30 ist ein quadratisches Transmissionsgitter,
welches vier dreieckige Transmissionsgitter (oder Untergitter)
34a-34d aufweist, die gegenüberliegend dem voranstehend
erwähnten Licht emittierenden Element 20 angeordnet sind. Git
ter (oder Untergitter) 32a-32h des dritten Gitters 32 sind
ebenfalls Transmissionsgitter, die gegenüberliegend den acht
zugehörigen Photodetektoren 22a-22h angeordnet sind. Bei
dieser Anordnung gelangt von dem Licht emittierenden Element
20 ausgesandtes Licht durch das zweite Gitter 30, wird durch
das erste Gitter 26 reflektiert, gelangt durch das dritte
Gitter 32, und wird schließlich von den Photodetektoren 22a-22h
festgestellt.
Wie aus der voranstehenden Beschreibung deutlich wird, bilden
bei dem optischen Kodierer gemäß der ersten Ausführungsform
die Gitter 34a und 34b des zweiten Gitters 30, die Gitter 28a
und 28b des ersten Gitters 26, und die Gitter 32a-32d des
dritten Gitters 32 einen Verschiebungsdetektor mit drei Git
tern zur Ermittlung der Relativbewegung in der X-Richtung.
Entsprechend bilden die Gitter 34c und 34d des zweiten Git
ters 30, die Gitter 28c und 28d des ersten Gitters 26, und
die Gitter 32e-32h des dritten Gitters 32 einen weiteren
Verschiebungsdetektor mit drei Gittern zur Ermittlung der Re
lativbewegung in der Y-Richtung.
Dieser Verschiebungsdetektor mit drei Gittern ermittelt eine
Verschiebung auf der Grundlage einer Änderung der Überlap
pungsbeziehungen zwischen den drei Gittern. Diesbezügliche
Einzelheiten sind in "Journal of the Optical Society of Ame
rica", 1965, Band 55, Nr. 4, Seiten 373-381, beschrieben.
Bei der ersten Ausführungsform, wie in der Darstellung von
Fig. 5 eindimensional und in Transmission gezeigt ist, umfaßt
jeder Verschiebungsdetektor mit drei Gittern das zweite Git
ter 30 (tatsächlich eines seiner Gitter 34a bis 34d), und das
dritte Gitter 32, die parallel zueinander angeordnet sind,
das erste Gitter 26, welches zwischen den Gittern 30 und 32
angeordnet ist und parallel zu diesen verläuft, so daß es re
lativ zu diesen Gittern beweglich ist, das Licht emittieren
de Element 20 (beispielsweise eine LED), welches als eine
Flächenlichtquelle angesehen wird, und auf der linken Seite
des zweiten Gitters 30 in Fig. 5 angeordnet ist, sowie den
Photodetektor 22, der auf der rechten Seite des dritten Git
ters 32 in der Zeichnung angeordnet ist.
Das von dem Licht emittierenden Element 20 ausgesandte Licht
gelangt durch das zweite Gitter 30, das erste Gitter 26 und
das dritte Gitter 32 (oder wird tatsächlich durch das erste
Gitter 26 reflektiert), und erreicht den Photodetektor 22.
Daher wandelt der Photodetektor 32 photoelektrisch das Licht
um, welches infolge der Gitter 30, 26 und 32 eine verringerte
Intensität aufweist, und ein Vorverstärker 52 verstärkt das
Ausgangssignal des Photodetektors 22, um ein Nachweissignal
S zu erzeugen.
Wenn sich das erste Gitter 26 in bezug auf das zweite und
dritte Gitter 30 bzw. 32 mit konstanter Geschwindigkeit be
wegt, beispielsweise in der X-Richtung, so ändert sich das
von dem Photodetektor 22 empfangene Licht entsprechend einer
Variation der Lichtintensitätsverringerung infolge der Ab
schirmung durch die Gitter 30, 26 und 32, so daß das Nach
weissignal S eine allgemein sinusartige Form annimmt.
Eine Periode P des Nachweissignals S entspricht einer Gitter
teilung (Gitterabstand) P1 des ersten Gitters 26. Eine Bewe
gungsentfernung des ersten Gitters 26 wird durch eine (nicht
gezeigte) Berechnungsschaltung ermittelt, auf der Grundlage
der Periode P des Nachweissignals S und seiner Unterteilungs
werte.
Da, wie voranstehend beschrieben, das erste Gitter 26 auf dem
beweglichen Teil 14 angeordnet ist, und das zweite und dritte
Gitter 30 und 32 auf dem beweglichen Teil 18 angeordnet sind,
kann die Relativverschiebung zwischen den Teilen 14 und 18
auf zweidimensionale Weise wie voranstehend beschrieben ermit
telt werden.
Bei der ersten Ausführungsform sind die Linien der Gitter 28a
und 28b des ersten Gitters 26 parallel zur Y-Achse mit einer
Gitterteilung P1 ausgebildet, und Linien der Gitter 28c und
28d verlaufen parallel zu der X-Achse mit einer Gitterteilung
P1′. Weiterhin sind die Linien der Gitter 34a und 34b des
zweiten Gitters 30 parallel zur Y-Achse angeordnet, mit einer
Gitterteilung P2, und Linien der Gitter 34c und 34d sind
parallel zur X-Achse angeordnet mit einer Gitterteilung P2′.
Die Gitter 32a bis 32d des dritten Gitters 32 dienen als Git
ter für eine Ax-Phase, eine Ax′-Phase, eine Bx-Phase bzw. ei
ne Bx′-Phase, und Linien dieser Gitter 32a-32d verlaufen
parallel zu der Y-Achse mit einer Gitterteilung P3. Entspre
chend dienen die Gitter 32e-32h des dritten Gitters 32 als
Gitter für eine Ay-Phase, eine Ay′-Phase, eine By-Phase bzw.
eine By′-Phase, und Linien dieser Gitter 32e-32h verlaufen
parallel zu der X-Achse mit einer Gitterteilung P3′.
Im einzelnen sind die Gitter 32a-32h so ausgebildet, daß die
Photodetektoren 22a-22d jeweils Signale der Ax-, Ax′-, Bx-
und Bx′-Phase erzeugen, die jeweils voneinander eine Phasen
differenz von π/2 aufweisen. Dies bedeutet, daß unter der An
nahme einer Phase des Ax-Phasensignals von 0° das Gitter 32b
so ausgebildet ist, daß es von dem Gitter 32a um eine Entfer
nung P3/2 abweicht, um das Ax′-Phasensignal zur Verfügung zu
stellen, welches eine Phase von 180° hat. Das Gitter 32c ist
so ausgebildet, daß es von dem Gitter 32a um eine Entfernung
P3/4 abweicht, um das Bx-Phasensignal zu erzeugen, welches
eine Phase von 90° hat. Das Gitter 32d ist so ausgebildet,
daß es von dem Gitter 32a um eine Entfernung von (3/4)P3 ab
weicht, um das Bx′-Phasensignal mit einer Phase von 270° zu
erzeugen.
Auf entsprechende Weise sind die Gitter 32e-32h so ausge
bildet, daß die Photodetektoren 22e-22h jeweils Signale
der Ay-, Ay′-, By- und By′-Phase erzeugen, die gegeneinander
eine Phasendifferenz von π/2 aufweisen. Unter der Annahme,
daß die Phase des Ay-Phasensignals 0° beträgt, bedeutet dies,
daß das Gitter 32f so ausgebildet ist, daß es von dem Gitter
32e um eine Entfernung von P3/2 abweicht, um das Ay′-Phasen
signal mit einer Phase von 180° zu erzeugen. Das Gitter 32g
ist so ausgebildet, daß es von dem Gitter 32e um eine Entfer
nung von P3/4 abweicht, um das By-Phasensignal zu erzeugen,
welches eine Phase von 90° aufweist. Das Gitter 32h ist so
ausgebildet, daß es von dem Gitter 32e um eine Entfernung von
(3/4)P3 abweicht, um das By′-Phasensignal mit einer Phase
von 270° zu erzeugen.
Ein Ax-Phasen-Ausgangssignal, welches einer differentiellen
Amplitudenverstärkung unterworfen wurde, wird schließlich
auf der Grundlage der Differenz zwischen den voranstehend
beschriebenen Ax- und Ax′-Phasensignalen erhalten. Weiter
hin wird schließlich ein Bx-Phasen-Ausgangssignal erhalten,
welches einer differentiellen Amplitudenverstärkung unter
worfen wurde, auf der Grundlage der Differenz zwischen den
voranstehend beschriebenen Bx- und Bx′-Phasensignalen. Ob
die Relativbewegung zwischen den Skalen 12 und 16 (also
zwischen den beweglichen Teilen 14 und 18) in die positive
oder negative Richtung der X-Achse gerichtet ist, wird aus
der Richtung einer Phasenabweichung zwischen dem so erhalte
nen Ax-Phasen-Ausgangssignal und dem Bx-Phasen-Ausgangssi
gnal und anderen Faktoren ermittelt. Darüber hinaus kann die
Bewegungsentfernung mit hoher Auflösung durch elektrisches
Unterteilen der Nachweissignale festgestellt werden.
Die Phasendiskriminierung und die Entfernungsermittlung für
die Relativbewegung zwischen den beweglichen Teilen 14 und
18 in der Y-Richtung werden auf entsprechende Weise durchge
führt.
Wie voranstehend beschrieben wurde, kann der optische Kodie
rer gemäß der ersten Ausführungsform die Bewegungsrichtung
und die Bewegungsentfernung sowohl bezüglich der X-Achse als
auch der Y-Achse feststellen.
Fig. 6 zeigt ein bestimmtes Beispiel für das erste Gitter 26
von Fig. 3. Das erste Gitter 26 besteht aus den Gittern 28a
und 28b für die Feststellung der Bewegung in der X-Richtung,
und aus den Gittern 28c und 28d für die Bestimmung der Bewe
gung in der Y-Richtung. Die Gitter 28a und 28b weisen eine
relativ große Gitterteilung P1 auf, um eine schnelle Able
sung der Bewegung in der X-Richtung zu ermöglichen. Dagegen
weisen die Gitter 28c und 28d eine relativ kleine Gittertei
lung P1′ auf, um eine hochauflösende Ablesung der Bewegung
in der Y-Richtung zu ermöglichen.
Auf die voranstehend beschriebene Weise können die Gittertei
lungen der jeweiligen Gitter entsprechend Merkmalen der Bewe
gung beweglicher Teile festgelegt werden, die ermittelt wer
den soll. Die bestimmte Gitterteilungen aufweisenden Gitter
können sehr exakt durch ein konventionelles Verfahren herge
stellt werden.
Vorzugsweise weisen die jeweiligen Gitter die nachstehend an
gegebenen Gitterteilungen auf:
P₁ = 40 µm (Breite Wl des hellen Abschnitts) =
(Breite Wd des dunklen Abschnitts) = 20 µm;
P₂ = 160 µm (Wl = 40 µm, Wd = 120 µm);
P₃ = 80 µm (Wl = Wd = 40 µm);
P1′ = 20 µm (Wl = Wd = 10 µm);
P2′ = 80 µm (Wl = 20 µm, Wd = 60 µm); und
P3′ = 40 µm (Wl = Wd = 20 µm).
(Breite Wd des dunklen Abschnitts) = 20 µm;
P₂ = 160 µm (Wl = 40 µm, Wd = 120 µm);
P₃ = 80 µm (Wl = Wd = 40 µm);
P1′ = 20 µm (Wl = Wd = 10 µm);
P2′ = 80 µm (Wl = 20 µm, Wd = 60 µm); und
P3′ = 40 µm (Wl = Wd = 20 µm).
Wenn die Gitterteilung des zweiten Gitters 30 größer gewählt
wird als die des ersten Gitters 26, und die Breite des hellen
Abschnitts des zweiten Gitters 30 kleiner oder gleich der Git
terteilung des ersten Gitters 26 gewählt wird, wie voranste
hend angegeben ist, so wird die Inkohärenz zwischen den Licht
strahlen verbessert, die durch den Durchgang des zweiten Git
ters 30 erzeugt werden, um ein höheres Signal-Rauschverhältnis
des Nachweissignals zur Verfügung zu stellen, und dies ermög
licht eine einfachere Signalbearbeitung und eine genauere Be
stimmung der Verschiebung.
Eine weitere vorteilhafte Auswahl für die Gitterteilungen ist
wie folgt:
P₁ = 100 µm (Breite Wl des hellen Abschnitts) =
(Breite Wd des dunklen Abschnitts) = 50 µm;
P₂ = 400 µm (Wl = 100 µm, Wd = 300 µm);
P₃ = 200 µm (Wl = Wd = 100 µm);
P1′ = 40 µm (Wl = Wd = 20 µm);
P2′ = 160 µm (Wl = 40 µm, Wd = 120 µm); und
P3′ = 80 µm (Wl = Wd = 40 µm).
(Breite Wd des dunklen Abschnitts) = 50 µm;
P₂ = 400 µm (Wl = 100 µm, Wd = 300 µm);
P₃ = 200 µm (Wl = Wd = 100 µm);
P1′ = 40 µm (Wl = Wd = 20 µm);
P2′ = 160 µm (Wl = 40 µm, Wd = 120 µm); und
P3′ = 80 µm (Wl = Wd = 40 µm).
Wie voranstehend beschrieben wurde, weist bei dem optischen
Kodierer gemäß der ersten Ausführungsform sowohl die Haupt
skala als auch die Indexskala orthogonale Gitter auf, die in
Kreuzform angeordnet sind, so daß ein optischer Kodierer zur
Verfügung gestellt werden kann, der einen einfachen Aufbau
aufweist, einfach herzustellen ist, und der eine Relativver
schiebung sowohl in der X- als auch in der Y-Richtung fest
stellen kann.
Nachstehend wird ein optischer Kodierer gemäß einer zweiten
Ausführungsform beschrieben, der denselben Aufbau wie die
erste Ausführungsform aufweist, mit der Ausnahme des ersten
Gitters. Daher wird hier eine Beschreibung der Bauteile abge
sehen von dem ersten Gitter weggelassen. Darüber hinaus ist
das erste Gitter bei der zweiten Ausführungsform auf dieselbe
Weise angeordnet wie bei der ersten Ausführungsform, um einen
Verschiebungsdetektor mit drei Gittern zur Verfügung zu stel
len, der nach demselben Prinzip arbeitet.
Wie in Fig. 7 gezeigt ist, weist die Hauptskala 12 ein erstes
Gitter 126 auf, welches als ein Reflexionsgitter ausgebildet
ist, das rechteckige, inselartige Reflexionsabschnitte 128₁₁
128₁₂, . . ., 128ln, 128₂₁, 128₂₂, . . ., 1282n, . . .,
128ml, 128m2, . . ., 128mn aufweist, die in Matrixform an
geordnet sind. Die Reihen der Reflexionsabschnitte 128 ÿ,
die sich parallel zur Y-Achse erstrecken und in X-Richtung
angeordnet sind, bilden ein Gitter mit einer Gitterteilung
P1, und die Spalten der Reflexionsabschnitte 128 ÿ, die
sich parallel zur X-Achse erstrecken und in der Y-Richtung
angeordnet sind, bilden ein Gitter mit einer Gitterteilung
P1′.
Bei dem optischen Kodierer gemäß der zweiten Ausführungs
form wird ein Verschiebungsdetektor mit drei Gittern zur Be
stimmung der Relativverschiebung in der X-Richtung gebildet
durch die Gitter 34a und 34b des zweiten Gitters 30, die
Zeilen der Reflexionsabschnitte 128 ÿ des ersten Gitters
128, die Gitter 32a-32d des dritten Gitters 32, und die
Photodetektoren 22a-22d. Entsprechend wird ein Verschie
bungsdetektor mit drei Gittern zur Bestimmung der Relativbe
wegung in der Y-Richtung gebildet durch die Gitter 34c und
34d des zweiten Gitters 30, die Spalten der Reflexionsab
schnitte 128 ÿ des ersten Gitters 128, die Gitter 32e-32h
des dritten Gitters 32, und die Photodetektoren 22e-22h.
Bei dieser Ausführungsform sind die Zeilen der Reflexions
abschnitte 128 ÿ mit einer relativ großen Gitterteilung P1
versehen, um eine schnelle Ablesung der Bewegung in der X-
Richtung zu ermöglichen. Dagegen sind die Spalten der Refle
xionsabschnitte 128 ÿ mit einer relativ kleinen Gittertei
lung P1′ versehen, um eine hochauflösende Ablesung der Be
wegung in der Y-Richtung zur Verfügung zu stellen. Auf die
se Weise können die Gitterteilungen der jeweiligen Gitter
entsprechend Merkmalen der Bewegung beweglicher Teile fest
gelegt werden, die bestimmt werden sollen. Die bestimmte
Gitterteilungen aufweisenden Gitter können sehr exakt durch
ein konventionelles Verfahren hergestellt werden.
Die beiden spezifischen Beispiele für Gitterteilungen, die
im Zusammenhang mit der ersten Ausführungsform beschrieben
wurden, können ebenfalls bei der zweiten Ausführungsform
eingesetzt werden.
Eine weitere vorteilhafte Auswahl für die Gitterteilungen
ist wie folgt:
P₁ = 20 µm (Breite Wl des hellen Abschnitts) =
(Breite Wd des dunklen Abschnitts) = 10 µm;
P₂ = 20 µm (Wl = Wd = 10 µm);
P₃ = 20 µm (Wl = Wd = 10 µm);
P1′ = 10 µm (Wl = Wd = 5 µm);
P2′ = 10 µm (Wl = Wd = 5 µm); und
P3′ = 10 µm (Wl = Wd = 5 µm).
(Breite Wd des dunklen Abschnitts) = 10 µm;
P₂ = 20 µm (Wl = Wd = 10 µm);
P₃ = 20 µm (Wl = Wd = 10 µm);
P1′ = 10 µm (Wl = Wd = 5 µm);
P2′ = 10 µm (Wl = Wd = 5 µm); und
P3′ = 10 µm (Wl = Wd = 5 µm).
Bei diesem Beispiel sind die Gitterteilungen des ersten bis
dritten Gitters gleich. Bedenkt man, daß P1= 20 µm ist,
also größer als P1′ = 10 µm, so kann, wenn ein Intervall d
(vgl. Fig. 1) zwischen der Hauptskala 12 und der Indexskala
16 so gewählt wird, daß es die Beziehung d ≧ P1 2/2λ erfüllt
(λ: Wellenlänge des von dem Licht emittierenden Element 20
ausgesandten Lichts), ein zweidimensionaler Kodierer reali
siert werden, dessen Ausgangssignal kaum durch eine Variation
des Intervalls d beeinflußt wird.
Diese Art der Wahl der Gitterteilung ermöglicht die Bereit
stellung der folgenden vorteilhaften Merkmale.
- 1) Wenn die Hauptskala 12 um eine Entfernung P1 in der X- Richtung bewegt wird, so nimmt das Ausgangssignal eine der artige Signalform an, wie sie erzeugt wird, wenn ein Bild auf dem dritten Gitter 32 um eine Entfernung von 2P1 bewegt wird, um ein Signal zur Verfügung zu stellen, welches optisch in zwei Teile unterteilt wurde. Dies erleichtert die Ausle gung einer elektrischen Teilerschaltung.
- 2) Da sie tolerant gegenüber der Variation des Intervalls d ist, ist diese Art der Gitterteilungsauswahl für die Fälle kleiner Gitterteilungen geeignet, beispielsweise bei einem Kodierer, bei welchem P1 oder P1′ nicht mehr als 40 µm beträgt.
Nachstehend ist eine weitere vorteilhafte Auswahl der Gitter
teilungen angegeben:
P₁ = 40 µm (Breite Wl des hellen Abschnitts) =
(Breite Wd des dunklen Abschnitts) = 20 µm;
P₂ = 80 µm (Wl = Wd = 40 µm);
P₃ = 80 µm (Wl = Wd = 40 µm);
P1′ = 10 µm (Wl = Wd = 5 µm);
P2′ = 10 µm (Wl = Wd = 5 µm); und
P3′ = 10 µm (Wl = Wd = 5 µm).
(Breite Wd des dunklen Abschnitts) = 20 µm;
P₂ = 80 µm (Wl = Wd = 40 µm);
P₃ = 80 µm (Wl = Wd = 40 µm);
P1′ = 10 µm (Wl = Wd = 5 µm);
P2′ = 10 µm (Wl = Wd = 5 µm); und
P3′ = 10 µm (Wl = Wd = 5 µm).
In diesem Falle nimmt, wenn die Hauptskala 12 um eine Entfer
nung P1 in der X-Richtung bewegt wird, das Ausgangssignal
eine derartige Signalform an, wie sie erzeugt wird, wenn ein
Bild auf dem dritten Gitter 32 um eine Entfernung P1 bewegt
wird. Wenn andererseits die Hauptskala 12 um eine Entfernung
P1′ in der Y-Richtung bewegt wird, so nimmt das Ausgangs
signal eine derartige Signalform an, wie sie erzeugt wird,
wenn ein Bild auf dem dritten Gitter um eine Entfernung 2P1′
bewegt wird. Daher ist das voranstehende Beispiel für einen
solchen Fall geeignet, in welchem in der X-Richtung ein Nach
weis mit niedriger Auflösung und hoher Geschwindigkeit erfor
derlich ist, und in der Y-Richtung ein Nachweis mit hoher
Auflösung und niedriger Geschwindigkeit.
Bei der zweiten Ausführungsform kann sich das erste Gitter
126 über eine große Fläche erstrecken, und dies ermöglicht
einen Nachweis in einem weiten Bereich. Die Form des ersten
Gitters 126 kann je nach Wunsch festgelegt werden, unter Be
rücksichtigung der Entfernung für die Relativbewegung zwi
schen der Hauptskala 12 und der Indexskala 16.
Das erste Gitter 128 kann auf entgegengesetzte Weise wie in
Fig. 7 dargestellt erzeugt werden. Dies bedeutet, daß die
inselartigen Abschnitte 128 ÿ, die in Matrixform angeordnet
sind, Transmissionsabschnitte sein können, und daß der ver
bleibende Abschnitt 129 reflektierend ausgebildet ist.
Wie voranstehend beschrieben wurde, ist bei dem optischen
Kodierer gemäß der zweiten Ausführungsform das erste Gitter
auf der Hauptskala so ausgebildet, daß die inselartigen
Abschnitte in Matrixform angeordnet sind, und das zweite und
dritte Gitter sind auf der Indexskala so angeordnet, daß die
se Gitter orthogonal zueinander liegen, um so eine kreuzarti
ge Form anzunehmen. Dies führt dazu, daß ein Detektor für ei
ne zweidimensionale Verschiebung zur Verfügung gestellt wer
den kann, der einen einfachen Aufbau aufweist und einen Nach
weis über einen weiten Bereich ermöglicht.
Claims (11)
1. Zweidimensionaler optischer Kodierer, gekennzeichnet durch:
ein erstes Teil und ein zweites Teil, die mit einer Haupt skala bzw. einer Indexskala versehen sind, die einander gegenüberliegend angeordnet sind, um eine Relativverschie bung zwischen, dem ersten Teil und dem zweiten Teil in Richtungen einer X-Achse und einer Y-Achse festzustellen, wobei der optische Kodierer folgende Teile aufweist:
ein auf der Hauptskala ausgebildetes erstes Gitter, wel ches zwei Untergitter aufweist, die mit Gitterlinien ver sehen sind, die in der Richtung der X-Achse bzw. der Rich tung der Y-Achse angeordnet sind;
ein in einem zentralen Bereich der Indexskala ausgebilde tes zweites Gitter, welches ein Untergitter aufweist, das sich entlang der X-Achse erstreckt und Gitterlinien auf weist, die in der Richtung der X-Achse angeordnet sind, und ein Untergitter aufweist, das sich entlang der Y-Achse erstreckt und mit Gitterlinien versehen ist, die in der Richtung der Y-Achse angeordnet sind;
ein auf der Indexskala ausgebildetes drittes Gitter, wel ches zwei Untergitter aufweist, die außerhalb des entspre chenden Untergitters des zweiten Gitters vorgesehen sind und Gitterlinien aufweisen, die in der Richtung der X-Ach se verlaufen, mit einer Phasendifferenz zwischen den bei den Untergittern, und welches zwei Untergitter aufweist, die außerhalb des entsprechenden Untergitters des zweiten Gitters ausgebildet sind und Gitterlinien aufweisen, die in der Richtung der Y-Achse angeordnet sind, mit einer Phasendifferenz zwischen den beiden Untergittern;
eine an dem zweiten Teil befestigte Lichtquelle;
mehrere an dem zweiten Teil befestigte Photodetektoren, die entsprechend den jeweiligen Untergittern des dritten Gitters angeordnet sind, um von der Lichtquelle ausge sandtes Licht zu empfangen, welches durch das zweite Git ter hindurchgelassen wurde, von dem ersten Gitter reflek tiert wurde, und durch das dritte Gitter hindurchgelassen wurde; und
eine Berechnungsschaltung zur Erzeugung von Signalen, wel che die Relativverschiebungen in den Richtungen der X- und Y-Achse anzeigen, durch Bearbeitung von Ausgangssig nalen der mehreren Photodetektoren.
ein erstes Teil und ein zweites Teil, die mit einer Haupt skala bzw. einer Indexskala versehen sind, die einander gegenüberliegend angeordnet sind, um eine Relativverschie bung zwischen, dem ersten Teil und dem zweiten Teil in Richtungen einer X-Achse und einer Y-Achse festzustellen, wobei der optische Kodierer folgende Teile aufweist:
ein auf der Hauptskala ausgebildetes erstes Gitter, wel ches zwei Untergitter aufweist, die mit Gitterlinien ver sehen sind, die in der Richtung der X-Achse bzw. der Rich tung der Y-Achse angeordnet sind;
ein in einem zentralen Bereich der Indexskala ausgebilde tes zweites Gitter, welches ein Untergitter aufweist, das sich entlang der X-Achse erstreckt und Gitterlinien auf weist, die in der Richtung der X-Achse angeordnet sind, und ein Untergitter aufweist, das sich entlang der Y-Achse erstreckt und mit Gitterlinien versehen ist, die in der Richtung der Y-Achse angeordnet sind;
ein auf der Indexskala ausgebildetes drittes Gitter, wel ches zwei Untergitter aufweist, die außerhalb des entspre chenden Untergitters des zweiten Gitters vorgesehen sind und Gitterlinien aufweisen, die in der Richtung der X-Ach se verlaufen, mit einer Phasendifferenz zwischen den bei den Untergittern, und welches zwei Untergitter aufweist, die außerhalb des entsprechenden Untergitters des zweiten Gitters ausgebildet sind und Gitterlinien aufweisen, die in der Richtung der Y-Achse angeordnet sind, mit einer Phasendifferenz zwischen den beiden Untergittern;
eine an dem zweiten Teil befestigte Lichtquelle;
mehrere an dem zweiten Teil befestigte Photodetektoren, die entsprechend den jeweiligen Untergittern des dritten Gitters angeordnet sind, um von der Lichtquelle ausge sandtes Licht zu empfangen, welches durch das zweite Git ter hindurchgelassen wurde, von dem ersten Gitter reflek tiert wurde, und durch das dritte Gitter hindurchgelassen wurde; und
eine Berechnungsschaltung zur Erzeugung von Signalen, wel che die Relativverschiebungen in den Richtungen der X- und Y-Achse anzeigen, durch Bearbeitung von Ausgangssig nalen der mehreren Photodetektoren.
2. Optischer Kodierer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß jedes der Untergitter des dritten Gitters zwei
Untergitter aufweist, die eine Phasendifferenz aufweisen.
3. Optischer Kodierer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß jedes der Untergitter des zweiten Gitters in ei
nem Zentrum der Indexskala in zwei Untergitter unterteilt
ist.
4. Optischer Kodierer nach Anspruch 3, dadurch gekennzeich
net, daß die vier Untergitter des zweiten Gitters durch
zwei gerade Linien unterteilt sind, die einander im Zen
trum der Indexskala schneiden und Winkel von 45° mit der
X- und Y-Achse bilden.
5. Optischer Kodierer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß sich die beiden Untergitter des ersten Gitters
entlang der X- bzw. Y-Achse erstrecken, um eine kreuz
artige Form anzunehmen.
6. Optischer Kodierer nach Anspruch 5, dadurch gekennzeich
net, daß jedes der Untergitter in einem Zentrum der
Hauptskala in zwei Untergitter aufgeteilt ist.
7. Optischer Kodierer nach Anspruch 6, dadurch gekennzeich
net, daß die vier Untergitter des ersten Gitters in ei
nem zentralen Bereich der Hauptskala dort, wo sie aufein
ander treffen, durch zwei gerade Linien unterteilt sind,
die einander im Zentrum der Hauptskala schneiden und Win
kel von 45° mit der X- und Y-Achse bilden.
8. Optischer Kodierer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß die beiden Untergitter des ersten Gitters durch
Zeilen und Spalten rechteckiger Abschnitte gebildet wer
den, die jeweils in einer Matrixform angeordnet sind.
9. Optischer Kodierer nach Anspruch 8, dadurch gekennzeich
net, daß die rechteckigen Abschnitte Abschnitte zum Re
flektieren des von dem zweiten Gitter hindurchgelassenen
Lichtes darstellen.
10. Optischer Kodierer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß die beiden Untergitter des ersten Gitters unter
schiedliche Gitterteilungen aufweisen.
11. Optischer Kodierer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß die in der Richtung der X-Achse angeordneten
Gitterlinien des ersten, zweiten und dritten Gitters die
selbe Gitterteilung aufweisen, und daß die in der Richtung
der Y-Achse verlaufenden Gitterlinien des ersten, zwei
ten und dritten Gitters dieselbe Gitterteilung aufweisen,
wobei ein Intervall d zwischen der Hauptskala und der
Indexskala so gewählt ist, daß die Beziehung d ≧ P1 2/2λ
erfüllt ist, wobei P1 die größere Gitterteilung der
zweiten Untergitter des ersten Gitters ist, und λ die
Wellenlänge des von der Lichtquelle ausgesandten Lichtes
ist.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1991025416U JPH0747694Y2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | 光電型エンコーダ |
JP4326691 | 1991-05-13 | ||
JP1991092225U JPH0755457Y2 (ja) | 1991-05-13 | 1991-10-14 | 光電型エンコーダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4209149A1 true DE4209149A1 (de) | 1992-11-05 |
DE4209149C2 DE4209149C2 (de) | 2000-10-05 |
Family
ID=27285009
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4209149A Expired - Fee Related DE4209149C2 (de) | 1991-03-22 | 1992-03-20 | Verschiebungsdetektoren zum Detektieren zweidimensionaler Verschiebungen |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5204524A (de) |
DE (1) | DE4209149C2 (de) |
GB (1) | GB2254690B (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19859670A1 (de) * | 1998-12-23 | 2000-06-29 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Abtastkopf und Verfahren zu dessen Herstellung |
DE102004042670B4 (de) | 2003-09-02 | 2018-07-12 | CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH | Mikrooptisches Strahler- und Empfängersystem |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH074993A (ja) * | 1993-03-23 | 1995-01-10 | Ricoh Co Ltd | エンコーダ装置 |
JP3082516B2 (ja) * | 1993-05-31 | 2000-08-28 | キヤノン株式会社 | 光学式変位センサおよび該光学式変位センサを用いた駆動システム |
DE69420464T2 (de) * | 1993-06-10 | 2000-04-13 | Canon Kk | Rotationserfassungsvorrichtung und zugehörige Skala |
ATE189057T1 (de) * | 1994-02-23 | 2000-02-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Vorrichtung zum erzeugen von positionsabhängigen signalen |
IT1293905B1 (it) | 1997-05-28 | 1999-03-11 | Sgs Thomson Microelectronics | Sensore di posizione bidimensionale di tipo magnetico, in particolare per applicazioni automobilistiche. |
DE69724100D1 (de) * | 1997-05-28 | 2003-09-18 | St Microelectronics Srl | Optischer zweidimensionaler Positionsgeber, insbesondere für Anwendungen in Kraftfahrzeugen |
WO1999035523A1 (en) * | 1998-01-07 | 1999-07-15 | Templex Technology Inc. | Composite diffraction gratings for signal processing and optical control applications |
EP1073919A4 (de) * | 1998-04-24 | 2005-05-18 | Templex Technology Inc | Segmentierte komplexe streugitter |
DE19859669A1 (de) * | 1998-12-23 | 2000-06-29 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Integrierter optoelektronischer Sensor und Verfahren zu dessen Herstellung |
DE19917950A1 (de) * | 1999-04-21 | 2000-10-26 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Integrierter optoelektronischer Dünnschichtsensor und Verfahren zu dessen Herstellung |
US6279248B1 (en) | 1999-09-22 | 2001-08-28 | Central Purchasing, Inc. | Digital measuring system having a multi-row encoder disk |
GB9926574D0 (en) | 1999-11-11 | 2000-01-12 | Renishaw Plc | Absolute position measurement |
GB9928483D0 (en) | 1999-12-03 | 2000-02-02 | Renishaw Plc | Opto-electronic scale reading apparatus |
JP4280447B2 (ja) * | 2001-02-20 | 2009-06-17 | キヤノン株式会社 | 反射スケールおよびそれを用いた変位検出装置 |
US6744520B2 (en) | 2002-03-04 | 2004-06-01 | Industrial Technology Research Institute | Method for measuring two-dimensional displacement using conjugate optics |
TWI224351B (en) * | 2003-09-18 | 2004-11-21 | Ind Tech Res Inst | Apparatus for detecting displacement of two-dimensional motion |
US7944485B2 (en) * | 2006-08-30 | 2011-05-17 | Micron Technology, Inc. | Method, apparatus and system for dynamic range estimation of imaged scenes |
JP5268529B2 (ja) * | 2008-09-29 | 2013-08-21 | キヤノン株式会社 | 変位計測装置及び半導体製造装置 |
EP2920649B1 (de) | 2012-11-19 | 2023-03-29 | ASML Netherlands B.V. | Positionsmesssystem und gitter für ein positionsmesssystem |
JP6315548B2 (ja) | 2013-12-25 | 2018-04-25 | 株式会社ミツトヨ | 光学式エンコーダ |
TW201741618A (zh) | 2016-05-23 | 2017-12-01 | 國立交通大學 | 光學感測裝置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3957378A (en) * | 1974-11-25 | 1976-05-18 | The Bendix Corporation | Two-axis moire fringe displacement transducer |
DE2521618B1 (de) * | 1975-05-15 | 1976-03-11 | Zeiss Carl Fa | Vorrichtung zum Messen oder Einstellen von zweidimensionalen Lagekoordinaten |
GB2034880B (en) * | 1978-11-11 | 1983-03-09 | Ferranti Ltd | Twodimensional measuring apparatus |
US4772835A (en) * | 1987-06-04 | 1988-09-20 | Kulicke And Soffa Industries Inc. | Interactive multiaxis encoder positioning system |
US4943716A (en) * | 1988-01-22 | 1990-07-24 | Mitutoyo Corporation | Diffraction-type optical encoder with improved detection signal insensitivity to optical grating gap variations |
JPH07888Y2 (ja) * | 1988-02-22 | 1995-01-11 | 株式会社ミツトヨ | 光学式変位検出器 |
JP2562479B2 (ja) * | 1988-04-25 | 1996-12-11 | 株式会社 ミツトヨ | 反射式xyエンコーダ |
-
1992
- 1992-03-09 US US07/848,116 patent/US5204524A/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-03-12 GB GB9205410A patent/GB2254690B/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-03-20 DE DE4209149A patent/DE4209149C2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19859670A1 (de) * | 1998-12-23 | 2000-06-29 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Abtastkopf und Verfahren zu dessen Herstellung |
US6603114B1 (en) | 1998-12-23 | 2003-08-05 | Johannes Heidenhain Gmbh | Scanning head comprising a semiconductor substrate with a blind hole containing a light source |
DE102004042670B4 (de) | 2003-09-02 | 2018-07-12 | CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH | Mikrooptisches Strahler- und Empfängersystem |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5204524A (en) | 1993-04-20 |
DE4209149C2 (de) | 2000-10-05 |
GB2254690A (en) | 1992-10-14 |
GB9205410D0 (en) | 1992-04-22 |
GB2254690B (en) | 1994-10-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4209149C2 (de) | Verschiebungsdetektoren zum Detektieren zweidimensionaler Verschiebungen | |
DE3417176C2 (de) | Photoelektrische Meßeinrichtung | |
EP0160811B1 (de) | Photoelektrische Messeinrichtung | |
EP0513427B1 (de) | Interferentielle Positionsmessvorrichtung | |
DE69227009T3 (de) | Opto-elektronischer Skalenleseapparat | |
EP0509979B1 (de) | Photoelektronische Positionsmesseinrichtung | |
DE3541199C1 (de) | Lichtelektrische Positionsmesseinrichtung | |
DE3904898A1 (de) | Optischer kodierer | |
EP0137099B1 (de) | Messeinrichtung | |
DE9007559U1 (de) | ||
DE3901869A1 (de) | Optischer codierer | |
DE3816247A1 (de) | System zur entfernungsmessung | |
DE19754595A1 (de) | Lichtelektrische Positionsmeßeinrichtung | |
EP3064902A1 (de) | System zur Bestimmung von Positionen | |
WO1997005457A1 (de) | Fotoelektrisches weg- und winkelmesssystem zum messen der verschiebung zweier objekte zueinander | |
DE102018202556A1 (de) | Optische Positionsmesseinrichtung | |
DE4212281C2 (de) | ||
DE2526110C3 (de) | Vorrichtung zum Messen kleiner Auslenkungen eines Lichtbündels | |
EP0231538B1 (de) | Optischer Weg-Sensor mit einem Filter | |
EP3220106B1 (de) | Optischer abstandssensor und positionsmesseinrichtung mit einem derartigen abstandssensor | |
EP0590162B1 (de) | Längen- oder Winkelmesseinrichtung | |
DE4206777A1 (de) | Vorrichtung zur erzeugung oberwellenfreier periodischer signale | |
DE2308643B2 (de) | Meßanordnung zur Lagebestimmung mit einem PräzisionsmaBstab | |
DE19716058B4 (de) | Optische Positionsmeßeinrichtung | |
DE102005058808B4 (de) | Positionsmessgerät mit holographischem Maßstab |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |