DE1930976B2 - Anordnung zum erzeugen einer signalkurve zur laengen oder winkelmessung - Google Patents
Anordnung zum erzeugen einer signalkurve zur laengen oder winkelmessungInfo
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000012886 linear function Methods 0.000 description 1
- 230000035772 mutation Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
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Description
Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Erzeugen
einer langgestreckten, sich in Abhängigkeit vom zurückgelegten Weg stetig ändernden Signalkurve
zur Längen- oder Winkelmessung mit einer Strichlciliing, deren quer zur Teilungsrichlung verlaufenden
Begrenzungskanten zueinander parallel sind und einem photoelektrischen Wandler mit zugeordnetem
Abtastspali. dessen quer zur Tcilungsrichtung verlaufenden Begrcnzungskanlen zu denen
der Teilungstrichc parallel sind.
Eine bekannte Anordnung dieser Art enthält einen beleuchteten Spalt, der mitlels eines gleich großen
Abtastspaltes der nachgcschaltelcn Abtastvorrichtung abgestatet wird. Nachteilig bei diesen Anordnungen
mit einem rcchtcckförmigcn Einzelspalt ist. daß zum
Erzeugen einer langgestreckten Signalkurve eine große Baulänge erforderlich wird. Bei diesen Anordnungen
ist der in der Abtastvorrichtung vorgesehene lichtelektrische Wandler so groß wie der davor
liegende Abtastspalt, was bei diesen großen Abtastpalten besonders störend ist und wegen der beschränkten
Größe lichtelektrischer Wandler eine obere Grenze auch für die Länge des ansteigenden
oder abfallenden Teiles der Signalkurve setzt.
Es ist z. B. aus der deutschen Auslegesehrifi 1146 266 bekannt, einen oder mehrere dreieckförmiue
Spalte in einem nichltransparemen Triigerkörper
vorzusehen. Der oder die dreieckf/innigen
Spalte werden mittels Ahuistspalte abgetastet, deren
Ausdehnung in der Verschielr:richtung nur ein Bruchteil der Ausdehnung der dreieckförmigen
Spalte ist.
Mit Anordnungen dieser Art können beliebige
ίο !angesteckte Signalkurven erzeugt werden. Jedoch
isi. die Herstellung solcher dreieckförmiger Spalte mit
der entsprechenden Genauigkeit schwierig und aufwendig. Dies trifft insbesondere dann zu. »venn bei
Kreisteilungen der Dreieckspalt in e ;ien krummlinig
begrenzten Spalt ausartet, was auch bei geraden Teilungen zutrifft, wenn ein nichtlinearer Funktionsverfauf
cewünscht wird. Ferner muß auch bei geradlinigen Teilungsausführungen die Breite des AbtestspaUes
quer zur Verschieberichtung größer als die
größte wirksame Breite des abzutastenden Dreieckspaltes sein, wenn .nan nicht in Kauf nehmen will,
daß seilliche Führungsfehler das Meßergebnis beeinträchtigen. Im Hinblick auf das insbesondere hei
mehrspurigen Teilungen bestehende Bestreben zur
Verringerung der notwendigen Gesamtbreite der Anordnung ist aber eine geringe Breite jeder einzelnen
Spur erwünscht, was weiter zur Folge hat, daß die schräge Flanke des dreieckförmigen Spaltes sehr
flach verläuft und damit noch schwieriger mit der notwendigen relativen Genauigkeit herstellbar ist.
Ferner ist es aus der britischen Patentschrift 1 009 699 bekannt, mil Hilfe der Moire-Technik eine
dem menschlichen Auge langgestreckt erscheinende
Signalkurve zu erzeugen. Bei Verschiebung der dort gezeigten Teilung um einen Tcilstrichabstand ergibt
sich bereits ein vollständiger Wechsel einer bestimmten Teilungsstelle von Hell nach Dunkel und wieder
zurück, weshalb die Signalkurve in Abhängigkeit vom zurückgelegten Weg nicht langgestreckt ist.
Die Erfindung will diesen Nachteilen begegnen und eine Anordnung der eingangs genannten Art schaffen,
deren Teilung verhältnismäßig leicht sowie mit großer Genauigkeit mit den üblichen Teilmaschinen
hergestellt werden kann und die darüber hinaus bei günstiger Baulänge die Erzeugung verhältnismäßig
langgestreckter Signalkurven ermöglichen soll, ohne daß die Signalkurve von Führungsfchlcrn der Abtastvorrichtung
beeinflußt werden kann. Die Abtastung soll auch dann in einfacher und betriebssicherer
Weise möglich sein, wenn mehrere Teilungsspuren in unmittelbarer Nachbarschaft dicht nchcncinandci angc'irdnel
sind.
Die Erfindung löst die gestellte Aufgabe dadurch. daß die Strichteilung des Gitters einen konstanten
Strichabstand. jedoch ein zu- bzw. abnehmendes Strich-Lückcnverhältnis aufweist und daß der dem
zur Abtastung dienenden photoelektrischen Wandler zugeordnete Abtastspalt inGitterteilungsrichtungeine
Breite aufweist, die dem Strichabstand der Teilung oder einem ganzzahligcn Vielfachen davon entspricht
und daß als Strichabstand der Teilung der gegenseitige Abstand der Strichmitten vorgesehen ist.
Weitere Möglichkeiten der Ausführung der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
In der Zeichnung ist eine mögliche Ausführungsform der Erfindung dargestellt. Es zeigt
F i g. I eine nach der Erfindung gestaltete Teilung zum Erzeugen langgestreckter Signalkurven,
1 930 97S
Vi11. 4 die erfindimusüemäße Teilunc einschließ- 5 ein uanzer Signalhöhenbereich (von (kxL·'^^
lieh der AhtastvorrichlJ-ni. ~ Treppenstufe in Fi g. 3) zugeordne ^nnern ^d ς
In der Zeichnung ist ein Ausschnitt aus einer *r- die Auswerteschaltung einen best η rnt.n 1 «
l-inJunuscemiißen Gilterteiluno 1 mit zu- und ab- wen anzeigen darf. Dieser \ ortetl wird auch undlh
nehmendem Strich-ZLÜckenverhällnis dargestellt. Bei sonders dann wirksam, wenn von c ner_ e nz.gerι ipm
,ler erfindunnseemäßen Teiluna 1 können periodisch io mehrere phasenversetzte Signale ab gele ta una ν η
,ich wiederholende Musler X von Gitterteikmecn mil diesen in bekannter Weise Linearkomt mat.oncn .-
..lcichcm Strichabsiand. jedoch mit variablem bildet werden. Selbstverständlich iste,auch mogliü ,
Strich- Lückenverhältnisvorgesehensein.Img^igten statt der in der Zeichnung dargestellten_Ausführung-
Atisführunesbeispiel. bei dem an der Teilung I unter- form mit linearem Anstieg der TrePPe"k"^e L n' "
.,chiedlich ~ breite Strichmarkierungen vorgesehen 15 einer nichtlinearen z.B. .nusquaarauormlfc
• lpd, beträgt der Strichabstand, berechnet als gegen- steigenden Charakteristik vorzusenen.
..; itiuer Abstand der Strichmitten, gleichbleibend Die erfindungsgemäße Anordnung kann rtb-
,uva 5 mm sonderem Vorteil bet digitalen Langen- oder Winkel
* Die Teilune 1 wird mittels einer Abtastplatte2 ab- meßgeräten mit absoluter Auskodierung bentitzt^werctastet.
in der ein Spalt 3 (F i e. 2) vorgesehen ist. 20 den, bei denen sich gegenüber den Inkremental-
Die Breite des Abtastspaltes 3 in seiner Verschiebe- verfahren der den kodierten Verfahren «gene Vorteil
richtung ist genau gleich dem Strichabstand. der absoluten Zuordnung von Maßstabposition und
Die Abtastvorrichtung (F i g. 4) enthält auch eine Anzeige ergibt.
lampe4 und einen Kondensator5 zum Beleuchten Bei solchen Meßsystemen mit absoluter Aus-
■ines Ausschnittes der Teilung 1. Die die Teilung I 25 kodierung sind mehrere, quer zur \erschiebencntung
und den Abtastspalt 3 durchsetzenden Lichtbündel nebeneinanderliegende Teilungsspuren vorgesehen,
werden mittels einei Abbildungsoptik 6 auf einen deren Gitterkonstanten in einem bestimmten Vertidit-
lichtelektrischen Aufnehmer 7 konzentriert, über des- nis zueinander stehen. In jeder dieser leilungsspuren
^n Auscane 9 elektrische Sicnale abcecebcn werden. werden in bekannter Weise mittels zweier adwsi-
lic mrtäneen- oder Winkclmessunu herancezocen 30 spalte zwei zueinander phasenyersetzte aignaie cl
■'erden können. " " " zeugt. Durch Bildung von Lmearkombinat.onen
Bei Relalivbeweguneen von Teilung 1 und Ablast- zweier phasenverschobener, von einer einzigen
vorrich'ung ergibt sich eine langgestreckte, in Ab- Teilungsspur abgeleiteter Signale (z R in bekannter
häneiekcit vom zurückgelegten Weg stetig sich Weise mittels W.derstandsKetten) kann die mittels
ändernde Signalkurve SK, wie sie in Fig.4 stark 35 einer einzigen Tellu"SssPUr^
ν -rHoinert aneedeutet ist steigert werden, z. B. bei dekadischer Mutung aer
d!c F ig. 3 zeit maßstäblich die an der er- Gitferkonstanten der Teilungsspuren jewels um den
findunszsccmaßcn Teilung 1 erzeugte Signalkurve SK Faktor Zehn.
mil S:gnalstuien, die in Abhängigkeil vom Ort der Dies erlaubt, das erwähnte Verhältnis der Oilter-
Mitte des Abtastspaltcs 3 aufeetraeen ist. Man er- 4° konstanten aufeinanderfolgender Teilungsspuren
kennt hieraus einen durch die ErHndunc erzielten größer zu halten, als bei üblichen kodierten MaIV
wcs^nllichcn Vorteil. Der Anstieg und dcr^Abfall der stäben. Die gröbsten Teilungsspuren bei solchen
Si'Mialkurvc vollzieht sich jc-veils innerhalb eines Meßsystemen mit absoluter Auskodicrung können
kiuzen Weeabschnittes. während das Signal in den entsprechend der in Fig. 1 gezeigten Teilung I mit
dazwUchenficcendcn Abschnitten einen konstanten 45 variablem StricWLiickenvcrhaltnis ausgebildet se η
Wert beibehält. Die Orte des raschen Signalanstieges Die Erfindung ist selbstverständlich nicht auf die
sind durch die Geometrie der Strich- und Spalt- gezeigte photoelektrische Abtastung beschrankt,
•!bmessun'-en fe (gelegt und ändern sich nicht im sondern sie ist sinngemäß auch bei kapazitiven, in-CitM-ensalz"
zu möglichen Veränderungen elektrischer duktivcn Abiastsystemen od. dgl. anwendbar.
Hierzu 1 Blatt Zeichnunge.
Claims (4)
1. Anordnung zum Erzeugen einer langgestreckten,
sich in Abhängigkeit vom zurückgelegten Weg stetig ändernden Signalkurve zur
Längen- oder Winkelmessung mit einer Siriehteilung. deren quer zur Teillingsrichtung verlaufenden
Begrenzt! ngskanlen zueinander parallel sind und einem phoioclektrisehen Wandler
mit zugeordnetem Abtastspali, dessen quer zur Teilungsrichtung verlaufenden Begrenzungskanten zu denen der Teilungsstriche parallel sind,
dadurch gekennzeichnet, daß die Strichteilung
des Gitters einen konstanten Strichabs'and, jedoch ein zu- bzw. abnehmendes Strich-Lückenverhältnis
aufweist und daß der dem zur Abtastung dienenden photoelektrischen Wandler zugeordnete Abtastspalt in Gitierteilungsrichtung
eine Breite aufweist, die dem Strichabsland der Teilung oder einem ganizahligen Vielfachen
davon entspricht und daß als Strichabstand der !"eilung der gegenseitige Abstand der Strichmitten
vorgesehen ist
2. Anordnung nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet,
daß als Stricht* ./stand der Teiluni;
der gegenseitige Abstanü der Lückenmitten vorgesehen ist.
3. Anordnung nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet,
daß als Strichabstand der Teilung der gegenseitige Abstand der linken oder der
fechten Strichbegrenzungskanten oder ein zwischen diesen Werten liegender, bestimmter Wert
vorgesehen ist.
4. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3. dadurch gekennzeichnet, daß deren Verwendung
bei mehrspurigen codierten Längenoder WinkelmeßcinriehUingen. deren Spuren
hoher als binär zueinander gestuft sind, vorgesehen 'St.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19691930976 DE1930976B2 (de) | 1969-06-19 | 1969-06-19 | Anordnung zum erzeugen einer signalkurve zur laengen oder winkelmessung |
CH834970A CH511422A (de) | 1969-06-19 | 1970-06-04 | Abtastvorrichtung zur messtechnischen Erfassung von Bewegungen |
FR7022309A FR2052729A5 (de) | 1969-06-19 | 1970-06-17 | |
GB2971770A GB1319531A (en) | 1969-06-19 | 1970-06-18 | Arrangement for producing a signal curve |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19691930976 DE1930976B2 (de) | 1969-06-19 | 1969-06-19 | Anordnung zum erzeugen einer signalkurve zur laengen oder winkelmessung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1930976A1 DE1930976A1 (de) | 1970-12-23 |
DE1930976B2 true DE1930976B2 (de) | 1972-01-05 |
Family
ID=5737365
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19691930976 Pending DE1930976B2 (de) | 1969-06-19 | 1969-06-19 | Anordnung zum erzeugen einer signalkurve zur laengen oder winkelmessung |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
CH (1) | CH511422A (de) |
DE (1) | DE1930976B2 (de) |
FR (1) | FR2052729A5 (de) |
GB (1) | GB1319531A (de) |
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DE102011053309A1 (de) | 2011-09-06 | 2013-03-07 | Balluff Gmbh | Positions-/Wegmesssystem |
-
1969
- 1969-06-19 DE DE19691930976 patent/DE1930976B2/de active Pending
-
1970
- 1970-06-04 CH CH834970A patent/CH511422A/de not_active IP Right Cessation
- 1970-06-17 FR FR7022309A patent/FR2052729A5/fr not_active Expired
- 1970-06-18 GB GB2971770A patent/GB1319531A/en not_active Expired
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FR2052729A5 (de) | 1971-04-09 |
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