DE1925389C - Verfahren und Vorrichtung zum Ätzen - Google Patents

Description

ι *

Die Erfindung bezieht sich auf ein Ätzverfahren Zusätzlich zu der zu*und abnehmenden Schwan-

uncl auf eine Vorrichtung hierfür und insbesondere kung infolge der auf die zu Uteende Platte geworfenen

auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum pulver- Ätztösung bewegen die Schaufelräder die Flüssigkeit

freien Ätzen, am Boden des BehUlters, wodurch eine zusätzliche

Bei der Herstellung von Platten für verschiedene 5 Schwankung von der einen Seite zur anderen herbeigraphische Anwendungszwecke, beispielsweise von geführt wird, die ebenfalls die für die SchaufelrUdcr Photogravüreplatten oder üchtdruckplatten, wird die verfügbare FlUssigkeltsmenge zum Aufspritzen auf Oberfläche der Platte zur Bildung eines erhabenen die Platte beeinflußt.

Bildes, das für Reproduktionskopien geeignet ist, ge- Es wurden verschiedene Versuche ausgeführt, um

ätzt. Zur Herstellung einer derartigen Platte nach io diese Schwierigkeiten und Probleme zu lösen, von

bisherigen Arbeitsweisen wird eine Platte aus Metall, denen keiner besonders brauchbar war. Bei einem

beispielsweise Kupfer, Magnesium oder einer Zink- derartigen Versuch wurden in der Ätzmittellösung

legierung, zunllchst gereinigt und mit einem licht- Prallbleche, nngebracht, die den in Treibstoffbehäl-

empfindlichen Lack überzogen. Der lichtempfind- tern für Luftfahrzeuge angebrachten Prallblechen

liehe überzug wird dann durch eine Negativscha- 15 ahnlich sind, um die Schwappwirkung der Ätzlösung

blone des Bildes, das hergestellt werden soll, belich- zu unterbrechen. Ein derartiges System ist in der

tet. Die belichtete Oberfläche wird dann unter BiI- USA.-Patentschrift 2 776512 (Guenst) beschrieben,

dung eines säurebeständigen Überzuges entwickelt, Dieser Versuch crcibt natürlich keine Lösung des

der gehärtet wird. Ein Reliefbild wird dann durch durch die Änderung des Ätzmittelspiegels erzeugten

chemisches Wegätzen des Teiles der Platte in den ao Problems.

Bereichen, die keinen säurebeständigen Überzug auf- Bei einem anderen Versuch wird eine elektrische weisen und die den dunklen oder undurchsichtigen Steuerantriebseinrichtung angewendet, die die Schau-Teilen des Negativs entsprechen, erzeugt. felräder bei einer konstanten Geschwindigkeit so an-

Eine übliche und viel verwendete Arbeitsweise zur treibt, daß sie nicht von dem Druck, der von dem

Ausführung der Ätzung der Platte umfaßt die An- »5 Ätzmittel in dem Behälter auf die Schaufeln aus-

Wendung einer als »pulverfreie« Ätzapparatur be- geübt wird, beeinflußt werden. Auch dieser Versuch

kannten Vorrichtung. Diese Ätzapparatur umfaßt im ergab keine Lösung des Grundproblcms, die ungün-

allgemeinen einen Behälter, der eine große Menge stige Wirkung der Schwankung der Höhe der Ätz-

einer Ätzmittellösung enthält. Die behandelte Platte, mittellösung zu beseitigen.

die geätzt werden soll, wird in Mähe des Ätzbades, 30 Gemäß der Erfindung wird ein Verfahren und eine

gewöhnlich über diesem, angebracht, wobei die zu Vorrichtung zum pulverfreien Ätzen einer Material

ätzende Oberfläche nach unten zeigt. Die pulverfreie platte geschaffen, wobei die vorstehend geschildert; η

Ätzapparatur ist mit einer Einrichtung zum Aufsprü- Probleme ausgeschaltet sind. Im wesentlichen wird

hen des Ätzmittels auf die zu ätzende Platte aus- durch das Verfahren und die Vorrichtung gemäß der

gestattet. 35 Erfindung die Entfernung aus dem Hauptätzmittel-

Diese Einrichtung hat gewöhnlich die Form von vorrat von vorbestimmten, im wesentlichen gleichen

drehbaren Zerstäubern einschließlich verschiedener Mengen an Ätzmittel und das Werfen von diesem

Systeme von Schaufelrädern, Ablenk- oder Abprall- entfernten Aunniici aut die in aUeiide Oberfläche

schaufeln od. dgl., die Ätzmittel aufnehmen und auf bewirkt. Somit wird es gemäß der Erfindung ermiig-

die Platte in Form eines Sprühstrahls aufspritzen. 40 licht, daß die Menge an Ätzmittellösung, die auf die

Eine derartige Ätzapparatur ist z. B. in den USA.- zu ätzende Oberfläche geworfen wird, im wescnt-

Patentschriften 1 359 872 (Congdon), 1 W 315 (Ro- liehen unabhängig ist von derr Spiegel Jc. Au> ·χ\-

bertson) und 1 908 487 (Powers) beschrieben. Eines lösung, wodurch die negativen Einflute <>x< S .. i.

der Probleme, welche bei derartigen pulverfreien kung dieses Spiegels und Jw aiuicicii Bedingungen

Ätzverfahren, wie vorstehend beschrieben, am hau- 45 in einem derartigen Hauptbehälter, die bisher nach-

figsten angetroffen werden, ergibt sich aus der Tat- teilige Wirkungen auf das Ätzverfahren ausübten,

sache, daß das Volumen der Ätzmittellösung, das aus ausgeschaltet werden.

dem Bad von den Schaufelrädern aufgenommen Ein Hauptzweck der Erfindung ist daher die Schafwird, die Menge an Lösung bestimmt, die gegen die fung eines neuartigen pulverfreien Ätzverfahrens, bei zu ätzende Platte geworfen wird. Wenn z. B. die 5° welchem eine gleichförmig geätzte Platte von hoher Schaufelräder sich in dem Bad zu drehen beginnen, Qualität gebildet wird. Ein weiterer Zweck der Erwird eine Menge an Lösung aus dem Bad entfernt, findung ist die Schaffung einer Vorrichtung für die und dies ändert notwendigerweise das Volumen der Durchführung dieses Verfahrens, wobei das Ätzen in dem Behälter verbleibenden Ätzmittellösung. Die einer Metallplatte durch Dosieren oder Abmessen der Ätzmittellösung besitzt daher einen niedrigeren Spie- 55 Menge an Ätzmittellösung, die zur Ätzung der Platte gel, und die Tiefe des Eintauchens ist während der verwendet wird, geregelt wird. Noch ein weiterer nächsten Umdrehung verringert. Infolgedessen ist die wichtiger Zweck der Erfindung besteht in der Schafdann von den Schaufeln der Schaufelräder aufgenom- fung einer neuartigen Ätzmittelzuführeinrichtung in menc Menge geringer als die vorhergehend auf- einer pulverfreien Ätzapparatur, die im wesentlichen genommene. Überdies, da das vorhergehend nach 6° von dem Spiegel der Ätzmittellösung in dem Hauptoben geworfene Ätzmittel in den Behälter zurück- ätzmittelbehälter unabhängig ist.
zufließen beginnt, steigt der Spiegel wieder an. Die- Die Erfindung wird nachstehend an Hand der ser zeigt im Verlauf einer ziemlich kurzen Zeitdauer Zeichnung näher erläutert.

eine mehr oder weniger große Schwankung, die zu F i g. 1 zeigt in perspektivischer Darstellung, teilunterschiedlichen, auf die Platte geworfenen Ätzmit- 65 weise im Schnitt, die Vorrichtung gemäß der Ertelmengen führt. Die so erzeugte Ätzung ist sehr un- findung;

erwünscht, da eine beträchtliche Unterschneidung der F i g. 2 zeigt eine Seitenansicht im Schnitt der Vor-

np'iitvte.n Oberfläche erhalten wird. richtung gemäß der Erfindung;

3 4

Fig,3 bis 6 zeigen Einzelteile der Vonichtung ge- einer Üblichen Antricbsnclv.ung (nicht gezeigt) ge-

,nllßFig, i. , dreht,

Das neuartige Verfahren und die neue Vorrieh« Das bis jetzt allgemein beschriebene ,System ist ein Hing gemliß der Erfindung sind insbesondere auf das Übliches System, Das besondere Merkmal der Erpulverfreie Atz.cn einer Photogravüreplatto oder 5 findung beruht auf der Zuführung einer im wesent* Lichtdruckplatte anwendbar, die' eine siUircbcsttln- liehen konstanten Menge an Ätzmittellosung zu den (Jige (iitzmittclbesiUndige) OberflUche in Form de« Schaufelrädern einer pulverfreien Ätzmaschine in der zu reproduzierenden Bildes, wie vorstehend beschrie» Weise, daß die zu ätzende Platte einer im wcsentbqn, aufweist. Die Platte wird mittels der pulver« liehen konstanten Menge an Ätzmittcllösung ausfreien Ätzapparatur goiitzt, die einen für die Auf» jo gesetzt und dadurch gleichförmig geiitzt wird,
nähme einer ÄtzmiUcllösung vorgesehenen Behälter Wie in den Fig. I und 2 gezeigt, ist ein Paar von und eine Ätzmittelwerf- oder -aufsprUheinrichtung, Behältern oder Trögen 40 aus Polyvinylchlorid oder vorzugsweise in Form von Drehschatifelrädern, um- einem ähnlichen säurebeständigen Material unterfaßt, die innerhalb des Behälter angebracht sind und halb der Schaufelräder 26 aufgehängt. Die Tröge 40 zum Sammeln von Atzmittellösung und zum Werfen 15 sind an Teflonlagerblöcke 42 mittels säurebcslUndiderselbcn nach oben in Form eines Sprühstrahles gen Befestigungsmitteln, z. B. Titanschraubenmuttcrn gegen die zu ätzende Platte, die über dem Ätzbad und -schrauben, befestigt, öffnungen in jedem der aufgehängt ist, geeignet sind. Lagerblöcke 42 nehmen die Wellen 34 der Schaufel-

Dic Erfindung betrifft das pulverfreie Ätzen dieser räder 26 so auf, daß die Schaufelräder innerhalb der Art und, obgleich die nachfolgende Beschreibung die »0 Tröge 40 gedreht werden können. Die Tröge 40, die Form des Ätzens einer zylindrischen Photogravüre- eine vorbestimmte Menge an Ätzmittel aufnehmen platte betrifft, ist ersichtlich, daß die Erfindung in können, besitzen eine halbzylindrische Gestalt und gleicher Weise auf das Ätzen allgemein inwendbar sind so ausgebildet, um einen engen Spielraum zwiist, einschließlich des Ätzens von Druckpia ten, Na- sehen den Innenflächen der Tröge 40 und dem Ummensplatten, Prägeplatten oder Stempeln, Schablo- as fang der Schaufelräder 26 zu schaffen. Beispielsweise nen, Probcmodellen, Mustern od. dgl., unabhängig ist bei einer Größe der Schaufelräder 26 von etwa davon, ob diese zylindrisch, flach oder in Form eines 19 cm Durchmesser der Durchmesser der Tröge vorendlosen Streifens ausgebildet sind, zugsweise etwa 21,6 cm. Somit ist lediglich ein Ab-

Die in den Fig. 1 und 2 dargestellte Atzvorrich- stand oder Zwischenraum von etwa 1,3cm bei einer

tuiig umfaßt einen Behälter 10, der aus einem Glas- 3° derartigen Ausführungsform zwischen den Schaufel-

fascrmaterial oder einem anderen Material gebildet rädern 26 und den Trögen 40 vorhanden. Dies er-

ist, das von der sauren Ätzmittellösung nicht be- möglicht einen minimalen Spielraum und hindert

einflulit wird und einen Deckel 12 und Aufstellfülte irgendeine beachtliche Menge an Ätzmittellösung am

14 aufweist. Der Behälter 10, der die Hauptätzmittel· Zurückfallen in die Tröge 40 nach deren Aufspritzen

zufuhr darstellt, umfaßt einen Einlaß 16 und einen 35 auf die Platte 24.

Auslaß 18 für das Einbringen und Abziehen der Atz- Wie aus den Fi 2 ! tmrl 6 ersichtlich, sind die beimittellösung aus dem Behälter 10. Ober dem Atz- den Tröge 40 mit Hflfe einer Polyvinylchloridstange mittel ist eine Trommel 20 angeordnet, die auf einer 4C .vrbunden. Die Stange 46 ist mit zwei Längs-WeIIe 22 angebracht ist, die von einer üblichen Ein- schlitzen 48 ausgestattet, durch welche geeignete Berichtung (nicht gezeigt), beispielsweise pin?_m M--t_;ir *° festigungsmittd die StH "oc -16 an die Enden der Tröge und Übersetzungssystem oder RnMensystem, angetrie- 40 verbinden. Die S·.¹ ϋ·/<· ·*Η fr»·Stm einen Grad von hin wird. Die T.\.;.-^ ! »^! .:■.: :„: ^* Anbringen Einstellbarkeit, so daß die i,«>ge 40 in vtrstniedenen wa.wi ^iiiiU.iavuvii uruckplatte 24 geeignet, deren Auständen voneinander und unter vtt^Iiicdcnen Oberfläche einen säurebeständigen Überzug in Form Winkellagen in bezug auf die Platte 24 eingestellt eines kopierten Bildes umfaßt, das in der vorstehend 45 werden können. Jeder Trog 40 ist mit mehreren in beschriebenen Weise hergestellt wurde. gleichmäßigem Abstand angeordneten Paaren von

Der Behälter 10 ist mit einem Paar von drehbaren öffnungen oder Löchern 44 ausgebildet, die ein EinSchaufelrädern 26 ausgestattet, die einen flüssigen dringen der Ätzmittellösung in den Trog ermöglichen, Sprühstrahl des Ätzmittels gegen die Platte 24 bei worin diese für die Schaufelräder 26 zur Verfugung deren Drehen werfen. Die Schaufelräder bestehen 5° steht. Jedes Paar von Löchern 44 (vgl. Fig.2) ist vorzugsweise aus Drehschaufelradem oder Propel- unmittelbar unter einem Schaufelradabschnitt 28 so lern, deren Schaufeln in das Ätzmittel eintauchen vorgesehen, daß gleiche Mengen an Ätzmittellösung und dieses gegen die Platte 24 in Form eines Sprüh- in jedem derartigen Schaufelradabschnitt fließen Strahles werfen. können.

Wie in F i g. 3 gezeigt, umfassen die Drehschaufaln 55 Im allgemeinen sollen die Löcher nicht mehr als 26 eine Mehrzahl von Abschnitten 28, die von den etwa lü°,o des Teiles der Trogwand, die mit der Schaufeln 30 und von Trennwänden 32 gebildet sind, Ätzmittellösung im Behälter 10 in Berührung steht, wobei die letzteren im Abstand in Längsrichtung von und vorzugsweise weniger als 5 °/o umfassen. Ein gejedem Schaufelrad angeordnet sind. Die Schaufeln eignet ausgebildeter Trog, der diese Bedingungen ersind V-förmig und an der Mittelwelle 34 von jedem ⁶° füllt, besitzt einen Durchmesser von etwa 21,6 cm, Schaufelrad 26 befestigt. Jeder Abschnitt wirkt als eine axiale Länge von etwa 86,4 cm, 8 Paare von Kelle, die eintaucht und eine bestimmte Menge an Löchern mit einem Durchmesser von etwa 1,27 cm, Ätzmittellösung aufnimmt, wenn die Schaufelräder die in gleichmäßigem Abstand entlang dem Boden gedreht werden. Die Schaufeln 30 in den benachbar- des Troges in axialer Richtung angeordnet sind, woten Abschnitten 28 sind zueinander geringfügig ver- ⁶5 bei zwischen benachbarten Lochpaären bezogen auf setzt. Die Schaufelräder 26, die zur Drehung in der die Mittelpunkte ein Abstand von etwa 10,16 cm Wand· des Behälters 10 gelagert sind, werden vor- vorliegt und die Mittelpunkte zwischen den Löchern züESweise in entgegengesetzten Richtungen mittels eines jeden Paares in einem'Abstand von-'etwa

3,8 cm angeordnet sind. Dieser Trog ist zur Verwendung mit ScluiufclrUdcrn mit einem Durchmesser von etwa 19 cm und mit 8 Schaufclradabschnittcn 28, dir* jeweils eine Lunge von etwa 10,1ο cm in axialer Richtung aufweisen, geeignet. Somit steht jedes dieser Paare von Löchern mit einem Schaufelrad· abschnitt 28 in Verbindung, Wie ersichtlich, betrügt die l'Hlchv der Löcher b&i dieser besonderen Ausfiiliriingsform insgesamt woniger als etwa 0,258 cm^s je cm Länge des Troges.

Eine weitere Ausführungsform der Trogeinrichtung für die Schaffung einer gleichbleibenden oder konstanten Menge an Ätzmittellösung zu der Schaufclradcinrichtung ist in Fig.4 veranschaulicht. Ein Trog 50 umfaßt eine auf der Unterseite angebrachte Rohrleitung 52. Die Rohrleitung 52 umfaßt eine Einlaßverbindung 54, die mit einem säurebeständigen biegsamen Zuführungsschlauch 56 verbunden ist, der wiederum mit einer Zuführungsquelle von Ätzmittellösung (nicht gezeigt) verbunden ist. Beispielsweise »o kann die Rohrleitung 52 mit Ätzmittellösung unmittelbar aus dem Behälter 10 mittels einer Pumpe (nicht gezeigt) oder aus einer getrennten Zuführungsquelle versorgt werden.

Abgesehen von der Verteiler- oder Rohrleitung 52 «5 und deren Merkmalen ist die Trogeinrichtung gemäß dieser Ausführungsform in gleicher Weise ausgebildet wie der vorstehend beschriebene Trog 40. So ist die l'nterseite des Troges 50 mit mehreren von in gleichmäßigen Abständen angeordneten Löchern oder 3<J Öffnungen 58 ausgestattet. Ein Paar Löcher oder öffnungen ist unter jeder der Schaufclradabschnitle 28 so angeordnet, daß gleiche Mengen an Ätzmittel jedem Schaufelradabsehnitt 28 zugeführt werden.

Bei einer derartigen Anordnung ist es nicht notwendig, da« die Schaufelräder 26 und der Trog 40 t.-ilwi'isc ir. ·<·._ Atzmittellosung in dem Behälter 10 untergetaucht sind. Die Rohrleitungseinrichtunr, ?1 stellt einen Vorrat von Ätzmittel zur Verfügung, der J.'inn in liem Trog 50 durch öffnungen 58 abp.emes-■■'!) '-der dosiert wird, um eine im wesentlichen konst;.ite uiiit wc'·ι''/<»!-snige Zufülnung des Ätzmittel: zu jfV.'.! ;-r S-. -.Vidradabschnitte28 zu schalle.

Als Beispiel für die Betriebsweise der vorstehend beschriebenen Hinrichtung kann ein System, das 2 Tröge 40 und entsprechende Drehschauf el rader 26 mit den vorstehend angegebenen Abmessungen umfaßt, angewendet werden, um eine feste gewalzte Kupferplatte mit einer Dicke von etwa 0.163 cm zu ätzen. Die Platte kann in geeigneter Weise in einem Abstand von etwa 35.256 bis 38.10 cm oberhalb des Ätzbades, das vorzugsweise eine Konzentration von 30 Baume Ferrichlorid aufweist, in dem Behälter 10 angeordnet werden. Die Drehschaufeln werden in entgegengesetzten Richtungen (wie in F i g. 2 angezeigt) mit einer Geschwindigkeit von etwa 200 bis 800 U/min und vorzugsweise etwa 600 U/min gedreht. Das Ätzen wird ausgeführt, bis die gewünschte Tiefe der Ätzung erreicht ist, wobei etwa 1 min Arbeitsdauer für jeweils 0,00254 cm Tiefe erforderlieh ist.

Es ist ersichtlich, daß die Erfindung in gleicher ,Weise auf irgendeine Art von Ätzsystem anwendbar ist, bei welchem es erwünscht ist, daß das zu ätzende Material einem gleichbleibenden Volumen von Ätzmittellösung ausgesetzt wird, um eine gleichförmig geätzte Oberfläche zu erzielen. Wie vorstehend angegeben, ist die Erfindung in gleicher Weise auf das Ätzen von verschiedenen Arten von Druckplatten. Slempelformen, Sphablonon od. dgl. anwendbar und kann beim Ätzen von verschiedenen Materialien, z, B. Kupfer, Zink, Magnesium oder anderen gc-

brliuchlich verwendeten Materialien angewendet werden. In Uhnliehcr Weise kann die Erfindung boi zylindrischen Platten, wie vorstehend beschrieben, flachen Platten oder Platten, die auf einem sich kontinuierlich bewegenden Band behandelt werden, verwendet

ίο werden, Überdies ist die Erfindung nicht auf die vorstehend beschriebene Trogkonstruktiön beschränkt, und sie kann in gleicher Weise auf Konstruktionen angewendet werden, die unter irgendeinem beliebigen Winkel in bezug auf die zu ätzende Platte angebracht sind.

Claims (13)

Patentansprüche:

1. Veifahren zum Wegätzen von wenigstens Teilen der Oberfläche eines ätzbaren Gegenstan des, insbesondere einer Druckplatte, wobei das Ätzmittel auf die Oberfläche geworfen wird, dadurch gekennzeichnet, daß man vorbestimmte im wesentlichen gleiche Mengen von Ätzmittel aus der Hauptälzmittelquelle abmißt und diese Mengen auf die Oberfläche wirft.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man vorbestimmte Mengen von Ätzmittel aus der Hauptätzmittelquelle zu einer davon getrennten Stelle leitet und das Ätzmittel auf die genannte Oberfläche von der getrennten Stelle aus wirft.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß man vorbestimmte Mengen des Ätzmittels von der genannten Hauptätzmittclquelle in einen Behälter fließen läßt, der der genannten Atzir.iitelfli» A*rf-t ■!'. '·■ ; rbb ~r* ist. daß das auf :1ie genannte oenihche eeworfcre Atzmittc- unmittelbar γλ ut η B:liäSie. abgezogen w«^rd.

4. Vorn·'hii'.ng ζ·.·■* »J"«rcbii-!irung des Verfah-' ^or na».'; Anspruch 1, die e:«ie ·* ?miitelzuiiihr-■. .^rici/iutig und eine hinrichtung zum Auswerfen von Ätzmittel auf die genannte Oberfläche umfaßt, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Hinrichtung zum Abmessen oder Dosieren (44) von vorbestimmten, im wesentlichen gleichen Mengen von Ätzmittel umfaßt.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Abmeß- oder Dosierungseinrichtung (44) eine zwischen die genannte Ätzmittelzuführungseinrichtung (10) und die Ätzmittelauswerfeinrichtung (26) angebrachte Einrichtung zur Beschränkung des Flusses von Ätzmittel zu der Ätzmittelauswcrfcinrichtung (26) umfaßt.

6. Vorrichtung nach Anspruch4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die strömungsbeschränkende Einrichtung eine Wand (40) mit öffnungen (44) von einer derartigen Größe und Anzahl umfaßt, daß die Menge von Ätzmittel, die in die genannte Ätzmittelauswerfeinrichtung (26) strömt und von der letzteren auf die genannte Oberfläche geworfen wird, bezogen auf die Längeneinheit der Ätzmittelauswerfeinrichtung (26), im wesentlichen gleich ist.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die genannten öffnungen (44) bis zu etwa 10 ⁰Zo des Oberflächenberciches des

Wandteils (40), dcMnit dem von der Ätzmittelziifiihrungseinrichiung (10) zugeführten Ätzmittel in Berührung gelangt, umfassen.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Abmcßvorrichtung (44) einen für die Aufnahme des Ätzmittels geeigneten Behälter (40) umfaßt, der das Ätzmittel getrennt von der Ätzniittelzuführungseinrichtung (10) beibehält und der Offnungen (44) aufweist, die eine Verbindung zwischen der Ätzmittelauswerfeinrichtung (26) und der Ätzmittelzufiilirimgseinrichtung (10) schaffen.

9. Vorrichtung nach Anspruchs, dadurch.gekennzeichnet, daß die Ätzmittclauswerfeinrichtung (26) wenigstens ein drehbares Glied umfaßt, das geeignet ist, eine vorbcstimnite Menge an Ätzmittel aufzunehmen und diese auf die genannte Oberfläche aufzuwerfen.

K). Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Ätzmittelauswerfeinrichtung (26) einen Trog (40) mit einer mit öffnungen (44) versehenen Bodenwand (40) umfaßt, dur so angeordnet ist. daß der Trogboden in das Ätzmittelbad in der genannten Ätzmittelzuführungseinrichtung (10) so eingetaucht werden kann, daß die Oberseite des Troges außerhalb des Bades angeordnet ist, wodurch das Ätzmittel in dem Trog von demjenigen in dem Ätzmittelbad getrennt ist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die öffnungen (44) in gleichmäßigem Abstand entlang der Bodenwand des Troges (40) angebracht sind, wobei die öffnungen unter der genannten drehbaren Einrichtung (26) so angebracht sind, um das Eindringen bestimmter Mengen an Ätzmittel in den Trog zu ermöglichen.

12. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Abmeßeinrichtung eine Ätzmitteleinlaßeinrichtung mit einer Mehrzahl von getrennten Strömungsöffnungen (58), die mit dem Inneren des Behälters (50) in Verbindung sind, wobei die Ätzmittelzuführungscinrichtung eine Rohrleitung (52) in Mediumsströmungskontakt mit der genannten Mehrzahl von öffnungen (58) aufweist, wodurch das Ätzmittel aus der genannten Rohrleitung (52) zu jeder der genannten öffnungen (58) gelenkt wird, und eine Einrichtung (54, 56) zum Füllen der genannten Rohrleitung (52) mit Ätzmittel aus einer getrennten Quelle umfaßt.

13. Vorrichtung nach Ansprach 12, dadurch gekennzeichnet, daß in der Bodenwand des Behälters (50) eine Mehrzahl von öffnungen (58) vorhanden ist, wobei die Rohrleitung (52) an der Bodenaußenwand des Behälters (50) in Überlagerung über die genannten öffnungen angeordnet ist.

109640/381