DE1841023U - Diffusionspumpe. - Google Patents
Diffusionspumpe.Info
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- DE1841023U DE1841023U DEC6455U DEC0006455U DE1841023U DE 1841023 U DE1841023 U DE 1841023U DE C6455 U DEC6455 U DE C6455U DE C0006455 U DEC0006455 U DE C0006455U DE 1841023 U DE1841023 U DE 1841023U
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
- F04F9/00—Diffusion pumps
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
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- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Description
-
Die rfi. n-ung betrifft eine Diffusionspumpe it"-inüestens einea zur Ver Lun der Diffusionsflüssigkeit dienenden neizelement, das s&Ki, es u. TiSchliessende rärenförmigen Benalter vn er Flüssig- keit eben ist, vom Gehuseboden her durcL die DiffsionsflUssig- eit Lnjarcit. und über deren Spielet nacn oben. ineusrt, and mit eim i oaien, den Dampf zu den Dempfaustrittsji'fftunn n-cn oben führen en rohr. rtigen Cebilde, das mit seinem unterem nde in die Llif i'--f-, Keit einteuelit. Der rot, DirfusionspMpen sjbnd bekennt,'eiterhin-LSt bekannt, beinner iiusionspumpe das rohrsrtidempffihrende jebilde in seinem unteren Teil bis in die Nahe des Punpen-e 'uses zu erwei- stern. Bei cez eekannten Pumpen ist die Leistung durch die rt-er Wärme- zufuhr.n ! zur Diffusionsflüssikeit beshrnkt. ferner bilden sich örtliche überhitzte Stellen, die dazu führen, du noch unter- depitt Hüssi. keitströofchen in den Flüsci-kcisstrahl un damit in.. ie ralöijnunen'elanen. Bei der Verendun von. 1 als Biiiusionsfiüssigkeit ergibt sich der vieiter (dass diese sich m en überhitzten Stellen zersetzt. Um c'it. ce chteile zu vermeiaen, musa man die bekannten Pumpen daher mit ein. erineren Leistung betreiben, kann also nicht die an sich erreichbare Leistung ausnutzen. Die e. if. nnten enteile lassen sich erfindongejs. bcaeHrien durch -Ln &n sich bekanntea dsmpfführendes, in seinem unteren Teil bir in ie N'. e des Pumpengehuses erweitertes, rohrartijes ebilde und durst mindestens ein Heizelement, das samt dem es umsciliessen- deir-..unförcii- &n Benälter innerhalb der Diffusionsfliäsigkeit und mindestens zum Teil oberhalb der Diffusionsflicsigkeit von je einer besonderen, im wesentlichen zylindrischen Hülse umgeben tat, die vo'n e'/'useboden her durch aie DiffusionHflucigkeit Hindurch und Übe :, 16m Flü3si3keitssplegel in den erweiterten Dapraum hinein- ragt. Durch die erfindungsgemässe Anordnung der besonderen Hülsen wird die arb lenz der'iffusionsflUssigkeit stark ernöht, wodurch eine gleicnfnssigere Vr'neabgabe erreicht und örtliche ber'litzungen der dieHeizelemente eicscliessenden Benälter verMieden v. erden. Mann kann di& erfindanssgemäese Pumpe daher mit wesentlich höherer Eneri-ls herkömmliche Pumpen betreiben. Ein Kriterium für clie irkgbmkeit einer Pumpe tat der Grenzv'ruck, J. . der niedrige Druck, der lurch die Vorpumpe er- zeugt. erden muss, bevor die Diffusionspumpe in betrieb genommen wer en kan. ie uxpe nach der Erfindung i-t in der Lf-. ge, schon bei eine nncren''renzvordruck zu arbeiten als die testen herkömm- lichen rpen nlich, verglichen mit--lieser soaon bei dem 1, 5 bis 2fac'ie Jrenzvorcruc, kann also früher als diese in crieb genom- men eren. Liese erte wurden ohne Belastung gemessen. Ein eiteres zichtiw viterium ist die 'npenurchg&ngsleistung (au. c. 1 r pendurchsatz genannt), die durcn die Erfindung ÜB. einen Pektor 1, 3 gegenüber den besten herkömmlicncn Pumpen-esteicrt wird. DuiCj. dos Zusammenwirken alter dieser ktor"n v. ird die nsgeae-mt zu, Ti.'fielen des Endvakuums aufzuwendende Zeit erheblich herabge- .-etc. Die erfindung ist besonders gut auf) umse von trosser Kap.'it.'rt an. endber, bei denen eine grose ene DiflusionBflüssig- keit, insbesondere 01, fortlaufend bei hoheren TelperEturen und hönercn. iedcdrücken erzeugt werder. muss. Einvr- .uteusfünrunsform derrfincun ist drrin zu sehen, d&n.. s. ezelement mehrere r&diale Biügel fUieist, die nach &u-cn t, en die Hülse vorbtehen und über den nieel der Diffusions- fli cit n Cti oben ragen. Durca diese Marsname wird die Pumpen- leit. n in eaonJerem asse verbessert. Die über den i'lüssigkeita- spi-ci n ca oben rügenden'leile der Heizel<. ntbe' : ilter und der zue"rijen Muel v. &ndeln die Tröpfcnen der siederen und stark w&l-. cn. cn Diifusionsflüssigeit in Lapf um und überhitzen ihn. UnLni Irces iücsigkeitssie-, els bildet d&a mit Llü eln versehene HiztL fit zusammen mit der es umgebene besonderen'l lse einzelne Abte. le. Ln die en werden durch die kombinierte'irkun der Heizung durc eizelement und Flügel einerseits und der Künlung durch die dtistn.'ererseits starke Konvektionsströme erzeugt. üiese führen xu einr-r sc. elle Um lzun &r Diffusionsflüs, i, rkeit innerhalb der Abteilt, zodurcit in noch Höherem Mae örtlicne Cbernitzungen ver- mi. cc nd die Zeit verkürzt % ird, die die einzelnen Fiüsigkeita- teilc.'ipn der nissen Fläche de-'. Heizeleentbehlters selbst ausge- setzt 3inu. Durch diese Unteierfindung wird also zusgtzlien eine hUhre. 3e beS Verend=g höhere Ueizleistuag ermöglichte ohne dss bei Verwendung von 01 1 &18 'iifußionsflüssigkeit dieses verb : rennt oder sich zersetzt. Darüber hinaus werden durch diese Untererfindung die turbulenten Bereich in der Oberfläche der Diffusionsflüssigkeit vergrössert, wodurch eine grbssere Verdampfungegeschwindigkeit der Dilfunionn. flbzsit-keit ermöglicht wird, ohne dasa eine zu starke walzung an irgendeiner Stelle entateht, die die Gefahr mit sich brachte, das unverdampte Flüssigkeitströptchen in den Dampfstrahl gelangen. Weitere. hinzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aue der loienaen Beschreibung mehrerer Ausführungsbeispiele im Zusammen- hanzmit der Zeichnung und den Ansprüchen. ? ig. i3t eine teilweise geschnittene Seitenansicht einer Diifusion- pumpe mit der Hei ? orrichtung nach der Erfindung ; Fig, ist ein Querschnitt nach Linie 2-2 in Fig. 1 ; Fig. 3 zeigt einen Teil einer anderen Ausführungsform der Holz- Vorrichtung im Schnitt ; Fiß. 4 ist ein Scnnitt im weaentlichen nach Linie 4-4 in Fig 3 ; Fig. 5 ist ein Teil einer weiteren der Heizvor- richtungim Scnitt und ES ist ein Schnitt im wesentlichen nach Linie 6-6 in Fig. 5* Bei dtr ç ft 0n der Erfindung nach Fig. 1 und 2 ist das Geh"we der Diffusionspumpe als Ganzes mit'1C bezeichnet. Das'. hiu.. weist einen hohlen zylindrischen Teil 12 mit einer geprossten pro wando auf. Die Bodenwandung 14 ist an die Unterkante den hohl- zylindrischen Teiles 12 angelötet, angeschweisst oder auf andere Weise &n dieser befestigt, so dass sich zwischen beiden Teilen eine luftdichte Verbindung ergibt. Der mittlere Toll der Bodenwandung Ist ürhöht, oo daso er zusammen mit der Zylinderwandung 12 81&. : ras- förmige Vertiefung 15 bildet, die innerhalb der Verbindungestelle zwischen der Bodensçduw und der Seitenwandun verläuft Dasberende der Pumpe ist mit einern Flansch 18 versehen, an dm sica ein entsprecaender Plansch befestigen lässt, der ein StUck ona zu evakuierenden Systems bildet. Der Einlass zur Pumpe wird durch eine in der Yitte durch den Ilanson 18 hindurchfilhrende Öffnung ge- bildete mit dem Inneren des Gehäuses 10 in Verbindung steht. Im Innenraum der Pumpe ist ein geeignetes 8t : nhlelement vorge8ehen, das als Ganzes mit 20 bezeicnntt ist. Das Ctrahlle. aent kann voa ublicier Bauart sein und weist eine hohle mittige, aus mehreren Teileesteaene Jtrahlaiule auf. Die Säule besitzt einander über- lapkHHi e eile, d1e nach unten gerichtete Ringö1fnungen ?-"24 ud 26 Lesitzen. Dampfe, die in der i. itelsaule . es'tranlenelemente 20 nacn obn steigen, werden aus den Öffnungen in tranlform nach wbsw gerin. tt. t. Das untere zylindrische Ende 28 des'trslelementa 20 L ist.'n inem üen ampf sammlndt Teil 3 (Dapjn"nler) befestigt und v. iru von diesem getragen. Der D&ipfs&ier verluit nach &uewn im . nticuen bia zur äuseren Zylinderwandn 12 und dann nach unten zur bodeilwandung 14. Die imtere Kante des DaT. ofsT : lerB r&h in i rin fbrien Vertiefung 15* ffnungen 3*-sind um die Untex- kante'es Daspfscalers herum angeordnet unc-statten es den kon- densierten Idampfen, in die Fiüsikeitsansalunc s. T : Boden der Punpe zurückzukehren. Der el z-Pumpenboaen ist durch die ges rieselte gerade 34 angedeutet. Eine innere Kondensationawandung, die Z. B. aus einem Metalltriaer 36 gebildet ist, ist mit ihrem Oberende an dem Flansch 18 befewti. Die aus den Strahlöffnungen nach unten geriohtetn Dämpfe beauf- scl&gen die Kondensationswandung und kondensieren zu Oltröpfchen die mch unten zu dem Dampfsammler 30 und dann nach bussen und uatea lauten lind schliE ; asliotL zu der Ölfüllung zurückkehren. Die Konde » a- tionswandung 36 kann, falls erwünscht, durch geinete Kühlmittel gekühlt werden, z. B. durch nicht dargestellte Kühlweserspulen, die um die Kondensationawanduug 36 hemniagewickelt sind. Die Iwizvorrichtung, auf die die Erfindung insbesondere gerichtet ist, befindet sich im unteren Ende des Gehäuses 10 und dient zu Erhitzten der darin befindlichen Flussigkeitsfüllunf : und zur Breeu- un"der die Pumpstrahlen speisenden Dämpfe. Bei der in Fig. 1 u » 4 2 dergestellten Ausführungaform ist die Bodenwandung 14 mit zwei a slenformigen zylindrischen Vertiefungen 38 und 40 versehen SeMe Benalter, zB. die Behilter 42 und 44, ragen n&ch oben in die Ter- tiefunen 38 und 40 hinein, sind sn ihren oberen lnden abgeschloa.. und hermetisch gegen die Bodenwandung 14 abgedichtet, wo sie durch aen hosen der Vertiefungen 38 und 40 hindurchtreten. An jeden der Behälter 42 und 44 sind mehrere radiale Flügel 46 befestigt, die mit inrcn Oberende über die Flüsalgkeitsoberrläche vorstehen. Heiztfronen 48 und 50 sind innerhalb der hohlen Behälter 42 bzw. 44 r.-c-ordnet. Heizpatronen dieser rt sind bekannt und in einer groc,n nzani verschiedener Abmessungen erhältlich le Heizpatro- Den'1 ben metallische Aussenwandungen, die eng in die Behälter bin- ein sen und eine WSrmeleitung zwischen den Heipatronen und dw Behältern mit angebauten Flügeln gewährleisten. Leitungen zur Vor- bindung der Heizpatroneri mit einer geeigneten nicht dargestelltea elektrischen Stromquelle sind aus dem Boden der Behälter heraus. geführt* jedes Heizelement ist von einem hohlen zylindrischen Rohr umgeben, z. B. den dargestellten Rohren 52 und 54, die vom Boden der Verie* fungn 3 usd 40 her in die Bodenwandung 14 nach oben Hineinragen. Die Unterende der Rohre 52 und 54 sind mit Öffnungen 56 versehen, die ein freies einströmen von öl in das Innere der Röhren gestatten* Die oberen Enden der Rohre 5'.'sind auf einen kleineren Durchmesser und; t und stenen über die Heizbeh<er und die zugehörigen Flegel vor. Zusätzlich sind zentriert zylindrische Teile 58 und 60 ober- halb .r Heizelemente angeordnet. Sie werden von den Rohren 52 bsw. 54 z. B « durch radiale halter 62 getragen. Fig. 3 und 4 zeigen eine abge", endclte iusführungsform der aus mehreren Heizelementen beste- heu,',. eizvorricntung, die im Zusammenhang mit Fig. 1 und 2 be- schri (ben viurde. Bei der Ausführungsform der Erfindung nach Fig. 3 und f sind die Heizelemente nicht vertieft angeordnete sondern die Bodenanang 141 ist verhältnismässig' Is-ch ausgebildet. Behälter 42*tui 4'ru, en nach oben durch die flache Bodenwandung hindurch und wind mit radial verlaufenden Flügeln versehen, In derselben Weite wie die Heizelemente nach Fi. 1 und 2. Die die Heizelemente umgehendenZylinder bestehen aus schalenfSrmigen Metallteilen 64 und deren Böden unter den Flügeln der Heizelemente vorstehen. Die'eitenwandungen ragen nach oben und umgeben die Flügel der Reiz- elemente. Die offenen Oberende der schalenförmigen Teile ragen über den f'j. U. sigkeitsspiegel aber nicht über die Oberenden der Heinz- elemente hervor. Öffnungen 6 ? gestatten einen Zufluss von Flüssig- keit in ie eile 64 und 66. Diese Anordnung ist einfacher und billig ger herzustellen als die nach Fig. 1. Es hat sich herausgestellte daas die Verwendung von Röhren oder sylinQrischen Umhüllungen, die jedes der Heizelemente umgeben, 1a He&zvorrichtung mit mehreren Heizelementen äusaerst wirksam tot* Es wurde z. B. ermittelt, da88 bei solchen Vorriehtunen, ohne 41. zylindrischeu Umnüllungeat bei einer hohen Oberflächentemperatur der heizelemente eine Zersetzung der Flüssigkeit an den Steilem ein- tritt, uo die Eeizelemente Über den FlüssiSkeitsspieTel vorstehen* % erden jedoch umhullungen für die Beizelemente hinzu-efi,. gt, so wird durch die Konzentration von Dämpfen Innerhalb der unittelbareB Naeliberschaft der Reizeleme-ate die Värme mit einer solchen Ge- schwinãigkeit verteilt, dass ein Verbrennen und eine Zersetauuc d. r verhindert und glei=zeitig die PumpgeschvindilKke : Lt erhcht V Die verbesserten Reizelemente mit Umhüllungen verbessern, wie eben- falls ermittelt wu die Arbeitsweise von Pumpen, bei denen eine einzige mit Flügeln vBWhene Hwizpatrone verwendet wid, und xwar durch erhöhung der Turbulenz durch Bildung starker Konvoktionn- ströme in der Flüssigkeit. Ein einziges Heizelement dieser Art ist in 5 und 6 dargestellt. Die Diffunionapumpe naeh Fig, 5 und 6 kann in wesentlichen identisch mit der Pumpe sein, die in den du stern@) izfijhrungsbeispielen beschrieben murde. Das Pumpengeblun* besteu einer &usseren zylindrischen Landung 70 und einer ab- schlit.-ssenden flachen Bodenwandung 72-Der Heizbehalter 74 verläuft durcn die Bodenwandung 72 hindurch und weist mehren wärmeleitende, raa.verlaufende Flügel 76 auf. Das Untercnde des Strahlelemente das miu i3 bezeiciinet ist, ruht auf der Bodenwandung 72. Die Reis- patrone ragt nach oben in den Behälter 74 hinein und ist durch eine Madenacnraube 80 festgelegt, die deren einen Rra ? en 8P nindurchtrit, der&n die Bodem'andung ? 2 angeschweisst ist. ine zylindrische Um hüllun 4- umgibt das Heizelement mit seinen Flügeln 76 und steht über den normalen Flüsigkeitaspiegel hervor, der durch die ge- striCilte Gerade 86 angedeutet ist. Die zylindrische Umhüllung 84 ist it jffnungen 88 in der Nahe ihres unteren Randes versehen. Durci iese fnungen tritt das 01 in den Innenraum der Umh&llamg 8 in uer Nchbsrschaft des Heizelementes ein. Diese Bauweise führt ebenlrlls. u einer wirksameren Heizung, und zwar dadurca, dasN di Warmemenge herabgesetzt wird, die auf die Aussen&ndung der Pumpe und auf die Vandng des Strahlenelementes übertragen wird. Die Anordnung der Heizelemente als einzelne oder als mehrfache Ein'iiten ermöglicht eine grössere Leistungsaufnanme der Pumpe ohao Zere ea er ßlfüllung. Hieraus ergibt sich eine wesentlich schnellere Pumparbeit. Die Anordnung der Heizelemente naca der Erfinun erzeugt ; % ie ermittelt wurde} tine starke Yirbelbeweguag, durca vie <, ine bessere armeverteilung durch die Flüssigkeit er- zieltund eine Zersetzung infolge örtlicher"heisser Ctellen" verainuert hird.
Claims (1)
-
S eh. u t x, ans. r vc,, he 1. Ditilasionspumge mit mindestens eine. zur Verdampfung der Dittusiom fltsnigkeit dienenden Reizelemente das samt dem es umschlionisen- den röhrenförmigen Behälter von der Flüssigkeit umgeben is, Tom Gehuseboden her durch die Diffusionsflussigkeit hinduroh umd über deren Spiegel nach oben hinausragt und mit einem hohlen, den Dampf zu den Dampfaustrittaoffnungen nach oben führenden rohr, rtigen Gebilde, das mit seinem unteren Ende in die Diffustonoflbsnigkeit eintaucht, gekennzeichnet durca ein an stab bekanntes dampftuhrendes, in seinem unteren Teil (30) bis in die Iöhe des Pumpengenäuees (10) erweitertes rohrartiges Gebilde und mindestens ein Heizelement (48. 50) da* saat dem es umschliesaenden röhrenförmigen Behälter (42, 44) innerhelb der iffusionsflüssigkeit und mindestens zum Teil oberhalb der Diffusionsflussigkeit Ton je einer besonderen, im wesentlichen zylindrischen Sulee (52, 54) umgeben ist, die vom Gehäuseboden her Lurch die Diffueionsflüssigkeit hindurch und über du kei-z. spiegel in den erweiterten Dampfraum hineinragt. 2. Pumpe nach Anspruch 1 ; dadurch gekennzeichnet, dass das fleiar element mehrere radiale Flügel (46, 76) aufeeist, die nach auaa*, a er i ie Hülse vorstehen und über den Spiegel der D1ttuelona- flssi keit nch oben ragen. 3. Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn-zeiclrnet, daGs konzentrisch innerhalb des Oberendes der Hülse eine weitere Hülse (58 ; 60) kleineren Durchmessers angeordnet L t 4. Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der im unteren erweiterten Teil des dampfführenden rohrartigen Gebildes
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US806924A US2943784A (en) | 1959-04-16 | 1959-04-16 | Heater for a diffusion pump |
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DE1841023U true DE1841023U (de) | 1961-11-09 |
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Family Applications (1)
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Country Status (2)
Country | Link |
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-
1959
- 1959-04-16 US US806924A patent/US2943784A/en not_active Expired - Lifetime
- 1959-07-20 DE DEC6455U patent/DE1841023U/de not_active Expired
Also Published As
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---|---|
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