DE1810818A1 - Korpuskularstrahlgeraet mit einer Abbildungslinse und einer dieser zugeordneten phasenschiebenden Folie - Google Patents

Korpuskularstrahlgeraet mit einer Abbildungslinse und einer dieser zugeordneten phasenschiebenden Folie

Info

Publication number
DE1810818A1
DE1810818A1 DE19681810818 DE1810818A DE1810818A1 DE 1810818 A1 DE1810818 A1 DE 1810818A1 DE 19681810818 DE19681810818 DE 19681810818 DE 1810818 A DE1810818 A DE 1810818A DE 1810818 A1 DE1810818 A1 DE 1810818A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
film
beam device
corpuscular beam
corpuscular
phase
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19681810818
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
DE1810818B2 (nl
Inventor
Prof Dr Walter Hoppe
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Publication of DE1810818A1 publication Critical patent/DE1810818A1/de
Publication of DE1810818B2 publication Critical patent/DE1810818B2/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
DE19681810818 1968-04-16 1968-11-25 Korpuskularstrahlgeraet mit einer Abbildungslinse und einer dieser zugeordneten phasenschiebenden Folie Withdrawn DE1810818A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH558668 1968-04-16

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE1810818A1 true DE1810818A1 (de) 1969-10-23
DE1810818B2 DE1810818B2 (nl) 1970-12-17

Family

ID=4296050

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19681810818 Withdrawn DE1810818A1 (de) 1968-04-16 1968-11-25 Korpuskularstrahlgeraet mit einer Abbildungslinse und einer dieser zugeordneten phasenschiebenden Folie

Country Status (4)

Country Link
US (1) US3596090A (nl)
DE (1) DE1810818A1 (nl)
GB (1) GB1259352A (nl)
NL (1) NL170900C (nl)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5814815A (en) * 1995-12-27 1998-09-29 Hitachi, Ltd. Phase-contrast electron microscope and phase plate therefor
JP3942363B2 (ja) * 2001-02-09 2007-07-11 日本電子株式会社 透過電子顕微鏡の位相板用レンズシステム、および透過電子顕微鏡
DE102006011615A1 (de) 2006-03-14 2007-09-20 Carl Zeiss Nts Gmbh Phasenkontrast-Elektronenmikroskop
US8785850B2 (en) * 2010-01-19 2014-07-22 National Research Counsel Of Canada Charging of a hole-free thin film phase plate
US9953802B2 (en) 2014-01-21 2018-04-24 Ramot At Tel-Aviv University Ltd. Method and device for manipulating particle beam

Also Published As

Publication number Publication date
US3596090A (en) 1971-07-27
NL6902406A (nl) 1969-10-20
NL170900B (nl) 1982-08-02
NL170900C (nl) 1983-01-03
GB1259352A (nl) 1972-01-05
DE1810818B2 (nl) 1970-12-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1835523B1 (de) Phasenkontrast-Elektronenmikroskop
DE19838600B4 (de) Energiefilter und Elektronenmikroskop mit Energiefilter
DE10114949A1 (de) Dünnfilmphasenplatte, Phasenkontrast-Elektronenmikroskop mit solche einer Dünnfilmphasenplatte und Verfahren zur Verhinderung des Ladens der Phasenplatte
DE102008037698A1 (de) Elektronenmikroskop mit ringförmiger Beleuchtungsapertur
DE887685C (de) Elektronenmikroskop mit magnetischer Fokussierung
DE102017110993A1 (de) Rasterelektronenmikroskop und Verfahren zu dessen Verwendung
DE102015209758A1 (de) Anordnung und Verfahren zur Strahlformung und zur Lichtblattmikroskopie
DE112016006511B4 (de) Elektronenmikroskop und Abbildungsverfahren
DE69817618T2 (de) Wien filter
DE2246404B2 (de) Raster-Elektronenmikroskop
WO1995029420A1 (de) Kontrastvorrichtung für mikroskopie
DE1810818A1 (de) Korpuskularstrahlgeraet mit einer Abbildungslinse und einer dieser zugeordneten phasenschiebenden Folie
DE2742264C3 (de) Verfahren zur Abbildung eines Objektes mit geringer Vergrößerung mittels eines Korpuskularstrahlgeräts, insbesondere eines Elektronen-Mikroskops und Korpuskularstrahlgerät zur Durchführung des Verfahrens
DE202008018179U1 (de) Vorrichtung zur räumlichen Darstellung von Proben in Echtzeit
DE2043749C3 (de) Raster-Korpuskularstrahlmikroskop
DE69913313T2 (de) Quadrupol-Vorrichtung für Projektionslithographie mittels geladener Teilchen
DE10255032A1 (de) Verringerung von Aberrationen, die in einem Rasterelektronenmikroskop oder Ähnlichem durch ein Wien-Filter erzeugt werden
DE1810818C (de) Korpuskularstrahlgerat mit einer Abbil aungshnse und einer dieser zugeordneten pha senschiebenden Folie
DE102014019408A1 (de) Abbildende Energiefiltervorrichtung und Verfahren zu deren Betrieb
DE713740C (de) Verfahren zur elektronenoptischen Untersuchung von Kristallgemischen unter Ausnutzung der in dem Kristallgemisch erfolgenden Elektronenbeugung
DE69913100T2 (de) Projektionslithographie mittels ladungsträgern
DE2530844C3 (de) Durchstrahlungs-Raster-Korpuskularstrahlmikroskop und Verfahren zum Betrieb
DE909156C (de) Einrichtung zur Erzeugung von Gefuegebildern mit Elektronenstrahlen
DE19860988B4 (de) Elektronenmikroskop mit Energiefilter
DE917440C (de) Elektronen-UEbermikroskop mit Vorrichtung zur Herstellung von Feinstrahl-Elektronenbeugungsdiagrammen

Legal Events

Date Code Title Description
SH Request for examination between 03.10.1968 and 22.04.1971
E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977
8339 Ceased/non-payment of the annual fee