DE1796091A1

DE1796091A1 - Verfahren und Einrichtung zum Abmessen und selektiven Aufbringen einer hochviskosen Fluessigkeit auf eine Werkstueckoberflaeche

Info

Publication number: DE1796091A1
Application number: DE19681796091
Authority: DE
Inventors: Casner Bernard George; Hance Peter Revo; Goulstone Ray Theodore
Original assignee: Western Electric Co Inc
Current assignee: AT&T Corp
Priority date: 1967-08-31
Filing date: 1968-08-20
Publication date: 1972-02-24
Also published as: FR1604366A; DE1796091B2; SE401055B; NL6812380A; BE720054A; NL7407603A; GB1241675A; US3572400A; ES357883A1; SE6811183A0

Description

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Western Electric Company Incorporated 195 Broadway New York 10 007

A 50 654 - 8Z

Verfahren und Einrichtung zum Abmessen und selektiven Aufbringen einer hoohviskoaen Flüssigkeit auf eine Werkstückoberfläche

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abmessen und

selektiven Aufbringen einer hochviskosen Flüssigkeit auf

eine Werkstückoberfläche unter Verwendung von Druckluft L

zur Förderung der Flüssigkeit durch eine Markierkapillare,

die an ein die Flüssigkeit enthaltendes Gefjiäß angeschlossen 1st. Die Erfindung kann Insbesondere Anwendung zur MMpM- tischen Markierung von durch entsprechende Prüfung al· sohadhaft festgestellten Fläuhenabschnitten eines zum

awSplel blattförmigen Werkstücks eingesetzt werden, wobei die aus einer magnetischen Masse bestehend· Markierung

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gleichzeitig zur Entfernung des abgetrennten, schadhaften WerkstUokabsohnitts dient. Das Anwendungsgebiet der Erfindung umfaßt demgemäss unterschiedlichste Herstellungsverfahren für Werkstücke von geringen Abmessungen. Die im folgenden zur Erläuterung herangezogene Anwendung bei der Herstellung von Halbleiterkörpern in Form von Plättchen oder dgl. stellt daher nur eine von zahlreichen Einsatzmöglichkeiten dar» auf welche die Erfindung nicht beschränkt 1st.

Bei der Herstellung von Halbleitervorrichtungen wird Üblicherweise ein größerer Halbleiterkristall durch eine entsprechende Anzahl von Parallelschnitten in eine Reihe von dünnen Scheiben aufgeteilt, ,die ihrerseits nach entsprechender Behandlung wie z.B. Anreicherung mit Fremdstoff en zur Einstellung eines gewünschten Leitfähigkeitstyps oder dgl. je in eine große Anzahl, z.B. Viele Hunderte von kleinen Plättchen oder Würfeln aufgeteilt werden. Die im Zwischenstadium erhaltenen Halbleiterscheiben, z.B. aus Silizium oder Germanium, haben eine spröde Beschaffenheit und werden üblicherweise z.B. durch Sägen mit einem diamantbeschichteten , rotierenden Sägeblatt oder durch Anreißen eines Linienmusters mit einem Diamantstift und anschließendes Zerbrechen(tor Halbleiterscheibe längs der Rißlinien in Plättchen der gewünschten Form unterteilt. In manohen Fällen wird auch eine Zerteilung durch Ultraschallscnneiden oder

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Sandblasen angewendet.

Vor der Welterverarbeitung bzw. dem endgültigen Einbau worden die einzelnen Halbleiterkörper visuell und elektrisch auf einwandfreie Beschaffenheit geprüft, um vorhandenen Ausschluß absondern zu können. Wegen der äusserst geringen Abmessungen der Halbleiterkörper, die in Form der üblichen Plättchen z.B. eine Dicke von 0,1 - 0,15mm sowie quadratische OberfSohenabmessungen von 0,5mm Seitenlänge aufweisen, gestaltet sich die m

Prüfung und Handhabung vergleichsweise umständlich und aufwendig. Es hat sich daher als wirtschaftlicher herausgestellt, die betreffenden Flächenabsohnitte der Halbleitersahelbe, aus welcher die einzelnen Halbleiterkörper gebildet werden, vor der Unterteilung zu prüfen.

Diese Unterteilung geht üblicherweise z.B. in der Welse vor sich, daß durch die Oxydschicht an der Oberfläche der Halbleiterscheibe ein Linienmuster entsprechend der vorgesehenen Form der einzelnen Halbleiterkörper einge- "

ätzt wird. Durch Abtasten mit entsprechenden Fühlrganen werden dann aufeinanderfolgend gewisse elektrische Eigenschaften der einzelnen Scheibenabschnitte festgestellt. Gleichzeitig oder während eines gesonderten Arbeltsvorganges werden die einzelnen Oberflächenabschnitte

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mikroskopisch auf Risse oder ähnliche mechanische Fehler untersucht. Als fehlerhaft festgestellte Scheiben- bzw. Oberflächenabschnitte werden sodann durch eine Markierung gekennzeichnet und die entsprechenden Halbleiterkörper nach dem Zerteilen der Scheibe ausgesondert.

Ein bekanntes Verfahren zur Kennzeichnung von schadhaften Abschnitten eines Halbleiterkörpers sieht die Verwendung eines Markierinstrumentes vor» z.B. eines solchen nach Art eines Tintenschreiber, welches auf ein von der Bedienungsperson oder der elektrischen Prüfschaltung gegebenes Signal hin ein winziges Tintentröj&hen auf den betreffenden Flächenabschnitt bringt. Hierdurch entsteht eine sichtbare Markierung, aufgrund deren nach der Unterteilung der Halbleiterscheibe die Aussonderung durchgeführt werden kann.

Die üblicherweise von Hand durchzuführende Sichtung und Aussonderung der Halbleiterkörper stellt wegen der geringen Abmessungen der zu beobachtenden und zu handhabenden Objekte - aus einer Halbleiterscheibe von 2,5 bis 5 cm durchmesser können einige tausend Halbleiterkörper in Form von Plättchen hergestellt werden - hinsichtlich der Aufmerksamkeit und Geschicklichkeit der Bedienungs-

Die person./Beobachtung der Objekte erfolgt unter stärkerer

Vergrößerung, wobei jedes einzelne Plättchen mit Hilfe eines

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Saugstiftes oder eines ähnlichen Instrumentes aufgenommen und einer bestimmten Handhabung unterzogen werden muss. Dazu gehört insbesondere das Umdrehen jedes einzelnen Plättchens, da sich jeweilqhur auf einer Seite desselben eine Markierung befindet und daher ausgehend von einer mehr oder weniger ungeordneten Lage der Plättchen eine beidseitlge visuelle Untersuchung erforderlich ist.

Eine weitere Schwierigkeit der bekannten Verfahrensweise ist die Abhängigkeit von der Zuverlässigkeit der Bedienungsperson, wobei sich eine vergleichsweise hohe Fehlerquote, d.h. der Durchlaß von schadhaften Halbleiterkörpern, praktisch nicht vermeiden lässt. Zwecks Erhöhung der Arbeitsgeschwindigkeit und Verminderung der Fehlerquote 1st daher bereits vorgeschlagen worden, die schadhaften Oberfläohenabschnitte der Halbleiterscheibe durch Ablagerung einer geringen Menge von magnetischen Partikeln zu markieren, so daß die entsprechenden soha/dhaften Halbleitertfrper nach der Zerteilung der Halbleiterscheibe auf magnetischem Wege ausgesondert werden können.

Dieses vorgeschlagene Verfahren stößt zwar theoretisch auf keine Bedenken, bietet jedoch in der praktischen Ausführung ebenfalls gewisse Probleme. Zunächst

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1st es schwierig, magnetische Partikel mit entsprechender Genauigkeit auf die entsprechenden Oberflächenabsohnitte der Halbleiterscheibe aufzubringen und abzugrenzen. Die Partikel müssen in einer Trägerflüssigkeit suspendiert werden, um die Förderung durch eine entsprechend feine Rohrmündung oder dgl. zu ermöglichen. Gleichzeitig soll der Gehalt an magnetischen Partikeln in der Trägerflüssigkeit möglichst hoch sein, um eine entsprechend starke magnetische Wirkung der Markierungen zu erzielen. Ferner soll die Trägerflüsslgkeit eine vergleichsweise hohe Viskosität haben, um den hohen Feststoffanteil in Suspension zu halten und die Ablagerung von Partikeln mit entsprechender Verstopfung der Markiermündung zu vermelden. Eine höhere Viskosität 1st auch erforderlich, um das Auslaufen der Markierung in benachbarte Oberflächenabschnitte zu verhindern. Dies erfordert besondere Aufmerksamkeit bei geätzten Linienmustern, da diese eine Kapillarwirkung auf die Flüssigkeit ausüben und zu einer Ausbreitung der Markierung auf benachbarte Oberfläohenabschnitte führen können. Andererseits darf der leichte Austritt und die Steuerbarkeit der Suspension an der Markiermündung nicht durch zu hohe Viskositätswerte der Trägerflüsslgkeit beeinträchtigt werden. Eine weitere Anforderung hinaichtlth der Trägerflüsslgkeit 1st die Trocknungsfähigkeit zu einer Markierung in Form eines harten Festkörpers,

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welcher bei der gegenseitigen Berührung und Verschiebung der Halbleiterkörper nicht verschmiert wird. Dabei kommt jedoch die ^verwendung von leicht flüchtigen und rasch trocknenden Trägerflüssigkeiten ebenfalls nicht in Betraoht, da diese die Gefahr der Verstopfung der MarkiermUndung und anderen Kapillaren in der Apparatur und damit von Betriebsstörungen bzw. die Notwendigkeit häufiger Wartung mit sich bringen würden.

Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung eines Verfahrens* h$l cl«m die erwähnten Nachteile und Beschränkungen der bekannten Verfahrensweise überwunden oder doch um ein erhebliches Maß vermindert sind. Die erflndungsgemässe Lösung dieser Aufgabe kennzeichnet sich bei einem Verfahren der eingangs genannten Art hauptsächlich dadurch, daß ein in dem Gefäß zwischen der Flüssigkeit und einer Druckluftquelle in druckdichter Verbindung mit der Oefäßwandung gelagerter Freikolben durch Druckluftbeaufschlagung gegen die Flüssigkeit gepreßt, die Mündung der Marklerkapillare mit geringem Abstand von der Oberfläche des Werkstückes eingestellt und die Flüssigkeit von der Mündung auf den vorgegebenen Oberflächenabschnitt des Werkstücks gebracht wird.

Gernäss einer bevorzugten Ausführungsforni der Erfindung wird für Markierzweoke oder dgl. eine magnetische Flüssigkeit

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a K «iner Viskosität zwischen etwa 30 und 300 Poise verwi/ndet, die aus einer Suspension von magnetischen Partikeln la einer im wesentlichen nichtfluchtigen TrägerflUsslgkeit besteht und insbesondere zur gesteuerten Förderung und Abmessung durch eine Markierkapillare sowie zur abgegrenzten Aufbringung innerhalb von vorgegebenen Abschnitten einer Werkstückoberfläche« insbesondere eines blattförmigen Werkstücks, geeignet 1st.

Eine zur Durchführung des erfindungegemäseen Verfahrens bevorzugt geeignete Einrichtung kennzeichnet sich durch folgende Bestandteile bzw. Merkmale:

a) die Markierkapillare mit einem den Flüselgkeltsdurchtritt unter Schwerkraftwirkung durch Kapillarwirkung ausschließenden Durchmesser;

b) ein die auszubringende FlUssigkeitsmenge enthaltendes Gefäß, das an einem Ende an die Markierkapillare angeschlossen 1st;

q) eine an das andere Ende des Qefäßes angeschlossene

Druckluftzuführung« die über ein Steuerventil

mit einer Druckluftquelle verbunden 1st; d) ein in dem Gefäß verschiebbar gelagerter und mit dessen Innenwandung in Dichtverbindung stehender Freikolben.

Für die Marklerkapillare und das die Flüssigkeit enthaltende öefäjrfß ist zweckmässlg eine einstellbare Halterung

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/.»rgesehan, die einen in einer im wesentlichen vertikalen i jene schwenkbar gelagerten und an einem Ende dl·,* Markierkapillare mit dem Sefäfl tragenden Arm aufweist. Öle !-■lUndung der Markierkapillare wird beim Betrieb der EiInrichtung auf einen geringen Abstand von der Werkstüttejoerfläohe eingestellt _s wobei gerade noch keine unmittelbare a^rührung stattfindet. Anschließend wird die laagnetische Flüssigkeit durch entsprechende Druckluftzufuhr Ln das Π -fäll auf den vorgesehenen Abschnitt der WerketLbkoberi Iflüiie ausgebracht, wobei die Größe und in gewissem Umfang £ui3h die Form der so erzeugten Markierung durch ent-

DruckbeaufsoMagung des Qefäß©3 bzw. des hierin Freikolbens und/oder durch ,Entfernunßseinstder Mündung der Markierkapillare von der Werks tu--"; kobernäche steuerbar ist. Gemäss einer anderen bevorzugten kmführung d«r Erfindung wird die Bewegung der Markiereinrichtung und die Druckluftzufuhr für das Ausbringen ö ϊγ 'ζην Markierung dienenden Flüssigkeit selbsttätig ai!J?eh die Signale einer elektrischen Prüfvorrichtung gesteuert, welche die Werkstückoberfläche abtastet und deren Beschaffenheit kontrolliert.

Dis Erfindung wird weiter anhand des in den Zeichnungen veranschaulichin Ausführungsbeispieles erläutert. Hierin zeigt

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Fig» I in schema tischer Form die Aufeinanderfolge der Arbeitsschritte des erfindungsgemässen Verfahrens,

Fig* 2 eine perspektivische Gesamteinsioht einer

Einrichtung zur Durchführung des erfindungsgemässen Verfahrens in schematischer Verein« fachung,

Fig. 5 einen Ausschnitt der Darstellung gemäss

Fig. 2 mit einem Abschnitt der Werkstückoberfläche in stark vergrößerter Darstellung gemäss dem strichpunktiert umrandeten Teil von Fig. 2,

Flg. 4 einen Längsschnitt eines Teiles der erfindungsgemässen Einrichtung mit der Markierkapillare und dem eine magnetische Flüssigkeit aufnehmenden Gefäß in vergrößertem Maßstab,

Fig. 5 einen Schnitt durch die Achse der Markierkapillare mit einemWerkstüokabsohnitt in stark vergrößertem Maßstab, und zwar in einer Arbeitsstellung mit größerem Abstand zwischen der Mündung der Markierkapillare und der Werkstückoberfläche vor dem Absenken zum Markiervorgang,

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PXg. 6 eine Schrxlttdarstellung entsprechend Fig. 5* jedoch mit auf geringen Abstand von der Werkstückoberfläche abgesenkter Mündung der Markierkapillare und ausgebrachter Flussigkeitsmenge, sowie

Flg. 7 eine weitere Schnittdarstellung entsprechend Fig. 5, jedoch bei abgehobener Mündung der Markierkapillare nach Beendigung des Markier-Vorganges,

Nach dem Arbeitsschema geniäss Fig. 1 wird zunächst eine Halbleiterscheibe von einem größeren Halbleiterkristall üblicher Art abgeschnitten und nach entsprechendem Reinigen und Polieren mit ebenfalls üblichen Fremdstoffen dotiert. Während dieses Vorganges wird in manchen Fällen auf der Halbleiteroberfläche eine harte Oxydsohicht erzeugt, die sich mit üblichen Werkzeugen wie Diamantstifteqjhicht ohne weiteres anreißen lässt, weshalb das für die Begrenzung der herzustellenden Halbleiterkörper wie Dioden oder Transistoren vorgesehene Linienmuster durch Ätzen der Oxydschicht, z.B. mit Fluorwasserstoffsäure, in die Oxydschicht eingefoTrrrfjwlrd. Hierdurch wird die Oxydschicht für das Zerschneiden der Halbleiterscheibe freigelegt und außerdem eine deutlich erkennbare Begrenzung der den einzelnen Halbleiterkörpern entsprechenden Oberflächenabschnitte geschaffen. Die Kalbleiterscheibe

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.•:^;t ciarait für die Zerteilung vorbereitet.

Anschliessend wird die Halbleiterscheibe in eine Prüfeinrichtung eingesetzt und mit Hilfe entsprechender Fühlorgane unterseht, welch letztere hierzu auf die einzelnen Oberflächenabschnitte eingestellt und zur Messung bestimmter elektrischer Eigenschaften mit diesen in Berührung gebracht werden. Gleichzeitig oder auch zu einem späteren Zeltpunkt wird jeder Oberflächenabschnitt mikroskopisch auf mechanische Fehler Überprüft. Jeder als schadhaft festgestellte Oberflächenabschnitt wird ferner durch Aufbringen einer geringen Menge einer Suspension von magnetischen Pffertikeln in einer geeigneten Trägerflüssigkeit markiert. Im folgenden wird die Suspension kurz "MarkiertlUssigkeit" und deren ausgebracht· Menge auf einem zu markierenden Oberflächenabschnitt kurz als "Markierung" bezeichnet.

Anschließend werden die Markierungen auf der Halbleiterscheibe getrocknet, z.B. durch Ofentrocknung, und in die Form von magnetischen Festkörpern UberfUhrt. Sodann wird das vorgegebene Linienmuster entsprechend dem erzeugten Ätzmuster auf einer Anreißmaschine mit einer Diamantspitze auf die Oberfläche der Halbleiterscheibe eingeritzt und letztere in üblicher WeIe, z.B. durch Einsetzen der Scheibe zwischen dünne Folien und

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Belastung tnlfc einer hin- und hergehenden Walzft* längs der Rißllnien zerbrochen, wobei die einzelnen Halbleiterkörper in Form von Plättchen der gewünschten Form entstehen« Aus dem so erhaltenen Konglomerat wird eine mittlere Plättehengröjäe ausgesiebt. Weiterhin werden aus diesem Siebprodukt wledorum die magnetisch als Ausschuß markierten Plättchen mit Hilfe von Magnetfeldern ausgesondert. Einzelheiten der erfindungsgemässen Arbeitsweise und der hierzu versandeten Einrichtung ergeben siöh aus PIg. 2 und 2. Hiernach ist eine Halbleiterseheibe iO auf der Oberfläche 11 eines in einer Horizontal ebene in -swei zueinander senkrechten Sichtungen verstellbaren Tisßh«s 12 angeordnet und wird hier vorzugsweise durch Unterdruck über entsprechende Saugöffnungen featg«halten. Wie sieh insbesondere aus Fig. j> ergibt, ist die Oberfläche der Halbleiterscheibe 10 entsprechend einem quadratisch-gitte^irmlgen Linienmuster 1? geätzt, wobei di« einzelnen, quadratischen Oberflächenabschnitte 14 des Linlennmsters den herzustellenden« plättchenförmigen Halbleiterkörpern entsprechend. Zwei Elektroden 16 sind zur Kontaktierung an der Halbleiteroberfläche Innerhalb eines jeden Oberflächenabschnitts 14 vorgesehen, wobei die elektrischen Eigenschaften des jeweils einem Plättchen entsprechenden Teiles der Halbleiterscheibe mit Hilfe einer üblichen,nicht weiter erläuterten

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elektrischen Meßeinrichtung 17 festgestellt werden. Die In Flg. 2 angedeuteten Ausgangsleitungen 18 der Meßeinrichtung sind an eine Steuervorrichtung 19 angeschlossen, welche den Marklervorgang und insbesondere die Ausbringung der Markierflüssigkeit bestimmt. Die Steuervorrichtung 1st mit einem In einer Vertikalebene schwenkbaren Arm 21 verbunden, der an seinem freien Ende die eigentliche Markiervorrichtung 22 trägt. Letztere ist über eine

Druckluftleitung 26 mit der Steuervorrichtung 19 verbunden. Die Sohwenkbewgung des Armes 21 im Verlauf des Markler-

Vorganges bzw. der aufeinanderfolgenden Marklervorgänge wird ebenfalls durch die Steuervorrichtung 19 bestimmt.

Einzelheiten der Marklervorrichtung 22 sind aus Flg. 4 ersichtlich. 3ΐβ·ι: umfasst ein zylindrisches Gefäß 24 mit kreisförmigem Innenquerschnitt und hierin untergebrachter Markierflüssigkeit 38. In dem Gefäß 24 1st ein als Kugel ausgebildeter Freikolben 59 dichtend gelagert, welcher die Markierflüssigkeit begrenzt und von oben über eine Qehäusebohrung 32 mit AnsohlußstUck 31 sowie eine flexible Schlauchleitung 26 alt Klemmverbindung 33 and." ein In der Steuervorrichtung 19 angeordnetes Ventil 36 von einer Druckluftquelle 34 beaufschlagt wird. Das Gefäß 24 ist an seinem oberen Ende durch ein die Qehäusebohrung 32 aufweisendes Kopfstück

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mit Befehl igungagewlnden 28 abgeschlossen und in eine Bohrung des Armes 21 eingesetzt.

Derintere Abschnitt des Gefäßes 24 ist im Durohmesser verjüngend geht in eine Marklerkapillare 22 mit einer Mündung yj über. Eine Kapillare mit einer zum Markieren von Plättchen mit Plächenabmessungen von etwa 0,5 mm geeigneten Mündung lässt sich z.B. nach Entfernen des Kolbens als handelsüblichen Tintenschreibern herstellen, die eine Höhr/tfchenspitze mit einem Außendurohmesser von etwa 0,25 mm und einem Innendurchmesser von etwa 0,09 nun aufweisen.

Der im Gefäß 24 mit flUsaigkeitsdichter Berührung an der ftefäßinnenwandung gelagerte Freikolben j59 kann außer der im Beispielsfall vorgesehenen Kugelform ggf. auch Zylinderform oder eine andere, dem Innenquerschnitt des ,1exie.ils verwendeten Gefäßes angepasste Form aufweisen. Die Wirkung des Freikolbens 1st wesentlich für das erfindungsgemässe Verfahren, da die zum Ausbringen der MarkierflUsslgkeit zugeführte Druckluft von der Markierflussigke.it selbst ferngehalten werden muss. Dies ist durch die - wie eingangs erläutert - erfordern eheliche Viskosität der Mokierflüssigkeit bedingt, die im Interesse der Vermeidung des Auslaufens in benachbarte Oberflächenabschnitfc© z.B. die Konsistenz eines steifen Fettes

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aufweisen seilte. Bei unmittelbar auf die Oberfläche einer solchen Mass«· einwirkender Druckluft würde sich infolge der starken Adhäsion an der Gefäßwandung schon naoh wenigen Arbeitsspielen ein zentraler Kanal innerhalb dar Masse bis zur Mündung der Marklerkapillare bilden, womit dem weiteren Ausbringen von MarklerflUssigkeit bzw,-nasse ein Ende gesetzt ist. Diese Erscheinung tritt vor allem bei impulsförmlger Druckluftbeaufschlagung der Markierflüssigkeit auf. Der erfindungsgemäss verwndete Freikolben sorgt demgegenüber für eine Trennung zwisohen MarkierflUsoigkeit und Druckluft sowie für eine gleichmassige Druckverteilung über den Oefäßinnenquerschnitt, wodurch die Verdrängung der Marklerflüssigkeit im aehsnahen Bereich verhindert wird. Auf diese Weise ergibt

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sich erst die praktische Mglichkeit der Verwendung von hochviskosen Markierflüssigkelten. Die Erfindung befasst sich daher insbesondere mit dem Verhalten solcher hochviskosen Flüssigkelten in einer Freikolben-Markiervorriohtung, die sich auch aus der folgenden Einzelbeschreibung der verschiedenen Arbeltsschritte des erfindungsgemässen Verfahrens ergibt.

Nach dem Einsetzen der Halbleiterscheibe 10 (S. Flg. 2 und 3) und Einschalten des Unterdrucks zur Saughalterung der Scheibe werden die Elektroden 16 unter Kontaktgabe auf den

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durch die Relativstellung der Scheibe 10 bzw. dor Tisohoberflache 11 bezüglich der Elektroden und d<ar Markiervorrichtung 22 bestimmten Oberflächenabschnitt J.4 gesetzt. Gleichzeitig befindet sich die Mündung der Markierkapillar» 2J über einem benachbarten Oberflächenabschnitt.. Nach Durchführung der elektrischen Messungen und ggf. geeigneter Speicherung der Meßergebnisse bzw. der hieraus abgeleiteten Steuerdaten für die nachfolgende Markierung dos betreffenden Oberflächenabschnitts wird die Halbleitersaheiba 10 bei wiederum angehobenen Elektroden l6 duroh entsprechend gesteuerten Antrieb des Tisches 12 in Rinhtung der Verbindungslinie zwischen der Mündung der Marki^rlcaplllare und den Elektroden um eine solche Strecke verschoben, daß sich nunmehr die Mündung der Markierkapillare genau über dem vorangehend durchgemessenen Oberflächenabsshnitt befindet. Falls nun die vorangehend gewonnenen Keßergebnisse durch nicht näher erläuterten, in üblicher Welse durchgeführten Vergleich mit entsprechenden Sollwerten eine Schadhaftigkeit des betreffenden ObsrflUchenabschnitts anzeigen, so haben die entsprechenden, dor Steuervorrichtung 19 zugeführten Steuerdaten die Auslösung des Markiervorgangs an der nun über diesem Oberflächenabschnitt befindlichen Markiervorrichtung 22 zur Folge. Ein derartiges Markiersignal bewirkt über die Steuervorrichtung, z.B. mit Hilfe eines hierin vorgesehenen Stellmagneten oder dgl., eine Absenkung des freien Edes

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des Armes 21 mit der Markiervorrichtung bis auf den vorgegebenen Abstand von der Scheibenoberflache. Gleichzeitig mit dem Absenken des Armes wird über das entsprechend gesteuerte Ventil 36 ein Druckluftimpuls über die Schlauchleitung 26 auf die Oberseite des Freikolbens 39 gegeben. Die Druckhöhe sowie ggf. auch die Dauer des Druckirapulses wird durch entsprechende Einstellung eines mit dem Ventil 36 zusammenwirkenden, nicht näher dargestellten Reglers entsprechend der Viskosität der Markierflüsigkeit und entsprechend der gewünschten Größe bzw. Flächenausdehnung der Markierung bemessen. Bei einer typischen« im folgenden noch näher zu besehreibenden Beispielsausführung wurden Druckwerte von 0,7 bis 1,0 kp/cm angewendet.

Die an der Mündung 37 der Markierkapillare 23 im einzelnen ablaufenden Vorgänge sind aus den Fig. 5 bis 7 ersichtlich. Gemäss Fig. 5 entsteht an der Mündung bei der Abwärtsbewegung zunächst ein nach unten gewölbter Tropfen 4l von Markierflüssigkeit, welcher in der tiefsten Stellung der Mündung gemäss Fig. 6 mit dem Oberflächenabschnitt 14 in Berührung tritt und den geringen Abstand zwischen der unteren Stirnfläche der Mündung und der Seheibenoberfläohe ausfüllt sowie seitlich um ein gewisses MaS

herüber den Außenumfang der Mündung/vorquillt. Die Markierflüssigkeit benetzt hierbei infolge der unterbrochenen

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Oberflächenspannung den berührten Oberfl äcbenabi&ohnitt; der Sahelbe. Der Durchmesser der so entstehenden Markierung 1st auch durch den Abstand zwischen Oberfläche und Mündung bestimmt, der z.B. für gängige AusfUhrungaVerhältnisse unter Verwendung einer Mündung mit einem Außenduroheesser von 0,2 bis 0,4 mm in einem Bereich von 0,023 bis 0,05 «■ liegt. Auch die Dicke der entstehenden, scheibenförmigen Markierung wird selbstverständlich durch den Minimal* abstand zwischen Mündung und Scheibenoberfläche bestimmt.

abmessungen der beim Anheben der Markiervorrichtung gemäss Flg. 7 zurückbleibenden Markierung 40 können durch die Form der Mündung 27 sowie durch verschiedene Verfahrensgröfien wie Druckhöhe und Dauer des Druckluftimpulses in der abgesenkten Stellung der Markiervorrichtung gemüse Fig. 6 in engen Grenzen bestimmt werden. Dabei nimmt die austretende Flüssigkeitsmenge und damit die Größe der Markierung allgemein mit beiden letztgenannten Orufien zu. ^J)er Durchmesser der Markierung wird zweckmässig nur wenig größer als der AuBend^urchmesser der Mündung eingestellt, zur Markierung eines Oberflächenabschnitts von 0,5 x 0,5 nm z.B. auf einen Durchmesser von etwa 0,5 bis 0,4 mm. Andererseits ist es für die Weiterverarbeitung von Halbleiterkörpern der vorliegenden Art, vorteilhaft, wenn der Durchmesser der Markierung den Abmessungen des zu markierenden Oberfläohenabschnlttee so nahe wie attglloh

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k: tnmt, ohne daß die Gefahr des Übertritts der Markier* lllssigkeit auf benachbarte Oberflächenabeohnltte besteht. Diese Bedingungen lassen sioh mit den erflndungegemtseen Verfahren und der hierzu vorgesehenen Einrlohtung in optimaler Weise einhalten.

Die Verweilzelt der Markiervorrichtung bzw. der Mündung der Markierkapillare in der abgesenkten Stellung kann entweder durch eine Bedienungsperson unter mikrosfikopisoher Beobachtung oder auch mit Hilfe eines einstellbaren Zeitgebers selbsttätig etgesteilt bzw. geregelt werden. In einer Bei spiel sau³führung wurden Verweilzeiten von etwa 50 bis 200 msec angewendet, während im allgemeinen bei üblichen Verhältnissen etwa 100 msec einen : zweokmässigen Wert darstellen. Die impulsförmlge Druckbeaufsohlagung der Markierflüssigkeit ist durch die kurze Zeltdauer der einzelnen aufeinanderfolgenden Markiervorgänge bedingt. Zweckmässig wird eine Phasenverschiebung des Druokverlaufs in bezug auf die Absenkbewegung in der Weise eingestellt, daß der Druck zwischen einem Zeitpunkt kurz vor den Eintreffen der Markiervorrichtung in ihrer tiefsten Stellung bis zu einem Zeltpunkt vor dem Beginn des Wiederanhebene einen konstanten Wert einhält. Zur Beendigung de· Druckluft impulses kurz vor dem Anheben der Markiervorrichtung wird die Schlauchleitung 26 durch entsprechende Steuerung des Ventils 26 entlastet, so daβ bei der Aufwärt·- bzw.

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Püokzugabeweguns keine weitere MarkierflUeslgkelt au«· treten kann. Gemäss BUg. 7 bleibt beim Abheben der Mündung 57 von der Markierung 40 eine geringer· Menge Markierflüssigkeit infolge der Benetzung der MUndungsatirnflache und entsprechender Adhäsionewirkung in Form einesjflaohen Tropfens 42 hängen, welcher die Bildung des Stärker gewölbten Tropfens 41 gemäss Fig. 5 für den nächstfolgenden Marklervorgang vorbereitet. Beim Inbetriebsetzen der Einrichtung sind u.U. mehrere Druckluft-Impulse zur Bildung eines solchen Tropfens erforderlich.

Die Steuerung der angegebenen Größen und Bedingungen ist wesentlich für den einwandfreien Verfahrensablauf. Bei mi großem Minimalabstand (d.i. der Abstand zwischen MUndungsstirflache und Scheibenoberfläche In der Tiefststellung der Marklervorrichtung) wird die Markierung 40 2>£. nicht genügend abgeflacht und kann u.U. unkontrolliert Über den vorgesehenen Oberflächenabschnitt 14 hinausfließen. B^l zu geringem Minimalabstand kann umgekehrt der Austritt der MarkierflUssigkeit durch die Mündung behindert oder gesperrt werden, so daß sich eine ungünstige, stark eingedrückte Form der Markierung ergibt. Eine unmittelbare Berührung zwischen Mündung und Schelbenoberflache 1st abgesehen von der Störung der Markierungsbildung auch wegen der hiermit verbundenen Stauchung der Kapillar« bzw. des MUndungsrohres und der damit verbundenen

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BAD ORIGINAL Stnauigkeitseinbußen zu vermelden.

Ferner 1st es wichtig, daß die Markierflüssigkeit (abgesehen von dem bereits anfänglich vor der Mündung sitzenden Tropfen 41) erst nach Erreichen des Miniaalabstandes zwischen Mündung und Scheibenoberfläche auetritt, da die Markierflüssigkeit bei vorzeitigem Austritt an den äusserli Seitenwänden des Mündungsrohres aufsteigt. Dies hat wiederum verschiedene störende Erscheinungen zur Folge, u.a. eine unvollständige bzw. ungenaue Übergabe der ausgetretenen Flüssigkeitsmenge zur Scheibenoberfläche und eine zunehmende Ansammlung von Marklerflüssigkeit an der Außenfläche der Mündung. Letzteres führt zu einem periodischen, unkontrollierten Abtropfen der angesammelten MarkierflUssigkeit und damit zu einer Störung der Markiervorganges. Mit dem erfindungsgemässen Verfahren und der zugehörigen Einrichtung lassen sich alle wesentlichen Einflußgrößen hinreichend genau einstellen und aufrechterhalten. Dies gilt zusammenfassend sowohl für die Bildung bzw. die Größe des anfänglich an der Mündung vorhandenen Tropfens wie auch für den Minimalabstand zwischen Mündung und Scheibenoberfläche und für die Druckhöhe und Dauer des Druckluftimpulses sowie für die Dauer und zeitliche Anordnung der Absenkung bzw. des Aufenthaltes im abgesenkten Zustand der Markiervorrichtung. Hiermit kann

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uutor Zuhilfenahme von Gestaltungsmaßnahmen hinsichtlich Form ynd Grüße der Markierkapillare bzw. der Mündung die Anordnung, Form und Oröße der Maricierung mit hoher gesteuert werden.

In der erläuterten Weise läuft das Verfahren aufeinanderfolgend an einer Reihe von Oberflächenabschnitten 14 unter entsprechendem Vorschub des Tisches 12 ab. Anschliessend wird die Markiervorrichtung durch Querverschiebung des Tisehfif 12 auf die nächste Reihe von OberflSchenabsohnitten eingestellt usw., bis die gesamte Scheibenoberfläche abgetastet und markiert ist.

Die beschriebene und aus dem Beispiel ersichtliche Versstzung der Elektroden 16 und der Markiervorrichtung tun dun Abstand mindestens zweier benachbarter Oberflächenabschnlfete bietet den Vorteil der konstruktiven Freizügigkeit boi der Gestaltung balder Vorrichtungsteile trotz der geringen Abmessungen der einzelnen Oberflächenabschnitte, die eine gleichzeitige Abtastung und Messung sowie Markierung eines ci®den Oberflächenabschnitts erschweren.

Die erforderliehe mikroskopische Prüfung der Oberflächenabschnitte auf mechanische Fehler und die entsprechende Markierung werden in nicht näher dargestellter Weise entsprechend dem vorangehend erläuterten Arbeltsvorgang durchgeführt;. Bezüglich der Vorschubbewegung zwischen

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clan aufeinanderfolgenden Oberflächenabschnitten besteht kein Unterschied, während die Auslösung der Druckluft* impulse für die einzelnen Marklervorgänge von der Bedienungsperson in Abhängigkeit vom Ergebnis der mikroskopisehen Beobachtung vorgenommen wird. Zweokroässig wird hierfür ein manuell betätigter Signalgeber vorgesehen, der in entsprechender Weise wie die Meßνorrichtung 17 mit der

geSteuervorrichtung 19/koppelt ist.

Außer den erläuterten Verfahrens- und Vorriohtungsraerkalen 1st vor allem die Beschaffenheit und Zusammensetzung der Ma rider flüssigkeit erfindungswesentlich. Die kritischen Anforderungen hinsichtlich der oberen und unteren Begrenzung der Viskosität sind bereits einleitend erläutert worden. Unter Zugrundelegung der praktisch wichtigen Anwendungs-verhältnlsse hat sich ein Bereich von Viskositätswerten zwischen 30 und 200 Polse (gemessen mit einem Laray-Viskoslmeter) bei einer Temperatur von 25⁰C, insbesondere Jedoch ein engerer Bereich von etwa 55 bis 75 Poise, als zweekmässig erwiesen.

Auch die Anforderungen hinsichtlich der Trocknungsund Härtungsfähigkeit der der MarkierflUsslgkelt sind einleitend bereits allgemein erwähnt worden, insbesondere im Hinblick auf die Verstopfungsgefahr bei schnelltrocknenden oder flüchtigen Trägerflüssigkeiten.

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Vergleichsweise schwerfluchtige, trocknende oder halber ο cknende Öle haben sioh hier als vorteilhaft erwiesen. Es lassen sioh damit nicht schmiehrende oder auslaufend· Markierungen ohne die Gefahr der Löeungemittelverdampfung und der Verstopfung innerhalb der Kapillare und deren Mündung erzielen.

Als besonders vorteilhafte TrägerflUsslgkeiten haben sich in vielen Fällen trocknende oder halbtrooknende, mit einem Natur- oder Kunsthiz modifizierte bzw. versetzte öle sowie auch synthetische TrägerflUssigkeiten erwiesen. Dabei kommen Insbesondere die sog. "Litographie-Firnisse" mit einem echt fließfähigen Grundstoff in Betracht« z.B. mit einem eingedickten Ol wie eingedicktem Leinöl, einem Kohlenwasserstoff oder einem aus Kunstharz bestehenden Ol wie Akydharz oder Phenol-Formaldehydharz. Vor allem folgende Firnisse haben sich für die Zweoke der Erfindung

er- ·

als vorteilhaft/wiesen: Leinöl-modifizierter Phenol-Formaldehyd -Firnis, eingedickter Leinölfirnis, Malein-Alkyd-Flrnis, Pentaerythrltol-Alkyd-Firnis und Kohlenwasserstoff-Firnisse.

Als magnetische Komponente der MarkierflUssigkeit kommt vorzugsweise ein ferromagnetische^ Material wie magnetisches Eisen- oder Eisenoxyefpulw in fein verteilter Form bzw. in Suspension innerhalb der Trägerflüssigkeit

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BAU

in Betracht. Geeignet sind z.B. handelsübliche, nadelförraig-kristalline Elsenoxyde« die geraäss bekannter Reduktions- und Oxydationstechnik hergestellt werden.

Zweckmässig kann der Markierflüssigkeit ferner eine grenzflächenaktive Substanz zugesetzt werden, um die Benetzung der Werkstückoberfläche zu verbessern. Hierfür kommt eine Anzahl von bekannten Substanzen in Betracht, u.a. z.B. Sojabohnen-Lezitin, welches sich in verschiedenen praktischen Ausführungen als vorteilhaft erwiesen hat. Allgemeine Erläuterungen hinsichtlich magnetischer Flüssigkeiten bzw. Suspensionen, die bei entsprechender Einstellung des Gehaltes an Bisen oder Eisenoxyd für die Zwecke vorliegender Erfindung verwendbar sind, finden sieh in der USA-Patentschrift 5 082 171, worauf hiermit ergänzend Bezug genommen wird.

Weiterhin ist auch der Gehalt an magnetischen Partikeln in der Markierungsflüssigkeit für die Viskosität und Fließfähigkeit von Bedeutung. Anzustreben ist ein möglichst hoher Gehalt an magnetisch aktiver Substanz, ohne jedoch die Viskosität der Suspension über das für den Markiervorgang zuBssige Haß zu erhöhen. Im allgemeinen kann ein unterer Grenzwert von wenigstens etwa 45 % magnetischer Substanz entsprechend einem ann^embaren Miniraaiywert der Viskosität sowie ein oberer Grenzwert von etwa 60 % (alles Gewichtsprozente) im Hinblick auf die

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hochstzulässige Viskosität angenommen werden. Vorzugsweise liegt der Gewichtsanteil magnetischer Substanz jedooh etv/a zwischen 50 # und 56 %, wobei sich ein Gewichtsanteil von 55^+ ¹^ an magnetischem Sisenoxyd für die im Beispiel beschriebene Markierung von Halbleiterscheiben als optimal erwiesen hat.

Im übrigen versteht es sich, daß die Anforderungen hinsichtlich der MarkierungsflUssigkeit von den Gegebenheiten des jeweiligen Anwendungsfalles abhängig sind, insbesondere vom Mündungsdurchmesser der Markierkapillare, wobei jedoch im allgemeinen die oben angegebenen Grenzwerte für den Gehalt an magnetischer Substanz sowie für die Viskosität bzw. Fließfähigkeit gelten.

werden
Im folgenden/noch die Daten eines speziellen AusfUhrungs-

beispieles gegeben?

Zusammensetzung der MarkierfJUssigkeit in Gewichts-

Leinöl-modifizierter Phenol-Firnis 24

Leinöl (eingedickt) 22

Eisenoxyd *. <>..... ο 52

LezlAn ...o ..» · 1

100

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Β3Φ OfflGWM-

Die so zusammengesetzte Flüssigkeit hat bei einer Temperatur von 25° C eine Viskosität von etwa 60 bis 65 Poise (gemessen mit dem Laray-Viskosimeter). Diese Flüssigkeit kann ohne Tropfen oder Auslaufen mit einem Überdruck von

0,7 bis 0,9 kp/cm durch eine Kapillarmündung mit einem lichten Durchmesser von 0,09 mm unter Verwendung eines Freijrikolbens erfindungsgemäss einwandfrei ausgebracht werden*. Nach dem tropfenförmigen Auftrag mit Hilfe der e\_A.ndungsgemässen Einrichtung wird ein Oberflächenabschnitt von etwa 0,25 bis 028 mm Durohmesser benetzt, ohne daß ein weitergehendes Auseinanderfließen der so erzeugten Markierung in benachbarte Oberflächenbereiche auftritt. Beispielsweise nach einer Ofentrocknung von einer Stunde bei einer Temperatur von etwa 200° C ergeben sich Markierungen in Form von vergleichsweise harten, nicht schmierenden Festkörpern, die an der Oberfläche der im Beispiels fall als Werkstück vorausgesetzten Halbleiterscheibe fest anhaften und sich bei der Weiterverarbeitung, Insbesondere beim Zerbrechen der Halbleiterscheibe in einzelne Halbleiterkörper' '» . . .· und bei der ansohl !essenden Sichtung oder Siebung nicht ablösen. Die Markiervorrichtung kann ohne Verstopfung der Kapillare oder der Mündung für eine Zeitdauer von mehreren Tagen im Einsatz gehalten werden. Ablagerung von magnetischen Partikeln tritt während einer solchen Zeltdauer überhaupt nicht

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In Erscheinung. Trooknungsersoheinungen innerhalb der Markiervorrichtung treten ebenfalls nicht auf» da die MarkierflUssigkeit infolge des Preikolbens innerhalb der Vorrichtung nicht mit Luft in Berührung tritt.

Eine für Zwecke der Erfindung geeignete magnetische Flüssigkeit kann z.B. auch durch gründliches Vermieden 10 Gewichtsprozent Leinöl mit einem handelsüblichen magnetischen Farbstoff erhalten werden. Für letzteren kommt z.B. das utfnter der Marke "3-3101 Magnetic Black Ink" handelsübliche Produkt in Betracht.

Die Ln der erläuterten Weise hergestellten magnetischen Markierungen von Halblelterplättohen oder dgl. unterliegen in Magnetfeldern bequem herstellbarer Stärke einer zur Aussonderung der betreffenden Einzelkörper ohne Rücksicht auf deren Lage und Orientierung innerhalb eines Konglomerates vollständig ausreichenden Kraftwirkung.

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OfiJ&NAL

Claims

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Ansprüche

1. Verfahren zum Abmessen und selektiven Aufbringe» einer hochviskosen Flüssigkeit auf eine Werkstückoberfläche unter Verwendung von Druckluft zur Förderung der Flüssigkeit durch eine Markierkapillare, die an ein die Flüssigkeit enthaltendes Qefäfl angeschlossen ist, dadurch gekennzeichnet, daß ein in dem Gefäß (24) zwischen der Flüssigkeit (38) und einer Druokluftquelle (5*) in druckdichter Verbindung mit der GefMßwandung gelagerter Freikolben (59) durch Dfuokluftbeaufaohlagung gegen die Flüssigkeit gepreßt, die Mündung (25) der Harkler* kapillare mit geringem Abstand von der Oberfläche des Werkstückes (10) eingestellt und die Flüssigkeit von der Mündung auf den vorgegebenen Oberfläohenabschnltt des Werkstück« gebracht wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeit (58) magnetische Eigenschaften aufweist.

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BAQ ©Rt&fiAL

j5. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dafl die Flüsigkeit aus in einer TrägerflUssigkeit fein verteilten Partikeln eines magnetischen Materials besteht.

4. Verfahren naoh Anspruoh J5, daduroh gekennzeichnet, daß als Trägerfltissigkeit ein trocknendes öl vorgesehen ist.

5. Verfahren nach Anspruoh 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Trägerfltiseigkeit ein halbtrocknendes öl vorgesehen ist,

6. Verfahren nach Anspruch j5, daduroh gekennzeichnet, daß als Trägerflüssigkeit ein mit einem Naturharz versetztes, trocknendes öl vorgesehen 1st,

7. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet» daß

als Tr&gerflUssigkeit ein mit einem Naturharz ver- ™ setztes, halbtrocknendes öl vorgesehen 1st.

8. Verfahren nach Anspruoh 2, dadurch gekennzeichnet» daQ als TrSgerflüs3igkeit ein mit einem Kunstharz versetztes, trocknendes öl vorgesehen ist.

9. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Trfigerflüsaigkeit ein mit einem Kunstharz versetztes, halbtrooknendea Öl vorgesehen ist.

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10. Verfahren nach Anspruch 3, gekennzeichnet duroh dl· Verwendung einer synthetischen Trtgerflüsaigkeit.

11. Verfahren nach einem der Ansprüohe 4 bis 10« dadurch gekennzeichnet, daß als Trägerflttasigkeit ein Litographie-Firnis vorgesehen 1st.

12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daB als LitographJB-Firnis ein mit LeInUl versetzter Phenol-Formaldehyd-Firnia vorgesehen 1st.

15. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß als Litographie-Firnis ein eingedickter Leinöl-Firnis vorgesehen ist.

14. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dafi als Litographie-Firnis ein MAlein-Alkyd-Firnie vorgesehen ist.

15· Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß als Litographie-Firnis ein Pentaeryti&tol-Alkyd-Firnis vorgesehen ist.

16. Verfahren nach Anspruch 11., dadurch gekennzeichnet, daß als Litographie~>Firnls ein KohlenKasseretoff-Firnis vorgesehen 1st.

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17· Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche ]5 bis l6, dadurch gekennzeichnet, daß die magnetischen

Partikel aus Eisen oder einem magnetischen Elsenoxyd

bestehen.

18. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche ? bis 17/ dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeit eine grenzflächenaktive Substanz enthält.

19* Verfahren nacbjeinem oder mehreren der Ansprüche 5 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Viskosität der Flüssigkeit zwischen 20 und 300 Poise beträgt.

20. Verfahren nachjeinem oder mehreren der Ansprüche 2 bis 19« dadurch gekennzeichnet, das die Flüssigkeit einen Qewiohtsantell von etwa 45 % bis 40 % magnetischer Partikel enthält.

21. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche

1 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeit ein· Viskosität ζ wie ο hen etwa 55 und 70 Poise aufweist und folgende Oewichtsanteile »nthaiti

a) 20 bi« 28 % mit Leinöl versetzten Phenol-Firnis,

b) 18 bis 26 % Leinöl,

c) 49 his 57 % magnetisches Bisenoxyd,

d) 1 % einer grenzflächenaktiven Substanz.

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0ΛΟ

22. Verfahren nach einen oder nehreren der Ansprache 1 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daS dl· Flüssigkeit einen Oewiohtsanteil von 52 % bis 5* % «agnetleohes Eisenoxyd enthält und eine mit eine« Laray-Viskosimeter bei 25°C gemessene Viskosität von 60 bie 65 Poise aufweist.

23. Verfahren nach einem oder mehreren dar AnsprOohe 1 φ bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß ein größerer

Teil der abgemessenen PlUseigkeitemeng· nach de« Einstellen der Mündung der Markierkaplllare In geringem Abstand von der Werkstückoberfläche auagebraoht wird.

24. Verfahren naoh Anspruoh 23, daduroh gekennzeiohnet, daβ die Druckluftzufuhr in das dlf Flüssigkeit ent* haltende Gefäß bis bu» Auebringen der geaaeten abgeeeea«n«n FllUsigkeitsmenge auf die Werketückober-

" fläche aufrechterhalten wird.

25. Verfahren naoh Anspruch 24, daduroh gekennxeichnet, daS die Druckluft aus den Oefäö nach de« Auebringea der abgemessenen Plüesigkeitsiaenge abgelassen und die Mündung der Marklerkapillare auf eine grössere Entfernung von der Werkatückoberf\5»ohe eingestellt wird.

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26. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke des auf der Werkstückoberfläche erzeugten FlUsslgkeltsbelages wenigstens teilweise durch die Entfernungseinstellung der Mündung der Markierkapillare von der Werkstückoberfläche beim Ausbringen der Flüssigkeit auf diese gesteuert wird.

27. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem m oder mehreren der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch folgende Bestandteile bzw. Merkmale:

a) eine Marklerkapillare (2jü) mit einem den Flüssigkeitsdurchtritt unter Schwerkraftwirkung durch Kapillarwirkung ausschließenden Durchmesser;

b) ein die auszubringende Flüssigkeitsmenge enthaltendes Gefäß (24), das an einem Ende an de Marklerkapillare

angeschlossen 1st; o) eine an das andere Ende des Oefäßes angeschlossene

Druckluftzuführung (22), die über ein Steuerventil *

(36) mit einer Druckluftquelle verbunden ist; d) ein in dem Gefäß verschiebbar gelagerter und mit dessen Innenwandung in Diohtverblndung stehender Freikolben (59).

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BAÖ ORlGlNAt' *

28. Einrichtung naoh Anspruch 27, gekennzeichnet durch eine zylinderförinige Ausbildung des die Flüssigkeit enthaltenden Gefäßes mit kreisförmigem Querschnitt und einen als Kugel ausgebildeten Freikolben (29).

29. Einrichtung nach Anspruch 27 oder 28, dadurch gekennzeichnet, daS für die Markierkapillare und das die Flüssigkeit enthaltende Gefäß eine einstellbare Halte*

ung vorgesehen 1st, die einen in einer im wesentlichen ve^bikalen Ebene schwenkbar gelagerten und an einem Ende die Markierkapillare mit dem Gefäß tragenden Arm (21} aufweist.

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