DE1794374A1 - Verfahren zum markieren und aussondern elektrisch schadhafter halbleiterbauelemente auf einer halbleiterscheibe - Google Patents

Verfahren zum markieren und aussondern elektrisch schadhafter halbleiterbauelemente auf einer halbleiterscheibe

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DE1794374A1 DE19681794374 DE1794374A DE1794374A1 DE 1794374 A1 DE1794374 A1 DE 1794374A1 DE 19681794374 DE19681794374 DE 19681794374 DE 1794374 A DE1794374 A DE 1794374A DE 1794374 A1 DE1794374 A1 DE 1794374A1
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Description

Pafentanwaff
2 § t u 11g a r t N. Menzels Lraßa 4Q
'.",'estern Electric
Company Incorporated A 33 204
ITew York ( Y.St.v.A. ) '27. November 1972
Verfahren zum Markieren und Aussondern elektrisch schadhafter Halbleiterbauelemente auf einer Halbleiterscheibe
Tie Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Markieren und Aussondern elektrisch schadhafter Halbleiterbauelemente auf einer Halbleiterscheibe durch seilen- und spaltenweises Abtasten der die Halbleiterbauelemnete bildenden gleichartigen !Flächenbereiche jeweils an der gleichen Stelle sov/ie elektrischem Prüfen--und Aufbringen einer trocknungsfähigen, mit ferromagnetischen Teilchen versehenen Markierungsflüssigkeit auf als fehlerhaft erkannte 3?iächenb er eiche, wobei nach .dem Trocknen der Markierungsflüssigkeit und dem .Zerteilen der Halbleiterscheibe die mit Markierungsflüssigkeit versehenen Halbleiterbaaelemente mittels eines Trennmagneten ausgesondert werden.
"ei der Herstellung von Halbleiterbauelementen wird üblicherweise ein größerer Halbleiterkriexall durch eine entsprechende ..i.nzai.1 von Parallel schnitten in eine Eeilie von dünnen Scheiben aufgeteilt, die ihrerseits nach entsprechen-
409812/1021 BA0
der Behandlung wie z.B. Anreicherung mit Dotierstoffei, zur Einstellung des gewünschten Leitun^styps oder dgl. jeweils in eine große Anzahl kleiner !Plättchen oder Türfei aufgeteilt, werden. Die imZwischenstadium erhaltenen Halbleiterscheiben, z.B. aus Silicium, oder Germanium, haben eine spröde Beschaffenheit und werden beispielsweise durch Sägen mit einem diamantbeschichteten, rotierenden Sägeblatt oder durch Anreißen eines Linienmusters mit einem Diamantstift und anschließendem Zerbrechen der Halbleiterscheibe lsn^s der Rißlinien in !Plättchen der gewünschten Form unterteilt. In manchen Fällen wird auch eine Zerteilung durch- Ultraschallschneiden oder Sandblasen angewandt.
Vor der Weiterverarbeitung bzw. dem endgültigen Einbau werden die einzelnen Halbleiterbauelemente visuell und elektrisch auf einwandfreie Beschaffenheit geprüft und vorhandener Ausschuß ausgesondert. 77egen der äußerst geringen abmessungen der Halbleiterbaueleir.ente, die in Form der üblichen Plättchen z.B. eine Dicke von 0,1 bis 0,15 γ/.tl sowie quadratische Plachenabmessungen von 0,5 mm Seitenlänge aufweisen, gestaltet eich die Prüfung und Handhabung vergleichsweise umständlich und aufwendig. Es hat sich daher als günstiger gezeigt, die betreffenden Flächenabschnitte der Halbleiterschei&e, aus welcher die einzelnen Halbleiterbauelemente gebildet werden, vor dem Zerteilen zu prüfen.
- 3 4098 12/102 1 BAD
Die 3erteilun§>; der Halbleiterscheibe geht beispielsweise derart vor sich, daÄ durch eine Oxidschicht an der Oberfläche der Halbleiterscheibe ein Linienmuster entsprechend der vorgesehenen Form der einzelnen Halbleiterbauelemente eingeätzt wird. Durch Abtasten mit entsprechenden Fühlorganen werden dann.aufeinanderfolgend bestimmte elektrische Eigenschaften der einzelnen Scheibenabschnitte festgestellt. Gleichzeitig oder während eines gesonderten Arbeitsvorganges werden die einzelnen Oberflächenabschnitte mikroskopisch auf Risse oder ähnliche mechanische Fehler untersucht. Die als fehlerhaft festgestellten Scheiben- oder Oberfläehenabschnitte werden sodann markiert und die betreffenden Halbleiterbauelemente nach dem Zerteilen der Scheibe ausgesondert.
Bs ist bereits bekannt ( US-FS 3 082 171 ), in Tervielfältigungsmaschinen eine magnetische Druckflüssigkeit zu verwenden, um die damit bedruckten Vervielfältigungen mit automatisch arbeitenden Abtasteinrichtungen ablesen zu können.
ist ferner bekannt ( DL-PS 30 707 ) , in einer Trennvorrichtung für metallische Werkstücke einen Trennmagneten zu verwenden, welcher an der Gabelung eines Führungskanals für die Werkstücke angeordnet ist und von einer, die Werkstückeabmessungen mittels ihres Luftspaltes aufprüfenden Meßspule betätigt wird, wenn ein Werkstück die den Luftspaltmaßen ent sprechenden Sollabmessungen überschreitet.
409812/10 21 ■
Aus der GB-PS 746 549 ist weiterhin eine Trennvorrichtung für magnetisierbar Stahlbleche bekannt, welche in ähnlicher Weise wie die vorstehend erwähnte Trennvorrichtung Trennmagneten aufweist, die von einer Prüfeinrichtung gesteuert werden.
Die Aufgabe der Erfindung besteht gegenüber den für größere metallische Werkstücke vorgesehenen bekannten Trennvorrichtungen darin, ein Verfahren zum Markieren und Aussondern der vorstehend erwähnten Halbleiterbauelemente , d.h., nichtmetallischer, miniaturisierter Werkstücke zu schaffen.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß bei einem Verfahren der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß die Markierungsflüssigkeit eine Trägerflüssigkeit für die ferromagnetischen Teilchen enthält.
In vorteilhafter Weise ist als Trägerflüssigkeit ein trocknendes oder ein halbtrocknendes Öl vorgesehen.
Eine Möglichkeit besteht darin, daß als Trägerflüssigkeit ein mit einem Naturharz- oder einem Kunstharz versetztes, trocknendes Öl vorgesehen ist.
Eine weitere Möglichkeit besteht darin, daß als Trägerflüssigkeit ein mit. einem Naturharz oder einem Kunstharz versetztes, halbtrocknendes Öl vorgesehen ist.
9AD ORIGINAL
, -409812/1021
Bei einem Ausführungsbeispiel der Erfindung ist als Trägerflüssigkeit eine synthetische Flüssigkeit vorgesehen.
Bei einein weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung ist als Trägerflüssigkeit ein Lithographie-Firnis vorgesehen.
In vorteilhafter Weise ist als Lithographie-Firnis ein eingedickter Leinöl-Firnis vorgesehen.
Eine Möglichkeit "besteht darin, daß als Lithographie-Firnis ein mit Leinöl versetzter Phenol-Formaldehyd-Firnis vorgesehen ist.
Eine zusätzliche Möglichkeit besteht darin, daß als Lithographie-Firnis ein Malein-Alkyd-Firnis vorgesehen ist.
Eine weitere Möglichkeit besteht darin, daß als Lithographie-Firnis ein Pentaerythritol-Alkyd-Firnis vorgesehen ist;»
In bevorzugter Weise ist als Lithographie-Firnis ein Kohlenwasserstoff-Firnis vorgesehen.
In Ausgestaltung der Erfindung wird vorgeschlagen, daß die ferromagnetisehen Teilchen aus magnetischem Eisenoxid bestehen.
Bei einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung enthält die Markierungsflüssigkeit eine grenzflächenaktive Substanz.
409 8 12/1021 S^o
Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung liegt die Viskosität der Markierungsflüssigkeit in einem Bereich zwischen 30 und 300 Poise.
In zweckmäßiger Weise enthält die Markierungsflussigkeit einen Gewi cht'sant eil von etwa 40 bis 45 >'· ferromagnetischer Teilchen.
Eine weitere Möglichkeit besteht darin, daß die Markierungsflüssigkeit eine Viskosität in einem Bereich zwischen etwa 55 und 70 Poise aufweist und folgende Gewichtsanteile enthält: ■
a) 20 bis 28 ;£ mit Leinöl versetzten Phenol-Firnis,
b) 18 bis 26 <fo Leinöl,
c) 49 bis 57 i° magnetisches Eisenoxid und
d) 1 $ einer grenzflächenaktiven Substanz.
Eine zusätzliche Möglichkeit besteht darin, daß die Markierungsflüssigkeit einen Gewichtsanteil von 52 bis 54 % ■ -magnetisches Eisenoxid enthält und eine bei 25 0C gemessene Viskosität von 60 bis 65 Poise aufweist.
Die Erfindung wird an Hand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert; die Figur zeigt in schematischer Form die Aufeinanderfolge der Arbeitsschritte des erfindungsgemäßen Verfahrens.
•409812/1021 BAD
'■■■■' - 7 -
Mach dem ü.rbei'tsschema gemäß der Figur wird zunächst eine Halbleiterscheibe von einem größeren Halbleiterkristall üblicher Art abgeschnitten und nach entsprechenden Reinigen und Polieren mit ebenfalls üblichen Fremdstoffen dotiert. Während dieses Vorganges wird in manchen Fällen auf der Halbleiteroberfläche eine harte Oxidschicht erzeugt, die sich mit üblichen Werkzeugen,wie Diamantstiften'nicht ohne weiteres anreißen läßt, weshalb das für die Begrenzung der herzustellenden Halbleiterkörper , wie Dioden oder Transistoren vorgesehene Linienmuster durch Ätzen der Oxidschicht, z.B. mit Fluorwasserstoffsäure, in die Oxidschicht eingeformt wird.'Hierdurch wird die Oxidschicht für das Zerschneiden der Halbleiterscheibe freigelegt und außerdem eine deutlich erkennbare Begrenzung der den einzelnen Halbleiterkörpern entsprechenden Oberflächenabschnitte geschaffen. Die Halbleiterscheibe ist damit für die Zerteilung vorbereitet.
Anschließend wird die Halbleiterscheibe in eine Prüfeinrichtung eingesetzt und mit Hilfe entsprechender Fühler untersucht, welche hierzu auf die einzelnen Oberflächenabschnitte eingestellt und zur Messung bestimmter elektrischer" Eigenschaften mit diesen in Berührung gebracht werden. Gleichzeitig oder auch zu einem späteren Zeitpunkt wird jeder Oberflächenabschnitt mikroskopisch auf mechanische Fehler überprüft. Jeder als schadhaft festgestellter Oberflächenabschnitt wird ferner durch Aufbringen einer geringen Menge der erfin-
09 8 12/1 Q.2 1 Βλύ 0^QiNAL
dungsgemäßen, mit ferromagnetischen Teilchen versehenen Markierungsflüssigkeit mittels einer Markierungskapillare markiert. Ein Verfahren zum Aufbringen einer derartigen Idarkierungsflüssigkeit sowie ,eine Vorrichtung hierzu ist in der deutschen Auslegeschrift 1 79o 091 "beschrieben und ist kein Gegenstand der vorliegenden Erfindung.
φ Im Anschluß an das Aufbringen der Markierungsflüssigkeit werden die Markierungen auf der Halbleiterscheibe getrocknet, z.B. durch Ofentrocknung und in die Form von magnetischen Festkörpern überführt» Sodann wird das vorgegebene Linienmuster entsprechend dem erzeugten Ätzmuster auf einer Anreißmaschine mit einer Diamantspitze auf die Oberfläche der Halbleiterscheibe eingeritzt und letztere in üblicher Weise, z.B. durch Einsetzten der Scheibe zwischen dünne Folien und Belastung mit einer hin und her gehenden Walze, längs der Rißlinien zerbrochen, wobei die einzelnen Halbleiterkörper in Form von Plättchen der gewünschten Form entstehen. Aus dem so erhaltenen Konglomerat wird eine mittlere Plättchen-größe ausgesiebt. Weiterhin werden aus diesem Siebprodukt wiederum die magnetisch als Ausschuß markierten Plättchen mit Hilfe eines Trennmagneten ausgesondert. Einzelheiten einer derartigen Sortierung und der hierzu verwendeten Vorrichtung ergeben sich aus der vorstehend bereits erwähnten deutschen Auslegeschrift 1 796 091.
BAD 409812/1021
Die 'Beschaffenheit und Zusammensetzung der erfindungsgemässen Markierungsflüssigke-it wird nachstehend beschrieben. Unter Zugrundelegung der praktisch wichtigen Anwendungsverhältnisse hat sich ein Viskositätsbereich von 30 bis 300 Poise ( gemessen mit einem Larray-Viskosimeter ) bei einer Temperatur von 25 G , insbesondere jedoch ein engerer Bereich von etwa 55 bis 75 Poise als zweckmäßig erwiesen.
Die Markierunsgflüssigkeit ist hinsichtlich ihrer Trocknungs- und Härtungsfähigkeit auszuwählen, da bei zu rascher Trocknung oder zu großer Flüchtigkeit die Gefahr einer Verstopfung der bei dem iVlarkierungsvorgang verwandten Karkierunsgkap|/ilkre besteht. Vergleichsweise sehwerf lüchige, trocknende oder halbtroeknende üle haben sich hier als vorteilhaft erwiesen. Es lassen sich damit nicht-schmierende oder auslaufende Markierungen ohne die gefahr der Lösungsmitt elver dämpfung und. der Verstopfung innerhalb der ,Varkierungskapillare und deren Mündung erzielen.
s besonders vorteilhafte Trägerflüssiglceiten haben sich ■ trocknende oder halbtrocknende, mit einem üTatur- oder Kunstharz modifizierte bzw. versetzte öle sowie auch synthetische Trägerflüseiijkeiten erwiesen. Dabei kommen insbesondere die sogenannten Lithographie-Firnisse mit einem echt fließfähigen G-rundstoff in Betracht, z.B., mit einem eingedickten Öl, wie eingedicktem Leinöl, einem Kohlenwasserstoff oder einem aus Kunstharz bestehenden 01, wie Alkydharz oder Phenol-Formalde-
BAD ORIGINAL 409812/102 1
hydharz. Vorallem folgende Firnisse haben sich für die Zwecke der Erfindung als vorteilhaft erwiesen: Leinöl-modifizierter Phenol-Formaldehyd-Firnis, eingedickter Leinöl-Firnis, i'.alein-Alkyd-Firnis, Pentaerythritol-Alkyd-Firnie und .Kohlenwasserstoff-Firnisse. Als ferromagnetische Komponente der Markierungsflüssigkeit kommt vorzugsweise magnetisches Eisen- oder Eisenoxidpulver in fein verteilter Form bzw.-in Suspension innerhalb der Trägerflüssigkeit in Betracht. Geeignet sind z.B. handelsübliche, nadeiförmig-kristalline Eisenoxide, die gemäß bekannter Reduktions- und Oxidationstechniken hergestellt werden. Zweckmäßig kann der üarkierungsflüssigkeit ferner eine grenzflächenaktive Substanz zugesetzt werden, um die Benetzung der Werkstückoberfläche ■ zu verbessern. Hierfür kommt eine Anzahl von bekannten Substanzen in Betracht, u.a. Sojabohnen-Lezithin, welches sich in verschiedenen praktischen Ausführungsformen als vorteilhaft erwiesen hat.
Weiterhin ist auch der Gehalt an ferromagnetischen Teilchen in der Markierungsflüssigkeit für die Viskosität und Fließfähigkeit von Bedeutung. Anzustreben ist ein möglichst hoher Gehalt an magnetisch aktiver Substanz, ohne jedoch α ie Viskosität der Suspension über das für den Markierungsvorgang.· zulässige Maß zu erhöhen. Im allgemeinen kann ein unterer Grenzwert von wenigstens etwa 45 i° magnetischer Substanz entsprechend einem annehmbaren Minimalwert der Viskosität sowie ein oberer Grenzwert von etwa 60 tfo ( alles Gewichtsprozente ) im Hinblick auf die höchstzulässige Viskosität angenommen werden,
. .·■ 4 0 9 8 12/1021 BAD original
- 11 -
Vorzugsvvej-se liegt der Gewichtsanteil magnetischer Substanz jedoch in einem Bereich zwischen 50 und 56 i<> , wobei sich ein Gewichtsanteil von 53 fi + 1 f» an magnetischem Eisenoxid für, die in dein nachstehenden Ausführungsbeispiel beschriebene Ivlarkierungsflüssigkeit als optimal erwiesen hat.
Im übrigen verseht es sich, daß dje speziellen Anforderungen hinsichtlich der Markierungsflüssigkeit von den Gegenbenheiten des jeweiligen Anwendungsfalles abhängig sind, insbesondere vom Mündungsdarchmesser der Markierungskapillare, wobei jedoch im Allgemeinen die oben angegebenen G-renzwerte für den Gehalt an magnetischer Substanz sowie für die Viskosität ,bzw. für die Fließfähigkeit gelten.
Nachstehend wird ein spezielles Ausführungsbeispiel für die Zusammensetzung einer Markierungsflüssigkeit in Gewichtsprozenten angegeben: - .__ '
Leinöl-modifizierter-Phenol-Iirnis 24
Leinöl ( eingedickt1 ) 22
Eisenoxid , 53
Lezithin 1
100
Die so zusammengesetzte Markierungsflüssigkeit hat bei einer Tempßratur von 25 0C eine Viskosität von etwa 60 bis 65 Poise
409812/1021 - 12 -
( gemessen mit einem Larray-Viskosimeter ). Diese Flüssigkeit kann ohne zu tropfen oder auszulaufen mit einem überdruck von 0,7' "bis 0,9 kp/cm durch, eine Kapillarmündung mit einem lichten Durchmesser von 0,09 mm einwandfrei ausgebracht werden. Nach dem tropfenförmigen Auftrag wird ein Oberflächenäbschnitt von etwa 0,25 bis o,38 mm. Durchmesser benetzt, ohne daß ein weitergehendes Auseinanderfließen der so erzeugten Markierung in benachbarte Oberflächenbereiche auftritt« Beispielsweise nach einer Ofentrocknung von einer Stunde bei einer Temperatur von etwa 200 C ergeben sich Markierungen in Form von vergleichsweise harten, nicht schmierenden Schichten, die an der Oberfläche der Halbleiterscheibe fest anhaften und sich bei der Weiterverarbeitung, insbesondere beim Zer-Teilen der Halbleiterscheibe in einzelne Halbleiterbauelemente und bei dem anschließenden Aussortieren nicht ablösen. Die Markierungskapillare kann ohne Verstopfung der Mündung für eine Zeitdauer von mehreren Tagen im Einsatz gehalten werden. Eine Ablagerung von magnetischen Teilchen tritt- während einer solchen Zeitdauer nicht in Erscheinung.
Sine für Zwecke der Erfindung geeignete magnetische flüssigkeit kann z.B. auch durch gründliches Vermischen von 10 Gewichtsprozent Leinöl mit einem handelsüblichen magnetischen Farbstoff erhalten v/erden.
Die in der erläuterten Weise hergestellten magnetischen lv-a.r-
0 9 8 12/1021 BAD
kierungen von Halbleiterplättchen oder dgl. unterliegen in Magnetfeldern bequem herstellbarer Stärke einer zur Aussortierung der betreffenden ßinzelkorper ohne Rücksicht auf deren Lage und Orientierung innerhalb eines Konglomerates vollständig ausreichenden Kraftwirkung.
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Claims (1)

  1. Western Electric
    Company Incorporated A 33 204
    lew York ( T.St.v.A. ) 27. November 1972
    Patentansprüche
    1. Verfahren zum Markieren und Aussondern elektrisch schadhafter Halbleiterbauelemente auf einer Halbleiterscheibe durch zeilen- und spaltenweises Abtasten der die Halbleiterbauelemente bildenden gleichartigen Flächenbereiche - jeweils an der gleichen Stelle sowie elektrischem Prüfen und Aufbringen einer trocknungsfähigen, mit ferromagnetischen Teilchen versehenen T.arkierungsflüssigkeit auf als fehlerhaft erkannte Flächenbereiche, wobei nach dem Trocknen der iviarkierungsflüssigkeit und dem Zerteilen der Halbleiterscheibe die mit .karkierungsflüssigkeit versehenen Halbleiterbauelemente mittels eines Trennmagneten ausgesondert werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Tfarkierungsflüssigkeit eine Trägerflüssigkeit für die ferromagnetischen Teilchen enthält.
    2. Verfahren nach -.nsprach 1, dadurch gekennzeichnet, dai; als Trägerflüssigkeit ein trocknendes oder ein halbtrocknendes ül vorgesehen ist.
    BAD
    40981271021
    3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als 5rägerflüssigkeit ein mit einem Naturharz oder einem Kunstharz versetztes, trocknendes öl vorgesehen ist.
    4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Trägerflüssi-Tkeit ein mit einem Naturharz oder einem Kunstharz versetztes, halbtrocknendes öl vorgesehen ist.
    5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Ä als Trägerflüssigkeit eine synthetische Flüssigkeit vorgesehen ist.
    6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß als Trägerflüssigkeit ein Lithographie-Firnis vorgesehen ist.
    7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
    als Lithographie-Firnis ein eingedickter Leinöl-Firnis
    " ■ ■ ' ' ■ f
    vorgesehen ist. . ■
    8. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß als Lithographie-Firnis ein mit Leinöl versetzter Phenol-Formaldehyd-Firnis vorgesehen ist. '
    9· Verfahren nach Anspruch β, dadurch gekennzeichnet, daß als Lithographie-Firnis ein i..alein-Älkyd-Firnis vorgesehen ist.
    BAD OfJfGfMAL - 3 409812/1021
    10. Vorfahren rirxch Ansprach 6, dadurch gekennzeichnet, dai3 als Lithographie-Firnis ein Pentaerytritol-Alkyd-Firnis
    'vorgesehen ist.
    11. Verfahren nach Anspruch G, dadurch gekennzeichnet, daß als Litho:;;raphie-Firnis ein Kohlenwasserstoff-Firnis vorgesehen ist.
    12. Verfahren nach einem oder mehreren der .Ansprüche 1 bis ^k 11, dadurch gekennzeichnet, daß die ferromagnetischen Teilchen aus magnetischem Eisenoxid bestehe:!..
    ο Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis
    12, dadurch gekennzeichnet, daß die Markierungsflüssigkeit eine grenzflächenaktive Substanz enthält.
    14. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis
    13, dadurch .jekeiinzeichnet, daß die Viskosität der i.:arkierunr;sflüssigkeit in eines Bereich zwischen 30 und
    P 300 Poise liegt.
    15. Verfahren nach· einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 1'4, dadurch gekennzeichnet, daß die I£arkierungsflüssiykeit einen Gewiehtsanteil von etwa 40 bis 45 aß> magnetischer Teilchen enthält.
    — 4 —
    409812/1021
    BAD ORiGINAL
    -Jf-
    16. Verfalire.il" nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Ivarkierungsflüssigkeit eine Viskosität in. einem Bereich zwischen etwa 55 und 70 Poise aufweist und folgende G-ewichtsanteile enthält:
    a) 20 bis 28 μ mit Leinöl versetzten Phenol-Firnis,
    b) 18 bis 26 fo Leinöl,
    c) 49 "bis 57 f° magnetisches Eisenoxid und
    d) 1 io einer grenzflächenaktiven Substanz.
    17. Verfahren nach einem oder mehreren der joisprücho 1 "hie 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Liarkierungsflüssigkeit einen Grewichtsanteil von 52 bis 54 f? cagnetisches Eisenoxid enthält und eine bei 25 0O gemessene Viskosität von '60 bis 65 Poise aufweist.
    409012/1021
DE19681794374 1967-08-31 1968-08-29 Verfahren zum markieren und aussondern elektrisch schadhafter halbleiterbauelemente auf einer halbleiterscheibe Pending DE1794374A1 (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016166235A1 (de) * 2015-04-15 2016-10-20 Osram Opto Semiconductors Gmbh Anordnung zur aufnahme von markermaterial

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