DE1772668A1 - Schalteranordnung fuer elektronische Musikinstrumente - Google Patents
Schalteranordnung fuer elektronische MusikinstrumenteInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Schalteranordnung mit einem halbleitenden Substrat, das zwei elektrisch gegeneinander
isolierte halbleitende Bereiche, von denen der erste als gemeinsame Kollektorzone für eine erste Gruppe
von Transistoren und der zweite als gemeinsame Kollektorzone für eine zweite Gruppe von Transistoren dient, mehrere
Anschlüsse für die Zuführung von EingangsSignalen und
eine Lastimpedanz enthält, und führt zu einer miniaturisierten Schalteranordnung für den Einsatz bei einem elektronischen
Musikinstrument od. dgl.
Im allgemeinen besteht die übliche Praxis bei einem elektronischen Musikinstrument wie z. B. einer elektronischen
Orgel darin, eine in einer Klaviatur angeordnete Taste niederzudrücken und so eine elektrisch mit der Taste
verbundene Schalteranordnung zu betätigen, um damit ein Tonsignal mit einer gewünschten Tonhöhe aus dem Ausgangssignal
eines Tongenerators auszuwählen, der eine Mehrzahl von Tonsignalen erzeugen kann.
Entsprechend der üblichen Schaltungstechnik weist eine solche Schalteranordnung eine Anzahl von Tastenschaltern
und eine entsprechende Anzahl von Torschaltungen auf. Jede
der Torschaltungen ist mit einem RG-Zeitglied zusaramengüschaLtet,
um einen stetigen Dämpfungaeffekt oder Halteeffekt
3/0521
fUr das Ausgangssignal der Schalteranordnung zu erzielen. Durch das Schalten eines der Tastenschalter wird ein Tor
der Torschaltungen umgelegt, und man erhält an einem Paar von Ausgangsklemmen der Schaltung das gewünschte Tonsignal.
Das von dem Tongenerator erzeugte Tonsignal stellt ein rechteckiges elektrisches Signal mit einer vorgeschriebenen
Frequenz dar, das nach der Auswahl durch die oben beschriebene Schalteranordnung entsprechend dem Villen
des Spielers des Musikinstrumentes durch eine Filteranordnung hindurchgeht oder sich mit einem anderen Tonsignal
mischt, und wird wie ein Ton behandelt, der dem eines üblichen Musikinstrumentes entspricht. Das in dieser
Weise in seiner Wellenform behandelte Signal wird schließlich durch einen Verstärker verstärkt und einem elektroakustischer!
Wandler wie z. B. einem Lautsprecher zugeführt und so erhält man schließlich einen gewünschten Ton des
Musikinstrumentes.
Die Schalteranordnung spielt daher eine wichtige Rolle
bei einer elektronischen Orgel und muß daher hohen Zuverlässigkeitsansprüchen genügen. Außerdem ist es wünschenswert,
daß die Schalteranordnung räumlich klein und leicht in Massenfertigung herzustellen ist, da zu einer
elektronischen Orgel eine große Anzahl von Torschaltungen
gehört.
Aufgabe der Erfindung ist daher die Schaffung einer neuen Schalteranordnung mit gutem elektrischen Verhalten,
die insbesondere insoweit verbessert ist, als sie eine Verringerung des Lecksignales bei Nichtbetätigung erbringt,
sich außerdem als Halbleiterkörper in integrierter Schaltungstechnik bauen läßt, wobei ein Festkörperschalter
hoher Zuverlässigkeit mit Torschaltungen und aus-
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gezeichnetem Verhalten beim Einsatz in einem elektronischen Musikinstrument entstehen soll, der sich durch geringe
Abmessungen und eine leichte Massenfertigung auszeichnet.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß ausgehend von einer Schalteranordnung der eingangs erwähnten Art dadurch
gelöst, daß die Emitterzonen der Transistoren der ersten Gruppe jeweils mit den Basiszonen der Transistoren der
zweiten Gruppe verbunden sind, daß die Anschlüsse für die Zuführung der Eingangssignale so geschaltet sind, daß jede
Basiszone der Transistoren der ersten Gruppe ein eigenes Signal zugeführt erhält, und daß die Lastimpedanz zwischen
die beiden halbleitenden Bereiche eingeschaltet ist.
Bei einer Ausführungsform einer erfindungsgemäßen
Schalteranordnung besitzt diese einen Halbleiterkörper mit einem ersten und einem zweiten halbleitenden Bereich,
die elektrisch voneinander getrennt in einer der Hauptflächen des Halbleiterkörpers liegen. Dabei gibt es in
dem ersten halbleitenden Bereich eine Mehrzahl von ersten Transistoren mit gemeinsamer Kollektorzone und in dem
zweiten halbleitenden Bereich eine gleiche Anzahl von zweiten Transistoren mit ebenfalls gemeinsamer Kollektorzone.
Außerdem sind die Emitterzonen der ersten Transistoren mit den entsprechenden Basiszonen der zweiten
Transistoren über erste Leitungen verbunden. An die Basiszonen der ersten Transistoren sind Eingangsleitunken angeschlossen
und an die gemeinsame Kollektorzone dieser ersten Transistoren zweite Leitungen, die diese Zone auf
ein Bezugspotential liegen. An die Emitterzonen der ersten und der zweiten Transistoren sind dritte Leiter angeschlossen,
die sie mit Schaltungselementen verbinden,
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die ihnen eine Vorspannung aufprägen. Die gemeinsame Kollektorzone
der zweiten Transistoren schließlich ist über vierte Leitungen mit einem Lastwiderstand verbunden. Die
Schaltelemente für die Zuführung der Vorspannung zu den Emitterzonen der ersten und der zweiten Transistoren bestehen
aus Schaltern, einem Zeitglied und einer Spannungsquelle. Sind diese Schalter offen, so erhält die pn-Sperrschicht
zwischen der Emitterzone und der Basiszone der ersten Transistoren eine Vorspannung in Rückwärtsrichtung,
und die zweiten Transistoren werden so vorgespannt, daß ihre Verstärkung zu Null wird. Sind die Schalter dagegen
geschlossen, so erhält die pn-Sperrschicht zwischen der Emitterzone und der Basiszone der ersten Transistoren
eine Vorspannung in Vorwärtsrichtung, und die zweiten Transistoren werden so vorgespannt, daß sie eine vorgegebene
Verstärkung aufweisen . Das Zeitglied verzögert beim Umschalten der Schalter vom geschlossenen in den offenen
Zustand den Übergang der Vorspannung für die Emitterzonen der ereten und der zweiten Transistoren um eine vorgegebene
Übergangsperiode, deren Dauer von einer vorgebbaren Zeitkonstante abhängt. Auf diese Weise erhält man an dem
Lastwiderstand entsprechend der Betätigung der Schalter
ein gewünschtes Ausgangssignal.
Die oben erwähnten und andere Ziele und Merkmale der Erfindung lassen sich noch deutlicher aus der nachstehenden
Beschreibung ersehen, die auf die Zeichnung Bezug nimmt; es zeigen:
Fig. 1 ein Schaltbild, das eine in einer Schalteranordnung der bisher für elektronische Musikinstrumente
üblichen Art enthaltene Torschaltung zeigt;
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Fig. 2, 3a bis 3c und 4 jeweils Schaltbilder, die Torschaltungen veranschaulichen, wie sie in
einer Ausführungsform der Erfindung Verwendung finden, und
Fig. 5a bis 5d und Fig. 6 eine in integrierter Schaltungstechnik
aufgebaute Schalteranordnung entsprechend einer Ausführungsform der Erfindung,
wobei die Fig. 5a bis 5b Querschnitte durch den Halbleiterkörper in verschiedenen Fertigungsschritten
darstellen, die Fig. 6 eine Aufsicht auf den Halbleiterkörper mit der vollständigen
erfindungsgemäßen Schalteranordnung ist und die Schnittfiihrung in Fig. 5d entlang
der Linie V,-V, in Fig. 6 verläuft, ad
In Fig. 1 ist eine zum bisherigen Stand der Technik gehörige Schalteranordnung unter Verwendung einer Halbleiteranordnung
dargestellt, die eine aus einer Spannungsquelle V , einem Transistor T1, Vorspannungswiderständen
Cl 1
R und R?, einem Lastwiderstand R_ und einem Emitterwiderstand
Ri bestehende Torschaltung 2 und eine aus einem Widerstand
R_, einem Tastenschalter K, einer Spannungsquelle V „ und einem Zeitglied mit einem Kondensator C1 und einem
C *£ 1
Widerstand R^ für die Erzielung des Halteeffektes bestehende
Schaltung 1 zur Erzeugung eines Steuersignals bzw. zur Steuerung der Vorspannungen aufweist.
In Fig. 1 wird der Transistor T1 in Emitterschaltung
betrieben. Die Signale eines Tongenerators S liegen ständig an der Basis B des Transistors T. an. Wenn es die Gegebenheiten
verlangen, wird der unmittelbar mit der KIa-
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viatur verbundene Tastenschalter K geschlossen und läßt
den Transistor T1 leitend werden, wodurch an der Ausgangsklemme
A ein gewünschtes Signal erscheint.
Bei einem elektronischen Musikinstrument gibt es nun
eine der Größe der Klaviatur entsprechende, jedenfalls sehr große Anzahl derartiger Schalteranordnungen. Dadurch
nehmen die beim Bau eines solchen Instrumentes erforderlichen Montage« und Lötvorgänge in großem Umfange zu.
Außerdem nimmt die Anzahl der Montagestellen für jede Komponente zu, und damit vermindert sich die Betriebszuverlässigkeit
des gesamten Musikinstrumentes entsprechend.
Es ist daher sehr wünschenswert, eine derartige Schalteranordnung
als in integrierter Schaltungstechnik gefertigten Halbleiterkörper aufzubauen. Jedoch wird für die
bekannte Schaltung bei ihrer Ausführung als in integrierter Schaltungstechnik aufgebauter Halbleiterkörper der von
der Torschaltung 2 eingenommene Raun wegen der Höhe der Vorspannungswiderstände R1 und R„ sehr groß. Insbesondere
im Falle einer elektronischen Orgel muß jedoch eine sehr große, der Anzahl der Tasten entsprechende Anzahl von Torschaltungen
in ein Halbleiterplättchen eingebaut werden, und daher sollte der von einer Torschaltung eingenommene
Raum so klein sein wie möglich.
Außerdem verlangt eine als in Integrierter Schaltungstechnik aufgebauter Halbleiterkörper ausgeführte Schalteranordnung
im Vergleich mit einer aus einzelnen Bauteilen zusammengesetzten Schalteranordnung eine höhere Betriebszuverlässigkeit. Nun wird jedoch bei der bekannten Schaltung
die Rückwärts-Durchbruch-Spannung zwischen der Basis
und dem Emitter des Transistors sehr niedrig, so daß der
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Transistor zum Durchbruch neigt. Beispielsweise ist die Emitterspannung des Transistors T1 in Fig. 1 bei offenem
Tastenschalter K nahezu gleich +V „. Gleichzeitig ändert ein Eingangssignal von dem Tongenerator S das Potential an
der Basis des Transistors T1 zu Erdpotential, so daß zwischen
Basis und Emitter dieses Transistors eine Spannung liegt, welche die Rückwärts-Durchbruch-Spannung überschreitet
und daher einen Durchbruch des Transistors zur Folge hat.
Weiterhin verursacht bei der bekannten Schaltung die Kapazität C zwischen dem Kollektor und der Basis des
Transistors T ein Leckausgangssignal, welches das Pegelverhältnis zwischen den Ausgangssignalen im Betrieb (bei
geschlossenem Tastenschalter K) und im Ruhezustand (bei offenem Tastenschalter K) verringert. Es gelangt dann auch
dann, wenn der Tastenschalter K nicht gedrückt ist, von dem Tongenerator S über die Kollektorkapazität C , ein
Tonsignal an die Ausgangsstufe der gesamten Schaltung, d. h. an den Lautsprecher, und man hört auch ohne Spielen
einer Taste ein Geräusch.
Als nächstes soll nun eine Ausführungsform der Erfin- "
dung erläutert werden, aus der man ersehen kann, daß man eine in integrierter Schaltungstechnik aufgebaute Vorrichtung
mit Erfolg einsetzen kann.
In Fig. 6 und in Fig. 5d, die einen Querschnitt entlang der Linie V,-V, in Fig. 6 zeigt, in dem gleiche Bezugszahlen
gleiche Teile wie in Fig. 6 bezeichnen, ist eine in integrierter Schaltungstechnik aufgebaute Ausführungsform
der Erfindung dargestellt. In diesen beiden Figuren sind jeweils Teile der Schalteranordnung weggelassen.
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In Fig. 4, in der ebenfalls gleiche Bezugszahlen zur Bezeichnung gleicher Teile wie in Fig. 6 und 5d verwendet
sind, ist die elektrische Verdrahtung der Schalteranordnung dargestellt, wobei der den Daxstellungen in Fig. 6
und 5d entsprechende Teil der Schaltung in Fig. 4 mit einer gestrichelten Linie 50 umrahmt ist.
ει
Wie diese Figuren zeigen, weist die Schalteranordnung einen Halbleiterkörper 50 von einem Leitfähigkeitstyp und einen ersten, einen zweiten und einen dritten halbleitenden Bereich 8, 9 und 10 von einem anderen Leitfähigkeitstyp
auf. Die drei Bereiche 8, 9 und 10 sind von dem Halbleiterkörper 50 durch pn-Sperrschichten 100, 200 bzw.
300 elektrisch getrennt. Der erste Bereich 8 enthält acht Paare von Transistoren T11 und T12, T91 und T21, ·.· und
Tg und Tg2, d. h. insgesamt 16 Transistoren T11, T1 ...
Tg und T2, T22* *'* T82' die Jeweils paarweise zu Darlington-Schaltungen
zusammengefügt sind. Der zweite Bereich 9 enthält acht Transistoren T1^, T__, ... Tg„, die
eine gemeinsame Kollektorzone aufweisen* Der dritte Bereich 10 enthält acht Widerstandsschichten 114, 124, ...
184. Die acht Transistoren T , T1, ... Tg1 sind jeweils
an ihrer Basis mit Eingangsklemmen 1_, 2D, ..· bzw. 8- verbunden.
Durch Anschluß der beiden Enden der Widerstandsschichten 114, 124, ... 184 zwischen Basis und Emitter der
Transistoren T1-, T__ ... Tg_ entstehen Paare von Emitte»
widerständen Kgn und Hj12, Rg21 und
Etwa von den Mittelabschnitten der jeweiligen Widerstandsschichten
aus sind Anschlüsse 1E, 2E, ... 8E nach außen geführt. Die Transistoren in dem ersten Bereich 8
bilden acht Darlington-Schaltungen, indem jeweils die Basis eines der Transistoren T1 , T31, ... Tg1 mit dem Emitter
eines der Transistoren T12, T32, ... Tg2 verbunden ist.
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Die Kollektorzonen dieser Transistoren sind miteinander verbunden und gemeinsam zu einer Anschlußklemme C geführt,
von wo aus sie über eine leiterähnliche Zone 151 mit niedrigem Widerstand geerdet werden. Die Kollektorzonen
der acht Transistoren im zweiten Bereich 9 sind ebenfalls untereinander verbunden und zu einer Klemme C_ geführt,
an der sie über eine leiterähnliche Zone 152 von
geringem Widerstand mit einem Lastwiderstand RT verbunden
werden. Die Emitter der Transistoren T12, T22, ... Tg2
sind jeweils über leitende Schichten mit der Basis eines ' der Transistoren T „, T_„, ... Tq„ verbunden. Auf diese
Weise entstehen eine Mehrzahl von Transistorpaaren T11 und
T , T21, T23, ... Tg1 und Tg„, die zu Darlington-Schaltungen
zusammengefügt und deren Kollektoren voneinander getrennt sind. Als Gesamtergebnis gibt es dementsprechend
acht Torschaltungen auf dem Halbleiterkörper 50, wie sie
in Figo 4 durch die gestrichelte Linie 50a umrahmt sind.
Als nächstes soll unter Bezugnahme auf die Fig. 5a
bis 5d und Fig. 6 die Herstellung der erfindungsgemäßem
Schalteranordnung i η der Reihenfolge der einzelnen Fertigungsstufen
geschildert werden. Λ
Zunächst wird, wie in Fig. 5a dargestellt, ein Halbleiterkörper
50 als Unterlage vorbereitet. Dieser Halbleiterkörper 50 wird hergestellt, indem man mittels der Epitaxial-Technik
auf einer Oberfläche eines Halbleiterplättchens 20 aus p"^leitendem Silizium von beispielsweise 200 /U
Stärke eine Schicht 30 aus n+-leitendem Silizium mit einer
Stärke von beispielsweise k /U und eine Schicht kO aus nleitendem
Silizium mit einer Stärke von beispielsweise 10 /U aufwachsen läßt.
Als nächstes werden, wie in Fig. 5d dargestellt, un-
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ter Anwendung der Diffusionstechnik mit einem Film 18 aus
Siliziumoxyd als selektive Maske in ausgewählten Abschnitten des Halbleiterkörpers 50 p-leitende Schichten 5» 6 und
7 ausgebildet. Auf diese Weise erhält man die n-leitenden Bereiche 8, 9 und 10, die durch pn-Sperrschichten 100,
200 und 300 elektrisch voneinander isoliert sind, wie man in Fig. 6 ersehen kann.
Als nächstes werden, wie in Fig. 5c dargestellt, unter
Anwendung der Diffusionstechnik mit einem Film 18 aus
Siliziumoxyd als selektiver Maske p-leitende Bereiche 111, 112 und 113 in den η-leitenden Bereichen 8 und 9 ausgebildet,
die jeweils Basiszonen bilden, sowie ein p-leitender
Bereich Ilk in dem η-leitenden Bereich 10 zur Bildung
einer Widerstandsschicht· In diesem Fall wird die Anzahl der in dem Bereich 8 ausgebildeten p-leitenden Bereiche
111 durch die Anzahl der zu Darlington-Schaltungen vereinigten
Transistoren in der Torschaltung und die Anzahl der Tasten bestimmt. Bei dieser Ausführung beträgt, wie
die Figur zeigt, die Anzahl der miteinander zu einer Darlington-Schaltung vereinigten Transistoren zwei und die
Anzahl der Tasten acht, so daß insgesamt 16 Transistoren
in dem Bereich 8 ausgebildet werden. Die Anzahl der p-leitenden
Bereiche 113» die in dem Bereich 9 ausgebildet werden, ist gleich der Anzahl der Torschaltungen, d. h. in
dem vorliegenden Beispiel gleich acht·
Der in dem Bereich 10 gebildete Widerstandsbereich 1 16 dient zur Schaffung der Emitterwiderstände R1711 und
Rg 2, der in den Bereichen 8 und 9 liegenden Transistoren
T12 bzw. T13.
Wie die Fig. 5d zeigt, werden unter Anwendung der
Diffusionstechnik in den p-leitenden Bereichen 111, 112
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bzw. 113 zur Schaffung von Emitterzonen η-leitende Bereiche
161, 162 und 163 ausgebildet und außerdem p+-leitende Bereiche 151 und 152 geschaffen, um einen Teil der Bereiche
8 und 9 zu hochdotierten Kollektorschichten zu machen. Auf diese Veise werden, wie Fig. 5b zeigt, in dem
Bereich 8 npn-Transistören T11 und T12 erzeugt, während
in dem Bereich 9 ein npn-Transistör T _ entsteht. In der
Praxis werden die anderen Transistoren in den Bereichen 8 und 9 gleichzeitig mit den Transistoren T «, T1- bzw.
T gebildet.
Anschließend wird, wie in Fig. 5d gezeigt, der oxydische
Film 18 zur Heraueführung der Elektroden teilweise entfernt. Wie in Fig. 6 durch gestrichelte Linien angedeutet,
werden unter Verwendung von Aluminiumaufdampfung und
Photograviertechniken leitende Verbindungen zwischen den
Elektroden und den notwendigen Anschlußklemmen hergestellt. Dabei können leitende Schichten 120, 13O und 14O
geschaffen werden, um den Widerstandsanteil zwischen den Kollektorsperr»chichten und der Klemme C herabzusetzen.
Wie sich ohne weiteres aus der obigen Erläuterung ergibt, liegen bei einem Ausführungsbeispiel der Erfindung
eine Mehrzahl von Torschaltungen bildenden Transistoren
in den Bereichen 8 und 9 in einer Richtung mit konstantem gegenseitigem Abstand nebeneinander und sind durch sich
senkrecht zu dieser Richtung erstreckende gegenseitige Verbindungsleitungen miteinander verbunden. Man kann daher
die Gruppe der Basisanschlüsse 1B, 2B, 3B, ... der Gruppe der Emitteranschlüsse 1_, 2„, 3™» ···» an welche
die Tastenschalter anzuschließen sind, gegenüberlegen. Außerdem erstrecken sich in den elektrisch gegeneinander
isolierten Bereichen 8 und 9 jeweils hochdotierte Bereiche 151 bzw. 152 als Kollektorelektroden. So kann man ohne
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weiteres den Erdungsanschluß C1 für den Kollektor und die
Anschlußklemme C für den Lastwiderstand an willkürlichen,
weit von den Abschnitten entfernten Stellen anordnen, wo die Gruppe der Eingangsklemmen bzw. die Gruppe der Anschlußklemmen
für die Tastenschalter liegen. Im Ergebnis läßt sich also die Verdrahtung zwischen den einzelnen Elementen
und die zwischen der integrierten Schaltung und einer nach außen geführten Elektrode ohne weiteres ausführen.
Außerdem kann erfindungsgemäß die von einem elektrisch isolierten Bereich, beispielsweise dem Bereich 8, eingenommene
Fläche groß sein, und es besteht daher keine Notwendigkeit, viele solcher isolierter Bereiche herzustellen.
Dadurch läßt sich die Packungsdichte für die Elemente vergrößern. Obgleich der Übersichtlichkeit halber nur ein Einbau
von acht oder sechzehn Transistoren in einem einzelnen isolierten Bereich dargestellt ist, liegt es daher auf der
Hand, daß nötigenfalls wesentlich mehr Transistoren in einem einzigen isolierten Bereich ausgebildet werden können.
Außerdem ist es erfindungsgemäß nicht notwendig, Hochohm-Widerstände als Vorspannungswiderstände zu schaffen.
Da hauptsächlich Transistoren, die einen geringeren Flächenbedarf als Widerstandselemente aufweisen, zum Einsatz
kommen, ergibt sich eine hohe Montagedichte für die Transistoren. Daher lassen sich sehr viele Torschaltungen
auf einem einzigen Halbleiterplättchen unterbringen.
Bei dem Ausführungsbeispiel sind zwar die Isolierungen der Bereiche durch eine pn-Sperrschicht bewirkt, jedoch
läßt sich ohne weiteres an deren Stelle für den gleichen Zweck auch ein Film aus Siliziumdioxyd verwenden.
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Die Erfindung ist daher selbstverständlich nicht auf eine Isolierung mit Hilfe einer pn-Sperrschicht begrenzt.
Fig. k zeigt eine Schalteranordnung für eine elektronische
Orgel unter Verwendung einer in der oben beschriebenen Weise erhaltenen integrierten Schaltung, welche
Schaltung in Fig. h durch die gestrichelte Linie 50a umrahmt ist. In Fig. h sind mit den Bezuzahlen S1, S_,
... S„ Tongeneratoren bezeichnet, die rechteckförmige Signale
verschiedener Frequenz erzeugen. Das Bezugssymbol ™ RL bezeichnet einen Lastwiderstand, der eine Ausgangsklemme
A aufweist. Der durch eine gestrichelte Linie hOa umrahmte Schaltungsteil stellt eine Schaltung zur Erzeugung
eines Steuersignals dar und enthält Widerstände R11»
R?1 ... Rq1 für die Steuerung der Anstiegszeit, eine Spannungsquelle
V 1f Tastenschalter K1, ... K«, die jeweils
den Tasten einer Klaviatur entsprechen, und eine Vielzahl von jeweils aus einem Kondensator und einem Widerstand
C11 und R12f C21 und R32* ··· C81 und R82 bestenenden
Zeitgliedern zur Erzielung des Halteeffektes. Durch Niederdrücken eines beliebigen Tastenschalters und damit
Schließen dieses Schalters wird die zugehörige Torschal- M tung in Betrieb genommen, und an der Ausgangsklemme A
erscheint das von dem zu der Eingangsklemme dieser Torschaltung gehörigen Tongenerator erzeugte Signal. Durch
gleichzeitiges Schließen mehrerer Tastenschalter entstehen an der Ausgangsklemme A kombinierte Signale; so ergibt
sich beispielsweise durch Schließen der Tastenschalter K und Kq ein Mischsignal, das aus den Signalen der Tongeneratoren
S2 und Sq besteht, die gleichzeitig an der
Ausgangsklemme A auftreten.
Als nächstes soll die Arbeitsweise der in Fig. h ver-
109883/0521 BAD ORtGWAL
anschaulichten Schaltung mit mehr Einzelheiten nnter Bezugnahme
auf die Fig. 2 erläutert werden, in der eine Torschaltung im einzelnen dargestellt ist. Dabei führen die
in Fig. 2 angegebenen Kenngrößen für die einzelnen Bauelemente zu einer befriedigenden Arbeitsweise der Schaltung
nach Fig. 4, sie sind jedoch lediglich als Beispiele zu verstehen.
Im Vergleich zu der Schaltung nach Fig. 1 liegt das Hauptkennzeichen der Schaltung nach Fig. 2 in der Tatsache,
daß die Transistoren T . und T12 zu einer Darlington-Schaltung
mit gemeinsam geerdetem Kollektor zusammengeschaltet sind und daß zur Trennung der Kollektoren der Transistoren
T? und T « voneinander im Kollektorzweig des ausgangsseitigen
Transistors T10 ein Lastwiderstand Rx eingefügt
ist, der unmittelbar mit dem Transistor T- verbunden ist, wodurch eine sogenannte Darlington-Schaltung mit getrenntem
Kollektor entsteht. Der durch die gestrichelte Linie 50b in Fig. 2 umrahmte Schaltungsteil stellt eine Torschaltung
mit drei Transistoren T11, T1- und T _ dar. Der
in FIg, 2 mit der gestrichelten Linie 40b umrahmte Schaltungsteil
ist eine Schaltung zur Erzeugung von Steuersignalen, die der Torschaltung ein Öffnungssignal zuführt.
Bei einer solchen Schaltungsanordnung liegt ständig ein Ausgangssignal β vom Tongenerator an der Eingangsklemme E an. Ist der unmittelbar mit der Taste der Klaviatur
gekoppelte Tastenschalter K offen, so leiten die Transistoren T , T _ und T _ nicht. Die Verstärkung des
Transistors T „ ist Null, und es erscheint nahezu kein Ausgangssignal an der Ausgangsklemme A. In diesem Falle
wir' das Eingangssignal von dem Tongenerator über die
Kollekfcor-Basis-Kapazitäten C und C der Transistoren
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T. und T geerdet und durch die hohe Impedanz dieser
Tranaistoren abgeschwächt. Daher gelangt nahezu kein Signal an die Basis des Transistors T1-. Als Ergebnis davon
wird der Spannungspegel durch das Lecksignal, das an der Ausgangsklemme A erscheint, wesentlich herabgesetzt
und damit das Ein-Aus-Verhältnis des Schalters wesentlich
erhöht.
Ist der Tastenschalter K offen, so liegt zwischen der Eingangsklemme E und dem Emitter des ausgangsseitigen
Transistors T1- eine Spannung, die dem Emitter des Transistors
T- eine Vorspannung in Rückwärtsrichtung aufprägt. Da die Emitter-Basis-Strecken der drei Transistoren T11,
T„ und T1- in Serie zueinander liegen, beträgt die an
der pn-Sperrschicht zwischen der Basis unddem Emitter jedes
Transistors anliegende Spannung nur 1/3 des bei einem einzigen Transistor auftretenden Wertes. Dementsprechend
kann eskaum zu einem Durchbruch bei einem Transistor kommen.
Wird ein bestimmtes Tonsignal verlangt, so wird der zugehörige Tastenschalter K geschlossen, wodurch die entsprechenden
Transistoren T11, T- und T _ leitend werden.
Damit wird das Signal e des Tongenerators als Ausgangssignal e an die Ausgangsklemme A übertragen.
Die Emitterwiderstände R„.,., und R1,.,- bewirken nicht
nur eine Stabilisierung der Vorspannung, sondern vermindern außerden die während der Ausschaltperiode der Transistoren
T1, T2 und T1- am Ausgangstransistor T- anliegende
Signalspannung merklich und verbessern dadurch das Ein-Aus-Verhältnis der Schalteranordnung weiter erheblich.
Wie oben beschrieben, ist die erfindungsgemäße Schal-
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tungsanordnung dadurch gekennzeichnet, daß eine Mehrzahl von Transistoren zu Darlington-Schaltungen mit getrennten
und geerdeten Kollektoren zusammengefügt ist. Das Ein-Aus-Verhältnis der Schalter nimmt zu und die Gefahr eines
Durchbruchs der Emitterstärke der Transistoren wird ausgeschaltet,
ohne daß es dazu des Einsatzes von Hochohm-Vorspannungswiders tänden bedürfte.
Obgleich in der obigen Beschreibung eine Schalteranordnung behandelt worden ist, die eine Vielzahl von in integrierter
Schaltungstechnik ausgeführten Torschaltungen
aufweist, die jeweils aus drei Transistoren bestehen, so versteht es sich doch von selbst, daß man einen weiteren
Transistor T . hinzufügen kann, wie dies in Fig, 3a veranschaulicht
ist, so daß man dann insgesamt vier Transistoren hat. Dadurch ergibt sich eine hinsichtlich des Ein-AusVerhältnisses
und der Emitterdurchbruchspannung weiter merklich verbesserte Schaltung. Für den gleichen Zweck
kann man auch, wie in Fig. 3b veranschaulicht, eine Diode D1 einfügen, und außerdem kann es von Vorteil sein, wie
in Fig, 3c veranschaulicht, die ausgangsseitigen Transistoren
T _ und Tr in Darlington-Manier zusammenzuschalten.
Diese Abwandlungen der erfindungsgemäßen Schalteranordnung bringen keine Schwierigkeiten mit sich, auch in
diesem Falle läßt sich durch die oben beschriebene oder eine sonst für den Aufbau von integrierten Schaltungen bekannte
Verfahrensweise ohne weiteres eine ausgezeichnet arbeitende Schalteranordnung im Sinne der Erfindung erhalten.
Darüber hinaus lassen sich auch ohne weiteres noch weitere Abänderungen treffen, ohne den Bereich der Erfindung
zu verlassen.
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Claims (1)
- ■ΟPatentansprüche1. Schalteranordnung mit einem halbleitenden Substrat, das zwei elektrisch gegeneinander isolierte halbleitende Bereiche, von denen der erste als gemeinsame Kollektorzone für eine erste Gruppe von Transistoren und der zweite als gemeinsame Kollektorzone für eine zweite Gruppe von Transistoren dient, mehrere Anschlüsse für die Zuführung von Eingangssignalen und eine Lastimpedanz enthält, dadurch gekennzeichnet, daß die Emitterzonen der Transistoren der ersten Gruppe jeweils mit den Basiszonen der Transistoren der zweiten Gruppe verbunden sind, daß die Anschlüsse für die Zuführung der Eingangssignale so geschaltet sind, daß jede Basiszone der Transistoren der ersten Gruppe ein eigenes Signal zugeführt erhält, und daß die Lastimpedanz zwischen die beiden halbleitenden Bereiche eingeschaltet ist.2. Schalteranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in dem ersten halbleitenden Bereich eine dritte Gruppe von Transistoren ausgebildet ist, die diesen Bereich zur gemeinsamen Kollektorzone haben, deren Basiszonen einen räumlichen Abstand von den Basiszonen der Transistoren der ersten Gruppe aufweisen und deren Emitterzonen jeweils mit den Basiszonen der Transistoren der ersten Gruppe verbunden sind, und daß die Anschlüsse für die Zuführung der Eingangssignale jeweils mit den Basiszonen der Transistoren der dritten Gruppe verbunden sind.3. Schalteranordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch109883/0521gekennzeichnet, daß in dem halbleitenden Substrat ein dritter, von den beiden ersten halbleitenden Bereichen elektrisch isolierter halbleitender Bereich ausgebildet ist, der mehrere Widerstandsschichten enthält, die jeweils zwischen entsprechende Paare von Emitterzonen der Transistoren der ersten Gruppe und der Transistoren der zweiten Gruppe eingeschaltet sind.k. Schalteranordnung nach Anspruch 3, mit einer Anzahl von zusätzlichen Steuersignalkreisen, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereignalkreise jeweils an Zwischenabschnitten der entsprechenden Widerstandsschichten angeschaltet sind.5» Schalteranordnung nach Anspruch kt dadurch gekennzeichnet, daß jeder der Steuersignalkreise eine mit einem Ende an ein gemeinsames Bezugspotential angeschlossene gemeinsame Spannungsquelle, einen zwischen das andere Ende der Spannungsquelle und dem Zwischenabschnitt der entsprechenden Widerstandsschicht eingeschalteten Schalter, einen zu dem Schalter parallel liegenden Kondensator und einen zwischen dem gemeinsamen Bezugspotential und der entsprechenden Widerstandsschicht eingefügten Widerstand umfaßt»6. Schalteranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5» dadurch gekennzeichnet, daß die gemeinsame Kollektorzone der Transistoren der ersten Gruppe mit dem gemeinsamen Bezugspotential verbunden ist.10 9883/0521Leerseite
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US3846821A (en) * | 1968-11-04 | 1974-11-05 | Hitachi Ltd | Lateral transistor having emitter region with portions of different impurity concentration |
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US3765747A (en) * | 1971-08-02 | 1973-10-16 | Texas Instruments Inc | Liquid crystal display using a moat, integral driver circuit and electrodes formed within a semiconductor substrate |
US3995307A (en) * | 1973-12-28 | 1976-11-30 | International Business Machines Corporation | Integrated monolithic switch for high voltage applications |
US3941940A (en) * | 1974-12-06 | 1976-03-02 | Rca Corporation | Transient suppressor |
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US3103599A (en) * | 1960-07-26 | 1963-09-10 | Integrated semiconductor representing | |
US3209214A (en) * | 1961-09-25 | 1965-09-28 | Westinghouse Electric Corp | Monolithic universal logic element |
US3210677A (en) * | 1962-05-28 | 1965-10-05 | Westinghouse Electric Corp | Unipolar-bipolar semiconductor amplifier |
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