DE1758411A1 - Traeger fuer scheibenfoermige Gegenstaende,insbesondere Halbleiterscheibchen,und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents

Description

Quartz & Silice, Sooiete Anonyme, 8 Rue d'Anjou a Paris, Paris

"Träger für scheibenförmige Gegenstände, insbesondere Halbleiterscheibchen, und Verfahren zu seiner Herstellung"

Die Erfindung bezieht sich auf einen Träger zur Aufnahme von scheibenförmigen Körpern, insbesondere Halbleiterscheibchen, zur Behandlung in einer geregelten Atmosphäre und ggf. bei erhöhter Temperatur.

Der erfindungsgemäße Träger wird gebildet durch einen parallelepipedischen Hohlkörper aus chemisch inertem Material und von großer Reinheit, beispielsweise reinem Quarzglas, in welchem in regelmäßigen Abständen fenster ausgeschnitten sind, an deren zu der Hauptabmessung des parallelepipedischen Körpers senkrechten Seiten Kerben eingeschnitten sind, die zur Aufnahme der Scheiben, insbesondere der Halbleiter-

009885/0853

schell)chen In senkrechter Anordnung und parallel zueinander sowie zur Hauptabmessung des Hohlkörpers bestimmt sind.

In weiterer Ausbildung der Erfindung sind zur leichteren Handhabung des Trägers an seinen Enden Henkel angeschweißt, die durch ebenfalls angeschweißte Tersteifungsstreben verstärkt sind.

Zur Herstellung solcher Träger bedient man sich erfindungsgemäfi eines Verfahrens, gemäß dem man einen Satz von Schleifscheiben geeigneten Durchmessers und geeigneter Dicke parallel auf einer Achse und mit entsprechenden Abstanden montiert, um gleichzeitig in einem Arbeitsvorgang alle Kerben auf den beiden gegenüberliegenden Kanten des gleichen fensters herzustellen.

Die Erfindung soll im folgenden anhand eines in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispieles näher erläutert werden.

Die Zeichnungen zeigen in

Fig. 1 eine perspektivische Darstellung eines Trägers gemäß der Erfindung;

- 3 009885/0853

Fig. 2 einen vergröseerten TeilausBchnitt zur Wiedergabe eines Fensters mit einer in die Kerben eingesetzten Scheibe; und in

Fig. 3-6 die verschiedenen Herstellungsstufen eines Trägers gemäß der Erfindung.

Der Träger gemäß der Erfindung wird hergestellt, indem man von einem parallelepipedischen Hohlkörper 10 (Fig. 3) aus hitzebeständigem, chemisch inertem und außerordentlich reinem Material ausgeht, beispielsweise einem üohlprofil mit rechteckigem Querschnitt aus reinem Quarzglas. Die Vorteile von reinem Quarzglas für diesen Verwendungszweck sind beträchtlich, einesteils wegen seines für die betreffenden Vorgänge bemerkenswerten Verhaltens gegenüber Temperatur und Wärmeschlägen bei der Behandlung der in den erfindungsgemäßen Träger eingesetzten Scheiben und zum anderen Teil wegen jeglichen Fehlens einer Reaktionsfähigkeit und schließlich wegen seiner großen Reinheit, wodurch jegliche Verunreinigung des die zu'behandelnden Scheiben bildenden Materials, beispielsweise Halbleiter, verhindert wird.

Auf einer der großen Flächen dieses rechteckigen Hohlkörpers 10 schneidet man rechteckige Fenster 12 (Fig. 4) mit einer zur Achse des Hohlkörpers 10 parallelen Kante

- 4 009885/0853

aus. Diese Fenster können regelmäßigen oder auch unregelmäßigen Abstand aufweisen.

Auf den senkrecht zu der großen Abmessung des Hohlkörpers stehenden Kanten der Fenster 12 werden Kerben 14 (FIg* 5) eingeschnitten! deren Grüße gleich oder nur wenig größer als die Dicke der aufzunehmenden Scheiben ist, und deren Tiefe so gewählt wird, daß der Abstand des Bodens der einen Kerbe rom Boden der gegenüberliegenden Kerbe im gleichen Fenster nicht größer als der Scheibendurchmesser ist. Darüber hinaus sollen die Kerben 14 exakt einander auf den beiden gegenüberliegenden Seiten des gleichen Fensters gegenüberliegen. Sie können mit den Kerben in den anderen Fenstern auegefluchtet sein.Dies ist jedoch nicht unbedingt erforderlich. Die Kerben 14 dienen, wie aus Fig. 2 erkennbar, der Aufnahme der Scheiben 16, die senkrecht, parallel zueinander und parallel zur großen Abmessung des Hohlkörpers 10 eingesetzt werden.

Zur leichteren Handhabung des Trägers werden an die Enden des Hohlkörpers 10 (Flg. 6) Henkel 18 angeschweißt, die selbst wieder durch in gleicher Welse angeschweißte Streben 20 rerstärkt sind.

Flg. 1 zeigt einen fertigen Träger, Fig. 2 läßt eine in die entsprechenden Kerben im Träger eingesetzte Scheibe erkennen.

- 5 -009885/0853

Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung dieser Träger, das dadurch gekennzeichnet ist, daß man die Kerben auf den Kanten der Fenster mit Hilfe eines Satzes von Schleifwerkzeugen, beispielsweise Diamantschleifwerkzeugen herstellt, die entsprechenden Durchmesser und entsprechende Breite aufweisen und auf der gleichen Achse parallel zueinander und in solchem Abstand montiert sind, daß gleichmäßig bei einem einzigen Durchgang alle Kerben auf beiden Seiten des gleichen Fensters hergestellt werden.

Selbstverständlich kann die Erfindung abgeändert werden, insbesondere hinsichtlich des Profilquerschnittes, der viereckig, rechteckig, oval, halbkreisförmig usw. sein kann.

- Patentansprüche: -

009885/0853

Claims (3)

1. Patentansprüche

   1y Träger zur Aufnahme von scheibenförmigen Gegenständen, Insbesondere Halbleiterscheibchen, die einer Behandlung in gesteuerter Atmosphäre und gegebenenfalls bei erhöhter Temperatur zu unterwerfen sind, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger aus einem parallelepipedischen Hohlkörper (10) chemisch inertem Material von großer Reinheit besteht, daß in den Hohlkörper (10) in gegebenenfalls regelmäßigen Abständen Fenster (12) eingeschnitten sind, deren senkrecht zur Längsabmessung des parallelepipedischen Körpers verlaufende Kanten Kerben (14) zur Aufnahme der scheibenförmigen, senkrecht angeordneten, parallel zueinander und zur Größenabmessung des Hohlkörpers (10) stehenden Scheiben (16) aufweisen.
2. 2. Träger nach Anspruch 1, dadurch ge kennzeich net, daß der parallelepipedische Hohlkörper (10) aus einem mit rechteckigem Querschnitt hergestellten Quarzglasprofilkörper besteht.
3. 3. Träger nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeich net durch an den Enden des Trägers angeschmolzene oder angeschweißte Henkel (18), die durch ebenfalls angeschweißte oder angeechmolsene Querstreben (20) versteift sind.

   09885/0853

   Ί 7 5 8 A11

   Verfahren zur Herstellung des Trägers nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Kerben (14) in den beiden gegenüberliegenden Kanten des gleichen Fensters (12) des Hohlkörpers (10) mittels eines Satzes von auf der gleichen Achse und im geeigneten Abstand voneinander angeordneten Schleifwerkzeugen geeigneten Durchmessers und geeigneter Dicke hergestellt werden.

   009885/0853