DE1741856U

DE1741856U - Einrichtung zur kontinuierlichen bedampfung von folien.

Info

Publication number: DE1741856U
Application number: DES19491U
Authority: DE
Original assignee: Siemens Schuckertwerke AG; Siemens AG
Current assignee: Siemens Schuckertwerke AG; Siemens AG
Priority date: 1956-02-16
Filing date: 1956-02-16
Publication date: 1957-03-21

Description

Einrichtung zur kontinuierlichen Bedampfung von Folien Bei der kontinuierlichen Vakuumbedampfung von Folien, vor allem von Metallfolien mit Isolier-, insbesondere Glasschichten, bereitet die Erfüllung folgender Forderungen Schwierigkeiten : Kühlung der Trägerfolie, kontinuierliche Beschickung der Verdampferschiffchen, laufende Überwachung der Dicke und Zusammensetzung der aufgedampften Schicht.
Die neue Einrichtung zur kontinuierlichen Bedampfung von Folien wird diesen Forderungen gerecht. Die Lösung besteht darin, daß die Folie von einer Vorratstrommel durch eineAusheizvorrichtung hindurchgeführt und über eine flüssigkeitsgekühlte Trommel geführt und dort dem aus den Verdampfern austretenden Dampfstrahl ausgesetzt und dann über eine Aufdampfüberwachungseinrichtung auf die Aufwickeltrommel geführt ist (Fig. 1).
Einzelheiten der neuen Einrichtung ergeben sich aus der Zeichnung ; es zeigt Fig. 1 die Gesamtanordnung der Einrichtung, Fig. 2 und Fig. 3 zwei Ausführungen einer Anordnung zum kontinuierlichen Beschicken der Verdampferschiffchen.
Die gesamte Einrichtung ist in dem Vakuumbehälter 1 untergebracht.
Sie besteht im wesentlichen aus folgenden Teilen ; aus der Vorratstrommel 2, der Ausheizungsvorrichtung 3, die z. B. als Strahlungsheizung ausgeführt sein kann, den Führungswalzen 4, der wassergekühlten Trommel 5, den Verdampferschiffchen 6, dem Schauglas 7, der Optik 8 und der Aufwickeltrommel 9. Der Anschlußstutzen für den Anschluß der Vakuumpumpe ist bei 10 angegeben. Die Folie wird von der Vorratstrommel zur Oberflächenreinigung durch die Ausheizungsi vorrichtung hindurch und über die Führungswalzen auf die wassergekühlte Trommel geführt. Dort erfolgt die Bedampfung und gleichzeitige Kühlung der Folie. Nach der Bedampfung durchläuft die Folie eine bei 8 angedeutete optische Überwachungseinrichtung für die Schichtdicke und die Zusammensetzung der aufgedampften Schicht, wie sie an anderer Stelle vorgeschlagen und im einzelnen beschrieben worden ist. Die Einrichtung beruht auf der Ausnutzung von Interferenzen gleicher Neigung. Aus der für Interferenzen gleicher Neigung an planparallelen Platten gültigen Gleichung :

sin2 ß - () 2

2 d

werden durch Messung von mindestens zwei Winkeln ß bei mindestens zwei verschiedenen Wellenlängen X die gesuchten Werte für n und d ermittelt. Aus dem Brechungsindex (n) kann auf die Zusammensetzung der Schicht rückgeschlossen werden. In der obigen Gleichung bedeutet : ß Winkel zwischen Beobachtungsrichtung und Flächennormale auf die Schicht n Brechungsindex z Ordnungszahl Wellenlänge des beobachteten Lichtes d Schichtdicke Dieses Verfahren ist nur anwendbar bei dünnen, schwach absorbierenden Schichten, d. h. bei solchen Schichten, deren Absorption des sichtbaren Lichtes die Erfassung von Interferenzen gleicher Neigung ermöglicht.
Bei Schichten, die diese Voraussetzung nicht erfüllen, kann auf eines der früher bekanntgewordenen Verfahren zur Messung von Schichtdicke und Brechungsindex zurückgegriffen werden, z. B.-wenn es sich um elektrisch leitende Schichten handelt-auf eine Einrichtung, die auf der Messung des elektrischen Widerstandes beruht.
Anschließend erfolgt die Aufwicklung der Folie auf die Trommel 9.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform der neuen Einrichtung ist die Kühltrommel als Transporttrommel ausgebildet und die Folie unter konstanter Zugspannung gehalten, so daß sie auf der Transporttrommel haftet. Die konstante Zugspannung der Folie kann so erreicht werden, daß der Antrieb der Aufwickeltrommel im einstellbaren Drehzahlbereich ein konstantes Drehmoment aufweist und hierzu über eine mechanische oder elektrische oder magnetische Rutschkupplung ausgeführt ist.
In Fällen, bei denen das Verdampfungsgut nicht stabförmig oder in Drahtform vorliegt, erfolgt die Beschickung der Verdampferschiffchen durch Anordnungen, wie sie in den Fig. 2 und 3 angegeben sind.
In den Fig. 2 und 3 bedeuten 21 das Verdampferschiffchen, 22 den Vorratsbehälter, 23 eine Förderschnecke für das Verdampfungsgut.
Die Antriebsrichtung ist jeweils durch einen Pfeil angegeben. Die Anschlüsse für den Heizstrom sind mit 24 bezeichnet. Die Anordnung nach Fig. 2 wird für Verdampfungsgut verwendet, das aus der Schmelze verdampft, die Anordnung nach Fig. 3 für sublimierendes Verdampfungsgut. Wie man aus den Fig. 2 und 3 entnimmt, besteht der Unterschied der beiden Anordnungen allein darin, daß im Falle der Fig. 2 die Förderschnecke S am oberen Rand der Stirnseite des Verdampferschiffchens einmündet, während sie im Falle-der Fig. 3 am unteren Rand in das Verdampferschiffchen eintritt und dieses in seiner Längsrichtung durchsetzt.
Die neue Einrichtung läßt sich besonders zur kontinuierlichen Bedampfung von Metallfolien anwenden. Darüber hinaus ist sie auch zur Bedampfung von nichtmetallischen Folien, z. B. von Glas-und Kunststoffolien,-gegebenenfalls mit geringfügigen Abänderungengeeignet.
8 Schutzansprüche 3 Figuren

Claims

Schutzansprüche 1. Einrichtung zur kontinuierlichen Bedampfung von Folien, dadurch gekennzeichnet, daß die Folie von einer Vorratstrommel durch eine Ausheizungsvorrichtung hindurchgeführt und über eine flüssigkeitsgekühlte Trommel geführt und dort dem aus den Verdampfern austretenden Dampfstrahl ausgesetzt und dann über eine Aufdampf-Überwachungseinrichtung auf die Aufwickeltrommel geführt ist (Fig. 1).
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kühltrommel als Transporttrommel ausgebildet und die Folie vorzugweise unter konstanter Zugspannung gehalten ist, so daß sie auf der Transporttrommel haftet. j.
Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die konstante Zugspannung der Folie dadurch erreicht ist, daß der Antrieb der Aufwickeltrommel im einstellbaren Drehzahlbereich ein konstantes Drehmoment aufweist.
4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Antrieb der Aufwickeltrommel über eine mechanische oder elektrische oder magnetische Rutschkupplung ausgeführt ist.
5. Einrichtung nach den vorhergehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, daß für die Verdampfer eine kontinuierliche Beschickung vorgesehen ist.
6. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die kontinuierliche Beschickung durch eine Förderschnecke bewerkstelligt ist (Fig. 2 und 3).
7. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Aufdampfung von schwach absorbierenden Schichten eine optisch wirkende Überwachungseinrichtung vorgesehen ist, bei der durch Erfassung von Interferenzen gleicher Neigung die Schichtdicke und der Brechungsindex der aufgedampften Schicht ermittelt und anhand des letzteren die Zusammensetzung der Schicht überwacht wird.
8. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß zur Überwachung der Dicke und Zusammensetzung von elektrisch leitenden Aufdampfschichten eine an sich bekannte, auf der Messung des elektrischen Widerstandes der Schicht beruhende Einrichtung vorgesehen ist.