DE1671092A1 - Verfahren zur Herstellung eines dichten Formkoerpers auf der Basis von SIC - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines dichten Formkoerpers auf der Basis von SIC

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DE1671092A1
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DE
Germany
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sic
preform
silicon carbide
silicon
molded body
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DE19671671092
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Ernst Dr Gugel
Richard Prof Dr Kieffer
Adolf Dr Schmidt
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Schneider & Co
Original Assignee
Schneider & Co
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/56Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides
    • C04B35/565Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides based on silicon carbide
    • C04B35/573Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides based on silicon carbide obtained by reaction sintering or recrystallisation

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Description

  • Verfahren zur Herstellung eines dichten Formkörpers auf der Basis von SiC Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung von weitgehend dichten, mindestens 95% Siliciumkarbid enthaltenden Formkörpern.
  • Es ist bekannt, Siliciumkarbid mit keramischen Stoffen verschiedener Art zu binden. Bei höheren Gehalt eines verhältnismäßig früh sinternden Bindemittels gelingt es, weitgehend dichte Siliciumkarbid-Erzeugniese mit einem Gehalt von ca. 80 - 90% SiC herzustellen. Allerdings sind Eigenschaften dieses Produktes überwiegend von den Eigenschaften des Bindemittels bestimmt.
  • Es ist ferner bekannt, Siliciumcarbid mit Hilfe von giliciumnitrid oder Silieiumoxynitrid zu binden. Man erhält damit im Vergleich zu den mit keramischer Bindung hergestellten Körpern feuerbeständigere Körper, muß aber in Kauf nehmen, daß diese Körper immer porös sind. Reine Siliciumkarbidkörper lassen sich nicht, wie oxydische Stoffe, dicht sintern. Selbst bei Anwendung höchster Drücke erhält man immer poröse Körper.
  • Mit Hilfe des allerdings sehr kostspieligen HeißpreB-verfahrens gelingt des nur bei Zugabe von mehreren Prozenten metallischen Aluminiums oder metallischen Eisens dichte Siliciumkarbid-Verbundkörper herzustellen, welche eine sehr gute Festigkeit aufweisen (R. A. Alliegro, L.B. Coffin und J.R. Tinklepaugh: J. Am. ceram. soc. 39 2956, 386).
  • Ähnliche Ergebnisse wurden auch bereits durch Zugabe von 10 - 20% Bor erzielt (I.S. Kajnarskij, E.V. Begtjareva, V.A. Kuhtenko, Ogneupory 25, 1960, 562). Das Heißpressen macht Temperaturen von mehr als 2.200°C erforderlich und eignet sich nur zur Herstellung sehr einfacher, kleiner Formkörper. Dieses Verfahren ist nicht nur sehr kostspielig, sondern führt auch zu Formkörpern, die einer Nachbearbeitung nicht mehr in Wirtschaftlicher Weise zugängig sind. Nur mit großem Kostenaufwand, beispielsweise unter Verwendung von Diamanten, kann man die ,nach diesem Verfahrsn hergestellten Formkörper bearbeiten.
  • Es ist auch bereits bekannt, Siliciumkarbid-durch eine Matrix von aus Kohlenstoff und Silicium neu gebildetem Siliciumkarbid zu binden. Dies geht bereits bei Temperaturen ab 2 500°C vor sich und verlangt eine sauerstofffreie Atmosphäre. . Auch mit diesem Verfahren können aber nur poröse Körper hergestellt werden. Die Porosität dieser Körper ist verhältnismäßig sehr groß. Es gehört ferner zum Stande der Technik, einen porösen Körper aus Siliciumkarbid und Kohlenstoff mit Siliciumdampf zu behandeln, wobei sich der eindringende Siliciumdampf mit dem sich schon im Körper befindlichen Kohlenstoff zu Siliciumkarbid umsetzt. (P. Popper, Spec. Ceram. 1960, 209; DBP 1 090 565; britische Patentschrift 828 2i1).
  • Die vorgegebene Kohlenstoffmenge muß entsprechend dem Porenraum exakt gewählt werden, um eine weitgehendste Ausfüllung der Poren zu gewährleisten und andererseits zu verhindern, daß die Oberfläche vorzeitig dicht wird. Statt den Kohlenstoff zuerst einzubringen, kann er auch durch nachträgliche Zersetzung organischer Substanzen, z.B. Furfurolharzen, in den porösen Siliciumkarbidformling eingebracht werden. Dieses Verfahren, das ebenfalls zum Stande der Technik gehört, hat den Vorteil, daß damit der Porenraum bereits verkleinert wird, jedoch ist meiste eine mehrmalige langwierige Behandlung erforderlich.
  • Die Behandlung in Siliciumdampf macht eine Temperatur von 2000o - 23000C und das Arbeiten in einer Schutzgasatmosphäre erforderlich. Niedrigere Temperaturen können nur dann zur Anwendung gebracht werden, wenn im Vakuum gearbeitet wird.
  • Alle bekannten Verfahren zeigen somit eine Reihe von Nachteilen, die zu vermeiden Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist.
  • Es hat sich überraschenderweise gezeigt, daß es gar nicht notwendig ist, mit Silicium in der Gasphase zu arbeiten, daß man flüssiges Silicium zum Einsatz bringen kann. Erfindungsgemäß wird bei einem Verfahren zur Herstellung eines dichten Formkörpers aus über 95% SiC, bei dem ein aus einem Gemisch aus feinkörnigem SiC, Si und C durch Pressen, Pressen und Sintern oder Drucksintern ein poröser Vorkörper hergestellt und dieser Vorkörper erforderlichenfalls auf die Endmaße des herzustellenden Formkörpers bearbeitet worden ist, der Vorkörper bei 15000 - 16000C in sauerstofffreier Schutzgasatmosphäre mit flüssigem Silicium getränkt.
  • Es ist somit bei diesem Verfahren möglich, Temperaturen zum Einsatz zu bringen, die nicht wesentlich über dem Schmelzpunkt von Silicium liegen. Daraus ergeben sich apparative Vorteile gegenüber den zum Stande der Technik gehörenden Verfahren, bei denen Siliciumdampf zum Einsatz kommt. Diese technischen Vorteile bestehen in geringerem Energieaufwand und in einer weniger aufwendigen Ofenkonstruktion. Da dichtes Siliciumkarbid an sich ein sehr teures Material ist, spielen solche Verbilligungen in der Verfahrensführung und im apparativen Aufwand eine wesentliche Rolle.
  • Um das an sich bekannte Infiltartions- oder Tränkverfahren anwenden zu können, ist selbstverständlich eine ausreichende Benetzbarkeit des Ausgangskörpers durch die zu infiltrierende Flüssigkeit Voraussetzung. Diese Bedingungen sind überraschenderweise dann gegeben, wenn man die Atmosphäre, in der man im vorliegenden Falle arbeitet,, absolut sauerstofffrei hält. Es kann beispielsweise in einer Schutzgasatmosphäre, wie in einer Argonatmoophäre, gearbeitet werden. Ein Vakuum ist, was ebenfalls den apparativen Aufwand wesentlich verringert, nicht erforderlich. Nach Erreichen der angegebenen Infiltartionstemperatur wird das vorzugsweise als Preßling auf den Siliciumkarbid-Kohlenstoff-Formkörper aufgelegte, flüssige Siliciummetall rasch von diesem Formkörper eingesaugt und die Reaktion zu Siliciumkarbid ist schon nach wenigen Minuten beendet. Bei der Umsetzung von Silicium und Kohlenstoff zu Siliciumkarbid verkleinert sich das Volumen, so daß an sich erwartet werden könnte, daß nach beendeter Infiltration und abgeschlossener, anschließender Reaktion zu Siliciumkarbid ein sekundärer Porenraum entsteht. Es hat sich aber überraschenderweise gezeigt, daß dies nicht der Fall ist, sondern daß - wahrscheinlich durch eine Art Nachsaugeeffekt, weitgehendst dichte Siliciumkarbidkörper entstehen, wenn die vorgegebene Kohlenstoffmenge und das angebotene flüssige Silicium in ausreichender Menge vorhanden-ist.
  • Die Form des eingebrachten Kohlenstoffes ist nicht ganz ohne Einfluß auf das Endergebnis. Vorzugsweise wird in weiterer Ausbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens der Kohlenstoffanteil des Vorkörpers als kolloidaler Kohlenstoff in Form von Ruß zugesetzt.
  • Der poröse, bearbeitbare Vorformkörper läßt sich in verschiedener Weise herstellen. Seine Herstellung kann durch normales Sintern oder durch das aufwendigere Heißpressen erfolgen. Um die Sintertemperaturen nicht zu hoch halten zu müssen, ist es zweckmäßig, dem Ausgangskörper neben Siliciumkarbid und Kohlenstoff bereits etwas metallisches Silicium beizumischen, welches dann zusammen mit einem Teil des Kohlenstoffes neugebildetes Siliciumkarbid ergibt.
  • Bei Anwendung dieser Verfahrensstufe genügen zur Vorsinterung bereits Temperaturen von 14000 - 1500°C. Die Bindung kann dabei noch so schwach gehalten werden, daß der Vorkörper mit geringem Aufwand auf das exakte Endmaß bearbeitet werden kann. Es tritt nämlich beim nachfolgenden Verfahrensschritt keine Volumenänderung mehr auf.
  • Ist keine derartige Bearbeitung erforderlich und wird auf die Oberflächenbeschaffenheit geringerer Wert gelegt, so läßt sich der kalt verpreßte Körper unmittelbar gemäß der Erfindung mit flüssigem Silicium tränken. In weiterer Ausbildung der Erfindung liegt das Mischungsverhältnis der Ausgangsstaäe des Vorformkörpers vorzugsweise bei 75 - 0% SiC 30 - 75% C 0 - 35% Si Die einzige Figur der Zeichnung zeigt diese bevorzugten Grenzwerte im Dreistoffsystem SiC-C-Si entsprechend dem Polygon ABCDE. Innerhalb dieses Polygons kann man abhängig vom Raumerfüllungsgrad, den man beim Pressen erreicht, die Mischungen wählen und erhält dabei nach dem Tränken mit flüssigem Silicium einen praktisch 100% dichten Siliciumkarbidkörper. In der Zeichnung, ist ein Punkt F eingetragen, der das nachfolgend beschriebene Beispiel wiedergibt.
  • 50% SiC der Körnung 0 - 100 p wird mit 30% Kohlenstoff in Form von Ruß und 20% Silicium kleiner als 60 u gemischt. Die Mischung wird in einer Drucksinterpresse bei 1500°C 3 Minuten lang unter einem Druck von 150 kp/cm2 zu Formkörpern der Abmessungen 6 x 8 x 30 mm verpreßt. Diese Körper sind kreiddweich und lassen sich leicht verarbeiten, beispielsweise schleifen. Ihr Porengehalt liegt bei 45%.
  • Auf diese Körper werden 2,5 g schwere Preßlinge aus Si-Pulver gelegt. Die Körper mit den aufgelegten Si- Preßlingen werden in einen Kohlerohrkurzschlußofen eingesetzt. Sie werden dort kutzeitig in Argon-Atmosphäre auf 1500°C erhitzt und 15 Minuten auf dieser Temperatur gehalten. Dadurch ergibt sich eine weitgehend homogene Verteilung des Tränkmetalls. Nach dieser Behandlung zeigen die Stäbe eine glatte. glänzende Oberfläche, sind rißfrei und maßgetreu.
  • Ihr Raumgewicht beträgt 3,1 ; d.h. 96% der theoretischen SK-Dichte und ihre Kaltbiegefestigkeit beträgt im Mittel 2.410 kp/cm2.
  • Durch die Erfindung lassen sich also Formkörper aus SiC herstellen mit einer SiC-Raumerfüllung von über 95% bei einem Raumgewicht von mindestens 3,1. Sie zeigen metallischen Glanz und lassen sich mit Diamantkorn hochglanzpolieren. Die Biegefestigkeitswerte liegen zwischen 2000 und 3000 kp/cm2. Sie liegen damit höher als die Biegefestigkeitswerte bekannter gebundener SiliciumkarbidWerkstoffe. Die durchgeführten Versuche haben gezeigt, das die Abriebbeatändigkeit bis zu 25% günstiger ist als jene von dichtem heißgepreßtem Siliciumkarbid.

Claims (3)

  1. Patentans rp üche 1. Verfahren zur Herstellung eines dichten Formkörpers aus über 95% SiC, bei dem ein aus einem Gemisch aus _ feinkörnigem SiC, Si und C durch Pressen, Pressen und Sintern oder Drucksintern ein poröser Vorkörper hergestellt und dieser Vorkürper erforderlichenfalls auf die Endmaße des herzustellenden Formkörpers bearbeitet wird, dadurch g e k e n n z e i i h n e t, daa der Vorkörper bei 1500 - 1600°C in sauerstofffreier Schutzgasatmosphäre mit flüssigem Silicium getränkt wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n z e i c h -n e t, daß der Kohlenstoffanteil des Vorkörpers als Ruß zugesetzt wurde.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t, daß ein Vorkärper aus 75 - 0% SiC, 30 -75% C, e -35% Si verwendet wird.
DE19671671092 1967-06-05 1967-06-05 Verfahren zur Herstellung eines dichten Formkoerpers auf der Basis von SIC Pending DE1671092A1 (de)

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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2434790A1 (fr) * 1978-07-03 1980-03-28 Coors Porcelain Co Procede de preparation de corps ceramiques de carbure de silicium lie par reaction
EP0011841A1 (de) * 1978-12-04 1980-06-11 Forschungszentrum Jülich Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Siliciumcarbid-Formkörpern
EP0049447A1 (de) * 1980-10-02 1982-04-14 Forschungszentrum Jülich Gmbh Verfahren zum Herstellen von Formkörpern aus Siliziumkarbid oder Formkörpern aus Graphit oder graphitähnlichem Werkstoff mit einer aus Siliziumkarbid bestehenden Oberfläche
EP0064606A1 (de) * 1981-04-28 1982-11-17 Hoechst CeramTec Aktiengesellschaft Verfahren zur Herstellung eines homogenen Siliciumcarbid-Formkörpers
EP0322007A1 (de) * 1987-12-16 1989-06-28 ENIRICERCHE S.p.A. Verfahren zur Herstellung keramischer Komponenten
EP0334415A1 (de) * 1988-03-24 1989-09-27 ENIRICERCHE S.p.A. Verfahren zur Herstellung keramischer Teile
WO1999049523A1 (de) * 1996-09-18 1999-09-30 Deutsche Shell Aktiengesellschaft Keramisches substrat für kristalline silicium-dünnschicht-solarzellen

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