DE1640504A1

DE1640504A1 - Pruefgeraet zur Pruefung von Mikroschaltungen und Verfahren zur Herstellung von Kontaktfeldern fuer solche Pruefgeraete

Info

Publication number: DE1640504A1
Application number: DE19671640504
Authority: DE
Inventors: Ruoff Carl Edward; Baron David George
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Priority date: 1966-01-14
Filing date: 1967-01-12
Publication date: 1970-10-22
Also published as: GB1104090A; US3493858A; FR1508599A

Description

Prüfgerät zur Prüfung von Mikroschaltungen und Verfahren zur Hersteilung von Kontaktfeiderη für solche Prüfgeräte

Die Erfindung betrifft Prüfgeräte mit Kontaktkopf zur Prüfung von Mikroscholtungen. oolche Prüfgeräte dienen insbesondere zur Reihenprüfung von sehr kleinräumigen filekbroriiischen .jch?ilLungen, deren Konbnkfcbeläge in mikroakoj-inoh kleinen Abständen zueinander liegen, wie dies br--Lr:p:if}l nwfiiso bei auf Ililbl oiterplvittchen gruppenweise fmi^r,novrln(iten Dioden unf] Tranois boren aer Fall i.^c3t. Im all go-

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meinen dient als Grundkörper solcher Mikroschaltungen ein aus einem Isolator gebildetes Plättchen.

Mit fortschreitender Mikrominiaturisierung dotierter Flächen- und Schichtbereiche und mit der Entwicklung von Festkörperschaltungen, ergab sich die Möglichkeit zur Serienherstellung und wirtschaftlicher Fertigung sehr kleiner Dioden, Transistoren usw. auf Plättchen bzw. zur Serienherstellung komplizierter Festkörperschaltungen mit kleinen Grundkörpern. Häufig wurden dabei jedoch die Vorteile einer wirtschaftlichen Herstellung auf kleinem Raum durch die Frage aufgewogen, ob alle Bauelemente der auf solche Weise hergestellten Schaltungen brauchbar sind und wie eine Prüfung der Güte der jeweiligen Bauelemente erfolgen soll, wenn die Zahl der bei solchen Schaltungen vorhandenen Kontaktbeläge in die Hunderte geht und die einzelnen Kontaktbeläge in mikroskopischer Verteilung voneinander nur um 0,25 mm große oder sogar noch kleine^ Abstände getrennt sind. Normalerweise sind die üblichen elektromechanischen Prüfungen für solche sehr kleine elektronische Bauelemente ungeeignet.

Durch die Erfindung soll die Aufgabe gelöst werden, auch sehr kleinräumige elektronische Bauteile und Schaltungen zuverlässig elektrisch prüfen zu können, ohne daß Beschädigungen

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an den Prüflingen auftreten oder die Anschlußleitungen zwischen verschiedenen Kontaktbelägen kurzgeschlossen werden.

Deshalb beinhaltet die Erfindung in erster Linie ein verbessertes Prüfgerät und ein verbessertes Prüfverfahren für Miniaturbauelemente und Festkörperschaltungen«

Weiterhin beinhaltet die Erfindung einen pneumatischen Prüfkopf, der in Verbindung mit einem nach der Technik gedruckter Schaltungen aufgebauten Kontaktfeld arbeitet.

Im Sinne der Lösung der soeben .angegebenen Aufgabe beinhaltet die Erfindung ein Prüfgerät mit Kontaktkopf, insbesondere zur Prüfung von Mikroschaltungen, welches durch einen Prüflingshalter zur Halterung eines oder mehrerer zu prüfender, mit äußeren Kontaktbelägen versehener Mikroschal tungskörp er, ferner durch einen diesen Prüflingshalter gegenüberliegend angeordneten, von einer Membran überspannten Rahmen, an welchem eine Vielzahl von Leitungen gehaltert ist, deren jeweilige, mit Prüfkontaktbelägen versehene Leitungsenden in zur Anordnung der Prüflingskontaktbeläge kongruenter Anordnung aus einem im wesentlichen parallel zur Prüflingskontaktebene verlaufenden Teil der genannten Membran herausragen, und durch eine Einrichtung zur Aufblähung der

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genannten Membran gekennzeichnet ist, derart, daß sich die Prüfkontakte an die Prüflingskontakte anlegen.

Nach der Erfindung steht also ein kompakt aufgebauter, an einer nachgiebigen Membran befestigter Prüfkopf zur Verfügung, der durch Druckluft so aufgesetzt werden kann, daß die Prüfkontaktbeläge mit festem und gleichmäßigem Prüfdruck an die Prüflingskontaktbeläge angepreßt werden. Durch die Verwendung von Druckluft ist man in der Lnge, sich zweckmäßig an die jeweilige Art des verwendeten Kontaktmetalls und an durch Oxyd- oder andere Störschichten bedingte Kontaktverhältnisse anzupassen; dabei kann man ein stoßartiges Anpressen des Prüfkopfkontaktfeldes vorsehen, wenn sich dies als zweckmäßig erweist,, Es besteht die Möglichkeit jeweils einer leichten, starken oder stoßartigen Druckanwendung zum Anpressen der vorzugsweise gehärteten Prüfkontaktbeläge an die Prüflingskontaktbeläge, die meistens aus Metall, beispielsweise aus Aluminium, Molybdän oder Geld, bestehen, wobei jeweils vorhandene Oxydschichten aufgebrochen werden und oin guter Ohm¹scher Kontakt erzielt wird.

Die Erfindung zeichnet sich somit durch einen Früfkorf mit einem ünabhänp;ig von Unregelmäßigkeiten der Priifl ίηκν und von UngleichmäPdgkeiten des Prüfkopfcs n«^slb."1 -prhr gleichmäßigen auf viele Kontaktstellen gleiolirc i t if: ·ηΐ: -c b( rn

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Kontaktdruck aus. Bei dem Prüfgerät nach der Erfindung ist eine Beschädigung der Prüflinge ausgeschlossen, da der I-rüfdruck infolge der pneumatischen Steuerung gut und gleichmäßig verteilt ist.

'Teiterhin beinhaltet die Erfindung ein nach Art der Technik gedruckter Schaltungen aufgebautes Kontaktfeld für den Prüfkopf, dessen Prufkopfkontaktbeläge bzw, frei- ä liegende Kontaktflächen sehr kleine Abmessungen und geringe gegenseitige Abstünde voneinander haben und die zu den Kontaktbelägen der zu prüfenden Festkörperschaltungen nassen, d.h. die Anordnung der Prüfkontaktbeläge ist gemäß der Erfindung spiegelbildlich zu der Anordnung der Prüflingskontr'jktbeläge. Nach der Erfindung ist vorgesehen, daß das Präfkontaktfeld von einer sehr dünnen, dichten, nachgiebigen und durchsichtigen Kunststoffolie, beispielsweise einer "I.TLVR"-Folie, gehalten wird, die eine feste Auflage für das Eont'iKtfeld bildet und gleichzeitig durch Druckluft zur /ons,--.ν.fchorstellung aufgebläht werden kann,,

"mn· I der Erfindung ist die HaH, π rung des Prüfkont-iktf-I J-·-: durchsichtig. Dn die mitteln Druckluft aufbl^;ihb.->re inn f,-;toff membran bz'v» die·. Kun'sbrjtoHol i <·. ebnnfalLn durchsichtig i ', irjfc oino vinuel.l.e Beob'iohliun^ It ^njroriHe i. tii-^ η '"-UisrLch

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der einzelnen Teile möglich.. Der Vorteil der Verwendung einer solchen durchsichtigen Prüfkopfhalterung liegt darin, daß durch den durchsichtigen Prüfkopf hindurch eine unmittelbare mikroskopische Beobachtung des Prüflings möglich ist, so daß eine unmittelbare gegenseitige Ausrichtung der Kontaktbeläge des Prüfgerätes und des Prüflings ohne Verwendung von Richtmärken oder Ausrichtstiften oder anderer mechanischer Hilfsmittel möglich ist, welche gegebenenfalls die Ursache von Verzerrungen oder möglichen Fehlausrichtungen sein können, wenn sehr kleine Abstände eingehalten werden müssen. Da durchsichtige Kunststoffmembranen bzw_o Membranhalterungen gleichzeitig als Fenster oder Wandungsteile dienen können, ergibt sich der weitere Vorteil, daß die Andrückvorrichtung stabil aufgebaut sein kann und trotzdem die unmittelbare Beobachtung der Ausrichtung von Prüfkopf und Prüfling nicht behindert wird.

Ein weiteres Merkmal der Erfindung besteht darin, daß in der Prüfkopfmembran bzw. der Prüfkopfauflage strahlenförmig herausgeführte Ansohlußleitungen bzw, aufgedruckte .Anschlußleitungen vorgesehen sind, die von einem zentralen Prüfkontaktfeld ausgehen. Die herausgeführten Enden der An-F.ohLuPleitungeri blLden im Abstand voneinander gelegene Kontakte zum iUuJohluß Mui'erer Prüf- und AufV.eii'.hmm'Wgernte, auf Grund

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deren Messungen fehlerhafte Bauelemente oder Schaltkreise der Prüflinge angezeigt werden, so daß dieselben repariert oder ausgeschieden werden können.

Das Prüfgerät nach der Erfindung ermöglicht beispielsweise die unmittelbare reihenweise Prüfung und Erprobung zahlreicher, auf kleinen Plättchen angeordneter Halbleiterkreise sowie der zugehörigen Bauelemente. ä

Mit dem erfindungsgemäßen Prüfgerät können auch zahlreiche Festkörperschaltungen reihenweise geprüft und nacheinander erprobt werden. Die Prüfung der einzelnen Bauelemente aller solcher Schaltungen ist möglich, auch wenn deren Kontaktbeläge in mikroskopischen Abmessungen liegen.

Die Erfindung beinhaltet außerdem eine neuartige Technik zur Herstellung gedruckter Schaltungen, die für das Prüfkontaktfeld des erfindungsgemäßen Prüfgerätes geeignet sind und bei welchen die notwendigen Prtifkontaktbeläge frei liegen und mit Hartmetallkörnern, beispielsweise aus Rhodium, überzogen sind, damit mittels der Eontektbeläge des Prüfkopi'es etwaige Oxyd-, Verunreinigungs- oder Schmutzschichten der PrüflingskontaktbelHfre aufgebrochen werden, wobei insbesondere der Prüfkoyf durch pneumatische Betätigung schlagartig aufgesetzt werden knnn.

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Mittels des· Prüfgerätes nach, der Erfindung ist insbesondere auch, die reihenweise Prüfung und Erprobung miniaturisierter, auf kleinen Plättchen aufgesetzter elektronischer Logikschaltungen und die Prüfung einzelner Bauelemente solcher Schaltungen entweder gleichzeitig oder nacheinander je nach Art der jeweiligen Logikschaltungen möglich. Im Rahmen des nachstehend zu beschreibenden Aus-Ä führungsbeispieles wird die Prüfung einer Vielzahl von NOR-Kreisen erläutert, wobei jeweils die nacheinander erfolgende Anlegung der Prüfimpulse'und die Prüfung der verschiedenen aktiven Bauelemente jedes Kreises im einzelnen erläutert wird. Daraus ergibt sich das empfindliche Ansprechverhalten des erfindungsgemäßen Prüfgerätes im Rahmen jedes einzelnen Prüfvorganges bei Prüfung der Funktionstüchtigkeit der zu prüfenden Schaltungen.

Die Erfindung wird nachstehend in Verbindung mit

^ miniaturisierten elektronischen Bauelementen und Schaltungen erläutert. Man kann jedoch mit dem erfindungsgemäßen Prüfgerät auch Bauelemente und gedruckte Schaltungen anderer Art und beliebiger Größe prüfen und untersuchen.

Die genannten sowie weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Einzelbeschreibung bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung in Verbindung mit

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den zugehörigen Zeichnungen. Es stellen dar:

Figur 1 eine Teil-Seitenansicht eines Prüfgerätes

nach der Erfindung mit einer an einem Rahmen befestigten Kunststoffmembran und einem Prüflingshalter,

Figur 2 eine Seitenansicht einer abgewandelten Ausführungsform eines Prüfgerätes nach der Erfindung,

Figur 3 eine Aufsicht auf eine Prüfkopfmembran für das Gerät nach Figur 2,

Figur 4- eine schematische Ansicht einer weiteren Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Prüfgeräts,

Figur 5 eine Teileinzelansicht einer Prüfkopfmembran mit gedruckten Verbindungsleitungen und Kontaktbelägen,

Figur 6 eine Teileinzelansicht eines zu prüfenden

Halbleiterplättchens mit logischen Schaltungen, wobei die KontaktbelUge von drei dargestellten

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Schaltungsanordnungen spiegelbildlich zu den Kontaktbelägen des Kontaktfeldes der Prüfkopfmembran nach Figur 5 liegen, und

Figur 7 ein Schaltbild eines NOR-Schaltkreises des Prüflings nach Figur 6.

Die Erfindung wird nunmehr anhand verschiedener Ausführungsformen druckbetätigter, Prüfköpfe erläutert, mittels welcher ein in gedruckter Schalttechnik hergestelltes, Prüfkontaktbeläge aufweisendes Prüfkontaktfeld in Kontakt mit kleinräumigen elektronischen Schaltungen, beispielsweise Dioden, Transistoren oder Festkörperschaltungen gebracht werden kann, deren einzelne Bauelemente zeilen- und spaltenartig auf kleinen Halbleiterplättchen angeordnet sind. Durch die Erfindung wird also die Möglichkeit eröffnet, gleichzeitig eine große Anzahl von Prüfkontaktbelägen mit einer Vielzahl von Prüflingskontaktbelägen in Kontakt zu bringen, wobei alle diese Kontakte einen festen und gleichmäßig verteilten Kontaktdruck" aufweisen. Außerdem wird durch die Erfindung eine stoßartige Kontaktgebung ermöglicht, wodurch Oxyd- oder Schmutzschichten auf den sehr kleinen Kontaktbelägen durchbrochen werden. Die erfindungsgemäßenPrüfkopfmembranen können aus durchsichtigem Material hergestellt werden und ermöglichen

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damit eine visuelle Ausrichtung zwischen dem Prüfkontaktfeld und den Prüflingskontakfbelägen. Eine Beschädigung der Prüflinge ist ausgeschlossen, da die pneumatische Steuerung der Prüfkopfanpressung eine Berücksichtigung der Größe, des Werkstoffes und der Formgebung der Prüflinge gestattet. Der Prüfkontaktdruck ist in jedem Fall kräftig und gleichmäßig verteilt und in allen Fällen werden Unregelmäßigkeiten der Prüflinge und des Prüfkopfes ausgeglichen« Das gedruckte Kontaktfeld der Prüfkopfmembran entspricht hinsichtlich seiner Anordnung der jeweiligen Art der zu untersuchenden Prüflinge. Wenn also der Prüfling Kontakte aus hartem, rauhem und körnigem Kontaktmetall besitzt, sind zweckmäßig die Prüfkontaktbeläge aus einem weichen und glatten Material hergestellt; wenn umgekehrt die Kontaktbeläge des Prüflings aus einem vergleichsweise weichen Metall, beispielsweise aus niedergeschlagenem Aluminium bestehen, das eine ziemlich ebene Oberfläche bildet, die jedoch durch Witterungseinfliisse mit einer Oxydschicht überzogen wird, * dann verwendet man für die Prüfkontaktbeläge vorteilhafterweise ein hartes, körniges Material.

Bei dem in Figur 1 der Zeichnungen dargestellten Prüfkopf nach der Erfindung schließt sich an eine kreisförmige Deckplatte 29 eine aus einer Kunststoffolie gefertigte Hülle 27 an. Die Deckplatte 29 besteht normalerweise aus einer kreisförmigen Metall- oder Glasplatte. Die Kunststoffolie ist unten

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über einen Ring 32 gespannt und bildet so eine im wesentlichen ebene, membranartige untere Abschlußfläche. Innerhalb des Unterteils der Hülle 27 ist auf der Innenseite der horizontalen Fläche 26 ein Isolierkörper 35 befestigt, in welchem die Enden einer Anzahl herabgeführter Drähte 34 gehaltert sind. Diese Drähte 3^ laufen strahlenartig auf einem kleinen Bereich an der Unterseite des Prüfkopfes zu und endigen jeweils in nach unten vorragenden Kontaktspitzen 37· Die in der Zeichnung dargestellten Einzelleitungen können die Form einer ganzen Leitergruppe dünner Drähte haben, die im Bereich der Kontaktspitzen einen engen Abstand voneinander haben. Die Kontaktspitzen stehen einer Kontaktbelaggruppe eines Prüflings 25 gegenüber*. Dieser Prüfling ist in einem Halter 33 gehaltert, der angehoben und abgesenkt werden kann; dadurch kann man den Prüfling 25 in Kontakt mit den Kontaktspitsen 37 bringen.

Die Oberenden der Verbindungsleitungen 34 bzw. der Verbindungsleitergruppe ragen durch Isolierdurclifuhrungen hindurch und sind in einzelnen Anschlußlitzen .31 geführt, mittels welcher sie an Anschlußgeräte angeschlossen werden können, welche Prüfimpulse aussenden bzw. verarbeiten. Die Prüfimpulse gelangen aus den Verbindungsleitungen 34 in die Kontaktspitzen bzw. Kontaktbeläge derselben und werden so in den Prüfling ?5 eingespeist.

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Je nach Aufbau der zu prüfenden Schaltungen bzw_o der einzelnen Bauelemente des Prüflings 25 kann ein vorläufiger Kontakt schön nsch vorläufiger Ausrichtung desselben durch Anheben des Halters 33 zwecks Kontaktgabe mit den Eontaktbelägen 37 hergestellt werden. In anderen Fällen, in welchen eine mehr schlagartige Kontaktgebung erforderlich ist j ;;ird jedoch der Halter nur bis auf einen geringen Abs bend gegenüber den Kontaktbelägen angehoben und dann erfolgt ein Druckstoß, damit man eine Art Schlagwirkung erhült« Mes ist inabesondere dann erforderlich, wenn die Eon'u'-sktbelyge des Prüflings 25 angeschlagen werden müssen, da ,'itcreinflüsse beispielsweise in Form von ochmutz- oder Oxidschichten vorhanden sind»Zur Erzeugung eines solchen Druckschlages ist die Kunststoffolie 2^r/ mit einem Luftein- l-^riii f8 versehen, durch den hindurch eine Beaufschlagung mit dem gewünschten Druck möglich ist, so daß sich der Membranteil der Kunststoffhülle 27 mit Bezug auf die Deckplatte 29 nach unten bewegt. Die Deckplatte 29 steht normalerweise feste Diese Abwärtsbewegung führt die gesamte Unterfläche 26 der· Hülle nach unten und bewirkt einen gleichmäßigen Druck auf alle Prüfkopfkontaktbeläge, so daß alle Ungjeichmaßigkeiten des Prüflings, des Prüfkopfes oder des Halters durch die Nachgiebigkeit der Hülle 27, den Unterteils 26 und des Isolierkörpers 35 ausgeglichen werden und die Kontaktbeläge über die Gesamtfläche des Prüflings 25 hinweg einen festen

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Kontakt erhalten,. Die Anordnung der Prüflingskontaktbeläge ι entspricht derjenigen der Kontaktbeläge 37· -

Die erste Stufe der Kontaktgabe zwischen Prüf.ling und Prüfkopf sowie die schlagartige Druckluftbetätigung desselben ist jeweils den betreffenden Verhältnissen angepaßt. Diese Betriebsbedingungen können je nach Art und Festigkeit des Prüflings und je nach Bauart der zu prüfenden Schaltung geändert werden. Eine weitere Abwandlung der Ausfuhrungsform nach Figur 1 liegt darin, daß anstelle fester Drähte mit Kontaktspitzen 37 die Kunststoffhülle 27 auf der Außenseite ihres Membranteiles gedruckte Verbindungsleitungen und innerhalb ihrer horizontalen Unterfläche 26 gedruckte Schaltkreise aufweisen kann, welch letztere in das· Prüfkontaktfeld hineinragen, wobei die gedruckten Kontaktbeläge etwas erhöht angeordnet und gehärtet sind sowie kongruent zu den Kontakfcbelägen der zu prüfenden Bauelemente bzw. Schaltungen angeordnet sind. Die einzelnen Bauelemente des Prüflings 25 sind in an sich bekannter «/eise regelmäßig zeilen- und spaltenweise angeordnet, wna am zweckmäßigsten ist'e Die Anordnung kann jedoch auch anderer Weise sein; es muß lediglich die Bedingung erfüllt sein, daß die Prüflingskontaktbeläge und die Prüfkopfkontaktbeläge zueinander kongruent und spiegelbildlich sind, damit sie beim Zusammenbringen aufeinander passen.

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Die Figuren 2 und 3 zeigen eine abgewandelte Ausführungsform eines Prüfgerätes nach der Erfindung, das zusätzliche vorteilhafte Merkmale aufweist. Bei dieser Ausführung sform weist ein U-förmiger Nehmen 4-2 eine Fußplatte 55 und einen oberen horizontalen Schenkel mit einer Luftkeinmer 4-3 auf. Dieselbe ist mit einer fuEseitigen öffnung 54-versehen, über die eine Kunststoffmembran 36 gespannt ist, die in Figur 3 im Grundriß gezeigt ist. Die Kunststoffmembran 36 besteht aus ziemlich dünner "MYLAR"-FoIie in einer Dicke "von etwa 0,006 mm und entspricht in ihrem Aufbau und in ihrer Anwendung dem horizontalen Abschnitt 26 der Kunststoffhülle der Ausführungsform der Erfindung nach Figur 1. Gemäß der in Figur 2 dargestellten Ausfuhrungsform der Erfindung ist mit der Luftkammer 5^ sin Lufteinl&fi- und Absperrventil 4-4 verbunden, über welches Druckluft zum Andrücken der Membran 36 nach unten an die Oberfläche des Prüflings 35 eingeleitet werden kann« /feist der Prüfling eine regelmäßige Kontaktverteilung längs einer geraden Linie auf, dann befindet sich auf der Unterseite der Membran 36 eine gedruckte Schaltungs-_ anordnung gemäß Figur 3 mit einem inneren Kontaktfeld 38 j welches eine große Anzahl dicht nebeneinanderliegender . Kontaktbeläge oder Kontaktspitzen besitzt_# Diese Kontaktbeläge sind zu den Kontaktbelägen des Prüflings 25 kongruent, dessen Schaltung bzw, Bauelemente, beispielsweise Dioden oder Transistoren, durch Impulse geprüft werden sollen, die über die

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Verbindungsleitungen 39 in das Kontaktfeld des Prüfkopfes nach Figur 3 eingeleitet werden,, Die Verbindungsleitungen ~9 verlaufen fächerförmig von dem Kontaktfeld 38 aus in ein äußeres Anschlußkontaktfeld 40, in welchem weitere Anschlußleitungen 41 in der in Figur 2 gezeigten Weise angeschlossen werden können, die als Eingangs- und Ausgangsleiter für die Prüfimpulse dienen. Ein in vertikaler Richtung einstellbarer Halter für den Prüfling 25 weist ein Scherengestänge 51 mit einer Stellschraube 52 und einem Einstellknopf 53 auf. Auf dem Scherengestänge 51 sitzt eine Halteplatte 50 zur Aufnahme eines Ausrichtrahmens 49 für den Prüfling. Der Ausrichtrahmen 49 ist mit Ausrichtstiften 47 versehen, die in öffnungen 45 der unteren Stirnfläche der Luftkammer 43 passen,. Der Ausrichtrahmen 49 hält eine abnehmbare Auflageplatte 48, auf welcher der Prüfling zentriert so gehalten wird, daß seine Kontaktbeläge genau auf das Kontaktfeld 38 ausgerichtet sind, das wiederum ein Spiegelbild der Kontaktbeläge des Prüflings 25 darstellt.

Der PrüfVorgang erfolgt in der WeISe₁ daß der Prüfling auf den leicht abgesenkten Halter aufgesetzt wird, worauf der Halter zweckmäßigerweise entweder gleich dicht an die Unterseite der Prüfkopfmembran 36 oder in unmittelbare Berührung mit derselben gebracht wird. Daraufhin leitet man Druckluft in den Prüfkopf ein, die einen festen und gleich-

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mäßigen Eontaktdruck innerhalb des gesamten Kontaktfeides bev.irkto Indessen werden Prüf impulse über die Anschlußlei tunken 41 und die gedruckten Verbindungsleitungen 39 übertragene Das Luftsteuerventil 44 ermöglicht in der zuvor beschriebenen /,eise eine Änderung der Druckluftzufuhr je nach Art des jeweils zu prüfenden PrüflingSo Je nach der Bauart des Prüflings und seiner Bauelemente und Schaltung, insbesondere der Oberflächenbeschaffenheit der metallischen Kontaktbeläge mit metallischer oder oxydierter Oberfläche ™

erfolgt also je-z/eils ein langsamer Drucklufteinia£ oder ein schlag- bzw. stoßartiger Lufteinlaß„ iiormslerweise weist ein solcher Prüfling Bauelementschichten mit Kontaktbelägen aus vergleichsweise 'weichem Metall, beispielsweise Aluminium, ilol,7b-ll."n oder Gold auf. Die Prüfkopf schaltkreise und insbesondere die Prüfkopfkontaktbeläge innerhalb des Kontaktfeldes bestehen normalerweise aus einer gedruckten Schaltung mit einer Kupferunterschicht, deren Kontaktflächen mit Gold überzogen und dann mit einem vergleichsweise harten Überzugsstoff | belegt sind, beispielsweise mit Rhodium, das eine rauhe, körnige Außonschicht zeigt. Diese Anordnung ist für eine Schlagkontaktgebung besonders geeignet, wenn eine üchmutz- oder Oxidschicht auf den Kontaktbelägen des Prüflings durchdrungen werden muß, damit ein guter elektrischer Kontakt zwischen dem Prüfling und dem Prüfkopf gesichert ist. Dann kann man die

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notwendigen Prüfimpulse in den Prüfling einleiten und entsprechende elektrische Ausgangssignale gewinnen, die entweder eine einwandfreie oder ungenügende bzw. fehlerhafte Beschaffenheit der jeweiligen Bauelemente des Prüflings erkennen lassen,,

Bei der Ausführungsform des Prüfgerätes nach den Figuren 2 und 3 der Zeichnungen haben die Kontaktbeläge innerhalb des Kontaktfeldes 38 jeweils eine Abmessung von etwa 0,12 mm und einen gegenseitigen Abstand von etwa 0,1 mm. Die "MYLAR"-Membran 36 ist etwa 0,01 mm bis 0,05 mm dick. Diese Membran kann auch aus einer anderen Kunststoffolie bestehen. Die Größe des angewandten Luftdruckes liegt

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normalerweise zwischen 0,14 kp/cm und 0,7 kp/cm .

Aus der Beschreibung der Figuren 1,2 und 3 erkennt man, daß das Prüfgerät nach der Erfindung und die betrachtete Arbeitsweise sich zur Prüfung einer großen Anzahl von Bauelementen oder Schaltungen eignet. Die Prüflinge können die Form von Halbleiterplattchen mit jeweils einer großen Anzahl gleichartig 'aufgebauter Bauelemente oder elektronisch wirksamer Schichtelemente haben, die auf dem Plättchen nach einem rechteckförmigen Muster in Zeilen und Spalten angeordnet sind. Diese Bauelemente können sodann voneinander getrennt und jeweils gesondert verwendet werden, oder sie können in

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ihrer gegenseitigen Zuordnung als Teile einer Einzelschaltung oder einer Mehrzahl von Schaltungen belassen werden,, In jedem Fall weisen die Prüflinge Kontaktbeläge für Eingangs- und Ausgangsanschlüsse dieser Bauelemente auf. Bei der in Figur 3 der Zeichnungen dargestellten Prüfkopfmembran entspricht eine einzige Reihe von Kontaktbelägen in spiegelbildlicher Anordnung jeweils einer einzigen Reihe von Kontaktbelägen des Prüflings 25« Eine solche i

Kontaktbelagreihe kann jeweils für Einzelprüfungen benutzt werden. Die einzelnen Kontaktbeläge der Kontaktbelagreihe des Kontaktfeldes 38 können jedoch auch von dem übrigen Schaltungsaufbau isoliert sein, so daß man spalten-, oder zeilenweise Prüfungen innerhalb des Prüflings-Kontaktfeldes durchführen kann.

Der Prüfkopf nach Figur 1 weist eine Kunststoffhülle 27 beispielsweise aus MYLAR auf, in welcher entweder sehr dünne Verbindungsleitungen 34- oder eine gedruckte Anschlußschaltung gehaltert sind, wobei die herausragenden Drahtenden bzw, geätzte Bereiche der gedruckten Schaltung, die ebenfalls aus dem Unterteil der Oberfläche herausragen, stegartig verteilt sind* Die Verbindungsleitungen verbinden diese Kontaktelemente mit den Anschlußlitzen 31» die ihrerseits an einen Impulsgeber und eine Aufzeichnungseinrichtung angeschlossen sind. Die Kontektverteilung ist spiegelbildlich zu derjenigen

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der metallischen Kontaktbeläge der Bauelemente des Prüflings 25. Die, die Prüfschaltung enthaltende Kunststoffhülle 27 ist fest über den Rand der Deckplatte 29 gespannt, welch letztere aus Metall oder Kunststoff besteht und gegebenenfalls durchsichtig ist. Unten ist die Hülle so über den Ring 32 gespannt, daß ihr Unterteil 26 sich oberhalb des Prüflings in horizontaler Ebene erstreckt. Die Rahmenteile 29» 32 und 35 dienen zur Halterung der Prüfkopfkontakt anordnung, deren Kontaktbeläge auf die Kontaktbeläge des Prüflings ausgerichtet sind. Der Prüfling 25 sitzt auf dem Halter 33 und nach gegenseitiger Ausrichtung der Kontaktbeläge wird der Halter·angehoben. Dann wird die Kunststoffhülle aufgebläht, so daß jeweils-vor Beginn der Prüfimpulsabgabe ein gleichförmiger Kontaktdruck an allen Kontaktbelägen des Prüflings vorhanden ist.

Das Prüfgerät nach der Erfindung kann beispielsweise zur Prüfung der Kennlinien elektronischer Bauelemente dienen, die auf der Oberfläche eines kleinen Plättchens aus Halbleiterstoff angeordnet sind. Dieses Prüfgerät kann also auch zur Prüfung dünnschichtiger Aufbauten dienen, die■auf einem Isolierkörper angeordnet sindo Das beschriebene Prüfgerät dient im wesentlichen zur Prüfung von Prüflingen mit einer großen Anzahl von Kontaktbelägen, die sehr nahe beieinander angeordnet rd nd oder die sehr kleine Abmessungen im

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Bereich von etwa 0,01 mm besitzen« Diese Kontaktbeläge liegen normalerweise in der gleichen Ebene„ Oft sind jedoch geringe Oberflächenunregelmaßigkeiten vorhanden und mit dem erfindungsgecäßen Prüfgerät ist es möglich, solche Unregelmäßigkeiten im Rahmen der pneumatischen Druckbeaufschlagung und der •Isolation der Prüfschaltung zu berücksichtigen, indem nur die Kontaktbeläge bzw, -stifte hervorstehen und alle anderen Teile entweder durch Kunststoffbeschichtung oder durch Isölatorbeschichtung, beispielsweise aus Siliziummonoxyd, abgeschirmt sind. Die in den Figuren 1 und 2 der Zeichnungen dargestellten Eingangs- und Ausgangskabel bzw. Anschlußleitungen 31 und 4-1 führen die Speisespannungen und die Testing ul se in die zu prüfenden Schaltungen hinein und aus denselben heraus.

Anhand der Figuren 1 und 2 der Zeichnungen wurden zunächst zwei verschiedene Ausführungsformen von Prüfköpfen nach der Erfindung betrachtet« Figur 4- der Zeichnungen zeigt in ihrer * rechten Hälfte eine dritte Ausführungsform eines Prüfgerätes nach der Erfindung, während ein zugehöriger Impulsgenerator und eine »Schrifctschalteinrichtung in der linken Hälfte dieser Fii'ur dargestellt sind,

Eu boritohen zahlreiche Ähnlichkelten zwischen den Aus- r''>livuni'-'-i£ormen der Erfindung nach den Figuren 1 und P und der

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mehr im einzelnen ausgeführten Form nach Figur 4_e Alle Ausführungsformen schließen jedoch die Anwendung eines pneumatischen Stellglieds zum Andrücken einer nachgiebigen Membran oder einer nachgiebigen Folie auf eine zu prüfende Schaltungsanordnung ein.

Oben in Figur 4 ist ein Mikroskop 57 zur Beobachtung und Ausrichtung der Prüfmembran und des Prüfkontaktfeldes eingezeichnet. Zu dem Mikroskop 57 gehört eine nicht dargestellte Beleuchtungseinrichtung. Am Oberende des Gerätes befindet sich eine horizontal ausgerichtete Platte 58, die an einem vertikal verstellbaren Ständer gehalten ist. Diese Platte ist entweder in der Mitte durchbrochen oder sie besteht vollständig aus Glas, damit sie durchsichtig ist und die Beobachtung unmittelbar längs der vertikalen Achse des Mikroskops 57 gestattete Unterhalb der Platte 58 befindet sich eine Tafel 59» die ebenfalls aus Glas oder durchsichtigem Kunststoff besteht. Unmittelbar unterhalb der Tafel 59 ist eine Luftkammer 60 vorzugsweise aus Plexiglas angeordnet, die jedoch auch aus jedem anderen Kunststoff oder Metall bestehen kann. In diese Luftkammer mündet ein Lufteinlaßstutzen 61 zur Einleitung von Druckluft für die Auswölbung der Membran in noch zu erläuternder Weise. In eine untere Ausnehmung der Luftkammer 00 ist ein Flanachring 63 eingesetzt, der eine innere Kreisöffnun^; 66 und einen Auüenflansch 64 be-

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sitzt und auf dem ein vollständiger Satz von Eingangs- und Ausgangsleitungen 65 gehaltert ist_o Diese Leitungen laufen isoliert in den Flanschring ein und ragen derart in vertikaler Richtung durch den Außenflansch 64 hindurch, daß die Drahtenden frei austreten«, Die unteren Drahtenden ragen ebenfalls vor und bilden Umfangskontaktstellen für entsprechend aufgefächerte Verbindungsleitungen der Membran 46, die an der Unterfläche des Außenflansches 64 befestigt ist«, "

Der Flanschring 63 ist luftdicht innerhalb des Unterteils der Luftkammer 60 befestigt. Infolgedessen tritt die über den Anschlußstutzen 61 eingelassene Druckluft nach unten durch die Kreisöffnung 66 aus und beaufschlagt gleichmäßig die Innenfläche der Membran 46 _s an deren Unterseite eine Vielzahl von Mikroleiterschaltungen angeordnet ist. Eine vergrößerte Ansicht einiger dieser Schaltungen ist in Figur 5 gezeigt. Das Prüfgerät nach Figur 4 hält unmittelbar i unter der Membran 46 in horizontaler Stellung einen Prüfling 25» der aktive Schaltungen enthält, die in Figur 6 der Zeichnungen beispielsweise als eine Vielzahl von NOR-Kreisen dargestellt sind, Ha'ch Figur 4 wird der Prüfling 25 mittels eines Unterdruckspannfutters horizontal ausgerichtet und. auf der Oberseite eines verbreiterten Halters 67 fest in Stellung gehalten, v/eloli letzterer mittels eines Kreuzschlittens 68 eingestellt bzw. öusgerichtet werden kann. Eine .Saugleitung 69 ist an eine

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Vakuumsteuereinrichtung angeschlossen, die bewirkt, daß der Prüfling während des Prüfvorganges festgehalten und nach Abschluß desselben freigegeben wird, so daß er aus dem Prüfgerät herausgenommen werden kann. Der Kreuzschlitten ^; besitzt einen x-Einstellknopf 70 und einen y-Einstellknopf 7':» mittels welcher das Unterdruckspannfutter zur Feineinstellung verfahren werden kenn» Dadurch kann der Früfling mit seiner Schaltung gegenüber der Membran 46 unter gleichzeitiger Beobachtung mit dem Mikroskop 57 fein eingestellt werden, wobei der Beobachter die Prüfkontaktbeläge genau auf die entsprechenden spiegelbildlichen Kontaktbeläge' des Plättchens ausgerichtet hält, bevor der Lufteinlaßstutzen 61 mit Druckluft beaufschlagt und die Unterseite der Membran 46 fest und gleichmäßig zur Kontaktgabe auf die Überfläche des Prüflings 25 aufgedrückt wird. Der Kreuzschlitten 68 sitzt in einem Fuß 72, der auf einer Grundplatte ruht.

Der Flanschring 63 kann aus Metall bestehen und auf die Unterseite der Plexiglas-Luftkammer 60 aufgeschraubt sein. Der untere Außenflansch 64,durch den die Eingangs- und Ausgangs-Leitungen 65 isoliert hindurchgeführt sind, kann mis Kunststoff, beispielsweise aus Plexiglas bestehen. Anstatt die Unterenden der Leitungen 65 unmittelbar als Kontakte zu

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benutzen können auch dünne Verbindungsdrähte vorgesehen sein, "3ie -Ir "üeil der Leitungen 65 zwischen die ein der Membran beiinilichen Endstücke und die in der Luftkammer aus dem Ir':fger?-'t herausfahrenden Kontaktstücke eingelötet sind₀ Der gro;,e Halter 67 hält den Prüfling 25 mittels des Jn^erdruckspannfutters während des Prüfvorganges auf dem F^ineinstelltisch fest und ragt seitlich über die Membran hinaus, i^mit sich diese nicht aufwölbt und unter dem p.m.- | liegenden Druck zerreii/.t.

eile in Figur 5 außerhalb der Jeweiligen Fliichenboreiche 119 gezeigten Flächenbereiche ist eine dünne Isolatorschicht aufgetragen, so dai.' alle Membr-inbereiche mit Aufjnohme des Kontaktfeldes durch eine Holche, beispiels- iif-ize aus KTFE bestehende Beschichtung abgedeckt sind, welche die Verbindunguleiter 75 der Llembran 46 gegenüber dem Jev/ei1 β zu prüfenden Prüfling bzw. dem Halter des Unberdruck-3f..':finfutters isoliert. Die in Fif^ur 5 gezeigten Kontaktbe-1^: ,.· 97 ··· 99 und 100 ... 103 sind no aufgetragen, daß sie et.,-i 0,005 iflm -ma der Isolritorbeschichtung 119 hernuemgen, damit mnri an dt-n Kontaktstellen einen sicheren Kontakt erhält. Der KontaktwideiTjtand dor Pn'ifkontaktbeläge ist gering und betrügt für jeden Kontakt etwa 0,25^ bis 0,5^?» wenn ein Kontaktdruck von et γ/η 0,35 kp/cm'' auf die Membran 4b einwirkt.

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Vor einer Beschreibung der Gesamtarbeitsweise des Prüfgerätes nach Figur 4 soll das Zusammenwirken zwischen der in 5'igur 5 gezeigten Prüf kopf membran und der in den Figuren 6 und 7 als ein Ausführungsbeispiel einer Festkörperschaltung dargestellten Festkörperschaltung betrachtet werden, die in dem Prüfgerät nach der Erfindung geprüft werden soll.

Nach den Figuren 6 und 7 der Zeichnungen weist die zu prüfende Schaltung des Prüflings eine Anzahl ,jeweils gleich aufgebauter Festkcrper-NOR-Kreise auf, die jeweils . beispielsweise neun Kontaktbeläge besitzen. In der kitte des in Figur 6 gezeigten Ausschnittes des Prüflings erscheint eine solche Schaltung,· deren Schaltbild schematisch in Figur 7 dargestellt ist, in ihren Bauelementen. Das Transistorelement ist innerhalb der Schaltung fünfmal vorhanden und jeweils als Feldeffekttransistor mit isolierter Torelektrode aufgebaute Bei solcher Anordnung kann der Prüfling 25 pus einem Halbleiterstoff mit P-Leitfähigkeit bestehen, der nach entsprechender Behandlung in bestimmten, an verschiedene Kontaktbeläge angeschlossenen Bereichen jeweils eine N-Leitfähigkeit aufweist, wobei diese Bereiche jeweils mit Aluminiumkontaktbeläpjen beschichtet sind, so daß man jeweils

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Senken-, Tor-, lAiellenelektroden- und Schaltungskontaktbeläge in der dargestellten Weise erhält. Die in Figur 6 eingezeichneten Bezugsziffern entsprechen jeweils den Bezugsziffern der Figur 7 unter entsprechender Bezeichnung der jeweiligen Eingangs- und Ausgangsanschlüsse. Nach Figur 7 dient der Schaltkreis mit den Bauelementen 110,, 111 LG, 106 und 107 als Belastungswiderstand, Die Anschlußpunkte 11C und 111 LG- führen eine positive Vorspannung von i solcher Größe, äeL· die Anordnung als nichtlineare Belastung arbeitete Der Leiter 106 führt die normale negative Basisspannung und der Anschlufipunkt 107 ist der Spannungsanschluß für die nichtlineare Belastung sowie die Ausgangskl.emme der ■Schaltung. Die einseinen Transistoren sind über einen Leiter 108 und einen Erdungskontaktbelag 89 geerdet. Die Kontaktbeläge 90 ... 93» die jeweils zu gesonderten Bereichen führen, die einen Teil je eines Transistors bilden, stellen jeweils gesonderte Eingangskontaktbeläge für Impulse dar. Die entsprechenden Senkenelektroden sind an den Leiter 107 angeschlossen, der mit der Ausgangsklemme 87 verbunden ist," In Figur 6 erkennt man, daß eine entsprechende Gruppe von Kontaktbelägen 87 ... 93 und 110, 111 längs dreier Seitenkanten der betreffenden Schaltung ausgerichtet ist. Dieselbe Verteilung ist bei der in Figur 5 gezeigten Prüfkontaktanordnung in spiegelbildlicher Anordnung vorhanden, so daß bei

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entsprechendem Aufsetzen und Ausrichten der Membran 46 auf die Schaltung nach Figur 6 jeweils die Prüfkontaktbeläge, z,B, 100, 101 ... auf entsprechende Prüflingskontaktbeläge, z.B₀ 90, 91 β.ο ausgerichtet sind. Es sei nochmals darauf hingewiesen, daß die Endteile der Yerbihdungsleiter 75 nach Figur 5» d.h. die eigentlichen Kontaktbeläge 97» 98 usw, geringfügig in Form herausragender Kontaktspitzen aufgetragen sind, so daß eine Ausrichtung und die Möglichkeit einer Eindrückung der metallischen Kontaktbeläge der Schaltung nach Figur 6 in die Prüfkontaktbeläge der Membran 46 gegeben ist. Die Membran kann nicht nur fest auf die Schaltung aufgedrückt werden, sondern sogar schlagartig in dieselbe eingesenkt werden, ,damit die Prüfkontaktbeläge alle Oxyd- oder Schmutzschichten durchdringen, die sich zwischen der Herstellung und dem Prüfvorgang als schädliche Überzüge auf der Schaltung gebildet haben« Die Verbindungsleiter 75 führen strahlenförmig zu den Rändern der Membran 46 und können verschiedene Eingangsspannungen und Ausgangsimpulse sowie Prüfimpulse für die verschiedenen Bauelemente der Schaltung nacheinander zuführen, wobei die betreffende Folgesteuerung mittels eines in Figur 4 gezeigten Schrittschalters erfolgt,

Dno in Fipur '\ gezeigte Prüfgerät nach der Erfindung weist einen schrittschalter innerhalb eines Schrittschaltwerkos

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aufc Das «Schrittschaltwerk 84- dient zum i//elterschalten von jeweils einer Festkörperschaltung auf die jeweils nächste Festkörperschaltung und zwar in Figur 6 von links nach rechts.

Dies erfolgt durch nacheinander erfolgende Auswahl je einer Leitungsgruppe 65 jeweils aus einer Vielzahl solcher Leitungsgruppen, die ihrerseits entsprechend den Leitergru;pen 75 der gedruckten Schaltung einer Kontaktbelaggruppe nach Figur 5 jeweils eine Vielzahl von Einzelleitungen auf- f v/eisen_c Innerhalb jeder Leitergruppe 75 und VerbindungsleitungGgruppe 65 befindet sich eine Heihe von Leitern 80, 81, 82 und 83, über die jeweils nacheinander mittels eines Im^ulogenerators 84 Impulse geschickt werden, womit dann beispielsweise die in Figur 6 gezeigten Eontaktbeläge 90, 91» 02 un^rJ V3 beaufschlagt werden, wodurch man die Kenngrößen der vier Transistoren der jeweils mittleren Schaltung n-iCh Figur 6 ermitteln kann. Wie Figur 4 zeigt, liegen während jeden ochaltschrittes die Speisespannungen der Gleichspannungs- a quelle 76 über eine Anzahl von Leitern an_t beispielsweise über einen Leiter 77 für die positive Spannung, einen Leiber 76 für die negative Basisspannung und einen Leiter für Erdpobenti-'d . Der Erdleiter ist: allen Le it er gruppe η aowie 'Luv 'iL^ii'ihsp'inriunf'i.'j'juelle 70 gemein:;.-Jm₀ Die verschiedenen in ii.if^r,ur ^L\ inr/.'ni'-Jjtia ΑπβοπΙ uF) 'Ji berpirufipen 65 dienen nicht; nur zur "-burbr-'H-un,»· von Eingan^BimrwlBen ::owle der v^rü

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Speisespannungen, sondern auch zur Rückleitung von Impulsen von dem in den .Figuren 6 und 7 gezeigten Ausgangskontaktbelag 87·Dieser Leiter führt in die Schrittschalteinrichtung 74-zurixck und läuft zu einem Meßschreiber 85, der als schreibender Oszillograph oder als anderer Ausgangsschreiber aufgebaut sein kann und anzeigt, welche der verschiedenen Bauelemente jeder Schaltungsanordnung gut oder schlecht ,sind» Diese Bauelemente sind jeweils durch die Abfragezeit der jeweiligen Prüfimpulse in den Leitern 80' bis 83 gekennzeichnet.

Ehe die Vorteile und die Arbeitsweise der verschiedenen Prüfgeräte nach der Erfindung reiter erläutert werden, erscheint es nützlich, im einzelnen die Herstellung des Kontaktfeldes der Membran 46 nach Figur 5 zu betrachten,,

Obgleich man beliebige nachgiebige und transparente Kunststoffolien benutzen kann, erweist sich eine MYLAR-Folie in einer Dicke von etwa 0,006 mm oder mehr für den erfindungsgemäßen Zwekc als am besten geeignet, die auf beiden Seiten jeweils mit etwa 14 g elektrolytisch abgeschiedenem Kupfer überzogen sein kann. Dies entspricht einer Kupferbeschichtung in einer Dicke von 0,02 mm. Der Grund für die beidseitige Beschichtung ist die Schaffung einer vorübt rgehenden Beschichtung der Membraninnenseite, die für den Prüfvorgcmg nicht benutat wlrdj jedoch der Folie für die weitere Verarbeitung eine gröl'ere .]teifigk(:ifc verleiht,

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Die vorstehend "beschriebene Abscheidung kann als erster Bearbeitungsschritt für die Herstellung der Membranfolie betrachtet werden, an den sich eine Reihe v/eiterer Arbeitsschritte gemäß den folgenden Erläuterungen nacheinander anschließt.

2) Auf die Außenseite wird ein Abdeckmittel KTFR aufgetragen, wobei die kupferüberzogene MYLAR-Folie auf einem Schleuderteller gedreht wird_c Nach Aufbringung dieser Abdeckschicht wird das Werkstück etwa JO Minuten lang bei etwa 50° 0 ausgeheizt.

3) Sodann wird ein fotografisches Positiv (d.h. mit dunklen Linienzügen an Stellen von Kontaktbelägen und Verbindungsleitern) auf das sensibilisieiüü 'ferkstück übertragen. Die Prüfkontaktstege bzw. -beläge haben dieselbe Große, Formgebung und Anordnung wie die Prüflingskontaktbeläge, so

daß eine genaue Ausrichtung auf den Prüfling ermöglicht wird. '

4) Bei Verwendung von KTFR erfolgt die Entwicklung mit KMER und ein nachfolgendes Besprühen der belichteten Fläche mit Xylol während einer Dauer von 5 see bis 10 see, um das ITotoschichtbild weiter zu entwickeln,, Darauf wird das entwickelte Werkstück etwa 20 Minuten lang auf etwa 50° 0 aufgeheizt, damit das in der Beschichtung noch vorhandene Lösungsmittel austrocknet.

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5) Aktivierung und Reinigung der Kupfer stegflächen auf dem Werkstück mit Kupferreinigungslösung zur Entfernung von Oberflächenoxyden vor der Galvanisierung. Galvanisierung des Werkstückes mit 24—karätigem Gold in sauerer Lösung während einer Zeitdauer, die eine etwa 0,007 mm dicke Beschichtung ergibt. Während dieser Bearbeitungsstufe wird zweckmäßig die Kupferschicht auf der Rückseite des Werkstückes abgedeckt, damit dieselbe von der Galvanisierungslösung freigehalten wird,

. 6) Wach der Galvanisierung wird das Werkstück von der MYLAR-Folie abgezogen und das belichtete KTFR von dem Werkstück abgetrennt. Nach vollständiger Entfernung des KTFR wird das Werkstück wieder auf die Folie aufgesetzt und seine Kanten werden mit wasserdichtem Band festgelegt.

Die vorstehenden fünf Arbeitsschritte können durch die folgenden abgewandelten Arbeitsschritte 2') bis 6') ersetzt Werdens

2') Auftragen einer Positivabdeckung Shipley AZ 1350 nuf eine Kupferoberfläche und Ausheizen.

V) Verwenden eines fotografischen Positivs (gleich ' dem Original), Belichten der Linienzüge, dannch Entwickeln mit ohipley-AT.-EntLiekler und Ausheizen.

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4¹) Ätzen der Bildseite des Werkstücks in Ferrichlorid. Das Bild wird vollständig geätzt und die Ätzung kann dann von Hand noch verbessert werden«,

5') Abziehen der AZ 1350-Beschichtung von dem Werkstück unter Verwendung von Azeton, das MILAR nicht angreift.

6') Galvanisierung des Werkstücks mit 24—karätigem Gold " in sauerer Lösung während 5 Minuten bei einer Stromstärke von 100 mA. Die Membran ist zunächst mit einem Umfangskontektring für die Galvanisierungsleiter versehen worden«,

Die weiteren Bearbeitungsstufen sind jeweils für jede Verfahrensweise gleich:

V) 'Abbeizen des Kupfers von der Bildseite des Werkstücks unter Verwendung einer Perriohloridbeize und sorgfältiges ' Abspülen mit Wasser nach Abschluß des Beizens, sowie sorgfältiges Trocknen.

H) Aufspannen des Werkstücks, das bereits auf die MZLAIt-JSOlie aufgeklebt ist, auf einem ochleuderteller₀ IIorihm-T Lige Aufbringung einer KTiTi~Be schichtung unter Drehen und Aunheiüjen in einem Ofen bei 50° 0 während 30 Minuten.

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9) Belichten einer Prüfkontakfbelagfenstermaske unmittelbar auf den Prüfkontaktbelagflächen» Das Kontaktbelagfenster ist. eine quadratische dunkle Fläche, die eine Polymerisation in allen Bereichen der Membranoberfläche mit Ausnahme der Kontaktbeläge ermöglicht.

10) Entwickeln des Werkstücks unter Verwendung von KMER-Entwickler« Es ist nunmehr klar, daß die Verbindungsleiter durch das ausgehärtete KTER vollständig isoliert sind, während die vorstehenden Kontaktbelagflächen nicht bedeckt sind.

11) Verwenden einer SELECTRONIC-Gold-Galvanisierungslösung, Auftragsgalvanisierung der Kontaktbelagflächen während 5 Minuten bei einer Spännung von 1 V. Zweckmäßig verwendet man eine baumwollüberzogene Elektrode, die mit der Galvanisierungslösung gesättigt ist» Sorgfältiges Auswaschen mit V/asser, damit danach alle Spuren der Galvanisierungslösung entfernt sind.

12) Hhodiumgalvanisierung der Kontaktbelagflächen mit SELECTRONIC-Rhodium-Galvanisierungslösung ebenso wie in der vorhergehenden Behandlungsstufe. Die Galvanisierungsdauer wird auf 5 Minuten vermindert und es wird eine Spannung von Ί,ί? V angewandt« Die Spannungseinstellung ist gegenüber der

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Stromeinstellung zweckmäßiger, was mit dem Auftragsgalvanisierungsvorgang zusammenhängte

13) Abnehmen des Werkstücks von der MYLAR-Folie und Einsetzen in einen Phenolharzrahmen mit großer mittiger öffnung. Dieser Rahmen ist so groß, daß der zu bearbeitende Teil der Folie vollständig innerhalb des Außenumfanges des Rahmens liegt. Das Bildmuster liegt jeweils mindestens ä etwa 1,2 mm auf der Innenseite. Das Werkstück wird mit der bedruckten Seite nach außen unter Verwendung eines Pliobond-Zements auf den Rahmen aufgekittet und bleibt eine Stunde lang aufgesetzt.

Abdecken der gedruckten Schaltungsfläche des Werkstücks mit einer dünnen Plexiglasfolie unter Verwendung eines wasserdichten Bandes, damit die Plexiglasfolie wasserdicht abgeschlossen ist·

15) Abbeizen der rückseitigen Kupferbeschichtung von

dem Werkstück mit Ferrichlorid, sorgfältiges Auswaschen und Trocknen der Membran, dann Abziehen der Plexiglasschutzschicht·

16) Einkitten der Membran in den Metallring oder den in Figur 4 gezeigten Plexiglasring 6A unter Verwendung von Silaatic—140-Kitt und Aushärten während mehrerer Stunden.

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3G

17) Abtrennen der Folie von dem Phenolharzrahmen auf der Innenseite des Rahmens, jedoch außerhalb des angesetzten Außenflansches 64, Damit ist die Membran fertiggestellt, wobei der äußere G-alvanisierungsko nt aktring verschwunden ict»

Die im vorigen beschriebene Arbeitsweise betrifft hauptsächlich die Herstellung einer gedruckten Prüfschaltung auf der Unterseite der in Figur 4 gezeigten Membran 46, die leicht mit der Schaltung des Prüflings 25 in Kontakt gebracht werden kann. Verschiedene Arbeitsstufen schließen sich im Rahmen der in der rechten Hälfte der Figur 4 gezeigten Anordnung an, bevor die Jeweilige Prüfung und Aufzeichnung erfolgen kann. Damit die !Teile im entsprechenden Abstand stehen, wird das Plättchen 25 auf das Unterdruckspannfutter 67 aufgesetzt. Eine Einstellung erfolgt entweder durch Anheben des Spannfutters oder durch Absenken der Halteplatte 58, damit zwischen der ungeblähten Membran 46 und dem Plättchen 25 ein Abstand von etwa 0,02 mm vorhanden ist» Dann sieht man durch das Mikroskop 57 und richtet das Plättchen 25 mittels der Einstellknöpfe 70 und 71 aus, bis die Prüfkontaktbeläge mit den Prüfkörperkontaktbelägen des Plättchens 25 in Deckung liegen. Eine derartige visuelle Einstellung ist leicht durchzuführen, do das Mikroskop eine Beobachtung durch die Grlasnbdeckun^en und die durchsichtige Luftkammer sowie die MYLAH-Folie rAxläi.'t,

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aie entweder durchscheinend oder durchsichtig ist· Sobald das Folienkontaktfeld und die Prüflingskontaktbeläge genau aufeinander ausgerichtet sind, wird ein Luftdruck von etwa 0,35 kp/cm eingelassen. Über die Anschlußleitungsgruppen und die Yerbindungsleitungsgruppen 65 werden nunmehr die Pr'ifspannungen angelegt» Nachdem alle festkörperschaltungs- ?nordnungen und Einzelelemente nacheinander geprüft sind und alle Bauelemente auf dem Meßschreiber 85 als gut oder . f schlecht festgehalten sind, wird die Druckluft abgeschaltet und ein in den Zeichnungen nicht dargestelltes Ausströmventil ILGt die Luft aus der Druckkammer entweichen_e Es erfolgt dann eine Yerschiebung der Membran unter Ausrichtung auf eine andere Zeile oder Spalte des Prüflings, bevor die Prüfvorgange nacheinander wiederholt werden.

Die Erfindung ist oben im Rahmen der gleichzeitigen Prüfung jeweils einer Zeile oder Spalte von Bauelementen { erläutert. Derselbe Aufbau ist jedoch auch für Einzelbauelemente oder Einzelschaltungen möglich, die gleichzeitig geprüft werden sollen. Bei einer Anordnung mit vertikalen und horizontalen Reihen kann man einerseits jeweils nur Einzelelemente oder andererseits zweidimensional^ Gruppen gleichzeitig prüfon. Die Prüfung kann dabei über die geisamte PrüfLingsoberflache erfolgen und die Er&obriisae dieser Prüfung

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können gleichzeitig mit verschiedenen Schreibern festgehalten werden.

Bei allen drei Ausführungsformen der Erfindung nach den Figuren 1, 2 und 4 ist es offensichtlich, daß sie eine Prüfung einer Vielzahl von Kontaktbelägen gleichzeitig ermöglichen. Eine Schwingung der Kontaktbeläge des Prüfkopfes ist vermieden. Da die Prüfkopfkontaktbeläge lediglich über einen geringen Abstand in vertikaler Richtung bewegt werden, ist eine visuelle Ausrichtung leicht möglich. Wenn die Ausrichtung einmal erfolgt ist, erfolgt die automatische· und wiederholte schrittweise Prüfung des gesamten Prüflings bzw. der gesamten zu prüfenden Schaltung automatisch mittels der in der linken Hälfte der figur 4 dargestellten Bauelemente,

Aus der vorstehenden Beschreibung des Prüfgerätes nach der Erfindung sowie der erfindungsgemäßen Verfahrensweise erkennt man, daß die Erfindung einen mit hoher Geschwindigkeit arbeitenden elektrischen Prüfkopf beinhaltet, der zur gleichzeitigen Prüfung sehr dünner Kontaktbeläge auf den Oberflächen von Festkörperschaltungen , Spaltkörpern, Plättchen oder sonstiger Baugruppen geeignet ist„ Das nachgiebige durchsichtige Konfcaktfeld kann Je nach Wunsch mit wenigen oder mit vielen Prüfkontaktbelägen hergestellt werden· Grundsätzlich besteht es mis einer gedruckten üchalfcung an

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einer nachgiebigen, bandartigen Membranfläche, die mit der zu prüfenden Schaltungsanordnung durch auf die Rückseite der Membran einwirkende Druckluft in Kontakt gebracht wird« .Der membranartige Aufbau der nachgiebigen Prüfschaltung führt nicht nur zu einer gleichmäßigen Druckanwendung in dem Prüfkontaktfeldj sondern bewirkt außerdem die gewünschte Schlagwirkung, die zum Aufbrechen von Oxyd- oder Ifremdschichten auf den Kontaktbelägen der Schaltungen erforderlich ist. Die Prüfkontaktbeläge der bedruckten Membran können als genaue spiegelbildliche Abbilder der entsprechenden Kontaktbeläge der zu prüfenden Schaltungen angeordnet werden, wodurch eine genaue gegenseitige Ausrichtung und sichere Kontaktgebung zwischen Je zwei zusammengehörigen Kontaktbelägen sichergestellt ist* Die auf die Membran aufgedruckte Schaltung eignet sich ausgezeichnet für die Zuführun_b --.-;? Eingangs signale und Speisespannungen, die an die Prüf Schaltung ange'legt werden müssen. Ausgangssignale können von dem Membran-Kontaktfeld abgegriffen werden, die über die in Kontakt befindlichen Kontaktbeläge weitergeleitet werden, sobald die Membran aufgebläht ist. Die Membrankontakte werden jeweils vor Druckanwendung optisch nach einem neuartigen Verfahren auf die Kontaktbeläge des Prüflings ausgerichtet.

Es sei darauf hingewiesen_s daß die in den Figuren 5 und gezeigten Schaltungen stark vergrößert wiedergegeben sind. In

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natürlicher Größe ist jeweils eine der drei in Figur 6 dargestellten Schaltungen in eine quadratische Fläche eingeschlossen, deren Seitenlänge nur etwa 1 mm beträgt. Deshalb liegen die Abmessungen der Kontaktbeläge und der Abstände zwischen denselben in der Größenordnung von Einhundertstel Millimeter oder einem Bruchteil davon. Die Kontaktbeläge sind entsprechend klein und nur mikroskopisch sichtbare

Die in Figur 5 gezeigte Membran 46 eignet sich zur Prüfung von NOR-Kreisen in Festkörperbauweise und die Membrnnkontaktbeläge sind Spiegelbilder der Kontaktbeläge der in Figur 6 gezeigten, zu prüfenden Schaltung. Ein Beispiel für die Anwendung einer solchen NOR-Logik ist in der USA-Patentschrift 3 075 093 beschrieben.

In Figur 5 läßt die Kontaktfeldumrxßlinie 119 erkennen, daß die gesamte Membran normalerweise mit Ausnahme des Kontaktfeldfensters 119»aus dem die Kontaktbeläge hervorstehen, isoliert ist« Die Beschichtung der Membran besteht aus einem polymerisieren KTFR, der ein Isolator ist» Dieser isoliert die Verbindungsleitungen der Membran von anderen Leitern, mit welchen die Membran auf dem Prüfling oder der Prüflingshalte rung in Berührung kommen kann· Die Oberfläche der JTrUfkontaktbeläge ist durch eine Goldbeschichtung und eine darüber] legende h.-irto Rhodiumbeschichtung eo weit angehebt i:,

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da;? sie über die Oberfläche der umgebenden Isolatorbeschichtung um einige Tausendstel Millimeter vorsteht. Dieses geringe Vorstehen der Kontaktbeläge ergibt einen gleichmäßigen Kontaktdruck und einen geringen Übergangswiderstand.

Verschiedene Versuche wurden mit unterschiedlichen Membrandicken durchgeführt, wobei es sich gezeigt hat, daß mit zunehmender Membrandicke normalerweise ein höherer

Luftdruck erforderlich ist, der um etwa je 0,7 kp/cm ansteigt, wenn die Membrandicke um jeweils 0,05 mm größer wird. üodnnn v/urden Versuche durchgeführt, wonach gehärtete Rhodiumkontaktbeläge mit verschiedenen Metallkontaktbelägen der Schaltung in Kontakt gebracht wurden. Dabei wurden Prüfmembranen zur Kontaktgebung für Siliziumprüflin'ge benutzt, auf denen Aluminium, Molybdän und Molybdän-Gold-Kombinationen (d.h. eine untere Molybdänbeschichtung und eine darüberliegende Goldbeschichtung) mit Dicken zwischen 10 000 1 und 20 000 A* aufgedampft wurden,, Die Kontaktgabe mit den verschiedenen Metallen aller Plättchen v/ar vollständig und bei einem Anpreßdruck von etwa O₉35 kp/cm war ein sehr gleichförmiger Übergongswiderstand vorhanden. Es zeigte rjich, äal'- der Kontaktwiderstand in Abhängigkeit vom Leifcungewiderstand einen gleichförmigen Anwtieg für alle drei der verschiedenen metallischen KontakbbeUige ergab« Der Jeweilige

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HZ

Leitungswiderstand wurde jeweils im Bereich von 1^P geschätzt, was anhand der Kennlinie und der Darstellungen ergab, daß die Kontaktwiderstände im Vergleich zu dem 1_l£?-ⁱvv^riderstand sehr klein waren. Eine andere Darstellung dieses Sachverhalts ist die Gleichförmigkeit der Kennliniensteigung, die sich aus verschiedenen Kontaktpaarungen an unterschiedlichen Prüflingen ergab«, Dabei trat ein sehr geringer Unterschied der Steigung der Kennlinien zwischen Aluminium, Molybdän und kombinierten Molybdän-Gold-Proben auf_β Die geringen Unterschiede können teilweise auf den Unterschied in der Leitfähigkeit der Grundstoffe zurückgeführt und qualitativ als Unterschied des Metallschichtwiderstands erklärt werden, da die Metallschichten eine unterschiedliche Dicke gemäß der folgenden Tabelle -aufwiesen.

Schichtaufbau	Schichtdicke	Widerstand
Mo-Au	20.000A Mo	am kleinsten
	5.000A* Au
Mo	18.000A Mo	kleiner
Al	10.000? Al	klein

Beide Einflüsse der Leitfähigkeit und der Dicke können die Ursache der geringen Widerstandsunterschiede bei verschiedenen Metallschichten sein. Da alle Kennlinienanstiege

- /j,_? 009943/0S83 BAD t" ⁼ '""'"

für jeden Membranaufbau außerordentlich parallel zueinander verlaufen, besteht Veranlassung zu der Vermutung, daß der effektive Kontaktwiderstand klein ist« Die maximale und minimale Steigung der Kennlinien ergab Widerstandswerte von 0,79.52 und 1,05*£?· Daraus ist zu schließen, daß der Kontaktwiderstand entweder gegenüber O,26J2klein oder außerordentlich gleichmäßig ist»

Durch Untersuchungen konnte gezeigt werden, daß vergleichsweise dicke und unnachgiebige MYLAR-Folien zu vermeiden sind« Eine Überprüfung wurde an einem Aluminiumbild auf einem Prüfling durchgeführt und in den Kontaktbelägen der Aluminium-

schicht wurden kleine Eindrücke gefunden, die auf einen wiederholten PrüfVorgang zurückzuführen si Pd und lediglich bei einigen Kontaktbelägen und nicht bei allen aufgetreten sind· Es wurde eine Korrelation zwischen den Kontaktbelägen ohne Eindrücke und einem hohen Kontaktv/iderstand gefunden. Es konnte gezeigt werden, daß einige MYLAR-Folien zu unnachgiebig waren, als daß ein fester Kontakt an diesen Kontaktbelägen zustande·- gekommen wäre. Abhilfe konnte mit einer dünneren Kunststofffolie unter 0,05 mm Dicke geschaffen werden. Eine Untersuchung der Eindrückungen in den Metallschichten der Schaltung aufgrund der gehärteten Prüfkontaktbeläge ergab, daß die Eindrückungen euf die geringen Unregelmäßigkeiten in der Oberfläche der harten

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Rhodiumkontaktbeläge zurückzuführen sind« Die sich ergebenden gering vorstehenden Kontaktflächenbereiche, jeweils mehrere an jedem Kontaktbelag, lassen im wesentlichen den gesamten Kontaktdruck in den kleinen Flächenbereichen auftreten, wodurch das darunterliegende Metall in geringem Maße verformt wird. Eine solche Verformung ist vorteilhaft, denn dadurch wird die Oxydschicht aufgebrochen und es ergibt sich ein geringerer Kontaktwiderstand.

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Claims

HS

Patentansprüche:

1. Prüfgerät mit Kontaktkopf, insbesondere zur Prüfung von Mikroschaltungen, gekennzeichnet durch einen Prüflingshalter (531 49, 67) zur Halterung eines oder mehrerer zu prüfender, mit äußeren Kontaktbelägen versehener Mikroschaltungskörper (25), ferner durch einen diesem Prüflingshalter gegenüberliegend angeordneten, von einer Membran (27, 36, 46) überspannten Rahmen, an welchem eine Vielzahl von Leitungen (34, 41, 65) gehaltert ist, deren Jeweilige, mit Prüfkontaktbelägen (37) versehene Leitungsenden in zur Anordnung der Prüflingskontaktbeläge kongruenter Anordnung aus einem im.wesentlichen parallel zur Prüflingskontaktebene verlaufenden Teil (26) der genannten Membran herausragen, und durch eine Einrichtung zur Aufblähung der genannten Membran derart, daß sich die Prüfkontakte an die Prüflingskontakte anlegen.

2, Prüfgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daii der Membranrahmen mindestens teilweiae sowie die 'm s.lb:₃fc hub durchsichtigem oder durchscheinendem Lfil iiüiihf UKHi₁ d-'iiaib je weil π vor Aufblähung dor lu

- ν, -009843/0685 BAD ORlSlNAL -, >

eine gegenseitige Ausrichtung zwischen den Prüflingskontaktbelägen und den Prüfkontaktbelägen erfolgen kann.

3ο Prüfgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Prüflingshalter vertikal verschiebbar ist, daß ferner der Membranrahmen als Druckkammer ausgebildet ist und daß die an der offenen Unterseite dieser Druckkammer angeordnete Membran (36) mi.t einer an die Leitungen (34, 41, 65) angeschlossenen gedruckten Schaltung mit einer Anzahl nach unten vorragender Prüfkontaktbeläge versehen ist.

4_e Prüfgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 3» dadurch gekennzeichnet, daß die mit den Prüfkontaktbelägen (37) der Membran (27, 36, 46) verbundenen Leitungen (34, 41, 65) an eine Impuls folge schaltung zur Eingabe und Abnahme von Prüfimpulsen angeschlossen sind.

5ο Prüfgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet durch eine Verstelleinrichtung zum gegenseitigen Verschieben des oder der Prüflinge und der Membran in engem Abstand zueinander zwecks Ausrichtung der Prüfkontaktbeläge auf die Priiflingskontaktbelage.

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6« Prüfgerät nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß oberhalb der durchsichtigen Kammerwandung des Membranrahmens ein Mikroskop (57) angeordnet ist und der Prüflingshalter einen Kreuzschlitten (68) aufweist, der gestattet, den oder die Prüflinge und die Membrankontakte unter mikroskopischer Beobachtung aufeinander auszurichten, bevor der Blähdruck auf die Membran einwirkt. ι

7. Prüfgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 6, gekennzeichnet durch eine Saughalterung für den oder die Prüflinge. , -

8. Prüfgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 7 in jeweils einem Arbeitsgang erfolgenden Prüfung einer Vielzahl von jeweils mehrere Mikroschaltungen mit jeweils zahlreichen Schaltkomponenten enthaltenden in Druckschalttechnik hergestellten Schaltungskörpern, deren Schaltkomponenten durch die Kontaktbeläge der Prüfkontaktmembran erfaßt werden, gekennzeichnet durch ein Schrittschaltwerk (74-) zur der Reihe nach erfolgenden Anwahl bestimmter Gruppen der zu diesen Prüfkontaktbelägen führenden Leitungen, ferner durch eine über dieses Schrittschaltwerk der Reihe nach an diese Leitungen anschließbare Stromquelle, weiter

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durch einen ebenfalls über dieses Schrittschaltwerk der Reihe nach an diese Leitungen anschlielibaren Impulsgenerator (84-) und endlich durch einen an das Schrittschaltwerk angeschlossenen Meßschreiber (65) zur Erfassung fehlerhafter Kikroschaltungen bzw. zur Erfassung fehlerhafter Schaltkomponenten dieser Kikroschaltungen.

9. Kontaktfeld für Prüfgeräte nach einem der Ansprüche 1 bis 8 zum Anschluß von zu prüfenden Mikroschaltungen mit schichtartigen, flächigen Anschlußkontaktbelägen aus Metall, wie Aluminium, Molybdän oder Gold sowie aus Verbundschichten dieser Metalle an die Membrankontaktbeläge, gekennzeichnet durch einen biegsamen Kontaktträger mit Zu- und Ableitungen und mit βμί die Anschlußkontaktbeläge des Prüflings ausgerichteten Hartmetallkontaktbelägen sowie durch eine nachgiebige Unterlage für diesen Kontaktträger und durch eine Bläheinrichtung für diese nachgiebige Unterlage.

10. Prüfkontaktfeld nach Anspruch 9» gekennzeichnet durch ein auf eine nachgiebige Folie aufgedrucktes Prüfleitungsnetz mit einer oder mehreren Gruppen von erhabenen Hartmetall-Prüfkontakten sowie Jeweils diese Prüfkontakte mit Anschlußkontakten der Folie verbindenden Verbindungsleitungen,

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11„ Prüfkontaktfeld nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß in jeden der Prüfkontaktbeläge jeweils mehrere überstehende Kontaktwarzen aus einem körnigen, leitenden Hartmetall, beispielsweise aus Rhodium, einge~ bettet sind.

12_e Verfahren zur Herstellung von Prüfkontaktfeldern nach einem der Ansprüche 9 bis 11 aus dünnen,nachgiebigen Kunststoffolien, dadurch gekennzeichnet, daß beide Seiten einer Folie elektrolytisch mit Kupferschichten überzogen 7/erden, daß ferner in eine Seitenfläche der Folie das Schaltbild der Prüfschaltung eingeätzt wird, daß weiter die Prüfkontaktbeläge dieser Schaltung mit Gold belegt v/erden, daß fernerhin diese Beläge anschließend mit Rhodium belegt werden und daß schließlich die Kupferschicht auf der, der Prüfschaltung abgewandten Folienseite entfernt wird.

13. Verfahren zur Kontaktgebung zwischen spiegelbildlich angeordneten Prüf- und Prüflingskontaktbelägen für Prüfgeräte nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran stoßartig aufgebläht wird.

14, Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, ^elrsi. der die Prüfkontaktmembran haltende Kontaktkopf mit iiezufs 'iUf ion Prüfling/ih/ilter nnah Art eines oneumatiscnen : f ■■■ in Ω ^cj r s b <-· t r i f; h': η 7/1 r Ί .

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15o Verfahren zur Ausrichtung des Prüfkontaktfeldes eines Prüfgerätes nach einem der Ansprüche 1 bis 8 auf ein Prüflingskontaktfeld, dadurch gekennzeichnet, daß das an einer durchsichtigen Halterung angeordnete Prüfkontaktfeld durch die durchsichtige Halterung hindurch visuell auf das Prüflingskont.aktfeld ausgerichtet wird und diese Halterung sowie die Schaltungsanordnung so lange relativ zueinander verschoben werden, bis die Zontaktbeläge des Prüfkontaktfeldes und diejenigen des Prüflings in der gewünschten Weise aufeinander ausgerichtet sind₀

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