DE1639368B2 - Verfahren zum gleichzeitigen Herstellen ohmscher Kontakte zwischen Aluminium als Kontaktmetall und mehre ren Oberflachenzonen eines Halbleiter korpers aus Silizium - Google Patents

Verfahren zum gleichzeitigen Herstellen ohmscher Kontakte zwischen Aluminium als Kontaktmetall und mehre ren Oberflachenzonen eines Halbleiter korpers aus Silizium

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