DE1616505A1 - Piezoelektrisches Resonatorelement - Google Patents

Piezoelektrisches Resonatorelement

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DE1616505A1
DE1616505A1 DE19671616505 DE1616505A DE1616505A1 DE 1616505 A1 DE1616505 A1 DE 1616505A1 DE 19671616505 DE19671616505 DE 19671616505 DE 1616505 A DE1616505 A DE 1616505A DE 1616505 A1 DE1616505 A1 DE 1616505A1
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disk
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    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/54Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/56Monolithic crystal filters
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    • HELECTRICITY
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    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/54Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
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  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

  • PiezoelektrischesResonatorelement Die Erfindung bezieht sich-auf elektromechanische Wandler und im besonderen auf piezoelektrische keramische Resonatoren, die als kombinierte elektrische Wellenfilter und Impedanzwandler verwendbar sind.
  • Die Erfindung wird besonders in Hinsicht auf ihre Anwendung auf dem Gebiet der Bandpassfilter im Zwischenfrequenzbereich beschrieben; während dies gegenwärtig als das hauptsächlichste Anwendungagebiet.der zu-beschreibenden Resonatoren erscheint, ist keine Einschränkung hinsichtlich der Betriebsfrequenzen,-anderer Betriebsbedingungen, Anwendungen oder charakteristischer Eigenschaften beabsichtigt.
  • Der Ausdruck "ferroelektrische Keramik" wird hier so gebraucht, daß er ein bis zur Sinterüng gebranntes, polykristallines, keramisches Material bezeichnet, welches sich elektrostatisch polarisieren läßt,ünd dadurch piezöelektrische Eigenschaften erhält, die denjenigen von natürlichen piezoelektrischen Kristallen wie Quarz und Se ignettesalz ähnlich sind.
  • Gegenwärtig ist vielleicht der bedeutendste der ferroelektrischen keramischen Stoffe Bariumtitanat (BaTi03). Andere Beispiele sind die Bleititanzirkonate Pb(Zr,Ti)03: Diese keramischen Stoffe sind feste Lösungen von Bleititanat und Bleizirkonat, welche in bestimmten_molaren Verhältnissen ferroelektrisch sind und im polarisierten Zustand eine hohe piezöelektrische Kopplung besitzen. Der oben erwähnte und viele andere ferroelektrische keramische Stoffe sind dem Fachmann wohlbekannt. Bisher wurden piezoelektrische Resonatoren in elektrischen -Wellenfiltern verwendet. Solche Resonatoren bestariden-sehr häufig aus Platten, die-aus_Quarzkristallen unter einem-bestimmten Winkel zu den Kristallachsen ausgeschnitten wurden. Ein bekanntes Beispiel einer solchen Resonat.orplatte ist der "GT"-Schnitt. Reine Quarzfilter (d.h. solche,-die nur Kristalle und Kondensatoren besitzen) sind durch den relativ niedrigen (ca. 10 %) elektromechanischen Kopplungskoeffizienten des Quarzes auf eine-relativ enge Bandbreite beschränkt, nämlich weniger als -1 %. Der hohe Gütefaktor des Quarzes (über 50000) hingegen macht Quarzplatten sehr gut geeignet für den Gebrauch bei der Frequenzregelung von Schwingkreisen oder ähnlichem. Während Quarz und polarisierte ferroelektrische keramische Stoffe ihren piezoelektrischen Effekt gemeinsam haben, sind ` sie nicht gleichwertig für die Zwecke der Erfindung, welche sich daher auf keramische Resonatoren beschränkt. Obwohl ein üblicher keramischer Resonator - x.B. eine polarisierte keramische Platte, an der auf beiden Seiten je eine einzige Elektrode angebracht ist - in der selben Weise wirkt-und im großen und ganzen einem Quarzfilter entspricht, gilt das Umgekehrte nicht für die hier beschriebenen neuartigen Resonatoren. Das wird aus der folgenden Beschreibung ersichtlich.
  • Gemäß der Erfindung umfaßt ein piezoelektrisches Resonatorelement eine Scheibe.aus ferroelektrischem keramischem Material, welche polarisiert ist, um eine elektromechanische Wirkung zu geben, und welche so geformt ist, daß bei einer bestimmten Frequenz in der radialen Schwingungsrichtung (Umfangs-Drehungs-Schwingung) Resonanz herrscht. Sie-ist außerdem mit Elektroden versehen, durch die man eine Wechselspannung an die Platte anlegen kann-und ihr--eine zweite, von der Platte erzeugte Wechselspannung entnehmen kann. Die Elektroden bestehen-aus einer kreisförmigen Punktelektrode im Mittelpunkt der. einen Seite der
    Scheibe, einer --IIingelektnode auf der Scheibe, konzentrisch mit
    der @ue3,ektr@e .und im radialer. Abstand davon, und mindestens
    einem zusätzlichen Ellektrede auf, der i Scheibe»,--
    , >
    #j
    .._-:;4 @. . @_ . .- . _ . . . . . . -. .
    Einen Gegenstand der Erfindung bilden neuartige ferroelektri-
    sehe keramisehe Resonatarenj verwendbar für den-Gebrauch als
    kflmbinierteelektrsche Wellenfiter _urid Impedanzwapdler: . -
    Einen anderen Gegenstand ,der- Erfindung bilden verbesserte `-
    piezoelektrische Resonatoren für elektrische Wellenfilter- .
    kreise, welche durch niedrige Ubertragungsverlusteumd eine
    relativ hohe Selektivität gekennzeichnet sind.
    Einen weiteren Gegenstand >blden-verbesserte'' pezmelektrische
    Resonatoren für- den: Gebrauch, als kombiniert Pilier und I-
    pedanzwandler, Kelche einfacher in :deronstruki@n, -ehr t _
    zusaMmengedrängt und billiger sind als @d@E-verglechberen
    elektromagnetischen oder, elektr_omeonanschen Teile.
    .Zu den-,Zeichnungen'. rig. 1. fst eine Draufsicht eines pezoe3:ektrischen Resonators
    `gemäß der- -rf.ndung;
    Fg. -.2 ia t ein Qners.ehnitt auf. - :der iriie 2-2 :der- FiG. i: 2.- -
    pig. 3 -Ist die schenats,ehe Zeichnung eines I'rüfkreia:es,- der
    den Resonator .der Figuren 1 und 2 enthält _
    ig.. 4- ist - .ein Cuers-chnitz ähnlich Fig,. -2;y - doch durch
    eine abgewardeltE Härm des.es'onat:ors>3..
    Fig. amd 7 .sind den Piguren = "t , :2 .und 3 entsprechende . ar=
    s-teUungen einer anderen Abwandlung der Erinduzg;:-
    yig. 8, 9 und a o s@ ' .den . i.guren ",, , ' ünää 3' ezit epr@e;ehend B dar=
    st,e11ung,en- einer weiteren ..b'z,@:nl@:ng ' Üer- ETihdüng - j .
    .i :@ s, lila a.
    p hische.J"Grstellunc- z :d4#:,2; Vertei= der Ta-
    g -#-
    dalen-.un.d.tanöent,a:,#._g, in einer #fr:d.ial#er r@i.cht-g
    . .. _ . . .. .@ b_@. _ . : . . , .._.. . . . _
    mit der Grd@ und der efisen@:berre@an.ehri=,Dd@er Schreibe;
    Fig. 12 ist die graphische Darstellung der Bandpasscharakteristiken,eines Filterwandlers gemäß der Erfindung.' In der Fig.-1 und 2 umfaßt ein piezoelektrischer Resonator 10 gemäß der-Erfindung eine Scheibe oder einen im wesentlichen scheibenfömigerKörper 12 aus einem ferroelektrischen polykristallien keramischen Material, die mit Elektroden versehen ist, welche hier aus je einer zentralen Punktelektrode 14,16 und einer konzentrischen Ringelektrode 18, 20 auf :jeder Seite der Scheibe-besteht. Wie oben kurz erwähnt, kann das I--Zaterial, aus dem die Scheibe 12 sowie jeder andere der dargestellten und unten beschriebenen scheibenförmigen Körper bestehen, irgendeines von mehreren ferroelektrischen polykristallinen keramischen Zusammensetzungen sein, die im Fach-bekannt sind. Beispielevon geeigneten Stoffen sind Bariumtitanat, Bleizirkonat-Titanat oder ihre Modifikationen. Es ist wahrscheinlich, daß@ weitere geeignete keramische Stoffe in der Zukunft gefunden werden. Allgemein schließen die ferroelektrischen keramischen Stoffe, wie sie hier betrachtet werden, bis zur Sinterung gebrannte polykristalline keramische Stoffe ein, welche sich durch Anlegen eines elektrostatischen Feldes polarisieren lassen und .dadurch piezoelektrische'Eigenschaften erhalten, die in hohem Maße näch der Entfernung des Feldes erhalten bleiben. Solche keramischen Stoffe sind gewöhnlich durch eine Perovskit-Kristallstruktur gekennzeichnet und ihre ganze Gruppezeigt eine bedeutend höhere piezoelektrische Wirkung als die meisten natürlich piezoelektrischen Kristalle; bei geeigneter Polarisation sind zurückbleibende elektromechanische -Kopplungen- in. der ebenen oder radialen Schwingungsrichtung der Größenanornunö 50 % oder mehr nicht ungewöhnlich in einigen ferrcelektriscren keramischen Stoffen, insbesondere den Bleitit2-nat-Zirkor_aten. deiterhin sind im. Gegensatz. zu den meisten piezoeektrischen Kristallen alle-ferroelektrischen keramiscy en S>J..o.ffe- iso.trop in. einer zur Polarisationsachse -oder -richtung senkrechten Ebene. Scheiben aus,einem solchen keramischen Stoff haben daher eine axiale oder-Dicken- und eine wahre radiale oder Umfangs-Dehnungs-Schwingungsrichtung.. Die radiale Schwingungsrichtung, die für Resonatoren gemäß der Erfindung wesentlich ist, existiert-nicht als eine isolierte Schwingungsform in Quarz oder selbst in Einzelkristallen eines ferroelektrischen Materials. Ein weiteres Charakteristikum von polarisierten ferroelektrischen keramischen Stoffen ist der langsame-Zerfall oder das 'Altern" der elektrömechänischen Kopplung und die Veränderung anderer Eigenschaften wie dielektrischeKonstante und Frequenzkonstante mit der Zeit und/oder der Temperatur.-Da die Empfänglichkeit für das Altern und die.Temperaturabhängigkeit der Eigenschaften in einigen keramischen Stoffen stärker fst-als in anderen,werden die stabileren Materialien wie- die Bleititanat-Zirkonate für den Gebrauch-in der Erfindung vorge- _ zogen. -Die Scheibe 12-sowie alle anderen in den Abbildungen dargestellten Scheiben sind stark vergrößert gegenüber'.ihrer wahren Größe in den meisten. praktischen Anwendungen.
  • Ihre Größe hängt von der gewünschten Betriebsfrequenz ab, d. h. die Scheibe wird so'proportioniert, däß in der radialen Schwingungsrichtung ihre Resonanz .bei einer bestimmten Prequenz liegt. Also, wenn die Scheibe als Filter für Zwischenfrequenzen ( etwa 455 - 465 kHz) konstruiert wäre und bei ihrer Grundresonanz betrieben werden sollte, dann wäre sie sehr klein, d.h. sie hätte einen Durchmesser von-etwa 3/16 Zoll (4,7 mm). (Wenn man die Scheibe dünn macht 'im Vergleich zu ihrem Durchmesser, kann. die Resonanzfrequenz als eine -Funk= tion lediglich des- Durchmessers betrachtet werden, wie in dem. hypothetischen- Falle der unendlich dünnen Scheibe.) 1@Tenn jedoch geringe Ausdehnung nicht der einzige Gesichtspunkt ist"@ ist es bequemer, die Scheibe für einen Betrieb bei der ersten oder zweiten Oberfrequenz .zu .dimensionieren und so'-die Verwendung einer größeren Scheibe zu ermöglichen. Z.B. hat eine dünne Scheibe mit einer Grundfrequenz von etwa 180 kHz die erste Oberschwingung im Zwischenfrequenzbereich (etwa 455 kHz) und einen Durchmesser von annähernd 12,5 mm. Eine Scheibe, die bei einer Oberschwingung von niedriger Ordnung (1. oder 2.) betrieben wird, hat zusätzlich zu der bequemen. Größe in ZF.-Bereich Vorteile, die im weiteren erläutert werden. Die Rgsmatorscheibe kann mit Hilfe irgendeiner der gewöhnlichen Keramiktechniken hergestellt werden, wie z.B. Pressen, Strangpressen oder Streckgießan auf eine angenäherte Übergröße, gefolgt - nach dem Brennen - von Schleifen und Polieren auf das Endmaß. Genausogut kann die rohe Scheibe von einem Stück gebrannten zylindrischen keramischen Materials abgeschnitten werden. . Bei der in Fig. 1 und 2 dargestellten Konstruktion ist die Scheibe 12 in axialer Richtung in den Bereichen zwischen den entgegengesetzten Elektroden 14, 16 und 18, 20 polarisiert, was@durch die doppelköpfigen Pfeile 30 angedeutet ist. Das erreicht man auf die folgende oder irgeneine andere Art; die Elektroden 14, 16 und 18, 20, die au4aufgebrarintem oder luftgetrocknetem Silber oder etwas Gleichwertigem bestehen können, werden zunächst aufgebracht. Danach werden die Zuleitungen 22, 24, 26 und 28 angelötet oder sonst wie an je einer Elektrode befestigt. Dann werden die Zuleitungen auf der einen Seite der Scheibe 12 mit dem einen Pol einer hohen Gleichspannungs= quelle (nicht dargestellt) und die Zuleitungen auf der anderen Seite der Scheibe werden mit dem anderen Pol verbunden. Die Feldstärke, Dauer und die anderen Bedinungen werden entsprechend dem besonderen keramischen Material, gemäß den gewohnten Verfahren gewählt.
    In den.!-Figuren 1 -und `2 stimmen die- Punkt= oder -IZitteieiektrode
    14 und die=Ringelektrede =1-8'-äuf der einen Seite`der Scheibe 1-2
    in ihrer:-Stellung ünd-'in -ihren Plächeninhalt `mit 'den `entsprechen-
    den Elektr_odE.n 16 und 20 auf der anderen- Seite überein und.
    stehen ihnen daher direkt gegeriüber.Die.Fläche und die Stellung
    der Elektroden ist von Bed-eütung: Doch weil ähnliche Betrachtun-
    gen sich auf alle Abwandlungen der Erfindung anwenden lassen und
    eng mit der Wirkungsweise des Resonators verknüpft sind, werden
    Einzelheiten über. die Fläche-und die Stellung der Elektroden
    am Schluß der Beschreibung der mechanischen Einzelheiten arler
    verschiedenen Konatrukti.onen erläutert:
    Resonatoren gemäß der "Erfindung können-einzeln-oder in Gruppen,
    allein oder.-in Verbindung mit üblichen`elektrischen Teilen'in
    den gebräuchlichen Kreisen--verwendet werden.: Da die'-besonder@e
    Schalttechnik mit der Erfindung nichts zu tun hat,-w6rderi die
    Schaltungen und der Betrieb -anhand eines Prüfkreises beschrieben,
    dan man verwendet, um die Zeist:ungscharakteristiken der Re=
    sonatoren. zu. messen (s.. Fig.
    In Fig. - 3 gibt ein gewöhnlicher 1>rüfgenerator32 -dem Resonatör
    10 ein Eingangssignal -von beliebig
    Bei -
    einer wirklichen.Anwendung würde dieses Eingangssignal in einer
    Vorstufe des Kreises entstehen, in-welcher---der Resonator oder
    ein Netz von REsonatoren eingebaut wären, z:B.-in der Misch-
    stufe odei einer vorhergehenden Z-F=Verstärkerstufe eines
    Überlagerungshochfrequenzempfängers.
    Wie man in Fig.-3 sieht-,_ist ein :Voltmeter Vi zur Anzeige der
    Eingangssignalspannung über -,Einea-S-liderstand-.=33 und -ein Volt-
    meter. VO zur rnzeigg des Ausgangssignals über einem
    stand 35 eggesc hlcssen.-Ziner
    des -r-ü-genE-rators
    32 und beide l;lek_troden (z. B. 16 und 20) auf einer Säte d-er '.-
    Scheibe .10 sind direkt mit einem gemeinsamen Erdpotential ver-
    bunden. Der andere Endpunkt des :rrüfgenerators 32 ist mit der
    Ringelektrode 18 auf der anderen Seite der Scheibe 10 durch den Widerstand 37 und mit der Erde durch die Widerstände 37 und 33 in Reihe verbunden. Die Elektrode 14 ist mit der Erde durch den Widerstand 35 verbunden.
  • Aus dem beschriebenen und dargestellten Kreis ist ersichtlich, daß.die Eingangssignalspannung zwischen den Ringelektroden 18, 20 des Resonators 10 anliegt, unddaß das Ausgangssignal von den Mittelelektroden 14, 16 abgenommen wird. Durch ein Verändern der Frequenz des von dem Prüfgenerator 32 erzeugten Signals durch einen Bereich, der die von der Konstruktion her festgelegte Durchgangsfrequenz des Resonators 10 einschließt, kann.man die Wirkungscharakteristiken des Resonators aus dem. Verhältnis Vo/Vi ermitteln.-Eine graphische Darstellung von Vo/Vi über der Frequenz des Eingangssignals für typische Res6- -natoren gemäß der Erfindung ist in'Fig. 12 dargestellt und wird im folgenden erläutert.
  • Die in Fig. 12 aufgezeichneten Werte wurden mit dem Kreis von Fig. 3 mit folgenden Widerstandswerten ermittelt.
  • Widerstand 33 - 1000 Ohm Widerstand 35 - . 1000 Ohm Widerstand 37 - 5000 Ohm Die Wirkungsweise von Resonator 10 ist wie folgt: Angenommen die Scheibe 12 ist für Grund- und Oberresonanz in radialer Schwingungsrichtung bei oder-in der Nähe von der Mittelfrequenz des gewünschten Durchgengsbandes dimensioniert, dann rufen Wechselsignale außerhalb des-Durchgangsbandes keine oder nur geringe blir'_.ung in- der Scheibe 12 hervor, und werden daher wesentlich geschwächt. Angelegte Frequenzen innerhalb des Durchgangsbades jedoch versetzter- die Scheibe 12 in starke radiale Schwingungen bei ihrer Eigenfrequenz (Grund-.-oder Oberfrequenz). Bei Anwendungen im Zwischenfrequenzbereich verhindert die breite Trennung.@,der Summen- und Differenzfrequenzen; daß der Resonator bei anderen Oberschwingungen als den gewünschten erregt wird.
  • Die radiale Schwingung der Scheibe 12 erzeugt piezoelektrisch eine Wechselspannung bei-oder in der Nähe der Mittelfrequenz des Druchgangsbandes, welche an den Mittelelektroden 14, 16 erscheint. Durch eine geeignete Anordnung und Dimensionierung -der Elektroden kann man eine günstige Impedanzwandlung unddamit eine Spannungserhöhung der durchgehenden Preqenzen erreichen: Die Scheibe 12 hat übereinstimmende Elektrodenpaare 14,- 16 und 18, 20 und ist nur zwischen den Elektrodenpaaren polarisiert. Ähnliche Ergebnisse kann man aber auch erreichen, mit einer abgewandelten Scheiben-Elektroden-Anordnung, wie sie durch den Resonator 10a, Fig. 4 dargestellt wird. Der Resona.tor 10a umfaßt eine ferroelektrische keramische Scheibe 12a, welche-über ihren ganzen Querschnitt in axialer Richtung polarisiert ist. Er besitzt nur drei Elektroden: eine Mittelelektrode 14 und-eine konzentrische. Ringelektrode 18 auf der einen Seite der Scheibe, in jeder .Hinsicht gleichwertig der entsprechend bezifferten Elektroden der zuerst beschriebenen Konstruktion, .und eine Einzelelektrode 16a, welche die ganze andere Seite der Scheibe oder wenigstens den größten Teil davon bedeckt. Die Polarisation kann man erreichen, indem man beide Seiten der Scheibe 12a vollständig'mit Elektroden bedeckt. Danach werden die Polaristaionselektroden entweder vollständig entfernt und neue Elektroden aufgesetzt oder die Polarisationselektroden werden in bestimmten Gebieten entfernt, um die gewünschte Form der Betriebselektroden zu erhalten. Die Elektrode-16a soll mindestens gleich sein der Summe der Flächen der Elektroden 14 und 18 und diese minimale Fläche sollte direkt gegenüber-den Elektroden 14 und 18 liegen. Die Form der Elektrodendes Resonators.10 a .neigt dazu, einige Streukapazitäten einzuführen,.aber ansonsten sind die Betriebscharakteristiken im. wesentlichen diesel ben wie für Resonator 10.
  • Eine andere Abwandlung bildet der Resonator 10b, Fig. 5 und 6. Diese Konstruktion hat ein Paar it,-iittelelektroden 14, 16 und eine dritte Ringelektrode 34 auf dem äußeren Umfang der Scheibe 12b. Vorzugsweise besitzt die. Umfangselektrode 34 ringförmige Teile 36, welche die Randgebiete beider Scheibenseiten bedecken.
  • Im Gegensatz zu den oben beschriebenen axial polarisierten Scheiben ist die Scheibe 12b in zwei Richtungen polarisiert: axial in der Mitte zwischen den Elektroden 14 und 16 und radial im Rest_der Scheibe. Diese Polarisation in zwei Richtungen kann man dadurch erreichen, daß man die Zuleitungen 22 und 24 der Mittelelektroden 14, 16 beide an den einen Pol der Polarisationsspannung und die Zuleitung der Umfangselektrode 38 an den anderen Pol der Spannungsquelle anschließt. Auf diese Weise wird die Scheibe radial polarisiert. Danach-wird die Polarisationsspannung an die Zuleitung 22 und 24 der Mittelelektroden gelegt, so daB der Bereich der Scheibe zwischen diesen Elektroden axial polarisiert wird.
  • Die Wirkungsweise des Resonators 10b ist ähnlich der schon .beschriebenen, doch sind die Charakteristiken der Erregung ein wenig verschieden, wegen der verschiedenen Beziehung zwischen Feld und mechanischer Spannung und ihrer Wirkung auf die piezoelektrischen Koeffizienten, was unten im äinzelnen an Hand einer rechnerischen Behandlung des Gegenstandes gezeigt wird, welche der Beschreibung der physikalischen Einzelheiten aller Konstruktionen folgt.
  • Der PrüfkreiE der zur Ermittlung der Erregungscharakteristiken des Resonators 10b benutzt wird, ist in Fig. 7 dargestellt. Darin sieht man, daß das Eingangssignal an die Mittelelektroden 14 und 16 gelegt wird und das Ausgangssignal von der Umfangselektrode 34 und einem Erdpotential abgenommen wird, welches
    an demMitte7lanschluß einer--Widerstandsbrücke 40 herrscht:-
    Das Ausgangssignal --wird über einen zweiten -ili.d-erstand 42
    gemessen, der zwischen das Erdpotential und die. Zuleitung der
    Umfangselektrode-34 geschaltet--ist.. - : - -@
    Eine weitere Konstruktion-der Erf indung bildet der Resonätor
    10c, Pig. 9. und 10. Er besitzt- eine -Umfang-selektrode 3-4 und
    ein Paar- I,lttelelektroden 14, 16 s'ow ie ein Paar -lc#onzentrisch.er
    Ringelektroden 18, 20,jeweils gleichwertig den entsprechend
    bezifferten Elektroden-der oben beschriebenen Könstruktonen.
    Wie durch die Pfeile 30 .angedeutet, is-t die Scheibe 12c der
    Pig. 9°vollständig im radialer- Richtung polarisiert: Das
    erreicht man-, indem- man die Zuleitungen 22, 24 der Mittel=
    elektroden @14, 16 baide-mit@ dem einen" (z.B'. -dem positiven)
    Pol der Polarisationsspannungsquelle und die Zuleitungen 25, 28
    beider Ringelektroden: -1820 mit den anderen -(z.3-. dem nega-
    tiven) Pol verbindet: Das ruft eine `radiale Polarisation-
    zwischen den I@iittel- und den Ringelektroden hervor,--Dann-werden
    die Ringelektroden 18,20-gemeinsam @äÜ denselben Pol: (positiv)
    der Spannungsquelle angeschlossen, der `ursprünglich mit- d-en
    :@ittelelektroden verwunden war, uni die Zuleitung@ 38 der Un-
    fangselektrode 304 wird mit-den-anderen 1-öl.(nega.tiv) ver-
    bunden, _um die radiale Polarisation in dem Bereich zwischen
    den Ringelektroden und dem-Umfang der Scheibe zu =viervoll.-
    ständigen. Man sieht, daß eine .einheitliche Polarität .des.
    Polarisa tionsfeldes a-afrecht erhalten wird:
    Die Schaltunö des @?esönators -10 wird durch= den -rT,ifkreis
    in Fig. 8 darbestellt. E_..:
    Inn Hand der -i,ure: 1 - 10 sie _ons;,rürtionen der g
    besc.@rleoer_.v.ilr@F..y @ lv..ae-:fGii.'@ÜZh.1P..@'@Ä w.a0tj.@a@.he @rar@GVi@ir:e1
    zweier bru:@::;egenkcr @hara;~tz@_sti@@a gebe: nämre'z-=1:- cie
    Ricas tung o ier :ich t@ür e: der.- @@o@.Lr isa t 1o.: .der-=keraicc en: .
    Scheibe uni 2; sie @lekt-.osie.,-@..,@re zahl:un 3 0e @Gl@-@ -
    Es ist gezeigt worden, daß die Scheibe über ihren ganzen Querschnitt oder nur unter cbm Elektroden axial polarisiert sein kann, daß sie vollständig radial polarisiert sein kann -oder axial in der Mitte und radial am äußeren Bereich: Außerdem -wurde gezeigt, daß 3, 4 oder 5 Elektroden verwendet werden können: 3 Elektroden ist die Mindestzahl und umfaßt wenigstens eine Mittelelektrode und eine Ringelektrode, aber -jede vernünftige Anzahl von Elektroden kann durch Hinzufügen weiterer Ringelektroden verwendet werden.
  • Die Faktoren, welche die Anzahl, die Fläche und die Stellung der Elektroden beeinflussen, werden ersichtlich aus der folgenden rechnerischen Behandlung der Wirkungsweise von Resonatoren gemäß der Erfindung.
  • Die Ausdrücke und Annahmen-,- die in der rechnerischen Betrachtung angewandt werden, werden wie folgt definiert (unter An- -nahme gleicher Einheiten im ganzen Gang der Rechnung): -Te tangentiale oder Umfangsspannung TH - radiale Spannung TZ - axiale Spannung _ ER - radiales Feld .
  • EZ - axiales Feld p g31 - Koeffizient der piezoelektrischen Spannungsabgabe hei mechanischer Beanspruchung senkrecht zur Polarisationsrichtung _ g33 - Koeffizient der piezoelektrischen Spannungsabgabe bei mechanischer Beanspruchung parallel zur Polarisationsrichtung (für Bar iumti tanat r - Scheibenradius
    In Fig. 11 sind Funktionen der radialen-und tangentialen
    Spannungen einer dünnen keramisahen:Scheibe, die bei Grund-
    frequenz und erster Oberfrequenz in-rädialer Richtung schwingt,
    näherungsweise durch die Kurven TR und T8 darges-tellt. Die
    axiale Spannung TZ, welche durch den Poissoneffekt hervorge-
    rufen wi:,c_, ist sehr klein für dünne Scheiben und ist daher
    in Fig. 11 weggelassen: Die-ausgezogenen Kurven gelten für-
    Grundresonanz, Sie zeigen, daß die radiale Spannung TR am
    Rande der Scheibe 0 ist und daß sie-in der Mittee.'wo TR = TA,
    am größten ist. Die Tangentialspannung_ Te hat am Rande der
    Scheite einen kleinsten Wert, der größer als 0 ist. Die
    Spannungen Te und TR (pogitiv angenommen) sind
    und entgegengesetzt in Phase mit TZ , welche daher als negativ
    betrachtet. wird. _ ,
    Angenommen die Scheibe sei in der Mitte axial und am Rande
    radial polarisiert, wie-in zig. ;gezeigt, dann Wird das
    radiale Feld in dem- radial polarisierten Bereich wiedergege-
    @_.:ben durch
    R - TR g33 + g-31 (TZ + TQ
    Wenn Gleichung 1 auf Bariumt-itanat
    angewendet wird und am Rande der- Scheibe g33 als positiv,
    g31.,als negativ betrachtet wird, wird TR = 0 und damit
    _ ER _ g31 ATZ t Tg) (2)
    Wobei das Feld negativ ist (weil T@ TZ).- Das r-adiäle
    Feld bleibt in der Nähe des Randes und vom Rande einwärts
    negativ, weil TO sehr viel größer als TR ist. Näher nach
    der. Mitte zu (aber immer noch in dem radial pclerser=ten
    Berelch)ist das Feld positiv, weil TQ = TR und g33 f=-
    2,¢_g31 ist. Die axiale Spannung TZ ist=engegengesett in
    Phase mit und TR, -rodurh der.udruck- g31 T (lechun
    os.t#v w
    p_ . . irü. Der von TZ geliefer=te posüsive Bestaneü iet
    .. .. _ _ _
    3e bei güen Seheiben;
    Aus dem oben Gesagten geht hervor, daß die angegebene Spannung in einem Resonator wie er in Fig. 6 gezeigt ist, der bei seiner Grundfrequenz betrieben wird, von der Fläche der Mittelelektrode abhängt (und natürlich von der dazugehörigen Fläche der axialen Polarisation). dr kann jedes Vorzeichen annehmen und kann; für eine bestimmte Fläche der Mittelelektroden Q werden, nämlic;Y (unter. Venmachlässgung von TZ) wenn: worin a (Fig. 6) der Radius der Mittelelektrode ist und b der innere Radius der Umfangselektrode (d.h. der radiale Abstand des inneren Randes der ringförmigen Elektrodenteile 36, Pig. 6). Wo die Umfangselektrode 34 keine überragenden Teile 38 besitzt, ist b = r und in diesem Falle entsteht ein wesentlicher Löscheffekt. Dieser wird weitgehend beseitigt in der Konstruktion der Fig. 6,. indem man die radiale.Lusdehnung der Elektrodenteile 36 so groß macht, daß sie den Bereich bedecken, in dem T@ soviel großer als T ist, daß die Wirkung von g31 groß ist (siehe Fig. 11 und Gleicheung 1). Die Gegenwart der Elektrodenteile 36* verhindert die F,ntstehung eines Spannungsgradienten in diesem Bereich und beseitigt so einen großen Teil des Löscheffektes.
  • Das kann man auch erreichen, wznn@der Umfangsteil der Elektrode 34 weggelassen wird und nur die ringförmigen Teile 36 zurückbleiben. Die Gegenwart des Umfangsteiles der Elektrode 34 .ist jedoch wünschenswerte besonders während der Polarisation, weil sie eine gleichförmige Polarisation erlaubt.
  • Ein weitere§ rechnerisches Beispiel Wird jetg-t für den Ball . gegeben, da,B eire Scheibe bei: ihrer Grundfrequenz in radialer Richtung gchwngt, abep nur in irrer @xialen Richtung polarisiert' is,tR Diese @yladfikati.on ist in f en Fig. 1 -. dargestellt: Die mechanischen .Spannungsfunktionen sind die gleichen wie die durch die ausgezogenen Kurven in Fig. 11 dargestellten, aber in diesem Falle wird das axiale Feld wiedergegeben durch: _ EZ - g31 (T® + TR) + g3.3 TZ ` . (4) Da g33 und TZ um 1800 gegen g31 und TB,, T1, phasenverschoben sind-, tritt kein Löscheffekt auf: Die beiden oben erläuterten stellvertretenden Fälle zeigen, daß man durch eine geeignete Auswahl der Fläche .und der Stellung der Elektroden die Beseitigung des Löscheffektes. und eine Impedanzwandlung erreicht, welche eine-Spannungserhöhung liefert. Der Endeffekt ist, daß die hier beschriebenen Resonatoren sowohl als Impedan zwandler wie auch als elektrische Wellenfilter wirken.-Die gleiche Situation herrN.scht bei Resonatoren, welche bei einer Oberfrequenz arbeite... Die Pig. 11 bietet in einer gestrichelten Linie eine Spannungskurve für solch- einen Resonator, nämlich eine Scheibe-, die in radialer Richtung bei ihrer ersten Oberfrequenz (ungefähr 2,5 mal die Grundresonanzfrequenz) schwingt. Aus den Diagramm ersieht man, daß-die folgenden Spannungszustände herrschen: . 1. Im Kittelpunkt der Scheibe mit den Radius r: (b) T® , T.` sind positive :@;:xima (c) ''Z ist negativ- 2. Für den mittleren Bereich der Scheibe,wobei 3. An dem Umfang des Mittelteiles der Scheibe: (a) TA ist positiv .
  • (b) TR ist 0 (c) TZ ist negativ- . 4. Für das äußere Gebiet der Scheibe: `,7enn also,die Scheibe in den Figuren.1 oder 4 eine Mittelelektrode 14 mit einem Radius a von etwa 0,4 mal dem Scheibenradius r besitzt, und'die-Ringelektrode'20 abgesehen von einem sengen Spalt die restliche Fläche der Scheibe die Scheibe in radialer Richtung mit ihrer ersten Oberfrequenz schwingt, wird das axiale Feld wiedergegeben durch -...@Z = 931 (T@ + TR) + 933 TZ (5) Da alle Glieder für den Mittelteil der Scheibe positiv sind,- -tritt kei: Löscheffekt auf und man kannreine sehr günstige Impedan zwandlung erreichen. Die -obige RechnL:ng gründete auf die Annahme, däß.die Scheiben dünn sind (z.B. 1:;heiben mit einem Durchmesser der Größenordnung 5 =-10 mal die Dicke). In solchen Scheiben sind die axialen Spannungen ganz klein und sind daher meistens vernachlässigt worden. Weiterhin ist die Resonanzfrequenz dünner Scheiben fast ausschließlich eine Funktion des Durchmessers. riän kann natürlich auch Scheiben vön beträchtlicher Dicke verwenden; in diesem Falle beeinflußt die Dicke die Resonanzfrequenz und außerdem sind die axialen Spannungen nicht klein.' Insbesondere wenn die Dicke der-Scheibe mit ihrem Durchmesser in einer solchen Beziehung steht, daß die- radiale und die axiale-Resonanz zusammenfallen, treten sehr wohl axiale Spannungen auf, d.h. Spannungen derselben Größenanordnung-wie die radialen und tangentialen Spannungen. -In allen axial polarisierten Scheiben wird das axiale Feld wiedergegeben durch: EZ - g31 (TO + . TR) + g33 TZ Eine ziemlich dicke Res onatorscheibe zeigt wesentliche axiale Spannungen TZ und. nutzt daher den hohen g33 Koeffizienten ause Zusammenfassend kann gesagt werden, daß die beschriebenen Resonatoren einen Spannungsgewinn liefern, der durch eine Impedanzwandlung erhalten wird, abhängig von Fläche und Stellung der Elektroden. Die Impedanzwandlung schliesst die Wirkung der Fläche und daher das Xapazitätsverhältnis der Primär- und Sekundärelektroden ein-sowie die Stellung der Elektroden zur Beseitigung des Löscheffektes entgegengesetzt gerichteter Felder. -Die Erregungscharakteristiken eines typischen Resonä@ors gemäß der Erfindung werden in Fig. 12 gezeigt. Die besonderen Werte, die in Fig. 12 dargestellt sind, wurden mit einem Resonator, wie er in Fig. 4 gezeigt ist, ermittelt, der bei seiner Grundfrequenz Fo (ausgezogene Kurve) und der ersten Oberschwingung F1 (gestrichelte Linie) in dem Kreis von Fig. 3 . arbeitete. Der Radius der Mittelelektrode war 0,4 mal dem Radius der Scheibe 12a und die Elektrode 18 bedeckte den Rest der Scheibenfläche bis auf einen engen Spalt.zwischen ihr und der-Elektrode 14: Aus diesen Kurven ersieht man, daß Resonatoren gemäß der Erfindung, als Filterwandler verwendet,- gekennzeichnet sind durch scharf definierte Durchgangsbänder, hohen Spannungsgewinn und-ein hohes Signal :Rauschverhältnis. Mehrere Resonatoren können gemäß der bekannten Netztheorie in Filternetzen vereinigt werden, um die erwünschten Erregungscharakteristiken für besondezeAnforderungen zu erhalten.

Claims (1)

  1. Patentansprüche 1. Pizeoelektrisches Resonatorelement mit einer Scheibe aus ferroelektrischem-keramischen Material, das sich polarisieren läßt und so piezoelektrische Eigenschaften erhält und:-be-i dem die Scheibe elektrostatisch-polarisiert und so dimensioniert. ist, daü-sie bei einer bestimmten Freo_uenz bei radialer Schwingungsform Resonanz-ergibt, g e-k e n n_z-e i c h n e t d u r c h mit der Scheibe leitend verbundene_Elektroden,- _ die zum Anlegen einer primären Wechselspannung an die Scheibe und zur Abnahme einer durch-die Scheibe erzeugten sekundären Wechselspannung dierzen und eine im wesentlichen rurde.Punktelektrode (14) im, Mittelpunxt der einen Seite der Scheibe, einen. konzentrisch zu der Punktelektrode und radial in Abstand außerhalb von ihr angeordnete Ringelektrode (18 oder 34) auf der Scheibe und mindestens eine weitere Elektrode (16, 20-9--1-6a oder 1ä) auf der anderen Seite der Scheibe enthalten:-2. Piezoelektrisches Resonanzelement nach Anspruch 1, d ad u r c h g e k e n n. z e i c h n e t ; da ß -die -Ring-- -elektrode (18) sich auf derselben. Seite der Scheibe befi:ndet wie die Punktelektrode.-3. Piezoelektrisches Resonanzelemer:t nach Anspruch 2; d 'a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t-, daf3 eine dritte Elektrode. (16a) vorgesehen ist, welche im wesentlichen die ganze Fläche der der Punkte'lektroc,e (14) und der Ringelektrode (18) entgegengesetzten Seite der-Scheibe bedeckt. 4. Piezo-elektr_sches Resonanzelement nach Anspruch 2, ,d .a -d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß eine zweite Punktelektrode (16) -und-ei ne zweite Ringelektröde (20) vorgesehen sind, die sich auf der der ersten Punktelektrode (14) und der ersten Ringelektrode (18) entgegengesetzten Seite der Scheibe befinden und im wesentlichen in Fläche und Stellung damit übereinstimmen.- -5.'Piezoelektrisches Resonatorelement der Ansprüche 1 bis 4, d a d 'u r c h g e k .e n n z e i c h n e t , daß die Scheibe in axialer Richtung elektrostatisch polarisiert ist. 6. Piezoelekttrisches@Resonatorelement nach Anspruch 5, d a d u r. c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Scheibe nur zwischen den auf verschiedenen Seiten der Scheibe einander gegenüberliegenden Elektroden elektrostatisch polarisiert ist. 7. Pie-zoelektris.ches-Resonatorelement nach Anspruch 1, d a d u. r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Ringelektrode*(34) sich am Rande der Scheibe befindet, und daß eine zweite P<mktelektrode (16) auf der der ersten Punkt- - . elektrode (14-) entgegengesetzten Seite der Scheibe vorgesehen ist, welche- im-wesentlichen in Fläche und Stellung mit ihr übereinstimmt. B. Piezöelektrisches Resonatorelement nach. Anspruch 7, d _a d u r c, h g e . k e n n z - e i c h n e t , daß die Ringelektrode eine rir,.öförmige Fläche (36) auf jeder Seite der Scheibe, unmittelbar an ihrem Randbedeckt. 9. PiezoelekUrisces ?esona torelement nach Anspruch 8, `d a- d u r c h g- e- :r. e r_ n z e i c h n e t , daß die ringförmige Fläche (3'6) auf jeder Seite--der Scheibe e: nähernd mit `deri Be- reich° übereins timmt, .n welchem i-iährc_=ä -der radialen Schwingung die in der Sccbe auftretenden Tangentialspannungen größer sind als die radialer Spannungen.
    10. Tiezoelektrisches Resonatörelement nach Anspruch-.7, 8 oder 9, d a d u r c- h g e--k- e .n n' z =e i c h n e t , .daß ,die_- Scheibe in dem-Bereich- zwischen, den Punktelektroden (14, 1.-6)- -in axialer Richtung und im, Re.st der Scheibe radial polarisiert- ist.. - 11.-Piezoelektrisches Resonatöre-lement-nach Anspruch7-, 8 oder 9, g e k e n n z e i c h n e t --d-ü r c h=.die Hin-Zufügung-'einer- weiteren konzentrisch.zu der .Punktelektrode (.14 bzw: -.-l6-) -und außerhalb von ihr-angeordneten'-Ringelektrode (18,-20) auf jeder Seite-der Scheibe, wobei die gesamte Scheiben radialer Richtung polarisiert ist. 12:. Piezoelektrsches Resonaterelement--na=ch-einem der Ansprüche 1 bis 11, -- d a d u r c:-=h - g_ e- k e n--n--z- e i e h n-=e--t ,- daß die Fläche-der Punktelektrode-(114) und die -Pläche -und-Stellung der Ringelektrode' (18 -oder 34) im Verhältnis zu der Verteilung: und :Phase der -ebenen Schwingungsspannungen in der ,Scheibe der= art gewählt-ist, daß die Mschung entgegengesetzter Felder-, -sekundären Elektroden der Scheibe minimal gehalten - wird. 13: Piezoelektrisches Hesonatorelement naoh-einem der Ansprüche- 1 bis 12 d a d u -r c h g e -k e n n. z. e i o h n e t ,daß das Verhältzis -der wirksamen -Flächen- der--primären: und sekundären Elektroden-so gewählt ist, daß die gewünschte Kapazität und-da- mit das gewünschte lmpedänzverhältnis zwischen-den primären und den sekundären Elektroden der Scheibe entsteht, -wodurch- eine Spannungsinformation innerhalb äes=Bandes-der Betriebsfrequenz-her- vorgerufen wird.- _ 14: Piezoelektrisehes Resonatörelement nach einem m`der-Ansprüche 1 bis 69 d - a d u r" c h g e k. e n n- - z e -i- o h- h` e -t - d a ß die Punktelektrode (14) einen Radius- von etwa d-em =0, 4: fachen Radius der-Scheibe hat, und -daß die @ingelelktr.o-cde(1_8) im wesentlichen die gesamte =restliche Fläche derse3.ben Seite der- Scheibe bedeckt,
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