DE1614455A1 - Verfahren zum Herstellen einer teils aus Siliciumoxid,teils aus Siliciumnitrid bestehenden Schutzschicht an der Oberflaeche eines Halbleiterkoerpers,z.B.einer Halbleiteranordnung - Google Patents
Verfahren zum Herstellen einer teils aus Siliciumoxid,teils aus Siliciumnitrid bestehenden Schutzschicht an der Oberflaeche eines Halbleiterkoerpers,z.B.einer HalbleiteranordnungInfo
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Description
Heue Anmeldungsunterlagen
Verfahren- zum Herstellen einer teils aus .Siliciumoxid·,-teils
aus Siliciumnitrid /bestehenden Schutzsehicsht an
derCberflache eines Halbleiterlcörpers:, z.B. einer HaIb-'■'.'■
1 ei te-r-an Ordnung, ■ ■ ;";
Ko-.'ist. üblicli,. die_ Oberfläche -von 'Halbleiterbauelementen
mit einer "dünnen ochutzschicht aus Siliciumoxid". zu versehen ρ :-Vielfach7 wird diese ..ochu-tzschicht bereits1 bei
der Herstellung des Halbleiterbaueleraentes,.. z.B. bei- '
Verwendung der sogenannten Planartechnik, benötigt,
uu oin lokalisiertes :.:ind if fundieren -von- Dotierungsstoffen
aüa- der 0-asphase in den. Halbleiter- ." '-' ' _ :
£7/22 00 o
009ÖIQ/1 097
PA 9/493/862 ' - '2 - -
kristall zu ermöglichen. SiOp-Schiehten besitzen bekanntlich
die Eigenschaft, daß sie von einer Reihe der üblichen Do-. tierungsstoffc undurchdringbar sind. Polglich lassen eich
derartige Schutzschichten als Maskierung verwenden. Neuerdings kommen als weitere Schutzschichtraaterialien Siliciunnitridschichten
in Betracht.
Soll eine SiOp-Schutzschieht an der Oberfläche eines Silieiumkristalles
erzeugt werden, so hat man die Möglichkeit, diese
Schutzschicht einfach durch Oxydation der Halbleiteroberfläche zu erreichen. Y/eeentlich schwieriger ist es, die Halbleiteroberfläche
au nitrieren, un eine Siliciumnitridsehicht
zu erzeugen. Sei anderen Halbleitern, s.3. bei Grcmaniun, ist
r.an genötigt, das. Material der Schutzschicht, falls es aus SiOp bzw. Si-IL bestehen soll, aus der Gasphase, d.h. durch
thermische Unsetzung eines Reaktionsgases, an der erhitzten
Oberfläche des Halbleiterkristalles niederzuschlagen. Ec oind
eine Reihe von Reaktionsgasen bekannt, welche das Yerlangte zur Herstellung einer SiOp-Schicht leisten. Ferner sind auch
verschiedene Verfahren zur Herstellung einer Si-,Ιί.-Schutzschicht
an der Oberfläche eines Halbleiterkristalles vorgeschlagen worden.
Bin solches Verfahren ist in der deutschen Patentanmeldung
S 103.522 IV(/i2g (PA 66/2433) beschrieben. Dieses Verfahren
BAD ORIGINAL
009810/1097 - 3 -
Ir · · I
PA' 9A93/862 - 3 - ;
zum Herstellen einerSchutzschicht aus einer Silicium- = - - ,(.
oder Gerir.GnitinistickGt off verbindung an der Oberfläche eines J
Kalbleiterkristalles^ vorzugsweise.aus Silicium oder'Germanium,
TTT V
oder einer AB -Verbindung, durch thermische "Abscheidung" der
Halbleiterötickstoffverbindung aus der Gasphase ist durch die ■
Anwendung eines Reaktionsgases, welches als aktiven Bestand- .;
teil eine iretallfrele flüchtige Verbindung zwischen Stick-
ntoff und den Halbleiter, z.B>
Siliciun,; enthalt, gekennzeich- I
net. Ein weiteres Verfahren bildet den Gegenstand der deutschen :
Pc-tentanceldung S 1Ö3V578'.ITTcZTZe (PA: 66/2457);. Biese bezieht
sich auf ein Verführen zum Herstellen einer Schutzschicht aus
einer festen Halbleiter^Stickstoff-Verbindung für Halbleiter- ' :
zwecke, insbesondere an der Oberflache eines.: Haibleiterfcristalls
TTT V
aus Siliciun oder Gerr,aniüti oder einer A B -Verbindung, durch
thermische oder elefctrotheraische Abscheidung der Halbleiter-
Stickstoff-Verbindung aus der Gasphaseι v/elches dadurch gekennzeichnet
ist, daßä&s verwendete Reaktionsgas aus einer ; ^i
neben, Halogen höchstijfs noch Wasserstoff und/oder Alkyl- bsw.
Arylreste enthaltenden Yertindung eines halbleitenden Elenentes
und einer flüchtigen, gegebenenfalls alkylierteii Stickstoff- |
Waseerstoff-Verbindiing erst unmittelbar sn der sit beschichten- ■■·;
den EälbleiterccerflUehe" aus seinen Komponenten susannengesetct
und an aer erhitzten "Haiblexteroberflache- unter Bildung
von Halbl ei temitriä sur"-Reakti on.; gebracht wird.
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Ed wurde nun bereits vorgeschlagen, solche aus Siliciumnitrid
und Siliciuir-oxiden kombinierten Schutzschichten an
der Oberfläche eines Halbleiterkörpers anzuwenden. Durch die
Anwendung einer aus mindestens zwei übereinander angeordneten Schutzschichten, von denen mindestens eine aus Siliciumdioxid
und mindestens eine aus Siliciumnitrid besteht, lassen sich
die Vorteile beider Schutzschichten, nämlich die niedere Termdichte
einer SiOp-Schutzschicht und eine gute Maskierungswirkung
einer Si,1Γ.-Schicht gegen Ioneneinwanderung von der
Schichtoberfläche miteinander vereinigen.
Eine Möglichkeit der Erzeugung einer solchen Schutzschicht
an der Oberfläche eines auö* Silicium bestehenden Kristalles
becteht darin, daß rr.an zunächst die Siliciumoberflache thermisch
oxydiert und dann auf der Schutzschicht, beispielsweise unter Verwendung der eingangs beschriebenen Verfahren, aus der
Gasphase eine Siliciur.hitridschicht auf der Siliciumoxidschicht
zur Abscheidung bringt. Umgekehrt besteht die Möglichkeit,
zunächst ein Reakticnsgas zu verwenden, welches zur Abscheidung einer Siliciur.nitridschicht befähigt ist und dann dieses
Reaktionsgas spätex durch ein Reaktionsgas zu ersetzen, welches zur /Abscheidung einer Silieiunoxidschicht befähigt ist.
. . Als übliches Reaktionsgas zur Herstellung einer
SiIiciumdioxidschicht kenn man z.B. ein Gemisch von SiCl. und
Wasserdampf (gegebenenfalls mit einen Inertgas verdünnt) oder
ein Gemisch aus Inertgas und Tetraüthoxisilan (- Si OC0Hk)7, ■ !
009810/1097.
β·· C «ι · ft » ί
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verwenden, während zur Darstellung der Siliciufiinitridschicht
die in den eingangs genannten Patentanmeldungen geschilderten
Methoden bzw» ein Gemisch aus Silan (= SiH.) und Ammoniak
dienen kann*
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen
einer teils aus Siliciumoxid, teils aus Siliciumnitrid bestehenden
Schutzschicht an der Oberfläche eines Halbleiterkörpers f ζ.B,
einer Halbleiteranordnung, bei den eine aus Siliciumoxid und eine aus Siliciumnitrid bestehende Schicht
an der Qterflache eines Halbleiterkristalles unmittelbar
übereinander durch Abscheiden der Schutzschichtmaterialien aus der Gasphase angeordnet werden, welches dadurch gekennzeichnet
ist, daß wahrend des gesamten Abscheideprozesses ein zur Abscheidung von Siliciumnitrid befähigtes Reaktionsgas
verwendet und diesen Reaktionsgäs während eines Teiles des
Abscheidüngsprozesses ein zur Abgabe von Sauerstoff "befähigtes
Reaktionsgas in einex" solchen Konzentration zugemischt wird,
daß neben mindestens einer zusammenhängenden Schicht aus
S:iliciuir.nitrid mindestens eine zusammenhängende Schicht aus SiliciuEidioxid
an der gleichen Stelle der Halbleiteroberfläche abgeschieden;wird.
Den bisher ausgeübten Verfahren gegenüber wei3t das erfindungsgemäßo
Verfahren den Vorteil auf, daß ein Wechsel der aktiven ;
Komponante/ dec Reaktioncgases und auch des Irägorgusoa nicht
009810/1097 BAd
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notwendig ist, und daß der V/echscl von einer 'litridabscheidung
zu einer Oxidabscheidung lediglich durch Zugabe einer weiteren, von dotierend oder gar verunreinigend wirkenden Bestandteilen
freien Gaskonponcnte erzielt werden kann, wobei nach Entfernung
dieser Komponente aus dem Reaktionsgas die Abscheidung des Siliciumdioxiden wieder in die Abscheidung von siliciurnitrid
übergeführt werden kann. Das Auftreten zusätzlicher, gegebenenfalls
eine Beeinträchtigung nachfolgend abzuscheidender Silica
umnitridschichten bewirkender Bestandteile des für die Abscheidung der Siliciur.dioxidschicht verwendeten Reaktionsgases, die sich ;dann später während der Abscheidung der
Siliciumnitridschicht ungünstig bemerkbar machen könnten, ist
also bei dem erfinaüngsgemiißen Verfahren vermieden.
Ejan, daß die Bindungsenergie der, Si-H-Bindung
105 Kc/i:oXV da0^ der Si-0-Eindung hingegen 192 Kc/l.Iol betrügt
und somit fast.doppelt so groß ist, so wird verstündlich,
daß Sauerstoff- in der Lage ist, bei entsprechender Aktivierung
. die Stickstoff-Siliciunibindung zu zerreißen und sich an die
Stelle'des Stickstoffes zu setzen. Die Bemessung der Konzentration an dem Reaktioncgas zum Zwecke der Siliciur.dioxidabscheidung
zuzusetzehdem Sauerstoff- 'iYasserdampf oder anderem,"'
zur Abgabe von Sauerstoff an das Silicium befähigten Reaktionsgas läßt sich somit ohne SehwierigReit festlegen.
Auf Grund der viel höheren Affinität vom Sauerstoff können
bei Temperaturen bis ca. 12QO0O in Anwesenheit ausreichender
■.-... BAOORSQ)NAL -f.-
• *
• ·
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Mengen von Sauerstoff und/oder Wasserdanpf und/oder Sauerstoff- bzw. Wasserdampf-abspaltender Verbindungen .auch bei
Vorliegen eines Reaktionsgases»dessen aktiver Bestandteil
bereits die Si-ir-Mndung in vornherein erhält, reine SiO2-:
Schichten gebildet werden, die kein Siliciunnitrid mehr enthal- ·.
ten. - - - ■■ f ': '."
Für das Reaktionsgas kor,nen vor allen folgende -Stoffe"-in.
Betracht: Silane s.B. SiK* oder Halogensilane, z.B. SiCl-,
die alt Arxioniak oder einer anderen Wasserstoff und Stickstoff enthaltenden gasförmigen oder leicht flüchtigen Verbindung
versetzt sind, gegebenenfalls in Gemisch nit. einen inerten Triigergas '.vie Argon oder Stickstoff, ferner die in den
beiden einirr.ngs gen; nnt en Pat entcnmel düngen aufgeführten. .
Stoffe. Diese sind s-»B.. Silacürpe,- die bereits in vornherein
eine Si-r-Binduiig enthalt eh.-Allen diesen Stoff en ,ivird bei- :
spielsiveise reiner Sauerstoff und/oder 7.'a3serdanpf und/oder
Kohlendioxid, gegebchenfalls in Genisch nit Wasserstoff, zugegeben,
un an Stelle der an sich erfolgenden Abscheidung Von Siliciurnitrid eine Abscheidung von Siliciumdioxid au erhalten.
Insbesondere, will man einen r.ehrnaligen Wechsel^ von Siliciur.^·
- und Siliciur.dioxidschichten erreichen, enpfiehlt es" str^r.ende-n
ReaktionDgas zu arbeiten. Als Apparatur
der üblichen Epitaxieanlagen oder eiiiRolupfen "vor- -':
wendet, werden.
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BAD ÖFHGINAk
*- 8 - ■■■-"--;
PA 9/493/862 - 8 -
Ein Beispiel für die Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens
wird an Hcnd der Figur gegeben.
Ein aus Quarz bestehendes Reaktionsgefäß 1 ist mit einer
Zufuhr 2 und einer Abfuhr 3 für das verwendete Reaktionsgas ausgerüstet. In Innern des Reaktionsgefäßes, beispielsweise an
dessen Boden, liegen die mit der Schutzschicht zu versehenden Halbleiterscheiben 5, beispielsweise Halbleiteranordnungen.
Aus einem Vorratsgefäß 4 strömt die zur Herstellung der Siliciurnitridschichten
zu verwendende Verbindung in Gemisch mit einem inerten Trägergas, beispielsweise Stickstoff, in
das Reaktionsgefäß 1. Zur Erhitzung der zu beschichtenden Scheiben 5 ist eine Heizvorrichtung, beispielsweise eine elektrische
Heizplatte 6, vorgesehen, die, wie im Beispielsfalle, außerhalb des Reaktionsraumes angeordnet sein kann. Die
anzuwendende Temperatur richtet sich nach speziellen, insbesondere
mit der jeweiligen Phase des Herstellungsprozesses verbundenden
Gesichtspunkten. Beispielsweise kann man zum Zwecke eines nachfolgenden Diffusionsprozesses mit einer Schutzschicht
entsprechend der Lehre der Erfindung zuversehende SiIiciumeinkristalle
weitaus hcheren Temperaturen aussetzen (650-1200 C) als dies für nachträglich mit einer Schutzschicht zu überziehende fertige Halbleiterbauelemente der Pail ist. V/i 11 man mit
besonders niedrigen Temperaturn arbeiten, so genügt eo, das,
Reaktionsgas an der Oberfläche der zu beschichtenden Halbleiterkristalle mit einer niedertemperierten elektrischen Gasentladung,
beispielsweise einer Glimmentladung, zu aktivieren.
009810/1097 ■ t bad original
— Q _
PA 9/493/862 - 9— :.-/. " ·
Zum Zwecke der SiliciArroxldabsGheidwang ist ~&o-ch trol Trcrteres
Vorrategefäß 7 vorgesehen t- welches !beispielsweise Sauerstoff
enthält, der nach Belleten den aus den Behälter 4 in das
Reaktionsgefäß1 strOmenden Beaktionsgäo beigemischt werden v
kann. - ' 1V ■ ^ ■" -""- ■■" ■■ ;
Ausführungen über die Herstellung der SiÜciucinitridsehicht
findet man beispielcv/eise in den bereits genannten Patentanmeldungen S 105.578 ITc/12g und S 103.522 I¥ö/i2g. Die dort
"beschi'iefcenen Bedingungen und Yerhältnisse können>sur A"bscheidung
der Siliciuir-nitridsciiichten Tbei dem Yerf shren-genäß vorliegender
Brfindung ebenfalls angewendet und unverändert übernommen werden. ν - .
V;rill man statt der Siliciuirnitridschicliten ,Siliciuiaöxidscnichten
erhalten, so braucht man:nur die entsprechende ifenge von
sauerstoffhaitigern'Gas bei'sonst unveränderten Abscheidebedingungen
den Reaktionsgas beimischen. Die orforderlichen IJengen
ergeben sich auf Grund stöchiometrischer Überlegungen, die
natürlich je nach der Art des· zu verwendenden Seaktionsgases
zu etwas unterschiedlichen,Ergebnissen führen* Im allgemeinen
ict Jedoch eine sorgfältige Bemessung desSauerstoffgehaltes
nicht erforderlich, weil die anzuwendenden Gase in stark verdünntem
Zustand angewendet werden und es dann keine Schwierigkeiten bereitet, einen Überschuß an dem oxydierenden Gas zu
erhalten. . ; . - " . ;· . -_■■■■,= bau w
003810/109T
PA 9/493/862 . - 10 - ' .
Durch Η-ehr oder weniger schnellen At- oder Zuschalten der
oxydierenden Komponente kenn der Ütergr.ng der Oxid- in die .
liitridachieht und ur.eekehrt lange an. oder abrupt verlaufend
erhalten werden.
T. Figur
5 Patentansprüche
BAD ORIGINAL
- 11 -
009810/1097
Claims (1)
- P-it JL 6- j\_ J- fl-11, -.5Γ ,P. X ü. P..■-j'L.e i1. Verfahren zum Herstellen einer teils aus Siliciumoxid,·' teils aus Siliciumnitrid bestehenden Schutzschicht an der Oberflache eines Halbleiterkörpers, z.B. einer Halbleiteranordnung, bei den eine aus der Oberfläche eines Halbleiterkristalles unmittelbar übereinander durch Abscheidung der Schul zsehichtniaterialien aus der Gasphase angeordnet v/erden, dadurch geker.nzelehnet, daß während des gesamten AbscheideproKesscs ein zur Abscheidung von Siliciumnitrid befähigtes Rc-akticnsgas veivrendet und dienern F«eaktionsgas während eines Seiles des Abscheidungsprozesses ein zur Abgabe von Sauerstoff befähigtes Reaktionsgas in einer solchen Konzentration cugcjnischt wird, daß neben -nir.desteno einer susar.nenhängenden Schicht aus Sdliciuir.nitrid inindestc-ns "eine zu-Gar.Sienhängende Schicht aus Siliciunoxid cn der gleichen Stelle der Halbleiteroberfläche abgeschieden v/ird,2. Verfahren "nach Anspruch !,dadurch gekennzeichnet* daß den Reakrionsgas zum Zweckeder Erzielung einer Abscheidung; von Siliciumoxid, insbesondere SiOk, mindestens eines der Gase Sauerstoff, Wasserdampf bzw. ein bei erhöhter Senperatur Wasserdampf bildender Stoff wie Co? und Hp, zugegeben v/ird.009810/1097BAD ORIGINAL -■■-12'-.PA 9/493/862 - 12 -,J. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Reaktipnsgas zur Abscheidung der Siliciunnitridschichten mindestens eine flüchtige Verbindung der folgen-. den Art verwendet wird: Siliacan, Aninosilan, Silan, Halogensilan, Alkylsilan, Arylsilan, gegebenenfalls im Gemisch mit flüchtigen Stickstoffverbindungen wie TIH, oder einem flüchtigen Arain.4. Verfahren nach einen der Ansprüche 1-3, dadurch gekennzeichnet, daß die Abscheidung aus den Reaktionsgas durch Erhitzung der zu beschichtenden Halbleiterkristalle erreicht wird.5. Verfahren nach einen der Ansprüche 1 - 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Aktivierung des Reaktionsgases nittels einer elektrischen Gasentladung, vorzugsweise einer niedrigtenperiorten Gasentladung, bewirkt wird.BAD G009B10/1097
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