DE1614249A1

DE1614249A1 - Sockel fuer Halbleitervorrichtung

Info

Publication number: DE1614249A1
Application number: DE19671614249
Authority: DE
Inventors: Jones Anthony Ronald; Scholes Geoffrey William
Original assignee: Philips Gloeilampenfabrieken NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 1966-05-19
Filing date: 1967-05-17
Publication date: 1970-06-25
Also published as: FR1594553A; BE698726A; GB1226228A; NL6706869A; JPS4923461B1; NL6707869A; NL6906869A; US3689996A; DE1919544A1; GB1142868A; AT288809B; JPS4930317B1; CH465062A

Description

Dipl. - Ing. ERICH E. WALTHER 16U2/,9

Patentanwalt

Anmelder:NXPHlLIPS'GLQEILAMPENFABRlEiCEN ' . ^₁ _M, _n Aide: PHB- 31 630 im.X6}Q AaiMtdung vom* 16.Mai 1967 ΗΚ/VO.

"Sockel für Halbleitervorrichtung".

Die Erfindung betrifft einen Sockel für eine Hälbleitervorriohtung, eine Halbleitervorrichtung mit einem eolchen Sockel und ein Verfahren aur Hersteilung von Sockgin für Halbleitervorrichtungen«

Bei der Hersteil\ing von Halbleitervorrichtungen, a.B. Transiatorönj wird der Halbleiterkörper üblicherweise auf einem Sockelteil einer Hölle angeordnet und dann hermetisoh in der Hülle verschlossen) wobei eine Kappe einen Deckel auf dem Sockel bildet» Transistoren werden üblicherweise auf einem Sockel angeordnet₉ der aus einer Metallsohalemit kreisförmigem Umriss besteht, wobei Drähte durch die Schale hindurghgeffihrtund von ihr durch Eineohmelaglas isoliert werden) das so gewählt iat, dass sein Ausdehnungskoeffizient _t demjenigen des Metalls der Schale entspricht« Sie inneren Endteile der DrJlhte werden übliGherwÄie« als "Stifte" beaeiohnet« Der Halb-» i

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leiterkSrper des Translators wird meistens unmittelbar auf der Metallsohale angebraoht, wobei z.B. die Kollektorsone nit der Metallsohale verbunden ist, während swischen den Emitter» und Basiszonen und den zugeordneten Stiften gesonderte Verbindungen hergestellt werden.

, Bei bestimmten Halbleitervorrichtungen, z.B. bei in einer einzigen Hülle verkapselten komplementären Tran sistorpaaren} in einer einzigen Hülle verkapselten Mehrfachdioden und in einer einzigen Hülle verkapselten aus mehreren.Elementen bestehenden integrierten Schaltungen, werden zwei oder mehr Halbleiterelemente oder sonstige Elemente, entsprechend der besonderen Art der Vorrichtung, auf einem Sockelteil der Hülle angebracht. In den meisten dieser Vorrichtungen müssen die Elemente voneinander und von der Metallsohale des Sockels elektrisch isoliert werden. Dies ist daduroh erzielbar, dase Teile der Oberfläche eines keramischen KBrpers, der einen Teil eines Sockels bildet, selektiv metallisiert werden, wonach die Elemente auf den metallisierten Oberflächenteilen angebraoht werden. Solche Sockel mit metallisierten keramischen Teilen sind im allgemeinen teuer. Ein anderes Verfahren zum Brei·!·« &«r gewünschten Anordnung und der gegenseitigen Isolierung der Elemente und der Metallsohale des Sookele besteht darin, dass der Sookel mit einer Isolierschicht tiberzogen wird, wonach mehrere getrennte Metallstreifen auf der Oberfläche der Isolierschicht angebraoht werden. Die Elemente werden, z.B. unter Anwendung von Warme und Druck, je an einem Metallstreifen befestigt. In einigen Tillen können die Streifen, die als Verbindungsstellen bezeichnet werden, mit den Stiften verbunden sein, wlhrend sie in anderen Fällen isoliert von den Stiften angeordnet sind» In der ersten Gruppe von Fällen werden

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entweder die gesonderten Streifen mit Oeffnungen versehen und auf die Stifte ge«ohoben oder je mit einem Stift verbunden, a.B. durch Hard-' löten. Di·Herstellung eoloher Sockel ist verhaitniemSseig verwickelt und aufwendig» Ferner let duroh die verwickelte Hereteilungdie Geometrie der Metallstreifen und ih:re gegenseitige Lage auf der Isoliereohioht, e.B. einer Qlaeeohioht, an enge Beschränkungen gebunden. Bei einem viel benuteten Sookel liegen drei parallele Streifen mit reohteckigem Umriss auf der Olaeechioht. Weitere Schwierigkeiten ergeben «iclv bei der Herstellung von Sockeln mit Streifen, die Von , den Stiften getrennt liegen, weil die Streifen vor der Verschmelzung mit der Qlaeaohioht engeordnet werden" müsßen.

Ein Bookelfür^^ eine Ttalbleitervorriohtung besteht gemasa der Erfindung aus einer Metallechale auf^ mehrerenpa3?äilel verlaufenden Ketalldrthten,die isoliert durch die Schale hindurohgeführt sind,aus, iiner an der Sohale befestigten leoliermase mit einer nahezu ebenen Tragf15ohe, die innerhalb des von den inneren Bn&toil©n der'Metalldr&hten umgebenen Qebiet» liegt, und aue mehreren voneinander isolierten Metallstreifen auf de* ffrfagflÄohe;.| die von den bandförmigen Teilen einer mit einem Muster yeraehenen Folie gebildet werden·

Die Verwendung einer mit einem Musterversehenen Folie, ^ die bandförmige Teile hat, welohe die HetallBtreifen bilden| ermöglicht -/■■_ eine grÖseere Wahl dexöecagtrie der Streifen und ihter gegeniBeitigen ,-Lage auf der Oberfläche der IsoliermaEee. Die Verwendung einer mit einem Muster versehene Folie gibt auch bedeutende Vorteile bei der Herstellung des Sookele und somit eine Kostensenkung*.'

Bei einer bestimmten Ausführungafonn des Sockels bestehen die Metallstreifen aus; bändf Bra igen Teilen einer duroh ein Photoätz··-

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verfahren mit einem Muster versehenen Metallfolie«

Bei einer anderen Aueführung»font 'bestehen die Metallstreifen au«

bandförmigen Teilen, einer ausgestanzten Metallfolie«

Jeder Metallstreifen kann mit dem inneren üadteil einei Metalldrahte verbunden Bein« Ee kann jedoch auoh »indesten« einer der Metallstreifen elektrisch isoliert auf der Tragfläche ftngetattofet »ein, während die übrigen Metallstreifen je Bit den inneren Indtell eine· Metalldrahts verbunden sind. Weiter kann aindeetene einer Metallstreifen mit der Metallschale verbunden Bein, entweder uneittelbar^ oder Ober einen der Drahte» ' . *

Die Verbindung eines Metallstreifen« «it eine« Draht erfolgt leicht und einfach. Sie Verbindung kann daduroh hergestellt werden, dass der,Draht duroh eine Oeffnung i» Streifen gesteekt und mit Hilfe eines auf dem Draht in der Ilth* de» Me tall» treifeaa angeordneten Hartlotringe mit dem Streifen verlBtet wird.

Der Sockel kann aus einer Metallaohale bestehen» die. einen aüsseren Flansch und eine innere Plattform aufweiate «uf der die IsoliermaBse befestigt iet* wobei mehrer» Oeffnungen an üafang der Plattform vorgesehen sind, durch deren jede ein Metalldraht hin- ' durchgeführt ist« der durch einen innerhalb der Oeffnung liegenden Teil der Isolieroasse von der Metallschale isoliert ist« Bei eines solchen Sockel kann die Isoliermaese sich auoh bis in den Hohlraue in der Schale unter der Plattform «rstrecken»

Oemtss einem anderen Aspekt der Erfindung werden bei einem Verfahren zur Herstellung eines Sockels für eine Halbleitervorrichtung eine mit Oeffnungen versehene Metalleohale» eine Mit Oeffnungen verseheneQlaseoheibe. eine mit einem Muster versehene

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Metallfolie und roehraye Dr&hte in-eine Lehre gegeben) wobei dj,· Glasscheibe awlsehen der Metällsohsle und dar Metallfolie liegt und die Drtht« durch die Schale und die Glasscheibe hindurohgeführt sind, wonaöh di@ Lehre mit ihrem Inhalt auf eine derartige Temperatur erhitzt wird§ dass die Glasscheibe an^die Metallsohale, an die BrahtQ und an die Metallfolie anBöhmilat,

Mindestens einer der Drahte kann durch eins Oeffnung in einem bandförmigen Teil der Metallfolie hindurohgefflhrt sein, wobei ein Lotring in der Nähe der Folie auf den Draht gesteckt ist, so dass während der Erhitzung der'bandförmige Teil mit Hilfe des Hingas mit dem Metalldraht verlStet vird.

Me Metallsohale kann aus einem äusseren Flansch und einer am Umfangmit Oeffnungen versehenen inneren Plattform bestehajaj wobei in die Lehre ©ine erete mit Oeffnungen versehene QlassoheibQj die awischen die Plattform und die Metallfolie gelegt ist« und eine zweite Glasscheibe₉ die im Hohlraum in der Schale unter de? Plattform angebracht ist» gegeben werden^ und Jeder Draht durch eine Oeffnung in der ersten Olaischeibe, durch eine Oeffnung in der Plattform der Metallsohale und durch eine Oeffnung in der zweiten Glasscheibe geführt wird, wonach das- Ganze auf eine derartigs Teröpsratur erhitat wird, dasa dia Glasscheiben an die Schale undj durch die Oeffnungen in der Schale hindurch, aneinander ansohmalaen» woduioh sie gleichseitig die Drähte von der Schale isO" lieren« . ■ : " ■■ . . ' _'' \ ■ :.

Di© mit einem Muster versehene Metallfolie" kann aiis bandförmigen Teilen bastehsng die sich von einemumgebenden tragenden Teil her eretreöken und wahrend der Erhitzung an die benachbarte

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Glasscheibe angeschmolzen werden , wonach der umgebende' tragende "Teil abgeschnitten wird.

Bei einem Verfahren, bei dem eine solche Folie benutzt wird» können mehrere Sockel für Halbleitervorrichtungen gleichzeitig in einer Lehre mit mehreren Aufnahmeräumen hergestellt werden, wobei eine einzige mit einer Muster versehene Metallfolie, z.B. ein· photogeätzte oder gestanzte Metalifolie mit mehreren Sandmustexn und diese umgebenden tragenden Teilen in der Lehre angeordnet wird und die tragenden Teile nach der Erhitzung, aber vor der Entfernung der fertigen Sockel aus der Lehre von den Bandraustern abgeschnitten werden.

Ein Auefflhrungsbeispiel der Erfindung ist in den Zeichnungen dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben« Es zeigen« ' ;

Figur 1 perspektivisch einen Sockel für eine Halbleitervorrichtung nach der Erfindung,

Figur 2 eine Draufsicht auf dem Sockel der Figur I₉ Figur 3 einen längs der,Linie III-III der Figur 2 geführten Schnitt durqh diesen Sookel,

Figur 4 eine perspektivische Darstellung' der Teile des Sockels vox¹ der Zusammensetzung,

Figur 5 eine perspektivische Darstellung einer Lehre, in der der Sookel zusammengesetzt wird, sowie die Reihenfolge, in der die Einzelteile des Sockels in die Lehre gegeben-werden.

Der Sockel für eine Halbleitervorrichtung nach den Figuren 1 bis 3 hat einen TOS-Umriss, eignet sich für eine HfElId zur Verkapselmig einer au8 drei Elementen bestehenden integrierten Schaltung miä, besteht aus einer Metallsohale aus einer

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Kobalt-Legierung, zum Beispiel dem im Handel unter dem Namen Kovar erhältlichen Material_p mit einem Susseren Flansch 1 und einer Plattform 2, aus sehn DrShten 3 aus der gleichen Nick&l-Eisen-iCobalt*· Legierung, die durch, die Schale fcindurchgefUhrt sind, und aus einer Isqlieraasee aus einem Börsllikatglas4 mit einemAusdehnungskoeffizienten, der dem der ttickel-Eieen^obalt-Legierung entspricht« Die Iaoliermaese 4 ist on der Schale befestigt und weißt ein©Tragfläche auf. Der Sockel enthält weiter drei Streifen 6, J und 8 .auf der Txagfllohe, die aus bandförmigen Teilen einer photoge&tzten Folie aus der gleiohen Hiokel-EiBenrKObalt-Legierung beßtehen. Die PrShte 3 sind durch «α Uefang der Plattform 2 iß der Schale angebrachte Oeffnungen gestcoktf und durch eich duroh die Oeffnungen hindurch erstreckende Teile der iBoliesmaes© 4 von. der Schale isoliert. Die Isoliermaese 4 erstreckt eioh au@k Ms in einen Hohlraum in der Schale unter der Plattform 2. -

Die Streifen 6, 7 und 8 sind an die TragfHohe 5 der Iaoliermaese 4 angeaohmolzen und weisen an einem φπ&β Oeffnungen 11 atif, durch das der innere Endteil eines Drahtes 3 hindurphgefChrt ist, an dem der Streifen mit Hilfe eines mit -Silber überzogenen Lo tringe 12 aus Nickel befestigt ißt. "Der Me tails tröi fen 6 hat einen quadratieohen aidteil 14» der eine Verbindungsstelle fOr ein Element mit quadratischem Querschnitt bildet« D%r Metallstreifen 7 hat einen quadratischen Endteil 15» der eine Verbindungsstelle für ein weiteres Element eit quadratischem Querschnitt bildet, Cer Metallstreifen 8 ist reohteckig und bildet eine Verbindungsstelle für ein Element mit rechteckigem Querschnitt. Am Umfang der Tragfläche 5 der IsoliermasBe haben die Streifen 6_t J und 8 jenseits der inneren Endteile der

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DrIhte Wandt·!le 16, wo «in umgebend«? tragender Teil- (Tig, 4) der Xetallfoli« von den die Metallstreifen bildenden bandfttraifen Teilen abgeschnitten worden iet.

Der Sussere Flan«oh der Metalleohal· hat ein· laee 17 und die blanken Netallteile dee Soakers, d.h. dl· »iaht bedeckten Teile der Schale, die Streifen 6» 7 und 6, die Lotring 12 und die DrShte 3, werden eunSohst ait einem atroalos erseug ton Xiok«ltib«r*u§ und dann ait eines stroalos erseufften OoldObersug rereehen«

Die Herstellung de« in den figuren 1 bit 3 dargestellten Sockels, wird jetzt beschrieben. -

Figur 4 seigt die Singelteile de· Sockel· vor dea Zusammenbau und ytgwr 5 seigt die folge? in dar sie in eine Lehre gegeben werden, pie Einselteile Mind« die alt si 11mr Hb«zwof«a«a Lotring· 12 au· iiokel, eine IOUe 21 au· einer Iiokel»liaie-*obält-Legierung (Fig. 5) mit groaeer Asa»d«hnung und aehreren Handauatem 22 und diese utagebenden tragenden feilen 23« die in Qltian το» Jf Tier angeordnet sind, eine erste Soheibe ^4 aus einea Borailikatflaa sehn Oeffhungen 25 an Uafang, die Schal· (i_f 2) «us der fioke Kobalt-Legierung mit sehn Oeffhungen 9» die sich alt de» Oeffnungan 23 in der Scheibe 24 decken, eine »weite Soheibe 26 aus einea 3o**ilikatglae ait sehn Oeffhungen 27, die sich mit den Oeffntmgen $ in der Schale (1,2) und den Oeffnungen 25 in der Soheibe 24 decken, und sehn DrShte 3 au· der Hiokel-liaen-Kobalt-Legierung. All dl··· ünselteile werden in eine sue drei Platten 31, 32 und 33 beetehende Graphitlehre (Fig. 5) ait Mehreren AufnahaerSuaan gegeben· in der unteren Platte 34 befinden aloh bei jedem Aufnahmeraua sehn Bohrungen 34 ait derratigern Durchmesser, dass sie die Drähte 3 aufnehaeh können»

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Drei diese? Bohrungen 34 werden durch ^iewsSsWig·»'35 umgeben, deren Durchmesser und Tiefe bo gross sindj dass sie d,ie Lot ringe 21 aufnehmen kBnnen, Die erste Stufe dar Beschickung der Lehre besteht darin, dass die Lotringe 12 in den &senlcun$*n 35- angeordnet werden. Dann wird die- Metallfolie 21 auf der unteren Platte so angeordnet, dass in der Platte 31 „angebrachte Stifte 36 in Oeffnungen 37 in der Folie einpassen. Dadurch ist die Lage der Folie auf der Platte,31 derart bestimmt, dass die Oeffnungen 11 in den Bandteilen 6, J und 8 der Folie gen ate über den Lotriirgen 12 liegen. Die niitlsre Platte der Lehre wird dann auf die untere Platte 31 gelegt^ so dass die . Metallfolie 21zwisohen den Platten liegt, wobei die Stifte 36 der unteren Platte "in Bohrungen 38 in der aittleran Platte 32 einpassen. Die mittlere Platte weist Oeffeurigen 39auf, in denen die erste Scheibe-24? die Schale (1_S 2) und die zweite Scheibe 26 angeordnet sind*

mittlere Platte gelegt, dass Oaffmaigen 41 in der oberen Platte genau Über 4«n Oeffnungen 39 in der mittlereh Platte 32 liegen· In"jade Öeffnung 41 werden ein Gewicht 42 mit ringfSrmigem-Quereohnitt; das auf der Oberfläche des Sussere». Flsneohes 1 der Schal© (1_? 2) tuhti und"ein Qewioht 43 eingeaejfceti dass zehn Oeffnungen aufwei-st, die genau Über den Oaffnungen2% und 27 in den.Scheiben 24 bzw, 26 und den OeffHungen 29 in der;" 'Schale- (1 $ 2) liegen« Das Gewicht 43 hat einen inneren Zapfentei|_t der durch den öswioht 42 eteokt und auf der Soheibe 27 ruht« Mn Ubersohuss an Drahten, d.h. mehr als sehn, werden in jede Cteffnung 41 auf das Gewicht 43 gegebene Die DrShta 3 haben epitse Enden, die auf dem Oewicht ruhenf sieben der

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Drähte werden in öeffnungen im Gewicht 43 und somit in die Oeffnüngen 27» 9, 25 und 34 und drei der Drähte in Oeffnungen im Qevioht 43 und somit in die Oeffnungen 27, 9, 25, 11 und (34, 35) dadurch eingeführt, das die Lehre mit dem Inhalt in Ultraechallsohwingungen versetzt wird. Die. Überschüssigen Drahte .werden dann aus den Oeffnüngen 41 entfernt.

Die-Lehre mit den Einzelteilen des Sockels, in die die DrIhte 3 eingesteckt sind, wird in einen Ofen gegeben und in einer Stiokstoffatraoephäre auf 1000 C erhitzt, wobei der ganze Erhitzungsvdrgang 30 Minuten dauert. Wahrend der Erhitzung schmelzen die Glasscheiben 24 und 26 an die Metallschale (i, Z)₃ an die Bandteile 22 der Folie 21, and die Drähte 3 und infolge des von den Gewichten 42 und 43 ausgeübten Druck« durch die. Öffnungen 9 in der le-tallsohale (I, 2) hinduroh aneinander an« Die bandfBrmigen Teil« der Folie werden während der Erhitzung mit Hilfe der Ringe 12 mit den Drähten 3 verlötet.

Nachdem die Lehre abgekehlt ist} wird die untere

Platte 31 entfernt, "und die umgebenden Teile 23 der Metallfolie werden mit einem Schneidegerät von den Bandmuetern 22 abgeschnitten, so dass auf jedem Sockel das Bandmuster 22 die Streifen 5» 6 und 7 ergibt. Die zusammengesetzten Sookel werden dann aus den Platten 32 und 33 der Lehre entfernt. Die blanken Metallteile des zusammengesetzten Sockels werden dann ohne Stromquelle erst mit einen Nicke1-übersug und dann mit einem Lotüberzug versehen«

Offensichtlich sind im Rahmen der Erfindung manche Abänderungen möglich* Es ist z.B. möglich, dass nicht all« Metallstreifen mit j» einem Stift verbunden sind, sondern das mindestens einer getrennt

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yon den Stifte liegt. Ί&βε iet bei einem Sockel für eint Halbleiter-Vorrichtung nach, der Erfindung leioht ersielbarj trenn der Metallstreifen ein bandförmiger Teil der Metallfolie bildet, der anfangs durch einen βiah zwischen den endgültigen Stellen zweier benachbarter Stift· erstreckenden dünnen Streifen mit de« umgebenden tragenden Teil verbunden let. Femer künnen die Geometrie und die gegenseitige Lage der Metallatreifen derartig eein₍ daeß sie es ermöglichen, dass andere Vorrichtungen als auß mehreren Elementen bestehende integriert« Kreiee, s«Bo aus mehreren Elementen bestehende. Dioden« optoelektronische Vorrichtungen oder sogar aus einem einsigen Element bestehenden Halbleitervorrichtungen} verkapselt werden.

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Claims

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PATEWTAIfSPRUEOHE " .

1. Sockel für eine- Halbleitervorriohtimg, der aus einer MetallBChale, aus mehreren parallel verlaufenden Metalldrähten, die durchjlie Schale hindurchgeführt- und von ihr isoliert sind, aus einer Isoliermasse, die an der Sohale befestigt ist und ein« naheBU ebene Tragfläche 5 hat, die in von den inneren Bhdtellen 4er Metalldrähte umgebenden Gebiet liegt, und aus mehreren voneinander isolierten Metallstreifen auf der Tragfläche, die aus bandförmigen Teilen einer mit einem Muster versehenen Folie bestehen, ausammengeeetat ist.

2. > ' ~ Sookel fOr eine Halbleitervorrichtung naoh Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallstreifen aus bandförmigen Teilen einer photogeätzten Metallfolie bestehen. ' -

3. Sockel für eine Halbleitervorrichtung naoh Anepruoh \§ dadurch gekennzeichnet, dass die Metallstreifen aus bandförmigen Teilen einer geθtan aten Metallfolie bestehen.

4. . Sookel für eine Halbleitervorrichtung naoh eines oder mehreren der vorstehenden Ansprüche* daduroh gekenn«·lehnet, dass die Metallstreifen'je mit dem inneren Endteil eines Metalldraht» verbunden sind. . -

5. Sookel für eine Halbleitervorrichtung naoh einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, daduroh gekennzeichnet» dass mindestens einer der Metallstreifen elektrisch isoliert auf der Tragfläche liegt, während die anderen Metallstreifen je mit dem inneren Endteil eines

Metalldrahte verbunden sind.

6. Sockel für eine Halbleitervorrichtung naoh Anspruch 4 oder 5» daduroh gekennzeichnet, dass die Verbindung eines Metallstreifens mit einem Draht daduroh hergestellt wird, dass der Draht in einer Oeffnung im Streifen eteokt und mit Hilfe eines in der Näh« dee Metallstreifens auf dem Draht angebrachten !«otrings mit

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dem Streifen verlöte t wird· '

7, Sockel für eine Halbleitervorrichtung nach feinem oder mehreren der vorstehenden Ansprüohe, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallschale einen äusseren Plansch und eine innere Plattform aufweist, an der die Isoliermasse befestigt ist, wobei durch mehrere ringsum am Umfang der Plattform angebrachte Oeffnungen je ein Metalldraht hindurchgeführt ist, der durch einen innerhalb der Oeffnung liegenden Teil der Isoliermasse von der Metallschale isoliert ist,

8. Sockel for eine Halbleitervorrichtung nach Anspruoh 7, dadurchgekennzeichnet, dass sich die IsoliermaSBe auch in den Hohlraum in der Sohale unter der Plattform hineinerstreckt.

9· Sockel für eine Halbleitervorrichtung, dadurch gekennzeichnet, dass sie mehrere voneinander isolierte metallene Verbindungsstreifen enthält, die aus bandförnigen Teilen- einer mit einem Muster versehenen Metallfolie bestehen«

10· Halbleitervorrichtung mit einem Sockel nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche« ·

12» Aus mehreren Elementen bestehende integrierte Schaltung, dadurch gekennzeichnet, dass die Elemente in einer Hülle mit einem Sookel nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 9 verkapselt sind. 12. Verfahren zur Herstellung eines Sockels für eine Halbleitervorrichtung, dadurch gekennseichnet, dass eine, mit peffnungen versehene Metallschale, eine mit Oeffni-ngen versehene Glasscheibe, eine mit einem Muster versehene Metallfolie und mehrere Drähte in eine Lehre gegeben werden, wobei die Glasscheibe zwischen der Metallschale und der Metallfolie angeordnet; ist und die Drähte durph die Schale und die Glasscheibe hindurchgefUhrt sind,, wonach, die Lehre mit ihren

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Inhalt auf eine derartige Temperatur erhitzt wird, dass die Glasscheibe an die Metallschale, an die Drihte und an die Metallfolie angeschmolzen wird. -

13. Verfahren zur Herstellung eines Sockels für eine Halbleitervorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet) dass mindestens einer der Drahte durch eine Qeffhung in einem randfSraigen Teil der Metallfolie hjLndurohge führt ist und auf dem Draht in der Nähe der Folie ein Lotring angebracht ist, so dass wahrend der Erhitzung der bandförmige Teil mit Hilfe des Ringes mit den Metalldraht verlötet wird. ' . ·

14· Verfahren nach Anspruch 12 oder 13» dadurch gekennzeichnet! dass die Metallschale aus einem auaseren Flansch und einer inneren Plattform mit mehreren Oeffnungen am Umfang besteht, dass bei der Beschickung der Lehre eine erste mit Oeffnungen versehene Glasscheibe zwischen der Plattform und der Metallfolie und eine zweite Glasscheibe im Hohlraum in der Schale unter der Plattform angeordnet sind, wobei jeder Draht durch eine Oeffhung in daj ersten Glasscheibe, durch eine Oeffnung in der Plattform der Metallsohale und durch eine Oeffnung in der zweiten Glasscheibe hindurchgeführt ist, wonach erhitzt wird, um die Glasscheiben an die Schale und, durch die Oeffnungen in der Schale hindurch aneinander anzuschmelzen, wodurch gleichzeitig die Drähte von der Schale isoliert werden«

16. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 12 bis 14» dadurch gekennzeichnet, dass die mit einem Muster versehene Metallfolie aus bandförmigen Teilen besteht, die sich von einem sie umgebenden tragenden Teil her erstrecken, wobei die randformigen Teile während der Erhitzung an die benachbarte Glasscheibe angeßelmslzen

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BAD ORIGINAL

werden und der umgebende tragende Teil naoh der ErhitBung von diesen angeschmolzenen randfSrmigenTeilen abgeschnitten wird. 17* ■"■"■■--. Verfahren nach Anspruch I5, dadurch gekennaeiohnet, dass mehrere Sockel für Halbleitervorrichtungen gleichzeitig in einer Lehre mit mehreren Aufhahmeraumen hergestellt werden, wobei eine einzige Metallfolie, die aus mehreren Bandmustern und diese umgebenden tragenden Teile besteht, in die Lehre gegeben wird und naoh der Erhitsung, aber vor der Entfernung der »ueammengesetzten Sockel auβ der Lehre, die tragenden Teile von den Bandrauetern abgeschnitten werden.

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Leersei'te