DE1589611C3 - Objektpatrone für ein Elektronenmikroskop oder eine Elektronenbeugungskamera - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Objektpatrone für ein Elektronenmikroskop oder eine Elektronenbeugungskamera mit einem Patronenkörper, drei sich im wesentlichen parallel zum Patronenkörper erstreckenden Armen, einem an den äußeren Enden der Arme drehbar gelagerten Objekthalter und einer die Arme in ihrer Längsrichtung und relativ zueinander derart bewegenden Betätigungseinrichtung, daß der Objekthalter relativ zum Patronenkörper um zwei zueinander senkrecht stehende, einander in der Mitte des Objekthalters schneidende Achsen geschwenkt wird.
Eine aus der GB-PS 10 24 530 bekannte Objektpatrone dieser Art weist eine aus Betätigungsstangen und einer Kurvenscheibe bestehende Betätigungseinrichtung auf, die auf eine Schwenkplatte wirkt, die um zwei zueinander senkrecht stehende Achsen drehbar ist. Drei

ίο sich im gleichgroßen Abstand voneinander befindende Lenkarme, die mit ihrem einen Ende den Objekthalter tragen, werden mit ihren anderen Enden durch Federn gegen die untere Fläche der Schwenkplatte gedrückt. Wenn die Schwenkplatte verschwenkt wird, verschiebt sie die auf ihr ruhenden Lenkarme, so daß der Objekthalter entsprechend verstellt wird. Die bekannte Einstellvorrichtung ist nur schwer betätigbar, um genaue Verstellbewegungen des Objekthalters herbeizuführen, weil die zwischengeschaltete Schwenkplatte nur kraftschlüssig mit den Lenkarmen verbunden ist. Beim Verschwenken der Schwenkplatte bewegen sich die unteren Enden der Lenkarme auf deren Unterfläche entlang, so daß durch Reibung hervorgerufene Ungenauigkeiten über die Lenkarme auf die Einstellbewe-

.'5 gungen des Objekthalters übertragen werden. Zur Betätigung der bekannten Einrichtung ist ein erhebliches Geschick erforderlich, weil die durch Drehung der Kurvenscheibe oder durch Verschiebung der Betätigungsstangen hervorgerufene Verschwenkung der

jo Schwenkplatte zu nur schwer vorhersehbaren Stellungen des Objekthalters führt.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine Objektpatrone der eingangs angegebenen Art zu schaffen, deren Objekthalter sich mit größtmöglicher

S3 Genauigkeit in kürzester Zeit in die gewünschte Stellung bringen läßt.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Betätigungseinrichtung aus einem am Patronenkörper angelenkten Joch besteht, welches um eine feststehende Achse drehbar ist und mit den nicht mit dem Objekthalter verbundenen inneren Enden von zwei der Arme derart drehbar verbunden ist, daß durch das Drehen des Jochs um seine Drehachse diese zwei Arme gleichgroße Bewegungen in entgegengesetzten Richtungen ausführen, daß die äußeren Enden der zwei Arme an dem Objekthalter mittels zwei am Umfang des Objekthalters einander gegenüberliegend angeordneten Drehverbindungen derart angelenkt sind, daß die einander entgegengesetzten Bewegungen der zwei

to Arme den Objekthalter um eine Achse schwenken, die sich durch die Mitte des Objekthalters parallel zur feststehenden Drehachse des Jochs erstreckt, daß das äußere Ende des dritten Armes an dem Objekthalter mittels einer an seinem Umfang angeordneten dritten

■>^r> Drehverbindung gleich weit entfernt ist, und daß der dritte Arm unabhängig von den beiden anderen Armen so bewegbar ist, daß er den Objekthalter um seine Achse herum schwenkt, die sich durch die am Umfang des Objekthalters einander gegenüberliegend angeord-

fii) neten Drehverbindungen erstreckt.

Bei der erfindungsgemäßen Objektpatrone überträgt die Betätigungseinrichtung die die Bewegungen ausführenden Kräfte formschlüssig und in vorhersehbarer Weise auf den Objekthalter, und zwar derart, daß nicht

ti") jeweils alle drei Arme den Objekthalter gleichzeitig um beide Achsen verschwenken, wie es bei der bekannten Vorrichtung der Fall ist. Das Joch ist um eine feststehende Achse drehbar und die inneren Enden der

mit ihren äußeren Enden an gegenüberliegenden Seiten des Objekthalters angeordneten Arme sind durch gelenkige Verbindungen am Joch befestigt, so daß die Arme gleichgroße Bewegungen in entgegengesetzten Richtungen ausführen und den Objekthalter um eine erste Achse schwenken, wenn das Joch um seine feststehende Achse gedreht wird. Die formschlüssigen gelenkigen Verbindungen mit dem Objekthalter gewährleisten eine genaue Einstellmöglichkeit. Die gleichgroßen, aber einander entgegengesetzten Bewegungen der Arme und deren Anlenkung am Objekthalter ermöglichen ein unabhängiges Verschwenken des Objekthalters um seine beiden senkrecht zueinander stehenden Achsen.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen näher beschrieben.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachstehend anhand der Zeichnung näher erläutert. In dieser zeigt

F i g. 1 eine perspektivische Darstellung der Objektpatrone mit auseinandergezogenen Einzelteilen,

Fig.2 einen vertikalen Schnitt durch die Objektpatrone nach F i g. 1 im zusammengebauten Zustand,

F i g. 3 einen Schnitt längs der Linie 3-3 in F i g. 2,

F i g. 4 einen Schnitt längs der Linie 4-4 in F i g. 3,

F i g. 5 einen Längsschnitt durch eine andere Ausführungsform einer Objektpatrone,

F i g. 6 einen Schnitt längs der Linie 6-6 in F i g. 5,

Fig. 7 und 8 perspektivische Ansichten von Armen nach den F i g. 5 und 6,

F i g. 9 eine perspektivische Ansicht des Objekthalters nach F i g. 5 in vergrößerter Darstellung,

Fig. 10 eine perspektivische Darstellung des Objekthalters nach Fig.9 in auseinandergezogenem Zustand und

Fig. 11 einen Schnitt durch den Objekthalter nach Fig.9.

Die in F i g. 1 bis 4 veranschaulichte Patrone umfaßt eine Bodenplatte 11 mit einer zentralen Öffnung 12, die von einem aufstehenden hohlen Zapfen 13 umfaßt ist, der einen hohlen konischen Schaft 14 trägt. Drei Nute 16, 17, 18 sind in den Außenumfang des Schaftes 14 eingeschnitten, so daß sie sich längs des Schaftes erstrecken. Die Nute 16 und 17 befinden sich auf diametral entgegengesetzten Seiten des Schaftes und die Nut 18 befindet sich in der Mitte zwischen den Nuten 16 und 17. In der Bodenplatte 11 ist ein Loch 19 benachbart zum unteren Ende der Nut 18 gebildet und es liegt eine gewölbte öffnung 21 durch die Bodenplatte 11 vor, die sich rund um die andere Seite des Schaftes mit ihren beiden Enden benachbart zu den unteren Enden der Nute 16 bzw. 17 erstreckt.

Ein halbkreisförmiges Joch 22 paßt in die gewölbte öffnung 21 und ist am Zapfen 13 mittels einer Schraube 23 drehbar montiert, die in ein Loch 24 mit Innengewinde in dem Zapfen eingeschraubt ist und ist mit einer Muffe 26 versehen, die in einen Zapfen 27 auf dem Joch eingreift. Eine Abstandsscheibe 28 hält das Joch vom Zapfen 13 getrennt. Die Enden vom Joch 22 sind mit einem Paar von Nuten 29, 30 versehen, deren obere Enden mit Löchern 31, 32 mit Innengewinden versehen sind. Ein Paar sich aufwärts erstreckender Arme 33, 34 sind in den Nuten 16 bzw. 17 verschiebbar und drehbar mit den Enden von Joch 22 verbunden, wobei die unteren Enden der Arme mit Löchern 36, 37 versehen sind, die in die Nute 29, 30 einpassen und Drehschrauben 38, 39 aufnehmen, die in die Löcher 31, 32 geschraubt sind.

ίο

ν-,

Ein kleiner ringförmiger Objekthalter 41, der ein Objektgitter 40 trägt, ist zwischen den oberen Enden der Arme 33,34 mittels sines Paares Rubinkugeln 42,43 drehbar montiert, die an ihrem äußeren Umfang befestigt sind und in die Fassungen 44,45 eingreifen, die in den oberen Enden der Arme gebildet sind. Eine dritte Rubinkugel 46 ist am äußeren Umfang des Objekthalters 19 in der Mitte zwischen den Kugeln 42 und 43 befestigt und paßt in eine Fassung 47 ein, die im oberen Ende eines weiteren Arms 48 gebildet ist, der sich längs der Nut 18 in Schaft 14 und durch Loch 19 in der Bodenplatte 11 erstreckt.

Die Arme 33, 34 werden innerhalb der Nute 16, 17 gehalten und gegen Schaft 14 mittels zweier Blattfedern 49, 50 gedrückt, die an der Bodenplatte 11 mittels der Schrauben 51, 52 befestigt sind und an ihren oberen Enden die Arme 33, 34 verschiebbar erfassen. Auf ähnliche Weise wird der Arm 48 innerhalb der Nut 18 gehalten und gegen den Schaft 14 mittels einer zusammengesetzten Blattfeder 53 gedrückt, die an der Bodenplatte 11 durch eine Schraube 54 befestigt ist und den Stab 48 an zwei vertikal getrennten Stellen 56, 57 verschiebbar erfaßt.

Das Joch 22 wird mittels einer Schubstange 58 in Drehbewegung versetzt, deren oberes Ende die Form eines Auges 59 hat, das in das untere Ende der Nut 29 paßt und eine Drehschraube 61 aufnimmt, die in ein Loch 62 mit Gewinde in dem Joch eingeschraubt ist. Der Stab 58 ist an seinem oberen Ende drehbar mit dem Ende vom Joch 22 verbunden. Die Aufwärtsbewegung der Schubstange 58 dreht Joch 22 derart, daß der Arm

33 gehoben und der Arm 34 um eine gleiche Strecke gesenkt wird, wobei der Objekthalterring 41 um eine fixierte Achse geschwenkt wird, die parallel zu der Drehachse vom Joch 22 verläuft und durch die Mitte des Rings und durch die Rubinkugel 46 erstreckt. Die Abwärtsbewegung der Schubstange 58 verursacht die entgegengesetzte Schwenkung des Objekthalterrings 41 um die gleiche fixierte Drehachse. Die durch die Bewegung der Schubstange 58 verursachte Schwenkung des Halters 41 verursacht keine Hebung oder Senkung der Rubinkugel 46. Auf- und Abbewegung vom Arm 48 dreht den Halter 41 um eine Drehachse, die sich durch die Mitte des Halters und durch die Rubinkugeln 42, 43 erstreckt. Diese letzte Achse wird natürlich bewegt, wenn der Halter durch Bewegung der Arme 33,

34 geschwenkt wird. Die beiden drehbaren Achsen stehen aufeinander senkrecht und schneiden sich im Mittelpunkt des Objekthalters 19. Der Mittelpunkt des Objektnetzes bleibt deshalb während aller Schwenkbewegungen stationär.

Die in Fi g. 1 bis 4 veranschaulichte Objektpatrone kann anstelle eines herkömmlichen Typs von Objektpatrone an der Einstellvorrichtung eines Elektronenmikroskops oder einer Elektronenbeugungskamera angebracht werden. Die Enden der Schubstange 58 und des Armes 48 können mit irgendeiner Anzahl üblicher Formen von Schwenkregelungen verbunden werden, so daß sie regelbar auf- und abbewegt werden können. Beispielsweise können sie mit einem Paar von Stäben verbunden werden, die durch Drehung von einem Paar vertikaler Regelschrauben auf- und abbewegt werden, wobei die Regelschrauben durch Kegelgetriebe gedreht werden, die durch ein Paar kardanartig verbundener Wellen angetrieben werden, die sich durch die Wand der Kammer des Mikroskops oder der Kamera erstrecken und außerhalb der Kammer mit Regelknöpfen versehen sind. Diese Form von Regelschraubenan-

trieb ist völlig herkömmlicher Konstruktion und nicht gezeigt.

Da die Arme 33, 34, 48 eine kurze Entfernung unter dem Objekthalter 41 durch Einwirkung der Blattfedern 49, 50, 53 seitlich gestützt sind, ist die Stellung des Objekthalters sehr stabil. Der Konuswinkel und die Länge des Schaftes 14 sind derart, daß die Durchleitung von divergent gebeugten Elektronenstrahles ermöglicht ist und auch derart, daß die Verunreinigung durch Streumoleküle auf ein Minimum verringert ist. Die Patrone ermöglicht extrem genaue Zweiweg-Schwenkung eines Objekts mit sehr geringen mechanischen Hysteresen. Außerdem kann sie leicht in derartiger Größe hergestellt werden, daß der Objekthalter 41 und die oberen Enden von Schaft 14 und der Arme 33,34,48 in die Bohrung mit 6 mm Durchmesser einer symmetrischen Polplatte mit hoher Auflösung eingesetzt werden können. Es ist deshalb für Untersuchungen, wo Schwenken erforderlich ist, keine spezielle Form der Polplatte nötig und derartige Untersuchungen können unter Bedingungen hoher Auflösung durchgeführt werden. Außerdem ermöglicht diese Patrone, daß ein weit größerer Schwenkgrad erreicht wird als mit herkömmlichen Doppelkippobjektpatronen. Herkömmliche derartige Objektpatronen sind auf Schwenkwinkel von etwa 30° beschränkt, während die Konstruktion gemäß Fig. 1 und 4 genaues und reproduzierbares Schwenken über Winkel von 35° und mehr ermöglicht.

Dekontaminier- und Objekterwärm- und -kühleinrichtungen können bei der Objektpatrone leicht vorgesehen werden und Fi g. 5 bis 11 veranschaulichen eine modifizierte Konstruktion, bei der alle diese Einrichtungen zur Verfugung stehen. Die Grundkonstruktion dieser Patrone ist im wesentlichen die gleiche wie in Fig. 1 bis 4 veranschaulicht und gleichen Bestandteilen sind die gleichen Bezugszahlen zugeordnet, jedoch mit Strichen im Fall von Fig. 5 bis 11 (Bodenplatte 11 wird beispielsweise 11 ')■

In diesem Fall ist anstelle der Blattfedern eine Manschette 62 vorgesehen, um die Arme 33', 34' und 48' seitlich zu stützen. Die Manschette ist aus einem elektrisch und thermisch isolierenden Kunststoffmaterial gebildet und mit enger Reibungspassung am oberen Teil vom Schaft 14' angeordnet. Sie hält die Arme 34' und 48' in Nuten 17' bzw. 18'. In diesem Fall wird jedoch der Arm 33' nicht innerhalb der Nut 16' gehalten, sondern führt durch einen langen Schlitz in der Manschette 62, so daß er von dem Außenumfang des Schaftes 14' räumlich getrennt ist. Außerdem ist der Arm 33' viel feiner ausgebildet als der Arm 34' und ist in obere und untere Teile geteilt, die mittels eines Wärmeisolierblocks 63 miteinander verbunden sind. Das untere Ende des oberen Teils vom Arm 33' paßt in einen in dem Block gebildeten Schlitz ein und ist mit dem Block durch einen Gewindestift 64 verbunden, und das obere Ende des unteren Teils vom Arm 33' ist permanent in den Block eingebettet. Der Block ist in der Nut 16' verschiebbar.

Der Objekthalter 41' ist in zwei Teilen 66, 67 ausgebildet, die zueinanderpassen, wie in F i g. 9 und 10 gezeigt, wobei ein im allgemeinen hufeisenförmiger Halter gebildet wird, dessen Innenkantenwand geformt ist, daß sie eine Schwalbenschwanzgleitbahn bildet. Die Schwalbenschwanzgleitbahn konvergiert etwas zum Mittelpunkt des Halters hin und ein kreisförmiges Objektnetz 40' kann in diese Gleitbahn eingleiten, wonach es darin verkantet wird, um in der Stellung über der Einbuchtung des Halters zu bleiben. Das Netz kann mit Hilfe einer Zange leicht entfernt werden.

Die Halterteile 66, 67 sind beide aus Metall, beispielsweise Messing, hergestellt und sind voneinan-

-, der elektrisch isoliert. Beispielsweise können sie miteinander durch eine Schicht eines elektrisch isolierenden, harthärtenden Harzes verbunden sein. Die oberen Enden der Arme 33', 34' sind mit Fassungen versehen, wobei diese anstelle der Fassungen, die

ίο Rubinkugeln aufnehmen, die mit dem Objekthalter verbunden sind, kleine konische Vorsprünge 42', 43' aufnehmen, die aus dem gleichen Metall wie die Teile 66, 67 gebildet sind. Auf diese Weise sind die Halterteile 66, 67 in elektrischem Kontakt mit den Armen 33' bzw. 34', jedoch gegeneinander elektrisch isoliert. Eine elektrische Leitung 71 ist an den unteren Teil vom Arm 33' angeklammert und die zwei Teile dieses Armes sind miteinander mittels einer dünnen Schicht 72 aus elektrisch leitendem Anstrich, beispielsweise einem Aluminiumanstrich, auf der äußeren Oberfläche vom Block 63 elektrisch verbunden. Eine Erdleitung 74 ist mit Platte 1Γ mittels einer Klemmschraube 76 verbunden. Das obere Ende des Stabes 48' ist mit einer Fassung versehen, die eine Rubinkugel 46' aufnimmt, die am äußeren Umfang des Halters 41' befestigt ist, so daß er gegenüber dem Halter elektrisch isoliert ist. Das Joch 22' ist aus einem thermisch und elektrisch isolierendem Material hergestellt.

Ein Kupferlitzenband 77 ist an die Bodenplatte W

jo mittels einer Klemmschraube 78 angeklemmt. Das andere Ende der Litze 77 kann mit einem Bad aus flüssigem Stickstoff verbunden sein, wodurch der gesamte Patronenkörper, einschließlich Bodenplatte 11', Zapfen 13' und Schaft 14' auf die Temperatur von

J3 flüssigem Stickstoff erniedrigt werden kann, wenn die Temperatur des konischen Schaftes 14' derart vermindert ist, bildet er einen sehr wirksamen Schutz vor Verunreinigung. Eine Metallkappe 79, die mit einer kleinen öffnung 81 für die Durchleitung eines Elektronenstrahls versehen ist, kann auf das obere Ende der Manschette 62 aufgepaßt werden, um so einen vollständigen Antikontaminationsverschluß zu schaffen, wobei die Kappe eine Innenrippe 80 aufweist, die den Schaft berührt, so daß sie ebenfalls auf die Temperatur 3 von flüssigem Stickstoff abgekühlt wird.

Wenn ein Erwärmen des Objekts erforderlich ist, kann dies erreicht werden, indem Strom direkt durch das Objektnetz geleitet wird. Der Strom wird aus dem Draht 71 und über den Arm 33' und zu dem Objekthalterteil 66 geführt und das Halterteil 67 wird geerdet, da es in elektrischem Kontakt mit dem Arm 34' steht, der im Kontakt mit dem konischen Schaft 14' steht und der gesamte Patronenkörper wird durch die Erdungsleitung 74 geerdet. Das Objektnetz ist aus

■V5 Kupfer, Palladium, Platin oder einem anderen geeigneten Metall gebildet, so daß es eine elektrische Brücke zwischen den Halterteilen 66, 67 bildet, wobei es durch die Durchleitung des Stromes erhitzt wird. Das Netz hat sehr geringe thermische Kapazität und kann deshalb

μ) rapid auf erhöhte Temperaturen der Größenordnung von 1000° C gebracht werden. Derartige erhöhte Temperaturen können erreicht werden, während sich das Objekt innerhalb des Antikontaminationseinschlusses befindet, der auf der Temperatur von flüssigem

>" Stickstoff gehalten wird.

Wenn eine Kühlung des Objekts erforderlich ist, wird kein Strom durch das Netz geleitet und Wärme wird aus dem Netz durch den Arm 34' zum Schaft 14' abgezogen,

der bei der Temperatur von flüssigem Stickstoff gehalten wird. Der Block 63 dient dann als Wärmebarriere, die die Wärmezuleitung von außerhalb des Instruments zu dem Netz über den Arm 33' sperrt. Die Tatsache, daß der Arm 34' sehr dünn ist, hilft ebenfalls dazu, derartigen Wärmefluß auf ein Minimum zu reduzieren.

Das Objekthalterende der Patrone, die in F i g. 5 bis 11 veranschaulicht ist, kann in die Bohrung mit 6 mm Durchmesser einer symmetrischen Polplatte mit hoher Auflösung eingesetzt werden. Diese Patrone schafft vereinigt Erwärmungs-, Kühlungs-, Schwenk- und Antikontaminationseinrichtungen, die miteinander völ-

Hg vereinbar sind und alle angewendet werden können, während das Objekt unter Bedingungen hoher Auflösung untersucht wird — ein Ergebnis, das bisher nicht möglich war.

Es kann auch beispielsweise die gleiche und entgegengesetzte Längsbewegung der Arme 33, 34 (oder 33' und 34') erreicht werden, indem diese Arme mit Zahnstangen versehen sind, die in ein übliches Antriebszahnrad eingreifen, das drehbar auf dem Körper der Patrone montiert ist. Die erforderlichen Bewegungen werden dann durch Drehen des Zahnrades anstelle durch Schwenken eines Jochs erzeugt.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

030 220/6

Claims (3)

Patentansprüche:

1. Objektpatrone für ein Elektronenmikroskop oder eine Elektronenbeugungskamera mit einem Patronenkörper, drei sich im wesentlichen parallel zum Patronenkörper erstreckenden Armen, einem an den äußeren Enden der Arme drehbar gelagerten Objekthalter und einer die Arme in ihrer Längsrichtung und relativ zueinander derart bewegenden Betätigungseinrichtung, daß der Objekthalter relativ zum Patronenkörper um zwei zueinander senkrecht stehende, einander in der Mitte des Objekthalters schneidende Achsen herum geschwenkt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Betätigungseinrichtung aus einem Patronenkörper (11,13, 14 bzw. 11', 13', 14') angelenkten Joch (22 bzw. 22') besteht, welches um eine feststehende Achse drehbar ist und mit den nicht mit dem Objekthalter (41 bzw. 4Γ) verbundenen inneren Enden von zwei der Arme (33, 34 bzw. 33', 34') derart drehbar verbunden ist, daß durch das Drehen des Jochs (22 bzw. 22') um seine Drehachse diese zwei Arme (33, 34 bzw. 33', 34') gleichgroße Bewegungen in entgegengesetzten Richtungen ausführen, daß die äußeren Enden der zwei Arme (33, 34 bzw. 33', 34') an dem Objekthalter (41 bzw. 4Γ) mittels zwei am Umfang des Objekthalters (41 bzw. 4Γ) einander gegenüberliegend angeordneten Drehverbindungen (42,44; 43,45 bzw. 42', 44'; 43', 45') derart angelenkt sind, daß die einander entgegengesetzten Bewegungen der zwei Arme (33, 34 bzw. 33', 34') den Objekthalter (41 bzw. 41') um eine Achse schwenken, die sich durch die Mitte des Objekthalters (41 bzw. 4Γ) parallel zur feststehenden Drehachse des Jochs (22 bzw. 22') erstreckt, daß das äußere Ende des dritten Arms (48 bzw. 48') an dem Objekthalter (41 bzw. 4Γ) mittels einer an seinem Umfang angeordneten dritten Drehverbindung (46, 47 bzw. 46', 47') angelenkt ist; die von den anderen Drehverbindungen (42, 44; 43, 45 bzw. 42', 44'; 43', 45') gleichweit entfernt ist, und daß der dritte Arm (48 bzw. 48') unabhängig von den beiden anderen Armen (33, 34 bzw. 33', 34') so bewegbar ist, daß er den Objekthalter (41 bzw. 4Γ) um seine Achse herum schwenkt, die sich durch die am Umfang des Objekthalters (41 bzw. 4Γ) einander gegenüberliegend angeordneten Drehverbindungen (42, 44; 43, 45 bzw. 42', 44'; 43', 45') erstreckt.

2. Objektpatrone nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Patronenkörper (11,13,14) aus einem hohlen Schaft (14) besteht, der von den Armen (33,34,48 bzw. 33', 34', 48') eingefaßt ist und sich in deren Längsrichtung erstreckt.

3. Objektpatrone nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Arme (33, 34, 48 bzw. 33', 34', 48') gegen den Schaft andrückende Stützeinrichtungen (49,50; 53,56,57) vorgesehen sind.