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Verfahren und Einrichtung zur Durchführung des Pumppro-2esses einschließlich
dazugehörender und angrenzender =Bearbeitungsvorgänge an zu evakuierenden Gefäßen'
insbesonde#re Leuohtstofflampen Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Einriohtung
zur Durchführung des Pumpprozesses sowie der dazugehörenden und angrenzenden Prozesse
an zu evaku-ierendea Gefäßen. Sie betrifft vorzugsweise den Pumpprozeß und die-
für dessen Durchführung notwendigen Einrichtungen für Elektronenröhren und Gasentla
dungsröhreng ferner die dazugehörenden Prozesse Aunheizen' Formieren# Aktivieren'
Gas- beziehungsweise Fltissigkeitedosiereng. sowie
die angrenzenden Arbeitsgänge
wies Aufnehmen oder Einbringen des Pumpgutsp Verbinden von Gefäßteilen und das Verschließen
der Gefäße. j Es ist,bekannt' , daß eine Vielzahl von Erzeugnissen der elektronischen
industrie:9,beispielsweisg Blektroaea. röhren, Gasentladungaröhrea und Glühlampen
im Verlaue-ihres Fertigungsprozesses einem Evakuierungsproseß unterworfen werden.
Die durch diesen Prozeß und die darin enthaltenenp sowie angrenzenden Bearbeitungsvorgänge
gestellten_Rorderungem an-die Einrichtungen sind im allgemeinen für die verschiedenen
Typen der genannten Erzeugnisse stets cis gleichen, Das zu pumpende G*^ äß hat nach
dem: Einsohmdzprozeßy - bei dem die einzel-
nen
Gefäß eile zusammengefügt werden: eine äfäaungg die durch
ein verhältnismäßig enges und langen Ruy . dem sogenannten
Pumprohr gebildet wird und über die®em das Gefäß entweder lösbar über Pumpgummig
Pumpatuteen 1
oder unlösbar durch Verschmelzen vakuumdicht mit einer
Pumpeinriohtung
verbunden ist.
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Über ein Ventilsystem wird durch Einzelventile oder Schliffsysteme
an der Pumpeinriohtung dann; über dem Pumprohr in dem Gefäß ein Vakuum erzeugt'.
was in der Regel in irersohiedenen Stufen,-dadurch erfolgty daß nacheinander verschiedene
Pumpen beispielsweise Vorvakuum- und Hochvakuumpumpe, stufenweise zu einem als
Endvakuum bezeichnetem Enddruck führen, Zur Verbesserung des Endvakuum s.werden
die Gefäße durch den Auaheizungsprozeß auf eine erhöhte Temperatur gebracht' damit
die an den Wandungen des Gefäßen angelagerten Gase und Flüssigkeiten schneller
als bei Raurotemperatur möglich' abgepumpt werden, Weiterhin werden Gasspülungea_mit
beispielsweise Edelgasen vorgenommen' damit
diese sich-an
den Gefäßwandungen.anlagern bzw. die Zusammenaetzung den Restgases
in der Hauptsache bestimmen (DurahmIsohung, In einige Erzeugnisse,
beispielsweise Gasentladungegeßäße werden kure vordem Verschließen
bestimmte Füllungen von
Gaset öder Flüssigkeiten- eingebracht.
Für die Flüssig: keitsdoeiexung iä In-der-Regel gegenüber einer
jeden
Pumprohröflaung eine Einrichtung zum Einbringen der Dosis angebracht,
Das
Veraohließen.den Pumpguta geschieht in der Weise! daß
im einfachsten
Fall-das Glaapumprohr entweder mittels
Gaaflsmme oder. elektrisch beheüem
Abziehofen zuaammengeebhmolzen und dann abgezogen und gestauahtg
bzw. beim
elektriaoher'Abniehea nach dem Erkalten der verschmolgenea
Stelle mittels Glaameaaer getrennt wird. Inner-
halb den Pumpprozeases
wird bei des meisten Erzeugnissen ein Formierproneß' durch
Formieren und Aktivieren durchgeführt' wobei eine Katode erhitzt wrdy.um
eine Umwandlug dea.Katodenmateriala und ein Austreten der im
Katode;material etthaltenen-Gane zu erreichen.
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Bei der Fertigung der Gefäße ist ist der Regel dem
Pumpprozeß ef sogenannter .Einaohmelzvorgaag vorgelagert, bei
dem der mit
des Stromdurchführungen ausgerüstete Teil
mit «en übrgea Gefäßteilen
verbunden-wird. Dieser Vorgang
ist mit einer Erwärmung der Gefäßteile,
verbunden.
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:Die -bdkasatez gcrbndumgsartex des zu evakuierenden Gefäßen
mit dem 'Qakuumeyatem sind, mit dem Mangel behaftet,
daß .bei
:unlösbarer Verbindung ein hoher Aufwand an masuoller Arbeit
und bei lösbarer Verbindung eine Vorrichtung notwendig ist!
die kostenaufwendig und einem hohen Verschleiß ?xterworiea-iatm
Die in einer entsprechend hohen
Stüokzaherforderlichen Pumprohraufnahmen
sind störan-,fgllig und vergrößern die reelle Lockrate
der Pumpeinrichtuzg: Bei lösbaren Verbindungen kann der Ausheizprpzeß
nicht auf das Pumprohr ausgedehnt werden" so daß
bei dem üblchea-Abziehprozeß
erhebliche Gasmengen
frei werden und als Verunreinigung in
das Gefäß gelangen, umsomehr, weil wegen Erreichen des Endvakuums bzw. vollzogener
Gasfüllung die Strömungsgeschwindigkeit im Pumpstengel gleich Null ist.
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Das an dem Gefäß angebrachte Pumprohr hat den Mangel, daß es aus konstruktiven
(Erzeugnis) und maschinentechnischen Günden stets in der lichten Weite kleiner und
länger gehalten werden muß, als für einen optimalen Pumpprozeß wünschenswert-ist,
was, bedeutety daß der endliche' relativ große Strömungswiderstand des Pumprohres
in jedem Fall die Pump zeit und damit die Gesamtbearbeitungszeit des Erzeugnissesq
verlängert.
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Das stufenweise Heranführen des Vakuums verschiedener Pumpen über
Ventile oder Schliffe hat den Nachteil' daß derartige Bauteile einem ständigen Verschleiß
unterworfen und störanfällig sind. Weiterhin bedingt.die konstruktiv mögliche Gestaltung
und Unterbringung dieser Bauelemente Zeitungsweges die relativ hohe Strömungswiderstände
darstellen und damit den effektiven Wirkungsgrad der Pumpen herabsetzen. Für bestimmte
mechanisierte- Maschinentypeng beispielsweise Rundlaufautomaten begrenzen diese
Leitungen die mögliche Maschinenleistung überhaupt.
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Die wirtschaftliche Ausführung einer Maschine, bei der das Purjpgut
mit seinen Aussenflächen der Atmosphäre ausgesetzt wird bedingty daß stets mehrere
Gefäße mit einer VakuumaAageverbunden sind. Im Störungsfalle insbesondere während
des Ausheizprozesses, implodieren durch Glasspannungen' werden
stets
mehreres das*heißt alle mit dem System verbundenen Gefäße zerstört9 beziehungsweise
qualitätsgemindert. Einrichtungeng die .diesen Fehler durah:schnelles abtrennen
des implodierten Gefäßes mindern:' sind sehr kostenaufwendig. Es sind Pumpeinriehtungen
bekannt' bei denen unter anderem: diese Problematik dadurch gelöst ycerden sollte,
daß je einem Gefäßeine vollständige . Vakuumanlage zugeordnet wirdy die danx als
sogenannter "fumpwagen" mit anderen im Konvoi läuft. Selbst bei diesen. Enzelaggregatem
vdrursacht die Implosiön beispielswese. einer- Bildröhre (durch Erschütterungen'
umherfliegende Teilchen.und Druckwellen .die Zerstörung weiterer Gefäße, so daB
solche Lösungen unökonomisch sind, weil. entsprechend der Zähl der gleichzeitig
zu pumpenden Gefäße auch der Aufwand an Bauelementen.' wie Pumpen' Ventile u.a.m.
vervielfacht werden muß-o Das stufenweise Umschalten des Pumpguts auf verschiedene
Pumpen muß, wenn. dar Aufwand am Ventilsystem nicht unwirtsehaftlich hoch seit soll'
so erfolgen, daß die: verwendeten Pumpen auch in Bereichen niederer Saugleistung
betrieben werden müssen' was aber eine weitere Verlängerung der Pumpzeit zur Folge
hat.
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Soll die volle Wirksamkeit des in fast jedem Fall. erforderlichen
Ausheizprozesses erreicht werden' ist es notwendig alle Gefäßteile möglichst schnell
und g;leiohmäßig auf die höchstmögliche Temperatur zu bringenIDiese Forderungen
werden nur selten erfüllt werdemg weil unerwünschte-Gasströmungen eine:-gleichmäßige
Temperaturführung verhindern
und die durch die Pumprohraufnahmevorrichtung
und deren Kühlvorrichtungen verdeckten Teile den Gefäßes der Wärmezuführung unzugänglich
sind und weiterhin die Höhe der Temperatur nur bis zu einer bestimmten Grenze
an die Deformationstemperatur der Gefäßteile herangeführt werden kann' weil
der auf dem Gefäß lastende Luftdruck sonst zur Verformung führen würde. Ein.. weiterer
-Nachteil. derartiger Ausheizvorrichtungenbesteht darin' daß ein erheblicher Teil
der zugeführten--Energie an die Atmosphäre abgegeben und damit für den Ausheizprozeß
verloren geht. Flüssigkeitsdosiereinriohtungeng die an .jedem Pumpstutzen vorhanden
nein müssen, sind konstenaußwendige.Bauteile. Die bekannten Verachmelzeinr-ichtungen
haben den Nachteil, daß das Pumprohr zwischen Pumprohräufaahme und.Gefäß verschmolzen
wird und die Verschmelzsstelle-durch Ziehen und Andrüekeng bzw* durch Ritz m und
Abschneiden nachbehandelt werden muB. Der Pumprohrrest muß durch manuelle Eingriffe
oder entsprechende Vorrichtungen entfernt werden und stellt einen biaterialeinsatz
darg der für das Erzeugnis. keine Bedeutung hat. In der Praxis -auftretende Undichtigkeiten
am fertigen Erzeugnis werden häufig durch schlecht verschmolzene-Pumprohre hervorgerufen.
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Der evtl, vorhandene Formierprozeß kann meist nicht in der kürzest
möglichen Zeit durchgeführt werden': da aufgrund der vorhandenen Strömungswiderstände
die auabtechenden Gase einen Druckahatieg zur Folge haben. In einigen Fälleis
bespelsweise
bei Leuflhtstofflampen ist die zur bloßen Eväkuerung des Gefäßes. notwendige Zeit
wesentlich geringer als die Formerzet. Durch das Zusammenliegen dieser beiden Prozesse
wird der Aufwand für die Pumpmaschine unwirtschaftlioh, Bin .Mangel der bekannten
Einrichtungen zur Herstellung derartiger zeugnisse besteht darin: date eine Erwärmung
des Erzeugnisses beim Einschmelzvorgang beim Pumpprszeß erfolgt. Bei-leuchtatoffbelegten
Gefäßen ist dem -Versähineleen des Leuchtstoffbinderß vorgelagert, In allen Fälleumuß
die Versohmolzene Gefäßstelle getempert werden,. . Diesel .dauernde' Temperätürweshselbeanspruehung
des Erzeugnis-.see ha:t nicht nur den Mangel, hohen Energie- und Masch--neueinsatses
sondern führt zu einem grossen Teil des anfallenden :äusscnusses . Der stets - geschlossene
lauf der Pumpsttl3.er@-bei -hoohproduktiven ßinrichtungen' beispielsweise Eundlanfmautomaten!
Konvoisysteme, bedingt das Zusammenlie-.gen .der @.Be@--und-Entstüokungsstelle!
-bzw.. einen Leerlauf einiger ?osit;.onen. Dadurch kann die Bestückung und Entahme
entweder nur manuell. durchgeführt oder durch kostensvttreudga- Trt@hsiorteinichtÜngee
mechanisiert Werden Die fUr eine Masöhinenfließreihe -günstigste Anordnung mit Eizeä
geradlinigeng kontinuierlichen Erzeugnisfluß ist nicht Möglieha _ .
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Die=- Yorhtehend im einezIven aufgeführten Probleme und deren bekannte
lüsungen führten zu dem Hauptmangeli der darin beeteht -daD.eine Typsierung oder
zumindest einheitliche itorfertgung von Pumpeinrichtungens hzw. Pump- und Versohmelzeinriohtungen
trotz
gleicher Anforderungeng die durch . Gefäße gleicher Größe gestellt werden' nicht
möglich ist, Abgesehen von wenigen Ausnahmen ist ,für jedes Erzeugnis der vorgenannten
Gruppen eine spezielle Einrichtung erforderlioh. . Zweck der Erfindung ist es' die
genannten Mängel zu beheben.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrundes eine Pump- bzw. Einschmelz-
und Pumpmaschine zu entwiokeln' die bei geringem Einsatz an Bauteilen' Platz- und
Energiebedarf eine große Leistung und hohe Betriebssicherheit gewährleistet, Für
gleiche Leistungen soll abgesehen von speziellen Zusatz- -@einrichtungeng die naohgesetzt
werden könneng die-Anwendbarkeit für verschiedene Typen gleichgroßer Erzeugnisse
gegeben sein.
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Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelösty daß das Gefäß nicht
mehr lösbar oder ünlösbar mit dem Vakuumsystem verbunden wirda sondern in einem
weiteren' im folgenden als Vakuumkammer bezeichnetem Gefäß untergebracht ist.
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Die Vakuumkammer ist entweder ständig über Ventile und größtmögliche
Saugquerschnitte-mit den Vakuumerzeugern verbunden und trägt eine oder mehrere-lösbgre
vakuumdichte Ver-. schlösse zum Ein- und.Ausbringen des Pumpgutsq oder -,t an einer
Seite offen' mit der sie sich über die Sauganschlüsse der Pumpen bewegt. Die Vakuumkammer
kann auch derart ausgebildet sein' daß durch den Gefäßdurchfluß beziehungsweise
durch zwischen den Gefäßen angeordneten Verschlußstüoken eine=. große Kammer in
verschiedene Abteilungen getrennt wird' zwischen denen ein Druckausgleich durch
hohe Strömungswiderstände
weise verhindert wird. Die Pumpen sind.:
entlang der grossen @.gakuumkammer den Abteilungen zugeordnet' wodurch ein völlig
`ventilloser Betrieb erreicht wird. Die Gefäße werden entweder in getrennten Teilen
in die Vakuumkammer eingebracht und dort nach beendetem Pumpprozeß verbunden oder
aber als ein Teil mit dem üblichen' jetzt jedoch extrem kurzen Pumpstengel eingebracht'
der dann im Vakuum verschlossen wird.
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Die einzelnen Bearbeitungsvorgänge erfolgen erfindungsgemäß entweder
im Vakuum oder 3.n der Füllgasatmosphäre wobei-die Übertragung der Wärme vom Heizer
zum Tumpgut? vorzugsweise durch Strahlung und das Verschmelzen der Gefäßtteile und
des Pumpatengels, ebenfalls durch Strahlungswärme und durch Löten mittels Glaslots
oder Vitrokeramzemente unter Vakuum für Gasentladungsgefäße' in der Füllgasatmosphäre
erfolgt., Das Formieren der Katoden kann in Vakuumkammern durchgeführt werdeng die
von .den Kammern :zur E'.akuierung der übrigen Gefäßteile getrennt-sind, Die Erfindung
wird nachstehend. an drei Ausbildungsbeispielen dieser Kammern beschrieben.
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1 . :Trommelprinzip.
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Die Kammern werden durch Einschnitte in oder durch radial an einem
Rotationskörper angebrachten Wänden gebildet, wobei sich der Rotationskörper in
einem Hohlzylinder bewegt$ der an seinem Umfang die Saugöffnungen der Pumpen und
die Ein- und Ausgabeöffnungen für das Pumpgut trägt.
2. Kettenprinzip
-Die Kammern werden durch. die zwischen kettenförmig aneinandergereihte Scheiben
gebildeten Zwischenräume dargestelltf wobei die Kette in sich geschlossen ist und
teilweise durch ein gerades zylindrisches Rohr bewegt wird. Entlang der Rohre, von
denen Anfang und Ende zur Be- und Entstückung dienen' sind,die Vakuumanschlüsse
angeordnet.
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,Die Kammern können auch dadurch gebildet seins digß ein größerer
Rezipientg durch den sich das Pumpgut bewegt, durch das Pumpgut selbst oder durch
zusätzlich am Transportsystem angebrachte Scheidewände in einzelne Abteilungen aufgeteilt
wird.
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Während die ersten beiden Ausbildungsarten sich vorzugsweise für das
Ein- und .Ausbringen des Pumpguts eignen, ist die. letzte Ausführungsart für das
Arbeiten im Hochvakuumgebiet vorgesehen. Die vollständige Pumpeinrichtung kann durch
die, Kombination verschiedener Ausbildungsarten gebildet sein. Die technisch-ikonomischen
Vorteile der erfindungsgemäßen Einrichtung und des Verfahrens bestehen darin, daß
für die Einrichtung störanfällige und kostenaufwendige Bauteile beispielsweise Pumprohrvdrschlüsse,
Inplosionsschutzeinrichtungen, Zeoksucheinriohtungen und Ventile entfallgn, bzw.
für eine Reihe weiterer kaschinentele der Aufwandverringert werden kann. Dadurch'
daß die Verschmelzmaschne mit der Pumpmaschine vereinigt ist, entfallen ein grosser-Teil
ihrer Maschinenelemente. Der größte-Teil der Maschine
.ist stationär
angeordnet; und die zu bewegenden Massen Äuf. ein imm reduziert. Dadurch entfällt
ein grosser -Teil dee Bewegungsmechanismen' beispielsweise den Rundlaufautomaten
oder Konvoisystemen gegenüber. Der Materialeinsatz-:für das Pumprohr wird verringert.
Die volle Saugleistung der Pumpen kann bis an-das Fumprohr herangeführt wsrdeng
da optimale Querschnitte konstruktiv untergebracht werden können. Die Pumpen
können an die Stelle der 'faka - er . gebracht. verdent Wo der ihrer
höchsten .,Seugltißentsprechende Druck vorliegt® Der Ausheizofen , hat nur em®oh
die Strahlungsverluste! dir durch einfache IRotlektorblee sehr niedrig
gehalten werden können.
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@`$ir das Teahren ist -an günstig, daß die Pumprohre
beim
gleichzeitigen Verschmelzen ganz entfaleng, also über den
grödtmäglcten
Querschnitt evakuiert-wIrd' beziehungsweise die Pumpextrem kurz - gehalten werden
können und damit
ene geringen Strömungswiderstand darstellen: Das Pumprohr
nn--an .der- Verschmelnstelle voll auageheiet werden, so dafl er- Wohädl:che
Gannusbruch beim Verschmelzen -nicht in dem
-:ter-tgen:-aeugnis verbleibt.
Der Ausheieprazeß kann bis an die Gren" der Deformationstemperatur herangeführt
werden# *eil kein duss.endJmok auf dem Gefäß lastet, die Erwärmung
ist
gteioämU' da der Temperaturgradient nicht mehr durch Xonvektion beeinflu®t
wird, Da die Erwärmung durch sehr hoch -erhitzte Strahler erfolgen kann!
werden sehr hehe Tempetsnntiegskoeffzenten erreicht und der AusheizprozeD
beschleunigte Da das erhitzte Pumpgut seine Wärme nur durch
Strahlung
verliert, die Verluste in dem: üblichen Temperaturgebiet aber sehr gering sande
genügt im allgemeinen eine einmalige Erwärmung für den gesamten Ausheizprozeß. Der
Formierprozeß kann soweit als möglich besohleünigt werden, weil grosse Leitungsquerschnitte-einen
schädlichen Druckanstieg.weitgehend verhindern. Der F ormierprozeß belastet, wenn
er erfindungsgemäß ausserhalb der Hauptpumpeinriehtung durchgeführt wird, nicht
mehr den aufwendigsten Teil ddr PumVeinrichtung. Wegen Druckgleichheit zwischen
Gefäßinnen- und Aussenseite führen Undichtigkeiten' wie Risse und Sprünge, im Gefäß
nicht mehr zu einer Verschlechterung des Vakuums und Implosionen der Gefäße
können nicht mehr auftreten.
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Die gesamte Bearbeitung der Gefäße ermöglicht, daß nergieverluste
durch Abkühlung zwischen den Prozessen, beispielsweise Äusheizen des Leuchtsäoffbinders'
Verschmelzen und Tempern, sowie Ausheizen beim Pumpen fast völlig vermieden werden.
Die bessere Temperaturführung verringert den Ausschußanteil, der durch die
Ausbäldung von Glasspannungen entsteht.
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Vorteilhaft ist, daß eine Pumpeinrichtung für verschiedene Gefäße,
deren Abmessungen sich in bestimmten Grenzen bewegen, entsprechend der auszuübenden
Prozesse beim Pumpen aus. vorgefertigten standardisierten Bauteilen zu einer individuellen
Pumpeinrichtung zusammengefügt werden können,
'Die hIaschinen können
sehr platzsparend aufgebaut werden und ermöglichen einen geradlinigen kontinuierlichen
Durchlguf der Erzeugnisse-.
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Die Erfindung soll nachstehend an Ausführungsbeispielen näher erläutert
werden. In den zugehörenden Zeichnungen zeigen:, Fig. y, Die schematische Darstellung
einer Pumpeinrichtung für Glühlampen mit einem zylindrischen Rezipientenrohr.
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Fig.: 2 Die Einzelheit IIA" aus Fig. 1 im Schnitt:: Fig;. 3 Die schematische
Barstellung einer Pumpeinrichtung für leuchtstofflampen mit einem flachen Tunnel
als Rezipient.
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Fg. 4 Den Schnitt B - B aus F 1g. 3.
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F ig. 5 Die schematische Darstellung einer Pumpeinrichtung für hkuchtstofflampen
mit Ausheizvorrichtung' sowie - Ein- und Ausschleuseinrichtung nach dem Trommel--Prinzip.
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F g. 6 Die Vorrichtung zum getrennten Formieren der Katoden von Leuchtstofflampen
und dem verbinden der Teller-. fuße mit den Kolben im Vakuum: Fig. 7 Die Einzelheit
IIG" aus Fig: 6, Die Trennwände -2 sind zu einer endlosen in sich geschlossenen-Kette
aneinandergereiht. Die Kette wird durch die Räder 1 und: 9 kontinuierlich
bewegt. Zwischen den Trenn-.
wänden 2@betindet sich eine Aufnahme
3 für das Pumpguts Durch die Bestückungseinrichtung 4 wird die erwärmte Glühlampe
als Pumpgut in die Aufnahme gesetzt, Trennwände und Glühlampe laufen in das gerade
zylindrische .Rohr 99 so däß eine geschlossene Kammer entsteht! die nacheinander
an den Sauganschlüssen der Vorpumpe 1o' der Rootspumpe 11 und der Diffusionspumpe
12 vorbeiläuft. Dadurch entsteht in der Kammer und der Glühlampe ein sich ständig
verbesserndes Vakuum. Die derart evakuierte Kammer passiert die Füllstelleg
bei der durch das Ventil 13 über den Einlaß 14 Füllgas in die Kammer und
die Lampe eingelassen-wird, Die vor Eingabe in den Pumpautomaten durch den
Verschmelze prozeß vollständig erwärmte Lampe hat bis zu dieser Position nur geringfügig
an Temperatur verlorene so daß die Gasabgabe von den Glaswändeng ähnlich
wie beim konventionellen Ausheizprozeß auf der Pumpe' stattgefunden hat,
Die Lampe 6 wird durch die Einrichtung 15 verschmolzen, beispielsweise dadurch;!
daß ein; hocherhitztes Kathalband 16 gegen- das -Pumprohr gedrückt und wieder abgezogen
wird. Die fertige Lampe 6 verläßt über den Auslauf 7 das Rohrund wird durch die
Entnahmeeinrichtung 8 und der Kette gehoben.
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Die Abdichtung der Trennwände 2 gegen das Rohr 5 erfolgt beispielsweise
durch symmetrische Radialwellendichtungen 189 die entfallen könneng wenn das über
deri Pumpstengelanschluß 17 zugeführte Saugvermögen so ausreichend dimensioniert
wirdg daß die durch die Dif fustonsspalte' @zwischen Rohrwand: eindringede. Gasstrom
abgeppmpt und darüberhinauf in der Kammer das benötigte Vakuum erzeugt wird.
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Die kreisrunde Form der Trennwände 2 und des Rohres 13
stellt
die günstigste Lösung für den Aufbau der Pumpein-. riohtüng -na oh,-
diesem Prinzip dar.- Erfindungsgemäß können
Rueh andere
als kreisrunde Querschnitte für den Rezipienten
attage ft werden.
F. 3 zeigt die Anwendung des Prinzips bei .ovaler Quersohnittsform
sm Beispiel einer Pumpeinriohtung ßür Zduohtstofflampen. Die Lampe
2o liegt in Iäagseiohtung ßwisohen $wei.frennwänden 19, die in
den tunnelförmiogen Rsnipienteh 21 einlaufen. Die Etrakuierung
erfolgt
wie im vorhergehenden Beispiel, Jedoch über mehr als eine
Saugleitung
je Hammer. Die Bearbeitungseinheiten für das
QuoekslboriUllen
22 und das Verschließen 23 sind hier-bei meitloh atm folg- axial
zur Lampe angeordnete, Robe-i@ die Lampe Tor Eingabe in
die $nriohtung erwärmt worden
ixet und die !remgerattr annähernd
über den gesamten Pump-" proeeß bebehmlt# so daß die Pumpeinriohtung nicht
durch ee Aushesvorriohtuag belastet ist.
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3Gn rig5 :Lot die Anwendung den Trommelprinzips
ebenfalls
am Beispiel einer Pumpeinriohtung für leuohtstofflampan d8rgestellt.
Von den Förderband 24 wird der Lampenkolben 25 3:n einen Einschnitt
38 den Rotors 39 gegeben. Bei Drehung
dos Rotors 39 wird
die offene Seite 'der Kammer duro& den
Zylinder 4o geschlossen,
Die Kammer bewegt sich nun nacheinander Über die Säsgansohlusse
26; 27 und 28, so daß`-ach <ein stufenweise verbesserndes Vakuum
einstellt. In der Position 4't rollt der Iampenkolben aus. der Kammer auf eist-
gohrägführung und passiert den Heizer 29 mit dem Ref1WRtor
3o. Dieser Rezpententeil 31 wird von einer Pumpe
grosser
Saugleistung über die Saugöffnung 43 evakuiert. Durch die Übergabeeinrichtung: 42
wird die Lampe in den tunnelförmigen Rezipiententeil 32 übergeben und es erfolgt
die Verbindung des Kolbens mit den Fußteilen gemäß Fig. 6. Über eine zweite Schrägführung
44 und eine weitere Übergabeeinrichtung 33 wird die Lampe in eine Kammer der Ausechleuseinrichtungder
zweiten Trommel übergeben. Beim Passieren n der Schrägführung wird die Lampe über
ein kurzes Pumprohr und die Saugleitung 45v%eiterhin evakuiert. Die Argondosierung
349 die Quecksilberdösierüng 35 und der Ver- -schmelz-rorgang 36 ausgeführt.
In der folgenden Position Nvird die fertige Lampe an das Transportband 37 übergeben.
Bevor die Kammer wieder mit dem Rezipienten verbunden wird und eine weitere Lampe
übernimmty wird sie in den Positionen 48 ; 47 und 46 evakuiert.
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Die Formierung der Katoden erfolgt vor Einlauf in den Rezipiententeil
32. Der Quetschfuß 3® wird unter Atmosphäre zwischen zwei Trennwände der Transportkette
49 gesetzt. Die Kammer läuft in die durch das zylindrische Rohr 52 gebildete Formierstrecke
ein. Über die Sauganschlüsse 51; 53 und 54 wird die Kammer evakuiert und nachfolgend
die wn der Katode austretenden Gase und Dämpfe abgesaugt. Innerhalb des Rezipiententeils
32 wird
der Umwandlungspr®zeß der Katode beendet und der Quetschfuß mit dem
Lampenkolben verbunden. Die Verbindung erfolgt gemäß Fig. 7 beispielsweise dadurchy
daß- das .
Heizband: 55 die auf dem Quetschfuß vorher aufgebrachte
Glasletmenge 56 durch Strahlung erwärmto Das Lot fließt in den zwischen Lampenkolben
57 und Quetschfußteller vorhandenen Spalt und schafft so nach- Erkalten eine vakuumdichte
Verbindung. Das in Fig. 6 und 7 dargestellte Prinzip der Verbindung von Fuß
und Kolben kann auch mit einer :Einrichtung gemäß Fig, 1. oder 3 erfolgen. Ebenso
können Fuß und Kolben getrennt in e i n e r Kammer nach Fig. 1ä oder 5 eingebracht
und dann in ein und derselben Kammer verbunden werden®