EP0693767B1 - Einrichtung zum vakuumdichten Verschliessen von dauerhaft vakuumdichten Behältern - Google Patents

Einrichtung zum vakuumdichten Verschliessen von dauerhaft vakuumdichten Behältern Download PDF

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EP0693767B1
EP0693767B1 EP95109961A EP95109961A EP0693767B1 EP 0693767 B1 EP0693767 B1 EP 0693767B1 EP 95109961 A EP95109961 A EP 95109961A EP 95109961 A EP95109961 A EP 95109961A EP 0693767 B1 EP0693767 B1 EP 0693767B1
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EP
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vacuum
tight
containers
permanently
heating coil
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EP95109961A
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Armin Blecker
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Pfeiffer Vacuum GmbH
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Pfeiffer Vacuum GmbH
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/38—Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/40—Closing vessels

Definitions

  • the invention relates to a device for vacuum-tight sealing permanently vacuum-thick containers e.g. Electron tubes according to the preamble of the claim.
  • Evacuation of permanently vacuum-tight containers such as Electron tubes are made by special Pump systems suitable for the respective production process.
  • Tubes with a glass coating are usually through glass tubes connected to the pump systems.
  • These glass tubes in the Technical term pump stems are called after the evacuation separated from the pump system by melting.
  • the part of the pump stem facing the tube remains Part of the tube base on which the internal components of the Tubes are mounted.
  • melting a device used as a melting unit referred to as.
  • This melting unit consists of several parts, which ever since assembled in the axial direction according to Fig. 1 are: (S. Urban, D .: Modern picture tube production with turbo-molecular pumps, Vacuum in practice (1991) No. 3 5.196-198)
  • An electron tube 1 is evacuated by a pump system 2.
  • the connection between the electron tube and the pump system is made via a tubular component 4, the pump stem.
  • the tube base 16 and the pump system 2 must be arranged close together.
  • the melting unit 5 This consists of a housing 6 with cover 8, various insulation elements 9, 10, 11 and the heating coil 6. To change the heating coil, the melting unit be dismantled. This is done axially Direction after loosening the screws 12.
  • the heating coil is a thermally highly stressed part and therefore subjected to great wear. This makes it a common one This component must be changed. For a series production the replacement of these components and other maintenance work. an essential factor in effort and time. A quick one and the rational course of this manufacturing process should be aimed for. As shown above, this is with the conventional construction only solved unsatisfactorily.
  • the invention has set itself the task of the melting unit to be constructed in such a way that in the context of series production Replacing the heating coil and other maintenance work can be done without great expenditure of time and money.
  • the claim 2 represents a further embodiment of the invention.
  • the invention is explained using the example of electron tubes, is not, however, due to the vacuum tight sealing of electron tubes limited, but refers to all containers, which are permanently sealed in a vacuum-tight manner by melting become.
  • the melting unit constructed so that it can no longer be dismantled in the axial direction must become. It consists of the housing 13, which the Heating coil 6 and the insulation elements in the axial direction includes. A component 14 of the housing 13 is laterally removable. With this component, the heating coil 6 and the insulation elements also removable without screwing have to be solved. By a locking element 15, for. Legs Spring, which released before removing the component 14 the entire melting unit is held together.

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum vakuumdichten Verschließen dauerhaft vakuumdickten Behältern z.B. Elektronenröhren nach dem Oberbegriff des Patentanspruches.
Die Evakuierung von dauerhaft vakummdichten Behältern wie z.B. Elektronenröhren erfolgt durch speziell für den jeweiligen Produktionsprozess geeignete Pumpsysteme. Röhren mit Glasumhüllung werden in der Regel durch Glasrohre mit den Pumpsystemen verbunden. Diese Glasrohre, in der Fachsprache Pumpstengel genannt, werden nach der Evakuierung durch Abschmelzen vom Pumpsystem getrennt. Der der Röhre zugewandte Teil des Pumpstengels bleibt Bestandteil des Röhrenfußes, auf dem innere Bauteile der Röhre montiert sind. Für die Serienfertigung wird zum Abschmelzen eine Vorrichtung verwendet, welche als Abschmelzeinheit bezeichnet wird.
Diese Abschmelzeinheit besteht aus mehreren Teilen, welche seither entsprechend der Abb. 1 in axialer Richtung zusammenmontiert sind: (S. Urban, D.: Moderne Bildröhrenfertigung mit Turbo- Molekularpumpen, Vakuum in der Praxis (1991) Nr.3 5.196-198)
Eine Elektronenröhre 1, wird durch ein Pumpsystem 2 evakuiert. Die Verbindung zwischen Elektronenröhre und Pumpsystem erfolgt über ein rohrförmiges Bauelement 4, den Pumpstengel. Um den Leitwert in dem Pumpstengel möglichst groß zu halten und somit die Auspumpzeit auf ein Minimum zu begrenzen, muß dieser so kurz wie möglich sein. Dies bedeutet, daß der Röhrensockel 16 und das Pumpsystem 2 dicht beieinander angeordnet sein müssen. Zwischen dem Röhrensockel 16 und dem Pumpsystem 2 befindet sich die Abschmelzeinheit 5. Diese besteht aus einem Gehäuse 6 mit Deckel 8, verschiedenen Isolationselementen 9, 10, 11 und der Heizwendel 6. Zum Wechseln der Heizwendel muß die Abschmelzeinheit demontiert werden. Dies geschieht in axialer Richtung nach Lösen der Schrauben 12. Die aus vorgenannten Gründen bedingte sehr enge axiale Bauweise und Anbauten 3, welche zur Behandlung der Elektronenröhre und deren Bauteile während des Auspumpprozesses notwendig sind machen die Demontage äußerst umständlich und zeitraubend.
Die Heizwendel ist ein thermisch hochbelastetes Teil und somit einem großen Verschleiß ausgesetzt. Dadurch ist ein häufiger Wechsel dieses Bauteilsl bedingt. Für eine Serienfertigung stellt das Auswechseln dieser Bauteile und andere Wartungsarbeiten. einen wesentlichen Faktor in Aufwand und Zeit dar. Ein schneller und rationeller Ablauf dieses Fertigungsvorgangs ist anzustreben. Dies ist, wie oben gezeigt wurde, mit der herkömmlichen Konstruktion nur unbefriedigend gelöst.
Eine weitere gattungsgemäße Einrichtung ist aus US-A-3 100 251 bekannt.
Die Erfindung hat sich zur Aufgabe gestellt, die Abschmelzeinheit so zu konstruieren, daß im Rahmen einer Serienfertigung das Auswechseln der Heizwendel und andere Wartungsarbeiten ohne großen Aufwand an Zeit und Kosten erfolgen kann.
Diese Aufgabe wird durch den kennzeichnenden Teil des 1. Patentanspruches gelöst. Der Anspruch 2 stellt eine weitere Ausgestaltungs form der Erfindung dar. Durch die erfindungsgemäße Konstruktion ist es möglich, die Abschmelzeinheit auf einfache Weise ohne Werkzeuge für den Wechsel der Heizwendel in radialer Richtung zu demontieren und wieder zusammen zu bauen.
Die Erfindung wird am Beispiel von Elektronenröhren erläutert, ist jedoch nicht auf das vakuumdichte Verschließen von Elektronenröhren beschränkt, sondern bezieht sich auf alle Behälter, welche dauerhaft vakuumdicht durch Abschmelzen verschlossen werden.
Anhand der Abb. 2 soll die Erfindung näher erläutert werden.
Bei der erfindungsgemäßen Anordnung ist die Abschmelzeinheit so konstruiert, daß sie nicht mehr in axialer Richtung demontiert werden muß. Sie besteht aus dem Gehäuse 13, welches die Heizwendel 6 und die Isolationselemente in axialer Richtung umfaßt. Ein Bauteil 14 des Gehäuses 13 ist seitlich herausnehmbar. Mit diesem Bauteil sind die Heizwendel 6 und die Isolationselemente ebenfalls herausnehmbar, ohne daß Verschraubungen gelöst werden müssen. Durch ein Arretierelement 15, z. B. eine Feder, welche vor dem Herausnehmen des Bauteils 14 gelöst wird, wird die gesamte Abschmelzeinheit zusammengehalten.

Claims (2)

  1. Einrichtung zum vakuumdichten Verschließen von dauerhaft vekummdichten Behältern mit einem Vakuumpumpsystem (2) einem rohrförmigen Verbindungselement (4) zwischen Behälter (1) und Vakuumpumpsystem (2), welches nach Evakuierung des Behälters dauerhaft vakuumdicht durch Abschmelzen verschlossen wird, wobei das Abschmelzen durch eine spezielle Abschmelzeinheit (5) ausgeführt wird und die Abschmelzeinheit mit einer Heizwendel (6) ausgestattet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizwendel (6) von einem Gehäuse (7) radial und axial umfaßt wird und ein Bauteil (14) des Gehäuses (7) seitlich herausnehmbar ist, wobei mit dem Bauteil (14) auch die Heizwendel (6) herausnehmbar ist, ohne daß Verschraubungen gelöst werden müssen und daß zur Halterung des Bauteils (14) ein Arretierelement (15), vorhanden ist.
  2. Einrichtung nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß als Arretierelement (15) eine Feder verwendet wird.
EP95109961A 1994-07-18 1995-06-27 Einrichtung zum vakuumdichten Verschliessen von dauerhaft vakuumdichten Behältern Expired - Lifetime EP0693767B1 (de)

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DE4425160 1994-07-18

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EP0693767A1 EP0693767A1 (de) 1996-01-24
EP0693767B1 true EP0693767B1 (de) 1999-08-25

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DE59506675D1 (de) 1999-09-30
TW265455B (en) 1995-12-11
US5567193A (en) 1996-10-22
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CN1118513A (zh) 1996-03-13
JPH0845430A (ja) 1996-02-16
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