DE1564695C2 - Verfahren zur herstellung eines elektrischen kondensators - Google Patents

Verfahren zur herstellung eines elektrischen kondensators

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DE1564695C2
DE1564695C2 DE19661564695 DE1564695A DE1564695C2 DE 1564695 C2 DE1564695 C2 DE 1564695C2 DE 19661564695 DE19661564695 DE 19661564695 DE 1564695 A DE1564695 A DE 1564695A DE 1564695 C2 DE1564695 C2 DE 1564695C2
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Klaus Dipl-Ing Knapp
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Siemens AG
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/30Stacked capacitors

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
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  • Ceramic Capacitors (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines elektrischen, Kondensators mit wechselweise auf eine Trägerunterlage, z. B. auf die Tragplatte einer gedruckten Schaltung, aufgedampften metallischen und dielektrischen Schichten, wobei die Beläge negativer Polarität eine gegenüber den dielektrischen Schichten und den Belägen positiver Polarität größere Fläche aufweisen und mit ihren über die Ränder der dielektrischen Schichten hinausgreifenden Randflächen miteinander elektrisch leitend verbunden sind.
  • Es ist bereits ein elektrischer Kondensator mit auf einen Träger aufgedampften Schichten aus Tautal bekannt (USA: Patentschrift 3 257 592), dessen Beläge negativer Polarität eine größere Fläche besitzen als die dielektrischen Schichten und die Beläge positiver Polarität. Die elektrische Kontaktierung der Beläge negativer Polarität erfolgt durch aufgedampfte Schichten aus Nickel. Die Herstellung dieses bekannten Kondensators ist jedoch sehr aufwendig, da viele verschiedene Aufdampf- und Aufstäubschritte -benötigt werden, die zudem noch durch das anodische Oxydieren der Tantalschichten zur Herstellung von Tantaloxid als Dielektrikum unterbrochen werden müssen. Das Verlustverhalten dieses Kondensators bei höheren Frequenzen ist schlecht, da Tantaloxid -verlustbehaftet ist und weil sich an der Übergangsstelle zwischen Tautal und Nickel Oxid- oder Sperrschichten ausbilden können.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Kondensators der eingangs genannten Art anzugeben, dessen günstiges Verlustverhalten einen Einsatz auch bei höheren Frequenzen ermöglicht und der einfach herzustellen ist. Insbesondere sollen eine geringe Zuleitungsinduktivität und möglichst kleine Randstreuungen erzielt werden. Beides sind Voraussetzungen für ein befriedigendes Hochfrequenzverhalten.
  • Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung bei einem elektrischen Kondensator der eingangs erwähnten-Art vor, daß die Randflächen der Beläge negativer Polarität nach dem Aufbringen sämtlicher Schichten miteinander verschweißt oder verlötet werden.
  • Zur näheren Erläuterung der Erfindung wird auf die Zeichnungen verwiesen. Darin zeigen die F i g. 1 bis 3 drei zur Herstellung der elektrisch leitenden Beläge 16, 18 unterschiedlicher Polarität und der dielektrischen Schichten 17 erforderliche Aufdampfmasken 10 bis 12, wobei die Umrahmungen der Durchbrechungen schraffiert dargestellt sind. Bei Herstellung eines Kondensators wird zunächst mittels der Bedampfermaske 10 der elektrisch leitende Belag 16 negativer Polarität auf eine in der Zeichnung nicht dargestellte Trägerunterlage aufgebracht, wonach durch geeignete Anordnung der Bedampfermaske 11, die dielektrische Schicht 17 zentrisch auf die Belegung 16 aufgedampft und auf die dielektrische Schicht 17 wiederum der elektrisch leitende Belag 18 positiver Polarität aufgedampft wird. Durch wiederholte Aufdampfung der ' einzelnen elektrisch leitenden und dielektrischen Schichten in der vorgenannten Reihenfolge, wobei jeweils zwischen aufeinanderfolgenden Reihenfolgen eine dielektrische Schicht 17 auf den zuletzt aufgebrachten Belag 18 positiver Polarität aufgedampft wird, läßt sich die Kapazität jeweils um die Zahl der wiederholten Auf-. dampfungen erhöhen. Nach beendetem Aufdampfvorgang werden jeweils die Beläge gleicher Polarität über ihre vorzugsweise deckungsgleich angeordneten und gegebenenfalls mit Durchbrechungen 20 bzw. 19 versehenen Ansätze 22 bzw. 23 miteinander elektrisch leitend verbunden (s. F i g. 7). Die Beläge 16 negativer Polarität weisen eine gegenüber den dielektrischen Schichten 17 und den Belägen 18 positiver Polarität größere Fläche auf und sind mit ihren über die Ränder der dielektrischen Schichten 17 hinausgreifenden Randflächen 21 miteinander .elektrisch leitend verbunden, z..B. verlötet oder durch Laserstrahlen verschweißt.

Claims (1)

  1. Patentanspruch: Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Kondensators mit wechselweise auf eine Trägerunterlage aufgedampften metallischen und dielektrischen Schichten, wobei die Beläge negativer Polarität eine gegenüber den dielektrischen Schichten und den Belägen positiver Polarität größere Fläche aufweisen und mit ihren über die Ränder der - dielektrischen Schichten hinausgreifenden Randflächen miteinander elektrisch leitend verbunden sind, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t, daß die Randflächen (21) der Beläge negativer Polarität (16) nach dem Aufbringen sämtlicher Schichten (16, 17, 18) miteinander verschweißt oder verlötet werden.
DE19661564695 1966-08-29 1966-08-29 Verfahren zur herstellung eines elektrischen kondensators Expired DE1564695C2 (de)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3257592A (en) * 1966-06-21 Silicon monoxide

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US3257592A (en) * 1966-06-21 Silicon monoxide

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