DE1550699A1 - Vorrichtung zur UEbertragung von Bewegungen durch eine dichte Wand - Google Patents

Description

Patentanwälte

Dipl.-Ing. H. Stehmann

Dipl.-Phys. Dr. K. Schweizer

85 NÜRNBERG

Essenweinstraße 4-0

Dr.

5148-66

0ΞΗΤΕ3 ITATIOIIAL IH 7Λ EECH3RCHS SCIIllTTIPIQUB Vorrichtung zur übertragung von Bewegungen durch eine dichte Wand

Priorität: Frankreich, vom 5· Kars 1965

Gegenstand der Erfindung ist eine Vorrichtung zur übertragung von Bewegungen durch die Wand einer dichten Kammer, und zwar insbesondere, wenn auch nicht aussehliesslich, zur übertragung von Bewegungen auf das Innere einer dichten Kammer, in welcher ein Hochvakuum herrscht» wobei die übertragenen Bewegungen zur Verschiebung und/oder Einstellung eines in dieser Kammer befindlichen Körpers oder Teils dienen·

Bekanntlich trifft die Herstellung der-

artiger Vorrichtungen auf Schwierigkeiten, v/elche umso grosser sind, je höher das in der Kammer aufrechtzuerhalt erde Vakuum, ist.. Diese Schwierigkeiten rühren einerseits davon her, dass man in der Wahl der Bestandteile der betreffenden Vorrichtungen beschränkt ist, da insbesondere die Verwendung von Stopfbuchsen, Dichtungen aus künstlichem Gummi usw. ausgeschlossen ist, und andererseits davon, dass es bisher als notwendig angesehen wurde, die Kammer und die an dieser befestigten Teile einer vorherigen Ofentrociaiuns zu. unterwerfen, um jede Spur von an den Wänden der ICaoiaer absorbierten Gasen oder Dämpfen zu entfernen. Alles dies macht cL-.e Herstellung der Vorrichtung zur übertragung von Bewegungen auf das Innere der Kammer schwierig und teuer.

Bisher werden derartige Vorrichtungen im allgemeinen mit Hilfe von besonderen Werkstoffen hergestellt, welche sich in der Wärme möglichst v;enig verformen, was die Vorrichtungen sehr kostspielig macht« Ferner erfordern diese Vorrichtungen häufige Schmierungen, was ihre Vervendung unbequem macht. Schliesslich besitzen sie eine geringe Betriebssicherheit, insbesondere infolge der Gefahr des Festfressens der der Ofentrocknung unterworfenen Mechanismen.

Die Erfindung bezweckt die Schaffung einer Vorrichtung zur Übertragung von Bewegungen auf das Innere

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einer Kammer, insbesondere einer Kammer, in welcher ein Hochvakuum herrscht, welche die obigen Nachteile nicht aufweist.

Die erfindungegemässe Vorrichtung zur

übertragung von Bewegungen ist dadurch gekennzeichnet, dass ein Betätigungsstab, welcher mit einem seiner Enden in die ICpcimer eintritt, um in dieser die Bewegungen des zu verschiebenden und/oder einzustellenden Gegenstands zu bewirken, von einen Lager getragen wird, durch welches der Stab tritt, und welches in einen Halter eingebaut ist, von welchem der das Lager umgebende Teil dicht mit der Kammer durch einen ersten den Stob umgebenden Balgen vartwüen ist, wahrend der über den Halter überstehende Abschnitt des Stabes auf der der Kammer abgewandten Seite gekrümmt ist und in einem zweiten Balgen liegt, dessen eines Ende dicht an dem Halter befestigt ist, während sein anderes Ende geschlossen und mit dem gekrümmten Abschnitt des Stabes verbunden ist, wobei der auseerhalb des ersten Balgens befindliche Abschnitt des Halters auf ausbaubaren Einrichtungen ruht, welche dem Halter Translations- und/oder Schwenkbewegungen erteilen können.

Die erfindungsgemässe Vorrichtung verneidet also die Verwendung von Stopfbuchsen, Dichtungen aus künstlichem Gummi usw.. Ferner brauchen nur der Stab, die Balgen, der Halter mit dem Lager für den Stab und die BADORiGlNAL

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Einrichtungen, mit deren Hilfe die Gesamtheit dieser Teile an der Kammer befestigt wird, der Ofentrocknung unterworfen zu werden. Alle Einrichtungen dagegen, welche dazu

dienen, dem Stab und seinein Halter die gewünschten Bewegungen zu erteilen, sind leicht ausbaubar und brauchen nicht der Ofentrocknung unterworfen zu v/erden, so dass kein festfressen zu befürchten ist.

Die Erfindung ist nachstehend unter Bezugnahme auf die Zeichnung beispielshalber in ihrer Anwendung auf eine Vorrichtung zur übertragung von Bev/egungen bei einem Apparat erläutert, bei weichein die Beugung der Elektronen, insbesondere solcher geringer Energie, zur Anwendung kommt.

Pig. 1 zeigt in einem Axialschnitt eine gemäss einer Ausführungsform der Erfindung ausgeführte Vorrichtung.

Pig. 2 ist ein Schnitt längs der Linie II-II der Pig. 1.

Pig. 3 zeigt in einem Axialschnitt die Teile, welche nach dem Ausbau aller zur Erzeugung der durch die Vorrichtung auf das Innere der Kammer zu übertragenden Bewegungen dienenden Teile der Ofentrocknung unterworfen werden sollen.

Wie bereits ausgeführt, betrifft eine Anwendung der erfindungsgemässen Vorrichtung die die Beugung von Elektronen benutzenden Apparate.

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Bekanntlich besitzen die für die üblichen Untersuchungen durch Beugung benutzten Elektronen im allgemeinen eine Energie in der Grössenordnung von einigen Zehner Kilovolt. Diese Elektronen dringen ziemlich tief in das Innere der Kristalle ein und gestatten keine Untersuchung der Oberfläche derselben.

Zur Untersuchung der Oberflächenschichten muss die Energie der Elektronen bis auf einige Hunderte* und sogar Zehne« Volt herabgesetzt werden.

Für derartige Energien muss ein sehr weitgetriebenes Hochvakuum in der Grössenordnung von 10 bis

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10 Torr hergestellt v/erden.

Bei der dargestellten Ausführungsform dient die erfindungsgemäsee Vorrichtung dazu, in einer Kammer, in welcher ein Hochvakuum der angegebenen Grössenordnung herrscht, die Stellung eines Kristalls in einem Elektronenbündel zu regeln.

Fig. 1 ist eine geschnittene Seitenansicht der erfindungsgemäsaen Vorrichtung.

Die Vorrichtung zur Übertragung von äusseren Bewegungen auf das Innere der Kammer ist an einer Grundplatte 3 angebracht, welche dicht an einem Flansch- 2 befestigt ist, welcher einen Teil der Wand der dichten Kammer bildet, in welcher das Vakuum herrscht, oder welcher an einer mit dem Innern der Kammer in Verbindung stehenden

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Leitung befestigt ist.

Das Bezugsseichen 1 bezeichnet die Ebene, in v/elcher die Grundplatte 3 auf dem Flansch 2 aufliegt. Dieser Plansch ist mit nicht dargestellten Löchern für den Durchtritt von Befestigungsbolzen versehen, mit v;elchen die Grundplatte 3 dicht auf dein Flansch befestigt ist.

Die kreisförmige Grundplatte 3 weist in ihrem Zentrum eine ebenfalls kreisförmige öffnung 4 auf, an -welche das Ende 5 eines metallischen Balgens 6 angelötet ist. Ein innerhalb des Balgens angeordneter Befestigungsring 7 dient aur Ausführung der lötung.

Das obere Ende des Balgens 6 ist an einen zv/eiten Balgen 8 kleineren Querschnitts über einen Teil angeschlossen, welcher durch cwei ringförmige Platten 9 und 10 gebildet wird, welche aneinander festgesogen sind, und an welche die beiden Balgen 6 und 8 angelötet sind. Der Aussendurchmesser der Platte 10, welche an ihrem Umfang ein Gewinde trägt, ist etwas grosser als der Durchmesser der Platte 9· Der gegenseitige Festzug der Platten 9 und 10 erfolgt mit Hilfe von Bolzen 11. Die beiden Platten 9 und 10 bilden dann eine Anordnung 12, welche nachstehend mit dem Ausdruck "Halter" bezeichnet ist, wobei es wohlverstanden ist, dass die Bolzen 11 ständig festgezogen sind und nur ausnahmsweise ausgebaut werden, z.B.

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zum Ersatz eines der Balgen.

Das Ende des Balgens 8 ist mittels eines Stöpsels 13 dicht verschlossen» welcher aussen einen zylindrischen Fortsatz 14 besitzt·

Der innere Abschnitt der beiden Balgen 6 und 8 bildet offenbar eine dichte Anordnung und kann mit der Hauptkamfaer in Verbindung gesetzt werden, in welcher ein Hochvakuum herrscht.

Innerhalb des ringförmigen Halters 12 und in dem durch die Balgen 6 und 8 gebildeten dichten Raum ist ein Iiager befestigt, welches durch einen rohrförmigen Teil 15 und zwei an den Enden desselben angeordnete Kugellager 17 und 18 gebildet wird. Dieses Lager 15-17-18 dient zur Lagerung eines BetHtigungsstabes 19 (20, 21), welcher auf den oberen Kugellager 17 mittels eines Flansche 19ει aufliegt und in dem leger um die Achse desselben frei drehbar ist. Der untere (teilweise in Fig. 1 und 3) dargestellte Abschnitt 20 dieses Stabes tritt in das Innere der dichten Kammer ein, wo er z.B. eine Kristallprobe trsgt, deren Bewegungen er erzeugt, wahrend der über dem Halter 12 liegende obere Abschnitt 21 des Stabes leicht gekrümmt ist.

Bei der dargestellten Ausführungsform erfolgt die Befestigung des Lagers 15-17-18 in dem Halter 12 mittels eines Gewinderinges 16, welcher auch zum Einlöten des unteren Endes des Balgens 8 in die Platte 9 des Hai-

ters 12 dient, und hierdurch ebenfalls in dieser Platte befestigt ist.

Das Ende 22 des leicht gekrümmten Ab-Schnitts 21 des Stabes tritt in den das obere Ende des Balgens δ verschliessenden Stöpsel 13 ein, wobei ein Kugellager 23 zwischen diesem Ende 22 und dem Stöpsel angeordnet ist, damit dieses Ende Drehbewegungen gegenüber dem Stöpsel ausführen kann.

An dem Umfang der Platte 10 des Halters 12 ist ein Ring 72 befestigt, welcher so den Durchmesser dieser Platte vergrössert. Die Einrichtungen, welche normalerweise den Halter 12 unterstützen und gestatten, ihm und mit ihm dem Stab 19 verschiedene Transistions- und Schwenkbewegungen zu erteilen, wirken aus weiter unten

und erläuterten Gründen auf diesen Ring 72/nicht unmittelbar

auf die Platte 10.

Die Einrichtungen zur Unterstützung des Halters 12 v/eisen eine zylindrische Muffe 25 auf, deren Innendurchmesser grosser als der Aussendurchmesfcer der Platte 10 des Halters ist. Diese Muffe ist an der Grundplatte 3 mit Hilfe von Bolzen 24 befestigt, welche einen leichten Ausbau der Muffe gestatten. Diese letztere ist auf einem Abschnitt 26 ihrer Länge mit einem Aussengev/inde und einer Längsnut 27 versehen. Auf die Muffe 25 ist ein gezahnter und mit Innengewinde versehener ringförmiger

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Teil 28 aufgeschraubt.

Dieser ringförmige Teil 28 dient als Halter eines zylindrischen Flansche 29, welcher auf dem oberen nicht mit Gewinde versehenen Teil 30 der Muffe 25 gleitet. Zv/ei Arme 31 und 32 sind an den seitlichen Teil des Flanschs 29 angelötet, von denen der Arm 32 in Fig. 2 sichtbar ist. Diese Arme halten eine durch eine Kurbel betätigte Schnecke 33,. welche mit dem gezahnten Ring in Eingriff steht. Um eine Drehung des Flanschs 29 bei Betätigung der Kurbel zu verhindern, ist dieser mit einem in der !Tut 27 der Muffe verschieblichen Stift 35 versehen.

Die Drehbewegung der Kurbel 34 hat dann eine Translationsbewegung des Flansche. 29 und des auf diesem aufliegenden oberen Abschnitts der Vorrichtung parallel zu der Achse der Huffe 25 zur Folge.

Zur Abstützung dieses oberen Abschnitts

weist der Flansch 29 drei Zapfen 36, 37, 38 (siehe Fig. und 2) auf, welche in den Flansch so eingesetzt sind, dass sie senkrecht zu der Ebene desselben gleiten können. Diese Zapfen sind um 120° gegeneinander versetzt. Sie sind in in drei Ansätzen 42, 43, 44 des zylindrischen Flansche 29 ausgebildete Löcher 39, 40., 41 eingesetzt. Die Verschiebung des Zapfen erfolgt mit Hilfe von drei Stellschrauben 45, 46, 47, welche mit gerändelten Knöpfen 48, 49, 50 versehen sind und mit dem schräg abgeschnittenen

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ebenen. Abschnitt 51 der Basis der Zapfen zusammenwirken. Die oberen Enden 52 der Zapfen laufen spitz zu und greifen in eine Kreisnut 53 ein, welche an der Unterseite einer Scheibe 54 ausgebildet ist, deren innere öffnung ebenfalls einen Durchmesser hat, welcher grosser als der der Platte 10 des Halters 12 ist. Indem man die verschiedenen Zapfen mehr oder weniger aus ihren Löchern 39» 40, 41 austreten lässt, kann man die Scheibe 54 und mit ihr alle von ihr getragenen Teile in Bezug auf den Flansch 29 und die Grundplatte 3 verschwenken.

An der Scheibe 54 sind in zwei mit dieser fest verbundenen und je mit einer G-ewindebohrung versehenen Böcken 55 und 56 zwei Stellschrauben 57 und 58 angebracht, welche mit gerändelten Knöpfen 59, 60 versehen und längs einem Durchmesser der Scheibe 54 vercchieblich sind. Die Oberseite der Scheibe 54 weist ausserdem eine zu der gemeinsamen Richtung der Stellschrauben 57 und 58 parallele Hut 61 auf.

Diese Nut 61 dient zur !Führung eines Wagens 62, welcher durch die Stellschrauben 57 und 58 verschoben werden kann. Der Umfang des Wagens bildet ein Quadrat mit abgerundeten Ecken, und dieses Quadrat ist in eine kreisförmige Ausnehmung 63 eingeschrieben, deren Innendurchmesser ebenfalls grosser als ö.ex Aussendurchmesser der Platte ¹O des Halters ist. Der Wagen 62 ruht

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auf vier Rollen 6^, 65» 66, 67, welche zwei Gruppen von je zwei Rollen bilden. Diese Gruppen liegen einander gegenüber und sind seitlich von zwei gegenüberliegenden Seiten des quadratischen Umrisses des Wagens angeordnet. Der S_and der Rollen 64, 65 ist abgeschrägt, so dass sie in der Hut 61 rollen können und so gleichseitig den Wagen unterstützen und führen, während die beiden Rollen 66 und 67 zylindrisehe Umfange haben und nur den Wogen unterstützen.

Der Wagen 62 ist an den beiden anderen Seiten seines quadratischen Umrisses mit zwei weiteren Gruppen von Rollen 68, 69 und 70, 71 versehen, deren Achse in Bezug auf die Achsen der vier ersten Rollen nach oben verschoben ist. Auf diesen Rollen 63, 69 und 70, 71 ruht die Unterseite des Ringes 72, wenn dieser auf die Platte 10 des Halters 12 aufgeschrrubt ist. Dieser Ring ist auf seiner Unterseite mit einer Nut 73 versehen, in welcher die beiden mit abgeschrägten Rändern versehenen Rollen 68, 69 des Viagens 62 rollen, während die Rollen 70, 71 nur zur Unterstützung des Ringes 72 und des Halters 12 dienen.

Der Wagen 62 ist ferner mit zwei Böcken 74, 75 (siehe Fig. 2) an den die Rollen 64, 65, 56, 67 tragenden Seiten des Quadrats versehen. Diese Böcke besitzen Gewindebohrungen zur Aufnahne von mit gerändelten Knöpfen 78, 75 versehenen Stellschrauben 76, 77. Die Enden

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der Schrauben 76, 77 legen sich gegen den seitlichen Abschnitt des ringförmigen Teils 72 und bewirken seine Verschiebung sowie die des Halters 12 gegenüber dem Wagen, wobei diese Bewegung durch die Nut 73 geführt wird.

Die Bewegung des Halters 12 gegenüber dein Wagen 62 ist somit eine Translationsbewegung, während die des Wagens 62 gegenüber der Scheibe 54 eine zu der ersten Translationsbewegung senkrechte Translationsbewegung ist.

Die beiden mittels der Knöpfe 59, 60 und 78, 79 hergestellten Translationsbewegungen sind also schlie3slich einer Verschiebung des Halters 1^ parallel zu sich selbst gleichwertig.

Die Berührung der Zapfen 52 mit der Hut 55 und der Scheibe 54 sowie die Berührung der Rollen 64, 65, 66, 67 mit dieser Scheibe und die Berührung zwischen dem Ring 72 und den Rollen 68, 63, 70, 71 wird durch Federn 97 aufrechterhalten, welche an der Grundplatte 3 befestigte Winkel 98 mit Laschen S6 eines kreisförmigen Bundes 95 verbinden, v/elcher sich an der durch die Oberseite des Ringes 72 gebildeten Schulter abstützt.

über den Halter 12 ist lösbar ein System befestigt, welches den zweiten Balgen 8 um die mit der Achse des Lpgero 15-17-18 zusammenfallende Achse des Halters 12 verstellt und somit die Drehung des Stabes 20 um sich selbst bewirkt. Dieses Sj^stem weist einen rohrförmigen

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Teil 80 auf, welcher mit Au3sengewinde versehen ist und durch einen Bund 81 an der oberen Platte 9 des Halters mit- Hilfe von drei Bolzen 82 befestigt wird, öffnungen gestatten den Durchtritt des Endes der festaiehbolzen

Der rohrförnige Teil 80 wird von einer

G-ewindemuffe 84 übergriffen, welche einen Stöpsel 85 hält, an welchem mit Hilfe von Schrauben 86 eine Platte 87 befestigt ist, welche mit einer öffnung 88 versehen ist, in welche das Ende des an dem Balgen 8 befestigten Ansatzes 14 eingreift.

Die Drehung der Platte 87 wird durch ein System mit Kugeln 89, 90, 91, 92 erleichtert, welche in einer Nut 98 am Ende des Teils 80 sowie zwischen der mit einer konischen lauffläche 94 versehenen Platte 87 und der Muffe 84 angeordnet sind.

Die Drehung des Abschnitts 20 des Stabes 19 um sich selbst wird offenbar dadurch erzielt, dass der Stöpsel 85 von Hand verdreht wird.

Dank der Ausnehmungen der Teile 25» 54 und 62 sowie- dank der Iioglickkeit des Abochraubens des Ringes 72 kann der Auseinanderbau der den Halter 12 tragenden Teile schnell und leicht erfolgen. Dieser Auseinanderbau erfolgt nämlich folgendermassen;

Die Schrauben 82 werden ausgebaut, und die durch den rohrförmigen Teil 80 und den ihn tragenden Me-

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chanismus gebildete Anordnung wird entfernt.

Der mittels der Federn 97 befestigte

Bund 95 wird nach Aushängen der Federn ebenfalls entfernt. Hierauf wird der Ring 72 ausgebaut, nachdem die die Stellung dieses Ringes festlegenden gerändelten Knöpfe 78, 79 losgeschraubt wurden. Hierauf können der Wagen 62 und anschliessend die Scheibe 54 durch die kreisförmigen Ausnehmungen herausgenommen werden, welche ihren Durchtritt längs des seitlichen Abschnitts des Halters 12 ermöglichen. Schliesslich kann nach Losschrauben der Bolzen 24 die durch die Muffe 25 und die von ihr getragenen Mechanismen gebildete Anordnung ihrerseits entfernt v/erden.

Am Ende dieses Ausbaus, welcher offenbar sehr schnell vorgenomaen v/erden kann und nur einige Minuten dauert, bleiben von der ganzen Betätigungsvorrichtung nur die Balgen 6, 8 und der Halter 12 sowie der Stab 19-20-21 übrig.

Fig. 3 zeigt, was von der Vorrichtung nach dem Ausbau übrigbleibt.

Wie aus dieser Figur hervorgeht, stützt sich nach diesem Au r/bau der Halter 12 mit seinen Balgen 6 und 3 und dem Stab 19-20-21 an der Grundplatte 3 mit Hilfe von drei Stäben 99 (von denen nur ein einziger in Fig. 1 und 3 dargestellt ist) ab, welche in in der Platte 10 ausgebildete Gewinüebohrungen eingeschraubt sind. Ihre

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Länge ist etwas kleiner als die Gesatnthöhe der Teile, welche normalerweise, wenn der Apparat zusammengebaut ist, den Halter 12 tragen, sobald jedoch diese Teile entfernt

mit
sind, stützen sich die Stäbe S9/ihren unteren Enden an der Grundplatte 3 ab, so dass sie den Halter 12 tragen und ihn in dem richtigen Abstand von der Grundplatte 3 halten.. Nur die in Fig. 3 dargestellten Teile v/erden einer vorherigen Ofentrocknung ausgesetzt, welche erforderlich ist, um die von u.eii Innenwänden der Kammer absorbierten Gase oder Dämpfe zu entfernen. Hin grosser Teil der Teile der Vorrichtung wird der Ofentrocknung nicht ausgesetzt. Diese letzteren Teile können aus einen üblichen billigen Werkstoff hergestellt werden» Sie erfordern keine häufige Schmierung, da sie nicht einer Ofentrocknung ausgesetzt werden. Schliesslieh besitzt dar obige Betätigungsmechanismus eine grosse Betriebssicherheit infolge des Fehlens der bei im Ofen getrockneten Hechanismen sehr häufigen Gefahr eines Festfressens.

Die Anwendung der erfindungsgemä^sen Vorrichtung ist natürlich nicht auf ein Gerät beschränkt, welches die Beugung der Elektronen, insbesondere solcher geringer Energie, ausnutzt. I>io^j Vorrichtung ist überall do anwendbar, wo äussere Betätigung:-;bewegungen, in das Innere einer dichten Kanner zu übertragen sind. Sie ist besonders interessant für die übertragung von Betätigung;-: -

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bewegungen auf das Innere einer Kammer, in welcher ein Hochvakuum herrscht, welches eine vorherige Ofentrocknung der Kammer und aller dem Vakuum ausgesetzten Teile erfordert. Bei allen Anwendungen besitzt die erfindungsgemässe Vorrichtung grosse Vorteile infolge ihres leichten Auseinanderbaus, ihres massigen Gestehungspreises und ihrer Betriebssicherheit.

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Claims (8)

Patentansprüche

1.) Vorrichtung zur Übertragung von Bewegungen durch die Wand einer dichten Kammer, insbesondere einer Kammer, in welcher ein Hochvakuum herrscht, dadurch gekennzeichnet, dass ein Betätigungsstab (19, 20, 21), welcher mit einem Ende in die Kammer eintritt, um in dieser die Bewegungen des zu verstellenden und/oder einzustellenden Gegenstands zu erzeugen, von einem Lager (15-17-18) getragen wird, durch welches er tritt, und welches in einen ringförmigen Halter (12) eingebaut ist, dessen das lager umgebender Teil dicht mit der Kammer durch einen ersten den Stab umgebenden Balgen (6) verbunden ist, während der über den Halter überstehende Abschnitt (21) des Stabes auf der der Kammer abgewandten Seite gekrümmt ist und sich in einen zweiten Balgen (8) befindet, dessen eines Ende dicht an dem Halter (12) befestigt ist, während sein anderes Ende (15) verschlossen und mit dem gekrümmten Abschnitt (21) des Stabes verbunden ist, wobei der ausserhalb des ersten Balgens (6) befindliche Abschnitt des Halters (12) durch Einrichtungen getragen wird, welche ausbaubar sind und dem Halter Translations- und/oder Scliwenlcbewegungen erteilen können.

2.) Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtungen, auf welchen der

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Halter (12) des Lagers (15-17-18) des Betätigungsstabes (19-20-21) ruht, lösbar an einer Grundplatte (3) angebracht sind, welche eine öffnung (4) aufweist, an deren Rand dicht ein Ende des ersten Balgens (6) befestigt ist, wobei diese Öffnung mit dem Innern der Kammer in Verbindung steht und von dem Betätigungsstab durchdrungen wird.

3.) Vorrichtung nach Anspruch 1 und 2,

dadurch gekennzeichnet, dass der Halter (12) des Lagers des Betätigungsstabes parallel su sich selbst in zwei zueinander senkrechten Richtungen auf einer Scheine (54) verschoben werden kann, welche ihrerseits um eine mit der Aoiise des in die Kammer eintretenden Abschnitts (20) des Betätigungsstabes zuscminenfallende Achse verdreht v/erden kann.

4.) Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch

gekennzeichnet, da;.-_;s die Scheibe (54) an drei Punkten auf Zapfen (52) veränderlicher MutäJänge ruht, derart, dass die Scheibe durch eine Änderung der Länge dieser Zapfen verkippt werden kann.

5.) Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Halter (12) des Lagers des Betätigungsstabes einen zentralen Abschnitt (10) aufweist, an welchem ein Ende des ersten Balgens (6) wowie ein Ring (72) befestigt ist, welcher- auf den Umfang dieses zentralen Teils aufgeschraubt ist, wobei sich die

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Einrichtungen zur Abstützung des Halters an diesem Ring (72) abstützen, wobei diese Abstützeinrichtungen die Form von Ringen haben, deren Innendurchmesser grosser als der Aussendurchmesser des zentralen Teils (10) des Halters ist, derart, dass dieser zentrale Teil nach Entfernung des ihn umgebenden Ringes (72) durch die Abstützeinrichtungen treten kann.

6.) Vorrichtung nach einem der Ansprüche

1 bi,;. 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Halter (2) durch zwei Platten (9> 10) gebildet wird, welche übereinanderliegen und durch Schrauben (11) vereinigt sind, wobei eine (10) dieser Platten zur Befestigung eines Endes des ersten Balgens ("6) dient, während an der anderen Platte (9) das offene Ende des zweiten Balgens (S) befestigt ist.

7.) Vorrichtung nach einein der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass an dem Halter (12) losbar ein Gestell (oO) befestigt ist, welches einen drehbaren Deckel (35, 87) trägt, welcher mit dem geschlossenen Ende des zweiten Brlgens (8) verbunden ist.

8.) Vorrichtung nach einen der Ansprüche 1 bis 7, dodurch gekennzeichnet, dass an dem Halter (12) Füsse befestigt sind, welche sich zwischen den Kalter und der Grundplatte (5) erstrecken, und deren Länge kleiner als die Höhe der entfernteren Einrichtungen ist, auf welchen der Halter normalerweise ruht, und welche gestatten,

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- 20 ihm Translations- und/oder Schv/enkbev/egungen zu erteilen.

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