DE1547402A1 - Vorrichtung zur optischen Abtastung mikroskopischer Objekte - Google Patents
Vorrichtung zur optischen Abtastung mikroskopischer ObjekteInfo
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- DE1547402A1 DE1547402A1 DE19671547402 DE1547402A DE1547402A1 DE 1547402 A1 DE1547402 A1 DE 1547402A1 DE 19671547402 DE19671547402 DE 19671547402 DE 1547402 A DE1547402 A DE 1547402A DE 1547402 A1 DE1547402 A1 DE 1547402A1
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Description
Vorrichtung zur optischen Abtastung
mikroskopischer Objekte
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur optischen Abtastung
mikroskopischer Objekte, beispielsweise zur Ermittlung von Flächenanteilen einzelner Objektphasen oder zur
Bestimmung einer mittleren Extinktion eines biologischen Objektes mittels einer elektronischen Auswerteeinrichtung
unter Verwendung eines die Abtastbewegung steuernden
Kippspiegels, nach Patent ... (Patentanmeldung L 5^ 285
IXa/42h), insbesondere nach den Ansprüchen 1 und 6 bis 10
diese· Patents.
In der Patentschrift ... (Patentanmeldung L 51* 285 IXa/42h)
ist eine Vorrichtung beschrieben, bei der zur Abtastung des zu fotometrierenden Objekte· ein Kippspiegel vorgesehen ist,
der das beispielsweise von einem Projektionsokular eraeugte
Bild des Objekte· über eine Blende führt, Unter der ein fotoelektrisch·!* Empfänger angeordnet ist. Insbesondere wird
dieser Kippspiegel nach der genannten Patentschrift zur
synchronen Steuerung einer Abtastbewegung sowohl auf der Beleuchtung·- wie auch auf der Beobachtungsseite verwendet.
Das hat den Vorteil, daß das Objekt jeweils nur an der Stelle beleuchtet wird, an der da· abtastende Bild der MeObIende
sich durch da· Objekt bewegt. Hit einer derartigen Anordnung
ist es leicht »»glich, da· etorende Streulicht «u vermeiden
und außerdea eis»· Abtastung de· Objekte· voraunehmett, ohne
daß dabei beispi«l«welsö der Objekttisch bewegt werden
muß, ftfltmd/-0$S-6 -
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Es ist bereits bekannt, zur Steuerung der Auswerteeinrichtung eine Blende im abbildenden Strahlengang vorzusehen,
wobei dafür gesorgt werden muß, daß das Bild des abzutastenden Objektes innerhalb der Blende liegt. Mit dem
Photostrom wird ein Trigger geschaltet, der die Auswertung abschaltet, wenn die Helligkeit einen wählbaren Wert unterschreitet. Diese Anordnung hat allerdings den Naohteil,
daß auch außerhalb des eigentlichen zu vermessenden Objektes, aber noch Innerhalb der Blende 'liegende Teile mit abgetastet
werden. Bs sind daher schon Vorschläge bekannt geworden, die eine einwandfreie Abtastung von Objekten mit unregelmäßiger
Umrandung ermöglichen. Dabei wird in jedem Falle vor Beginn der Abtastung die Umrandung des abzutastenden Objektes auf
einer Hilfszeichenflache aufgetragen. Bei einer bekannten
Vorrichtung, bei der zur Abtastung des Objektes der Objekttisch bewegt wird, wird diese Tischbewegung mechanisch vergrößert auf die Hilfszeichenflftohe Übertragen und dann auf
dieser Hilfezeichenfläche die Steuerimpulse an die Auswerteeinrichtung gegeben. Bei einer anderen bekannten Einrichtung
wird die Abtastbewegung durch eine im Fotometerstrahlengang
angeordnete Schiebelinse erzeugt, die ihrerseits mechanisch
«it der Hilfsflache verbunden ist, auf der die Objektumrandung elektrisch markiert Xmt, In beiden Einrichtungen
siftlt mechanische Hilfsmittel notwendig, die zwangsläufig
aufwendig sind und wegen ihrer Trägheitekräfte die Abtastgeschwindigkeit begrenzen.
Die Kachteile dieser bekannten Einrichtungen lassen sich bei
Verwendung sin·· die Abftastbewegung steuernden Kippspiegel*
§09049/0550
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9.T.1J67.
dadurch vermeiden, daß eine Hilfaflache vorgesehen ist, auf
der die Umrandung des abzutastenden Objektes aufzeieheribar
ist, und daß ferner ein von dem Kippspiegel gesteuerter Lichtzeiger vorgesehen ist, der die Hilfsflache abtastet,
und daß hinter der Hilfsflache, in Lichtrichtung gesehen,
ein fotoelektrischer Empfänger angeordnet ist, dessen Auegangssignal die Auswerteeinrichtung steuert. Besonders
zweckmäßig ist eine Anordnung, bei der ein Kollimator über
den Kippspiegel einen Lichtpunkt in die Hilfefläche projiziert und eine hinter der Hilfsflache ptehende Feldlinse das
Kolliaatorobjektiv auf den fotoelektrischen Empfänger abbildet. Als Hilfefläche kann eine Glasplatte vorgesehen sein.
Die Glasplatte 1st vorzugsweise derart schwenkbar gelagert, daß sie in einer Stellung als Hilfefläche dient und in der
anderen Stellung in das Bild des Objektes im Fotometerstrahlengang einschwenkbar ist. Es ist vorteilhaft, zusätzlich zu
der Glasplatte entweder eine Mattscheibe oder aber eine Feldlinse und eine Lupe in den Fotometer*trahlengang einschwenkbar oder einschiebbar vorzusehen.
In den beigefügten Zeichnungen ist schematisch ein Aueführungsbeispiel für eine Vorrichtung nach der Erfindung dargestellt, undfe zwar zeigen:
Fig. 1 die Anordnung mit der Hilfsflache im Strahlengang
des Lichtzeigers ι
Fig. 2 die Anordnung mit der Hilfefläche im Fotometeretrahlengang.
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9.1.1967. 1547402
Ein Projektionsokular 1 eines nur schematisch angedeuteten Mikroskops 2 bildet über einen Kippspiegel 3 das abzutastende,
nicht dargestellte Objekt in die Ebene einer Blende h ab, hinter der ein erster fotoelektrischer Empfänger 5 angeordnet
ist. Dieser fotoelektrische Empfänger 5 ist in bekannter, hier nicht näher dargestellter Weise mit einer Auswerteeinrichtung
verbunden«
Ein Kollimator 6 projiziert über den Kippspiegel 3 einen
Lichtpunkt auf die Hilfsflache 7» beispielsweise eine Glasplatte,
auf der die Umrandung des abzutastenden Objektes aufgezeichnet ist. In Lichtrichtung gesehen hinter der
Hilfsflache 7 ist eine Feldlinse 8 angeordnet, die das
Kollimatorobjektiv 6 auf einen zweiten fotoelektrischen Empfänger 9 abbildet. Dieser fotoelektrische Empfänger
ist in ebenfalls bekannter und daher nicht näher dargestellter Weise sowohl mit der Auswerteeinrichtung wie auch mit
der Steuereinrichtung für den Kippspiegel 3 verbunden.
Die Wirkungsweise dieser Anordnung ist folgende ι
Durch die Kippbewegung des Kippspiegels 3 wird das vom Projektionsokular 1 erzeugte Bild beispielsweise in Zickzackkurven
über die Öffnung der Blende k geführt. Das jeweils durch die Blendenöffnung hindurchdringende Licht gelangt
dann auf den fotoelektrischen Empfänger 5, dessen Ausgangssignal in bekannter Weise die Auswerteeinriohtung
steuert. Synchron mit der Bewegung des Bildes über die Öffnung der Blende k wird der vom Kollimator 6 auf die
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-HilfsfLache 7 projizierte Lichtpunkt in der gleichen Bewegungsform
über die HilfsfLache geführt. Dabei gelangt so
Lange Licht von diesem Lichtpunkt auf den fotoelektrischen Empfänger 9, wie der Lichtpunkt über freie Stellen der
HiLfsfläche 7 wandert. Trifft der Lichtpunkt jedoch auf die
beispielsweise als undurchlässiger Kurvenzug auf der Hilfsfläche
7 dargestellte Umrandung des abzutastenden Objektes, gelangt kein Licht mehr auf den fotoelektrischen Empfänger
9. Damit verändert sich aber das Ausgangssignal dieses fotoelektrischen
Empfängers 9. Diese änderung des Ausgangssignals wird nun einerseits in bekannter Weise zur Steuerung der Auswerteeinrichtung,
andererseits aber zur Beeinflussung der Steuereinrichtung für den Kippspiegel 3 benutzt, beispielsweise
derart, daß erstens die Kipprichtung in der Zeichenebene
umgekehrt wird und daß gleichzeitig durch eine Verschwenkung
dea Kippspiegel» um eine in der Spiegel- (und
Zeichen-) ebene liegende Achse sowohl die Bildhöhe auf der
Blende k wie auch die Höhenlage des Lichtpunktes auf der
Hilfsfläche 7 geändert wird. Für diese doppelte Kippbewegung
des Spiegels 3 kamt beispielsweise eine kardanisehe Aufhängung des Spiegels 3, wie sie im Anspruch 10 der Patentschrift
... (Patentanmeldung L· 51» 285 IXaA2h) angegeben ist, verwendet
sein.
¥ie aus der vorstehend beschriebenen Wirkungsweise hervorr
geht, ist es erforderlich, daß auf der Hilfsflache 7 die ;
Umrandung dea abzutastenden Objektes aufgezeichnet ist.
-Uifaalehttung kann beispielsweise-.dadurch, erfolgen-,, daß,
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9.I.I967.
wie in der Fig. 2 dargestellt ist, die Hilfsflache 7 in den
Fotometerstrahlengang verschwenkbar ist. Dazu ist die Hilfsflache
7 um eine zwischen dem Lichtzeigerstrahlengang und
dem Fotometer3fcrahlengang angeordnete Achse 10 verschwenkbar.
Die HiIfsflache 7 steht dann in der Bildebene des Fotometerstrahlenganges
an der Stelle, an der sich beim Abtasten des Objektes die Blende 't befindet. Zusätzlich wird eine Feldlinse
11 und eine Lupe 12 in den Fotometerstrahlengang eingeschwenkt.
Unter subjektiver Beobachtung mittels der Lupe 12 kann dann auf der Hilfefläche 7 mittels eines auf Glas
schreibenden Stiftes 13 die Umrandung des abzutastenden Objektes aufgezeichnet werden. Durch die Schwenkbewegung der
Hilfafläche 7 um die Achse 10 erfolgt hinsichtlich der Lage des Objektes eine Höhen- und Seitenvertauschung bei der Abtastbewegung
durch den vom Kollimatorobjektiv 6 erzeugten Lichtpunkt. Damit aber ist die Gewähr gegeben, daß die Lage
des Lichtpunktes auf der Hilf»fläche 7 stets alt der Lage
des Bildes des Objektes auf der Öffnung der Blende k
übereinstimmt.
Wenn das mikroskopische Bild hell genug ist,- kann das Aufzeichnen der Objektumrandung auch so erfolgen, daß in der
Bildebene des Fotometerstrahlenganges eine Mattscheibe angeordnet
ist und zur Aufzeichnung der ObjektUmrandung die
Hilfsflache 7 verwendet wird, die eine klare Glasplatte
oder eine Folie sein kann, . . ■ . \ * ,
Bei Objektumrandungen mit Einbuchtungen oder nicht zusmmmen-
9098 49/05 5 8 "Ί'
BAD ORIG'NAL
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9.1.1967.. -,547402
hängenden Bereichen ist es vorteilhaft, nicht nur die Umrandung
des abzutastenden Objektes auf der Hilfsflache 7
aufzuzeichnen, sondern zusätzlich auch das Umfeld lichtundurchlässig
zu schwärzen. Um in diesem Falle das Schwärzen auf möglichst geringe Bereiche zu reduzieren, können selbstverständlich
Iris- oder Rechteckblenden und feste Blenden in der Hilfsfläche 7 zum Abdecken der Randzonen verwendet
werden. Bei Objekten mit angenähert kreis- oder rechteckförmiger
Berandung kann dann natürlich auch mit der Steuerung durch eine solche Blende allein gearbeitet werden.
Bei bestimmten Objekten kann insbesondere von der Objektform
her das umgekehrte Steuerungsverfahren bisweilen
günstiger sein. Das heißt, die zu messenden Objektpartien werden auf der Hilfsfläche 7 für den vom Kollimatorobjektiv
6 projizierten Lichtpunkt undurchlässig ausgefüllt. In diesem
Falle kann man beispielsweise vor den Iiohtelektrischen
Empfänger 9 ein Blaufilter schalten und die Umrißzeichnung in gelber bi· roter Farbe erhalten.
Zusätzlich zu der hier geschilderten Steuerung der Auswerteeinrichtung
einerseits und der Verkippung des Kippspiegels 3 andererseits kann das vom fotoelektrischen Empfänger 9 abgegebene
Signal dazu verwendet werden, die abgetastete Fläche auszumessen. Und zwar ist die Fläche einfach das
Produkt au« der Summe aller durch das Objekt gelegten Abtastzeilen
und dem Abstand der einzelnen Abtastzeilen.
909849/0556 -
BAD ORIG'NAL
Claims (1)
- A 1533 / B 23919.1.1967. 1547402AnsprücheVorrichtung zur optischen Abtastung mikroskopischer Objekte unter Verwendung eines die Abtastbewegung steuernden Kippspiegels nach Patent ... (Patentanmeldung L 5^ 285 IXa/42h), insbesondere nach den Ansprüchen 1 und 6 bis 10 dieses Patents, dadurch gekennzeichnet, daß eine Hilfsflache (7) vorgesehen ist, auf der die Umrandung des abzutastenden Objektes aufzeichenbar ist, und daß ferner ein von dem Kippspiegel (3) gesteuerter Lichtzeiger vorgesehen ist, der die Hilfsflache (7) abtastet, und daß hinter der Hilfsflache (7)» in Lichtrichtung gesehen, ein fotoelektrischer Empfänger (9) angeordnet ist, dessen Ausgangssignal die Auswerteeinrichtung steuert.Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mittels eines Kollimatorobjektive (6) über den Kippspiegel (3) ein Lichtpunkt in die Hilfsflache (7) projiziert ist und daß hinter der HiIfsflache (7) eine Feldlinse (8) vorgesehen ist, die das Kollimatorobjektiv (6) auf den fotoelektrischen Empfänger (9) abbildet.Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Hilfsflache (7) eine Glasplatte vorgesehen ist.Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Glasplatte derart schwenkbar gelagert ist, daß sie in der einen Stöllungials Hilfsfläche und in der anderen Stellung in den Fotometerstrahlengang einschwenkbar ist. ft909849/0556. -9-A 1533 / B 23919.1.1967. 1547402Vorrichtung nach. Anspruch h, dadurch gekennzeichnet, daß bei Einstellung der Hilfefläche in den Fotometerstrahlen gang zusätzlich eine Mattscheibe in der Bildebene des Potometerstrahlenganges angeordnet ist.Vorrichtung nach Anspruch h, dadurch gekennzeichnet, daß bei Einstellung der Glasplatte im Fotometerstrahlengang zusätzlich eine Feldlinse (11) und eine Lupe (12) lsi neterstrahlengang angeordnet sind.09 8-4 97 0 5 5 6L e e r s β i i e
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Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5540809B1 (de) * | 1970-03-31 | 1980-10-20 | ||
US3802784A (en) * | 1972-02-16 | 1974-04-09 | Technical Operations Inc | Microdensitometer having linear response |
US3798435A (en) * | 1973-08-09 | 1974-03-19 | Reichert Optische Werke Ag | Versatile light source for a microscope |
US3926500A (en) * | 1974-12-02 | 1975-12-16 | Ibm | Method of increasing the depth of focus and or the resolution of light microscopes by illuminating and imaging through a diaphragm with pinhole apertures |
US4323299A (en) * | 1980-07-03 | 1982-04-06 | Roberts Calvin W | Wide field specular scanning device |
GB2157419A (en) * | 1984-04-11 | 1985-10-23 | Elco Ass R D | Optical sensor for for use in controlling a robot |
GB8531011D0 (en) * | 1985-12-17 | 1986-01-29 | Medical Res Council | Confocal scanning microscope |
US4877960A (en) * | 1987-02-17 | 1989-10-31 | Spectra-Tech, Inc. | Microscope having dual remote image masking |
US4997242A (en) * | 1988-03-07 | 1991-03-05 | Medical Research Council | Achromatic scanning system |
US5144477A (en) * | 1988-04-11 | 1992-09-01 | Medical Research Council | Method of operating a scanning confocal imaging system |
US5032720A (en) * | 1988-04-21 | 1991-07-16 | White John G | Confocal imaging system |
US5923430A (en) | 1993-06-17 | 1999-07-13 | Ultrapointe Corporation | Method for characterizing defects on semiconductor wafers |
US5479252A (en) * | 1993-06-17 | 1995-12-26 | Ultrapointe Corporation | Laser imaging system for inspection and analysis of sub-micron particles |
US6148114A (en) | 1996-11-27 | 2000-11-14 | Ultrapointe Corporation | Ring dilation and erosion techniques for digital image processing |
US6678089B1 (en) * | 2000-04-13 | 2004-01-13 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Microscope |
JP4576876B2 (ja) * | 2004-05-10 | 2010-11-10 | 株式会社ニコン | 顕微鏡システム |
KR100845284B1 (ko) * | 2004-09-22 | 2008-07-09 | 삼성전자주식회사 | 두개의 닙코우 디스크를 이용한 공초점 주사 현미경 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2772598A (en) * | 1954-09-29 | 1956-12-04 | Fairchild Camera Instr Co | Minimum luminance responsive system |
US3013467A (en) * | 1957-11-07 | 1961-12-19 | Minsky Marvin | Microscopy apparatus |
US3297873A (en) * | 1963-12-30 | 1967-01-10 | Avco Corp | Microscope system with means for viewing the entire image and means for measuring radiation from a selected segment of image |
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US3518014A (en) | 1970-06-30 |
DE1472293A1 (de) | 1969-01-23 |
GB1185839A (en) | 1970-03-25 |
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