DE1490546C - Verfahren zum Abgleichen von elektrischen Schichtwiderständen - Google Patents

Verfahren zum Abgleichen von elektrischen Schichtwiderständen

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DE1490546C
DE1490546C DE19641490546 DE1490546A DE1490546C DE 1490546 C DE1490546 C DE 1490546C DE 19641490546 DE19641490546 DE 19641490546 DE 1490546 A DE1490546 A DE 1490546A DE 1490546 C DE1490546 C DE 1490546C
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Carl Dipl.-Phys.Dr.; Heim Günter Dipl.-Phys.; 8400 Regensburg Zapf
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Siemens AG
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Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (5)

1 2 Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe Patentansprüche: zugrunde, ein Verfahren zum nachträglichen Abgleichen von elektrischen Widerständen mit aus ver-
1. Verfahren zum Abgleichen von elektrischen schiedenartigen Schichten zusammengesetzter Wider-Widerständen mit einer Widerstandsschicht, die s Standsschicht auf Sollwert anzugeben, bei dem gleichaus auf einen nichtleitenden Tragkörper nach- zeitig ein bestimmter Temperaturkoeffizient eingeeinander aufgebrachten, elektrisch leitenden Schich- stellt werden kann.
ten mit unterschiedlichem Widerstandstemperatur- Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß zunächst
koeffizienten besteht, auf Sollwert, dadurch die Schichten in Reihe auf dem Tragkörper aufge-
gekennzeichnet, daß zunächst die Schich- io bracht werden und dann mittels Wendeln jeweils so
ten (2, 3) in Reihe auf dem Tragkörper (1) auf- auf Gesamtwiderstandswerte geschliffen werden, daß
gebracht werden und dann mittels Wendeln jeweils deren Verhältnis zueinander dem ihrer Temperatur-
so auf Gesamtwiderstandswerte geschliffen werden, koeffizienten umgekehrt proportional ist.
daß deren Verhältnis zueinander dem ihrer Tem- Bei reinen Metallschichten mit einem TKr von
peraturkoeffizienten umgekehrt proportional ist. 15 +4000 · 10~6/°C und Kohleschichten mit einem TKr
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge- von —220 · 10~6/°C müssen sich dementsprechend kennzeichnet, daß die Scnichten (2, 3) durch ent- die Widerstandswerte der in Reihe aufgebrachten sprechende Dicken- und/oder Längenbemessung Metall- und Kohleschichtanteile wie etwa 1:20 verabgestimmt werden. halten. Soweit durch Schwankungen im Ablauf, z. B.
3. Verfahren nach Anspruch 1 und/oder 2, 20 des Aufdampfverfahrens bedingte Abweichungen von dadurch gekennzeichnet, daß als Schichten (2, 3) dem geforderten Verhältnis der Widerstandswerte Kohlenstoff-, Metall-, insbesondere Nickelschich- zueinander auftreten, werden diese beispielsweise ten auf den Tragkörper (1) aufgebracht werden. dadurch korrigiert, daß die Schichten mittels Wendeins
4. Verfahren nach Anspruch 1 und/oder 2, da- auf die geforderten Widerstandswerte geschliffen durch gekennzeichnet, daß als Schichten (2, 3) 25 werden. Insbesondere für höhere Widerstandswerte Metall- und Metalloxidschichten auf den Trag- empfiehlt es sich dabei, die Metallschicht in Längskörper (1) aufgebracht werden. mitte des Tragkörpers aufzubringen. Hierdurch ergeben
5. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 4, sich günstigere Belastungsverhältnisse. Zweckmäßig dadurch gekennzeichnet, daß eine Metall- bzw. wird man bereits bei Aufbringen der einzelnen Wider-Metalloxidschicht im Bereich der Längsmitte des 30 Standsschichten die Schichten durch entsprechende Tragkörpers (1) auf diesen aufgebracht wird. Dicken- und/oder Längenbemessung derart in ihren
Widerstandswerten festlegen, daß sich ihre Widerstandswerte zumindest annähernd zueinander um-
gekehrt proportional wie die Temperaturkoeffizienten
35 verhalten.
In einer bevorzugten Ausführungsform eines solchen
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ab- Widerstandes sind dabei Kohlenstoff- und Metall-,
gleichen von elektrischen Widerständen mit einer hier wiederum insbesondere Nickelschichten in Reihe
Widerstandsschicht, die aus auf einen nichtleitenden auf dem Tragkörper aufgebracht. An Stelle der Koh-
Tragkörper nacheinander aufgebrachten, elektrisch 4° lenstoffschichten können auch Metalloxidschichten
leitenden Schichten mit unterschiedlichen Wider- verwendet werden.
Standstemperaturkoeffizienten besteht. Zur näheren Erläuterung der Erfindung ist in der
Die Benutzung von abwechselnd aufgebrachten Zeichnung ein Ausführüngsbeispiel des Gegenstandes
Kohlenstoff- und Metallschichten zur Beeinflussung der Erfindung dargestellt.
des Temperaturkoeffizientens des Widerstandswertes 45 Auf dem in der Figur dargestellten Tragkörper 1, ist ana sich bekannt. Bei einer derartigen bekannten z. B. aus Glas oder«3&e"rämik, sind abwechselnd in Anordnung handelt es sich um eine auf einen Teil Reihe Metall- und Kohlenstoffschichten 2 bzw. 3 einer Kohlenstoffschicht aufgebrachte Metallschicht, aufgebracht und die von den kappenförmigen Andie infolge ihres positiven Temperaturverhaltens das Schlußelementen 4, 5 freien Widerstandsschichten derentgegengesetzte Verhalten der Kohlenstoffschicht 50 art gewendelt, daß sich das Verhältnis aus dem Gekompensieren soll (deutsche Patentschrift 893 685). samtwiderstandswert der Kohlenstoffschichten zu dem Es ist auch schon bekannt, daß die Temperatur- Gesamtwiderstandswert der Metallschichten umgekehrt abhängigkeit der Anzeige eines Meßinstrumentes mit proportional wie deren Temperaturkoeffizienten zuHilfe von temperaturabhängigen Vor- bzw. Neben- einander verhält und der Temperaturkoeffizient des widerständen beseitigt werden kann. 55 Gesamtwiderstandes Null ist.
DE19641490546 1964-03-31 1964-03-31 Verfahren zum Abgleichen von elektrischen Schichtwiderständen Expired DE1490546C (de)

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DES0090313 1964-03-31
DES0090313 1964-03-31

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DE1490546A1 DE1490546A1 (de) 1969-09-04
DE1490546B2 DE1490546B2 (de) 1972-12-21
DE1490546C true DE1490546C (de) 1973-07-12

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